DE10123062A1 - Device for transport of media, such as DVDs during production has an improved mechanical coupling device for linking a lifting arrangement to a conveyor belt arrangement so that disks can be moved through a production zone - Google Patents

Device for transport of media, such as DVDs during production has an improved mechanical coupling device for linking a lifting arrangement to a conveyor belt arrangement so that disks can be moved through a production zone

Info

Publication number
DE10123062A1
DE10123062A1 DE2001123062 DE10123062A DE10123062A1 DE 10123062 A1 DE10123062 A1 DE 10123062A1 DE 2001123062 DE2001123062 DE 2001123062 DE 10123062 A DE10123062 A DE 10123062A DE 10123062 A1 DE10123062 A1 DE 10123062A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
conveyor
movement
coupling
drive wheel
conveying
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE2001123062
Other languages
German (de)
Inventor
Jochen Gutscher
Roland Wagner
Bernd Mahner
Frank Michels
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Steag Hamatech AG
Original Assignee
Steag Hamatech AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Steag Hamatech AG filed Critical Steag Hamatech AG
Priority to DE2001123062 priority Critical patent/DE10123062A1/en
Priority to TW91109273A priority patent/TW546239B/en
Priority to PCT/EP2002/005123 priority patent/WO2002092480A2/en
Publication of DE10123062A1 publication Critical patent/DE10123062A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt

Abstract

Device for moving media (2) has conveyor belt (6) driven by a roller (8) with the roller advanced by a lifting arrangement (3) and a coupling device (13) that converts the lifting motion into a forward movement of the conveyor belt. An Independent claim is made for a method for moving media in which a first transport device is coupled in a purely mechanical manner to a second transport device.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Be­ wegen von Substraten mit einer ersten Fördereinrichtung und mindestens einer Kopplungseinrichtung zum Abstimmen einer Förderbewegung der ersten Fördereinrichtung mit einer För­ derbewegung einer zweiten Fördereinrichtung. Darüber hinaus betrifft die vorliegende Erfindung ein entsprechendes Ver­ fahren zum Bewegen von Substraten.The present invention relates to a device for loading because of substrates with a first conveyor and at least one coupling device for tuning one Conveying movement of the first conveyor with a För derbewegung a second conveyor. Furthermore The present invention relates to a corresponding Ver drive to move substrates.

Vorrichtungen und Verfahren dieser Art werden beispielsweise bei der Produktion von CDs und DVDs, aber auch von Halblei­ terbauelementen eingesetzt. Die jeweiligen Substrate sind CD- und DVD-Scheiben bzw. -Halbscheiben oder aber Waver. Sie werden in ihrer Produktionslinie unterschiedlichen Prozessen unterzogen. Die einzelnen Prozesse erfordern jeweils geeig­ nete Mechanismen zum Transport der Substrate.Devices and methods of this type are used, for example in the production of CDs and DVDs, but also half-lead terbauelemente used. The respective substrates are CD and DVD discs or half discs or waver. she different processes in your production line subjected. The individual processes require appropriate Mechanisms to transport the substrates.

Das Kühlen und Trocknen der Substrate erfolgt typischerweise in Kühl- bzw. Trocknungslinien, in denen die Substrate hoch­ kant horizontal befördert werden. Alternativ werden die Sub­ strate in Kühl- oder Trocknungstürmen gekühlt bzw. getrock­ net, die eine Vielzahl von Substraten axial übereinander aufnehmen und vertikal transportieren. Die Substrate werden in der Regel an der Unterseite des Kühlturms eingebracht und an der Oberseite entnommen. Drei parallel laufende Förder­ bänder fördern die Substrate nach oben, wobei die Förderbän­ der jeweils Zähne aufweisen, auf denen die Substrate auflie­ gen. Optische Sensoren erfassen das Bereitstehen eines neuen Substrats am Eingang des Kühlturms und steuern die Antriebe der Förderbänder derart an, dass das neue Substrat in dem Kühlturm aufgenommen wird. The substrates are typically cooled and dried in cooling or drying lines in which the substrates are high be transported horizontally. Alternatively, the sub strate cooled or dried in cooling or drying towers net that axially overlay a variety of substrates pick up and transport vertically. The substrates are usually introduced at the bottom of the cooling tower and Taken from the top. Three funding runs in parallel Belts convey the substrates upwards, with the conveyor belts each have teeth on which the substrates rested Optical sensors detect the availability of a new one Substrate at the entrance of the cooling tower and control the drives of the conveyor belts so that the new substrate in the Cooling tower is added.  

Die elektronische Ansteuerung der Antriebe der Förderbänder und das Abstimmen von Transportbewegungen durch Sensoren ist nicht nur aufwendig, sondern auch störanfällig. Verschmut­ zungen der Sensoren oder Änderungen der optischen Eigen­ schaften der Oberfläche der Substrate erfordern beispiels­ weise entsprechende Reinigungs- oder Justagemaßnahmen. Dar­ über hinaus ist diese Art der auf den Rhythmus der ankommen­ den Substrate synchronisierten Förderbewegung des Kühlturms verhältnismäßig kostspielig.The electronic control of the conveyor belt drives and the coordination of transport movements by sensors not only complex, but also prone to failure. Verschmut tongues of the sensors or changes in the optical properties For example, surfaces of the substrates require appropriate cleaning or adjustment measures. Dar Beyond that, this is the kind of rhythm that will arrive conveying movement of the cooling tower synchronized with the substrates relatively expensive.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht somit darin, Vorrichtungen zum Bewegen von Substraten vorzuschlagen, die bzgl. Herstellung und Wartung wirtschaftlich günstiger sind.The object of the present invention is therefore Propose devices for moving substrates that are economically more economical in terms of manufacture and maintenance.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch eine Vor­ richtung zum Bewegen von Substraten mit einer ersten För­ dereinrichtung und mindestens einer Kopplungseinrichtung zum Abstimmen einer Förderbewegung der ersten Fördereinrichtung mit einer Förderbewegung einer zweiten Fördereinrichtung, wobei durch die Kopplungseinrichtung die Förderbewegung der zweiten Fördereinrichtung auf die erste Fördereinrichtung zu deren Antrieb und/oder die Förderbewegung der ersten För­ dereinrichtung auf die zweite Fördereinrichtung zu deren Antrieb übertragbar ist. Somit wird die Bewegung der zweiten Fördereinrichtung zum Bereitstellen des Substrats für den Antrieb der ersten Fördereinrichtung und dem synchronen Weitertransport des Substrats genutzt. Alternativ wird die Bewegung der ersten Fördereinrichtung für den Antrieb der zweiten Fördereinrichtung zum Abtransport der Substrate genutzt. Die Bewegungen der beiden Fördereinrichtungen sind mithin mechanisch gekoppelt, was die Zuverlässigkeit und Wirtschaftlichkeit des Systems erhöht.According to the invention, this object is achieved by a pre direction for moving substrates with a first För the device and at least one coupling device for Matching a conveying movement of the first conveying device with a conveying movement of a second conveying device, wherein the conveying movement of the coupling device second conveyor towards the first conveyor their drive and / or the conveying movement of the first För dereinrichtung on the second conveyor to their Drive is transferable. Thus the movement becomes the second Conveyor device for providing the substrate for the Drive the first conveyor and the synchronous Further transport of the substrate used. Alternatively, the Movement of the first conveyor for driving the second conveyor for removal of the substrates used. The movements of the two conveyors are therefore mechanically coupled, which is the reliability and System efficiency increased.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Vorrichtung besteht darin, dass die Linearbewegung einer Komponente beispiels­ weise der zweiten Fördereinrichtung zur Bereitstellung des Substrats in eine Drehbewegung einer Komponente der ersten Fördereinrichtung zum Weitertransport des Substrats gewan­ delt wird. Insbesondere ist es vorteilhaft, wenn die Kopp­ lungseinrichtung einen Kolben umfasst, mit dem die Linearbe­ wegung der zweiten Fördereinrichtung abgreifbar und auf die erste Fördereinrichtung übertragbar ist.There is an advantageous embodiment of the device  in that the linear movement of a component, for example as the second conveyor to provide the Substrate in a rotational movement of a component of the first Gewan conveyor for further transport of the substrate delt is. In particular, it is advantageous if the Kopp tion device comprises a piston with which the Linearbe movement of the second conveyor tapped and on the first conveyor is transferable.

Als vorteilhaft erweist sich auch, wenn die erste Förderein­ richtung mindestens ein Transportband mit Antriebsrad um­ fasst, das durch die Kopplungseinrichtung angetrieben wird. Für diesen Antrieb eignet sich insbesondere ein Antriebsrad, das mehrere im wesentlichen parallel zur Drehachse ausge­ richtete, in Umfangsrichtung verteilte stiftartige Elemente oder Fortsätze aufweist. Damit wird die schrittweise Bewe­ gung der ersten Fördereinrichtung unmittelbar mit der Be­ reitstellbewegung der zweiten Fördereinrichtung synchroni­ siert.It also proves to be advantageous if the first sponsorship direction at least one conveyor belt with drive wheel summarizes that is driven by the coupling device. A drive wheel is particularly suitable for this drive, the several out essentially parallel to the axis of rotation directed pin-like elements distributed in the circumferential direction or has extensions. This is the gradual move supply of the first conveyor directly with the loading Reitstellbewegung the second conveyor synchroni Siert.

Die Erfindung wird nun anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert, in denen zeigen:The invention will now be described with reference to the accompanying drawings explained in more detail, in which:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Kühlvorrichtung; Fig. 1 is a perspective view of a cooling device according to the invention;

Fig. 2 eine Seitenansicht einer Kopplungseinrichtung; und Fig. 2 is a side view of a coupling device; and

Fig. 3 eine perspektivische Ansicht der Kopplungseinrich­ tung von Fig. 2. Fig. 3 is a perspective view of the Kopplungseinrich processing of FIG. 2.

Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung zum Bewegen von Sub­ straten entspricht einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die von einer Scheibentischplatte 1 bereitgestellten Substrate 2 werden durch eine Hubeinrichtung 3 in die Kühlvorrichtung 4 transportiert. Die Scheiben­ tischplatte 1 weist Disk-Tische 5 auf, in denen die Sub­ strate 2 bei einem vorhergehenden Prozessschritt getragen werden. Dieser Prozessschritt ist typischer Weise ein UV- Aushärtevorgang, durch den beispielsweise Teilscheiben einer DVD miteinander verklebt werden. Nach diesem Prozessschritt werden die Substrate 2 üblicherweise, z. B. in einer ETA- Messvorrichtung optisch vermessen. Die Substrate 2 dürfen hierzu allerdings höchstens eine Temperatur von 30°C auf­ weisen. Daher ist es notwendig, die Substrate 2 vorher ent­ sprechend abzukühlen. Die zwischengeschaltete Kühlvorrich­ tung 4 sorgt für diesen Schritt. Die Kühlvorrichtung 4 ist, wie in der Zeichnung dargestellt, in der Lage, eine Vielzahl von Substraten 2 aufzunehmen und diese mit Kühlluft abzuküh­ len. Im Falle einer Trocknungsvorrichtung wird entsprechend erwärmte Luft über die Substrate 2 geschickt.The device shown in Fig. 1 for moving substrates corresponds to a preferred embodiment of the present invention. The substrates 2 provided by a disk table top 1 are transported into the cooling device 4 by a lifting device 3 . The disk table top 1 has disk tables 5 , in which the sub strate 2 are worn in a previous process step. This process step is typically a UV curing process, by means of which, for example, partial discs of a DVD are glued together. After this process step, the substrates 2 are usually, for. B. optically measured in an ETA measuring device. For this purpose, however, the substrates 2 may have a maximum temperature of 30 ° C. Therefore, it is necessary to cool the substrates 2 accordingly beforehand. The intermediate Kühlvorrich device 4 ensures this step. The cooling device 4 , as shown in the drawing, is able to accommodate a plurality of substrates 2 and cool them with cooling air. In the case of a drying device, appropriately heated air is sent over the substrates 2 .

Vertikale Förder- bzw. Transportbänder 6, im vorliegenden Fall drei Stück, transportieren die Substrate 2 von einer Eingangsöffnung an der Unterseite der Kühlvorrichtung 4 zu einer Ausgangsöffnung an der Oberseite der Kühlvorrichtung 4. Die Transportbänder 6 besitzen Zähne 7, auf denen die Substrate 2 zum vertikalen Transport nach oben aufliegen. Darüber hinaus werden die Transportbänder 6 durch jeweils ein paar Rollen 8 bewegt, von denen je eine die Antriebs­ rolle darstellt.Vertical conveyor belts 6 , in the present case three, transport the substrates 2 from an inlet opening on the underside of the cooling device 4 to an outlet opening on the top side of the cooling device 4 . The conveyor belts 6 have teeth 7 on which the substrates 2 rest for vertical transport upwards. In addition, the conveyor belts 6 are each moved by a pair of rollers 8 , one of which represents the drive role.

Zum Beschicken der Kühlvorrichtung 4 mit Substraten 2 wird ein Disk-Tisch 5 unmittelbar unter die Eingangsöffnung der Kühlvorrichtung 4 gebracht. Die Hubvorrichtung 3 hebt mit einem zentralen Kolben 9 das Substrat 2 aus dem Disk-Tisch 5. Außerhalb des Radius des Disk-Tischs 5 um den zentralen Kolben 9 angeordnete Antriebskolben 10 treffen bei ihrer Aufwärtsbewegung Stirn an Stirn auf jeweils eine an der Kühlvorrichtung 4 angeordnete Kopplungsstange 11. Einer der Antriebskolben 10 durchstößt die Scheibentischplatte 1 bei seiner Aufwärtsbewegung in einer eigens dafür vorgesehenen Bohrung 12. Die beiden anderen Antriebskolben 10 befinden sich außerhalb des Umfangs der Scheibentischplatte 1.To load the cooling device 4 with substrates 2 , a disk table 5 is placed directly under the inlet opening of the cooling device 4 . The lifting device 3 lifts the substrate 2 out of the disk table 5 with a central piston 9 . Outside the radius of the disk table 5 around the central piston 9 , drive pistons 10 , when moving upward, meet one coupling rod 11 arranged on the cooling device 4 , forehead to forehead. One of the drive pistons 10 pierces the table top 1 during its upward movement in a bore 12 provided for this purpose. The two other drive pistons 10 are located outside the circumference of the table top 1 .

Die Kopplungsstange 11 dient als Abgriffselement einer Kopp­ lungseinrichtung 13, die in den Fig. 2 und 3 näher darge­ stellt ist. Die Kopplungseinrichtung 13 umfasst ferner ein Federelement 14, mit dem die Kopplungsstange 11 nach der Hubbewegung durch die Antriebsstange 10 der Hubeinrichtung 3 wieder in ihre Ausgangsposition gebracht wird.The coupling rod 11 serves as a tap element of a coupling device 13 , which is shown in FIGS . 2 and 3 Darge. The coupling device 13 further comprises a spring element 14 with which the coupling rod 11 is brought back into its starting position after the lifting movement by the drive rod 10 of the lifting device 3 .

Die Antriebsrolle 8 des Förderbands 6 besitzt axial nach au­ ßen weisende stiftartige Fortsätze 15, die in der Nähe des Außenumfangs der Rolle 8 in regelmäßigen Abständen angeord­ net sein können. Die Fortsätze 15 können auch an einem Flansch 16 angebracht sein, der mit der Rolle 8 verbunden ist. Ein an der Kopplungsstange 11 angebrachter Zahn 17 greift bei der Hubbewegung der Kopplungsstange 11 an einem der Fortsätze 15 an, dreht die Rolle 8 und bewegt somit das Förderband 6 mit den Substraten 2 nach oben. Dabei greifen die Zähne der Förderbänder 6 unter das von dem zentralen Kolben 9 angehobene Substrat 2 und nehmen es in die Kühlvor­ richtung 4 auf. An der Oberseite der Kühlvorrichtung 4 wird dementsprechend das an oberster Stelle befindliche Substrat 2 für den Weitertransport freigegeben.The drive roller 8 of the conveyor belt 6 has axially outward pointing pin-like extensions 15 which may be net angeord in the vicinity of the outer periphery of the roller 8 at regular intervals. The extensions 15 can also be attached to a flange 16 which is connected to the roller 8 . A tooth 17 attached to the coupling rod 11 engages with one of the extensions 15 during the lifting movement of the coupling rod 11 , rotates the roller 8 and thus moves the conveyor belt 6 with the substrates 2 upwards. The teeth of the conveyor belts 6 under the raised by the central piston 9 substrate 2 and take it in the Kühlvor direction 4 . On the top of the cooling device 4 , the substrate 2 located at the top is accordingly released for further transport.

Der Zahn 17 der Kopplungseinrichtung 13 ist in einem Lager 19, dessen Lagerachse senkrecht zur Kopplungsstange 11 und senkrecht zur Achse der Rolle 8 verläuft schwenkbar gela­ gert. Dabei kann der zur Rolle 8 weisende Abschnitt des Zahns 17 nur nach oben schwenken, um bei der Aufwärtsbewe­ gung durch die Antriebsstange 10 einen Fortsatz 15 des Flan­ sches 16 mitzunehmen und bei der Abwärtsbewegung durch die Feder 14 über einen oder mehrere Fortsätze 15 zu gleiten. The tooth 17 of the coupling device 13 is in a bearing 19 , the bearing axis of which extends perpendicularly to the coupling rod 11 and perpendicular to the axis of the roller 8 , so that it can pivot. Here, the facing the roller 8 portion can only pivot upwardly of the tooth 17 to aid in the Aufwärtsbewe supply through the drive rod 10 has a projection 15 take the flan ULTRASONIC 16 and to slide in the downward movement by the spring 14 via one or more projections 15 °.

Eine Feststelleinrichtung 18 verhindert einen Rücklauf der Rolle 8 und damit einen Rücklauf des Förderbands 6, der aus der Schwerkraft der im Förderband 6 befindlichen Substrate resultieren könnte. Die Feststelleinrichtung 18 ist hierzu, wie in Fig. 3 gezeigt ist, entsprechend schwenkbar gelagert, mit einer geeigneten Kerbe versehen, die mit einem der Fort­ sätze 15 in üblicher Weise zusammenwirkt, und bezogen auf die Achse der Rolle 8 im Wesentlichen gegenüber dem Zahn 17 angeordnet.A locking device 18 prevents a return of the roller 8 and thus a return of the conveyor belt 6 , which could result from the gravity of the substrates in the conveyor belt 6 . The locking device 18 is, as shown in Fig. 3, pivoted accordingly, provided with a suitable notch, which cooperates with one of the extensions 15 in the usual way, and based on the axis of the roller 8 substantially opposite the tooth 17th arranged.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung sorgt damit die Hub­ einrichtung 3 nicht nur für das Anheben und Bereitstellen eines Substrats 2 für die Kühlvorrichtung 4, sondern sie dient auch gleichzeitig zur Weiterbewegung der Substrate 2 in der Kühlvorrichtung 4. Damit wird erzielt, dass der An­ hebvorgang und der Weitertransport aufeinander abgestimmt also synchron verlaufen.In the device according to the invention, the lifting device 3 thus not only ensures the lifting and provision of a substrate 2 for the cooling device 4 , but also serves for the further movement of the substrates 2 in the cooling device 4 . This ensures that the lifting process and the onward transport are coordinated with one another and therefore run synchronously.

Eine Variante der dargestellten Ausführungsform besteht darin, dass die Förderbänder 6 die Substrate 2 in der Kühl­ vorrichtung 4 von oben nach unten transportieren. Die Ein­ richtung für die Bereitstellung der Substrate 2 und die Kopplungseinrichtung 13 zur Kopplung der jeweiligen Förder­ bewegungen sind dann für diese Situation entsprechend anzu­ ordnen.A variant of the embodiment shown is that the conveyor belts 6 transport the substrates 2 in the cooling device 4 from top to bottom. The device for the provision of the substrates 2 and the coupling device 13 for coupling the respective conveying movements are then to be arranged accordingly for this situation.

Darüber hinaus besteht die Möglichkeit, die Bewegung der Förderbänder 6 an die Bewegung einer nicht dargestellten Entnahmeeinrichtung statt an die Bewegung der Hubeinrichtung 13 für die Bereitstellung von Substraten 2 zu koppeln. In jedem Fall führt die mechanische Kopplungseinrichtung 13 aber eine zuverlässige Synchronisation der Einzelbewegungen herbei. In addition, there is the possibility of coupling the movement of the conveyor belts 6 to the movement of a removal device, not shown, instead of to the movement of the lifting device 13 for the provision of substrates 2 . In any case, the mechanical coupling device 13 brings about a reliable synchronization of the individual movements.

Eine Alternative zu der geschilderten Kopplungseinrichtung 13 besteht darin, dass eine oder beide Rollen 8 eines För­ derbands 6 beim Umlauf in Vorzugsstellungen einrasten. Damit wird gleichzeitig eine Rückwärtsbewegung der Förderbänder 6, die andernfalls auf Grund der Schwerkraft der Substrate 2 durch eine entsprechende Feststell- oder Bremseinrichtung 18 verhindert werden muss, unterbunden.An alternative to the coupling device 13 described is that one or both rollers 8 of a conveyor belt 6 engage in preferred positions during circulation. This simultaneously prevents a backward movement of the conveyor belts 6 , which otherwise would have to be prevented by a corresponding locking or braking device 18 due to the gravity of the substrates 2 .

Eine weitere Variante der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bewegen von Substraten wäre eine horizontale Kühl- oder Trocknungslinie, deren Förderbewegung entweder mit der vor­ hergehenden oder der nachgeschalteten Prozesseinheit mecha­ nisch gekoppelt ist.Another variant of the device for Moving substrates would be a horizontal cooling or Drying line, the conveying movement of which either with the front outgoing or the downstream process unit mecha nisch is coupled.

Claims (13)

1. Vorrichtung zum Bewegen von Substraten (2) mit einer ers­ ten Fördereinrichtung (6, 8) und einer Kopplungseinrich­ tung (13) zum Abstimmen einer Förderbewegung der ersten Fördereinrichtung (6, 8) mit eine Förderbewegung einer zweiten Fördereinrichtung (3), dadurch gekennzeichnet, dass durch die Kopplungseinrichtung (13) die Förderbewegung der zweiten Fördereinrichtung (3) auf die erste För­ dereinrichtung (6, 8) zu deren Antrieb und/oder die För­ derbewegung der ersten Fördereinrichtung (6, 8) auf die zweite Fördereinrichtung (3) zu deren Antrieb übertragbar ist.1. Device for moving substrates ( 2 ) with a first conveyor ( 6 , 8 ) and a coupling device ( 13 ) for coordinating a conveyor movement of the first conveyor ( 6 , 8 ) with a conveyor movement of a second conveyor ( 3 ), thereby characterized in that by the coupling device ( 13 ) the conveying movement of the second conveying device ( 3 ) onto the first conveying device ( 6 , 8 ) for driving it and / or the conveying movement of the first conveying device ( 6 , 8 ) onto the second conveying device ( 3rd ) for the drive of which is transferable. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Kopplungseinrich­ tung (13) eine Linearbewegung einer Komponente (10) der einen Fördereinrichtung (3; 6, 8) in eine Drehbewegung einer Komponente (8) der anderen Fördereinrichtung (6, 8; 3) wandelt.2. Device according to claim 1, wherein the coupling device ( 13 ) converts a linear movement of a component ( 10 ) of the one conveyor ( 3 ; 6 , 8 ) into a rotary movement of a component ( 8 ) of the other conveyor ( 6 , 8 ; 3 ) , 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Kopplungseinrich­ tung (13) einen Kolben bzw. eine Kopplungsstange (11) um­ fasst, mit dem die Linearbewegung der Komponente der ei­ nen Fördereinrichtung (3; 6, 8) abgreifbar und auf die Komponente der anderen Fördereinrichtung (6, 8; 3) über­ tragbar ist.3. Apparatus according to claim 2, wherein the Kopplungseinrich device ( 13 ) comprises a piston or a coupling rod ( 11 ) with which the linear movement of the component of the egg NEN conveyor ( 3 ; 6 , 8 ) tapped and on the component of the other Conveyor ( 6 , 8 ; 3 ) is portable. 4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die erste Fördereinrichtung (6, 8) mindestens ein Transport­ band (6) mit Antriebsrad (8) umfasst, das durch die Kopp­ lungseinrichtung (13) antreibbar ist. 4. Device according to one of claims 1 to 3, wherein the first conveyor (6, 8) at least a transport band (6) with drive wheel (8) is drivable by the averaging means by the couplers (13). 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei das Antriebsrad (8) oder ein daran gekoppelter Flansch (16) mehrere im we­ sentlichen parallel zur Drehachse ausgerichtete, in Um­ fangsrichtung verteilte stiftartige Elemente oder Fort­ sätze (15) aufweist, über die das Antriebsrad (8) antreibbar ist.5. The device according to claim 4, wherein the drive wheel ( 8 ) or a flange ( 16 ) coupled thereto has a plurality of we substantially aligned parallel to the axis of rotation, in the circumferential direction distributed pin-like elements or extensions ( 15 ), via which the drive wheel ( 8 ) can be driven. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Kopplungseinrich­ tung (13) ein an die Kopplungsstange (11) montiertes zahnförmiges Element (17) umfasst, das vorzugsweise senk­ recht zur Hubbewegung der Kopplungsstange (11) schwenkbar ist und zum Antrieb des Antriebsrads (8) mit mindestens einem der Fortsätze (15) in Wirkverbindung steht.6. The device according to claim 5, wherein the Kopplungseinrich device ( 13 ) comprises a on the coupling rod ( 11 ) mounted tooth-shaped element ( 17 ) which is preferably vertically pivotable to the stroke movement of the coupling rod ( 11 ) and for driving the drive wheel ( 8 ) is in operative connection with at least one of the extensions ( 15 ). 7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, wobei die Kopplungseinrichtung (13) eine Feststelleinrichtung (18) umfasst, die mit mindestens einem der Fortsätze (15) der­ art zusammenwirkt, dass die Rolle (8) nur in einer Rich­ tung drehbar ist.7. The device according to claim 5 or 6, wherein the coupling device ( 13 ) comprises a locking device ( 18 ) which interacts with at least one of the extensions ( 15 ) in such a way that the roller ( 8 ) can only be rotated in one direction. 8. Verfahren zum Bewegen von Substraten durch Koppeln einer ersten insbesondere diskontinuierlichen Förderbewegung mit einer zweiten Förderbewegung, dadurch gekennzeichnet, dass das Koppeln ausschließlich mechanisch erfolgt.8. Method for moving substrates by coupling one first in particular discontinuous conveying movement with a second funding movement, characterized in that the coupling takes place exclusively mechanically. 9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei das Koppeln durch Wan­ deln einer Linearbewegung in eine Drehbewegung erfolgt.9. The method of claim 8, wherein the coupling by Wan a linear movement into a rotary movement. 10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei das Koppeln durch einen Kolben (11) erfolgt, mit dem die Linearbewegung abgegrif­ fen und in die Drehbewegung umgewandelt wird. 10. The method according to claim 9, wherein the coupling is carried out by a piston ( 11 ) with which the linear movement is tapped and converted into the rotary movement. 11. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, wobei die erste Förderbewegung mittels mindestens eines Transport­ bands (6) mit Antriebsrad (8), das durch das mechanische Koppeln angetrieben wird, erfolgt.11. The method according to any one of claims 8 to 10, wherein the first conveying movement by means of at least one conveyor belt ( 6 ) with drive wheel ( 8 ) which is driven by the mechanical coupling takes place. 12. Verfahren nach Anspruch 11, wobei das Antriebsrad (8) oder ein daran gekoppelter Flansch (16) mehrere im wesentlichen parallel zur Drehachse ausgerichtete, in Umfangsrichtung verteilte stiftartige Elemente oder Fortsätze (15) aufweist, über die das Antriebsrad (8) angetrieben wird.12. The method according to claim 11, wherein the drive wheel ( 8 ) or a flange ( 16 ) coupled thereto has a plurality of pin-like elements or extensions ( 15 ) which are oriented essentially parallel to the axis of rotation and are distributed in the circumferential direction and via which the drive wheel ( 8 ) is driven , 13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, wobei durch eine Feststelleinrichtung (18) gewährleistet wird, dass sich das Antriebsrad (8) im Wesentlichen nur in einer Richtung dreht.13. The method according to claim 11 or 12, wherein a locking device ( 18 ) ensures that the drive wheel ( 8 ) rotates essentially only in one direction.
DE2001123062 2001-05-11 2001-05-11 Device for transport of media, such as DVDs during production has an improved mechanical coupling device for linking a lifting arrangement to a conveyor belt arrangement so that disks can be moved through a production zone Withdrawn DE10123062A1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2001123062 DE10123062A1 (en) 2001-05-11 2001-05-11 Device for transport of media, such as DVDs during production has an improved mechanical coupling device for linking a lifting arrangement to a conveyor belt arrangement so that disks can be moved through a production zone
TW91109273A TW546239B (en) 2001-05-11 2002-05-03 Device and method for moving substrates with motion coupling
PCT/EP2002/005123 WO2002092480A2 (en) 2001-05-11 2002-05-10 Device and method for moving substrates with motion coupling

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2001123062 DE10123062A1 (en) 2001-05-11 2001-05-11 Device for transport of media, such as DVDs during production has an improved mechanical coupling device for linking a lifting arrangement to a conveyor belt arrangement so that disks can be moved through a production zone

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10123062A1 true DE10123062A1 (en) 2002-11-21

Family

ID=7684499

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2001123062 Withdrawn DE10123062A1 (en) 2001-05-11 2001-05-11 Device for transport of media, such as DVDs during production has an improved mechanical coupling device for linking a lifting arrangement to a conveyor belt arrangement so that disks can be moved through a production zone

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE10123062A1 (en)
TW (1) TW546239B (en)
WO (1) WO2002092480A2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021118683A1 (en) 2021-07-20 2023-01-26 Mühlbauer Gmbh & Co. Kg Device and method for processing a membrane electrode assembly

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4124132A (en) * 1977-05-18 1978-11-07 Sola Basic Industries, Inc. Magazine apparatus for semiconductor processing device
DE4341634A1 (en) * 1993-12-07 1995-06-08 Leybold Ag Transport of substrate discs in a vacuum coating plant
DE29707657U1 (en) * 1997-04-28 1997-07-10 Leybold Systems Gmbh Device for the transport of disk-shaped substrates in a vacuum coating system or for their storage
EP0829903A2 (en) * 1996-08-14 1998-03-18 Tokyo Electron Limited Cassette chamber
EP0886302A2 (en) * 1997-06-17 1998-12-23 Philips Patentverwaltung GmbH Reactor with a protective device for handling wafers

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE926467C (en) * 1952-06-30 1955-04-18 Renault Device for rotating a gear shaft of a motor vehicle from a standstill
US3648530A (en) * 1970-04-13 1972-03-14 Eastman Kodak Co Linkage
US3677452A (en) * 1970-12-28 1972-07-18 Burroughs Corp Intermittent web advancing device
DE2824787C3 (en) * 1978-06-06 1981-05-21 Texas Instruments Deutschland Gmbh, 8050 Freising Feeding and discharging device for leadframe strips from magazines to a processing machine
US6224680B1 (en) * 1996-07-09 2001-05-01 Gamma Precision Technology, Inc. Wafer transfer system

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4124132A (en) * 1977-05-18 1978-11-07 Sola Basic Industries, Inc. Magazine apparatus for semiconductor processing device
DE4341634A1 (en) * 1993-12-07 1995-06-08 Leybold Ag Transport of substrate discs in a vacuum coating plant
EP0829903A2 (en) * 1996-08-14 1998-03-18 Tokyo Electron Limited Cassette chamber
DE29707657U1 (en) * 1997-04-28 1997-07-10 Leybold Systems Gmbh Device for the transport of disk-shaped substrates in a vacuum coating system or for their storage
EP0886302A2 (en) * 1997-06-17 1998-12-23 Philips Patentverwaltung GmbH Reactor with a protective device for handling wafers

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Buch: Hildebrand, S.: Feinmechanische Bauelemente,Carl Hanser Verlag München 1972, ISBN 3-446-10061-x, S. 749-760 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021118683A1 (en) 2021-07-20 2023-01-26 Mühlbauer Gmbh & Co. Kg Device and method for processing a membrane electrode assembly

Also Published As

Publication number Publication date
WO2002092480A3 (en) 2003-09-25
WO2002092480A2 (en) 2002-11-21
TW546239B (en) 2003-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19741476C5 (en) Machine for treating vessels
DE202017006906U1 (en) conveyor system
DE102014107427B4 (en) Apparatus and method for controlled alignment and / or controlled turning of containers
EP0992341B1 (en) Method and apparatus for gluing two substrates together
EP1446342B1 (en) Conveying device for conveying stock on pallets or the like with change of direction
DE3620717A1 (en) PACKING OR UNPACKING MACHINE
DE202016105425U1 (en) conveyor system
DE3720525C2 (en)
DE02770147T1 (en) DEVICE FOR SUPPLYING PRODUCTS TO A BLISTER MANUFACTURING MACHINE
DE10123062A1 (en) Device for transport of media, such as DVDs during production has an improved mechanical coupling device for linking a lifting arrangement to a conveyor belt arrangement so that disks can be moved through a production zone
EP1217575A2 (en) Method of processing, especially reading or programming card-like information carriers
WO2016180902A1 (en) Apparatus and method for cooling material boards
EP0906619A1 (en) Device for conveying substrates
EP0976146A1 (en) Device for conveying substrates through a substrate processing plant
DE19706594A1 (en) Device for the transport of substrates
DE4131068C2 (en) Device for conveying and rotating workpieces
DE4421064C1 (en) Method and arrangement for the distribution of individual parts
DE3416563A1 (en) Drive for the feed rollers of a woodworking machine
DE102004058514B3 (en) Ultrasonic welding system for attaching pouring spouts onto and/or closing card and plastic packages has package transporting wheel with more package holding stations than number of welding tools
DE10327647B4 (en) Bottoming device
DE4408517C2 (en) Method and device for processing optically readable data carriers
DE102011106133A1 (en) Device for transporting containers, has conveyor unit having revolving conveyor, which contacts side wall of containers for transporting container in predetermined transport direction
AT519024B1 (en) Method and device for the automated processing and assembly of a workpiece, in particular a component of a spindle motor
DE102020124400A1 (en) Labeling unit with low overall height
WO2006058670A2 (en) Method and device for cooling and/or conditioning substrate disks comprising an inner hole

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8130 Withdrawal