WO2002092480A3 - Vorrichtung und verfahren zum bewegen von substraten mit bewegungskopplung - Google Patents

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WO2002092480A3 PCT/EP2002/005123 EP0205123W WO02092480A3 WO 2002092480 A3 WO2002092480 A3 WO 2002092480A3 EP 0205123 W EP0205123 W EP 0205123W WO 02092480 A3 WO02092480 A3 WO 02092480A3
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Jochen Gutscher
Roland Wagner
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    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt

Abstract

Bei vorrichtungen zum Bewegen von Substraten (2), insbesondere CDs und DVDs, sollen die Transportbewegungen mit denen vor- und/oder nachgeschalteter Vorrichtungen einfach und zuverlässig synchronisiert werden. Hierzu ist eine Kopplungsvorrichtung (13) vorgesehen, die die Bewegung beispielsweise einer Hubeinrichtung (3) über eine Kopplungsstange (11) auf eine Rolle (8) eines Förderbands (6) überträgt. Damit dient die Hubeinrichtung (3) nicht nur zum Anheben eines Substrats (2) für den nächsten Prozessschritt, sondern auch zur Weiterbeförderung der im Prozess vorhergehenden Substrate (2) durch das Förderband.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021118683A1 (de) 2021-07-20 2023-01-26 Mühlbauer Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zur Verarbeitung einer Membran-Elektroden-Anordnung

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE926467C (de) * 1952-06-30 1955-04-18 Renault Vorrichtung zur Drehung einer Getriebewelle eines Kraftfahrzeuges vom Stillstand aus
US3648530A (en) * 1970-04-13 1972-03-14 Eastman Kodak Co Linkage
US3677452A (en) * 1970-12-28 1972-07-18 Burroughs Corp Intermittent web advancing device
US4221522A (en) * 1978-06-06 1980-09-09 Texas Instruments Deutschland Gmbh Apparatus for the automatic stepwise displacement and changing of magazines
WO2000053822A1 (en) * 1999-03-09 2000-09-14 Gamma Precision Technology, Inc. A wafer transfer system and methods for using the same

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4124132A (en) * 1977-05-18 1978-11-07 Sola Basic Industries, Inc. Magazine apparatus for semiconductor processing device
DE4341634A1 (de) * 1993-12-07 1995-06-08 Leybold Ag Vorrichtung für den Transport von scheibenförmigen Substraten in einer Vakuumbeschichtungsanlage
TW331550B (en) * 1996-08-14 1998-05-11 Tokyo Electron Co Ltd The cassette receiving room
DE29707657U1 (de) * 1997-04-28 1997-07-10 Leybold Systems Gmbh Vorrichtung für den Transport von scheibenförmigen Substraten in einer Vakkuumbeschichtungsanlage oder für deren Magazinierung
DE19725527A1 (de) * 1997-06-17 1998-12-24 Philips Patentverwaltung Reaktor zur Verarbeitung von Wafern mit einer Schutzvorrichtung

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE926467C (de) * 1952-06-30 1955-04-18 Renault Vorrichtung zur Drehung einer Getriebewelle eines Kraftfahrzeuges vom Stillstand aus
US3648530A (en) * 1970-04-13 1972-03-14 Eastman Kodak Co Linkage
US3677452A (en) * 1970-12-28 1972-07-18 Burroughs Corp Intermittent web advancing device
US4221522A (en) * 1978-06-06 1980-09-09 Texas Instruments Deutschland Gmbh Apparatus for the automatic stepwise displacement and changing of magazines
WO2000053822A1 (en) * 1999-03-09 2000-09-14 Gamma Precision Technology, Inc. A wafer transfer system and methods for using the same

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