DE10114192B4

DE10114192B4 - Verfahren und Vorrichtung zur Aufbereitung von Restprozessgas

Info

Publication number: DE10114192B4
Application number: DE10114192A
Authority: DE
Inventors: Alex Wu; Chang-Cheng Chen; Chun-Chi Chen
Original assignee: Promos Technologies Inc
Current assignee: Promos Technologies Inc
Priority date: 2000-08-28
Filing date: 2001-03-23
Publication date: 2006-12-21
Anticipated expiration: 2021-03-24
Also published as: DE10114192A1; TW506852B; US7208127B2; US20020040641A1; US20040224503A1; US6716750B2

Abstract

Verfahren zur Aufbereitung von Restprozessgas mit folgenden Schritten:
Einlassen des Restprozessgases in eine Kammer (251), wobei das Restprozessgas eine gefährliche erste Konzentration aufweist;
Verdünnen des Restprozessgases durch Vermischen mit einem Inertgas;
Einlassen eines reaktiven Gases in die Kammer (251) und Vermischen des reaktiven Gases mit dem verdünnten Restprozessgas, um eine Reaktion zwischen dem verdünnten Restprozessgas und dem reaktiven Gas hervorzurufen; und
Auslassen des übrigbleibenden Gasgemisches, wobei das Restprozessgas im Gasgemisch eine ungefährliche zweite Konzentration aufweist.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft allgemein ein System und ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Aufbereitung von Restprozessgas, und insbesondere ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Aufbereitung und Entsorgung von toxischem Restprozessgas bei Halbleiterherstellungsverfahren.
Verschiedene Prozeßgase werden bei verschiedenen Prozessgeräten in einem Halbleiterherstellungsverfahren verwendet. Beispielsweise wird bei dem Verfahren der chemischen Dampfablagerung (CVD) häufig SiH₄, B₂H₆, NH₃ und H₂ als Prozessgas eingesetzt. Da zahlreiche Prozessgase toxisch und explosiv sind, und da Prozessgase während eines Herstellungsverfahrens selten vollständig reagieren, stellt die Handhabung von Restprozessgasen, also Prozessgasen, die nach Beendigung des Herstellungsverfahrens übrigbleiben, eine wesentliche Frage bei der Halbleiterherstellung dar. Darüber hinaus verhindern Umweltschutzgesichtspunkte und amtliche Bestimmungen, daß toxische Gase und schädliche Teilchen in die Atmosphäre abgelassen werden, oder zusammen mit Abwasser entsorgt werden.
1 ist ein Flussdiagramm eines herkömmlichen Verfahrens zur Handhabung von Restprozessgas in einem Halbleiterherstellungsverfahren, bei welchem Silan (SiH₄) als Prozessgas verwendet wird. Gemäß 1 wird Prozessgas, beispielsweise Silan, im Schritt 1 ausgesucht. Einige der Eigenschaften des gasförmigen Silans sind in der folgenden Tabelle angegeben.

*E: Explosiv; F: Entflammbar; P: Toxisch
**TLV: Schwellengrenzwert (zeitlich gewichteter Mittelwert bei Aufnahme über 8 Stunden eines Tages und einer Arbeitswoche von 40 Stunden)
IDLS: Unmittelbare Gefahr für Leib und Leben
Quelle: R.J. Lewis, Sr., Hazardous Chemicals Desk Reference, 3^rd Edition, Van Nostrand Reinhold, 1993.

Aus diesen Eigenschaften geht hervor, daß Silan toxisch und explosiv ist, und daher bei der Handhabung und Entsorgung von Silangas große Vorsicht walten sollte. Das Prozessgas wird dann im Schritt 10 einer Prozesskammer über ein Verbindungsrohr zugeführt. Nachdem ein Halbleiterherstellungsvorgang in der Prozesskammer im Schritt 10 durchgeführt wurde, stößt eine Pumpe das übrigbleibende Silangas, das während des Prozesses nicht vollständig reagiert hat, also das Restprozessgas, aus der Prozesskammer an einen Gasreiniger über ein weiteres Verbindungsrohr im Schritt 20 aus. Wie voranstehend erläutert enthält das Restprozessgas, das dem Gasreiniger zugeführt wird, immer noch Silangas, das nicht reagiert hat. Nach Eintritt in den Gasreiniger tritt eine Oxidation auf, und bildet sich pulverförmiges Siliziumdioxid (SiO₂). Dann wird Wasser dem Gasreiniger zugeführt, so daß sowohl lösliche als auch nicht lösliche SiO₂-Pulver in einer Abwasseranlagenabzugsvorrichtung im Schritt 42 bearbeitet werden. Das sich ergebende Abwasser wird an die Umgebung ausgestoßen. Alle übrigbleibenden Restprozessgas- und Pulverbestandteile werden im Schritt 40 zu einem Abgaseinrichtungsauslaß abgelassen, um dann weiter bearbeitet zu werden, und in die Atmosphäre ausgestoßen zu werden.
Allerdings kann diese herkömmliche Vorgehensweise nicht sicherstellen, daß das gesamte Silangas, das durch den Gasreiniger hindurchgeht, reagiert. Daher ist immer noch eine Explosion möglich, falls das Silangas in Berührung mit Sauerstoff in einem der Verbindungsrohre gelangt. Darüber hinaus kann Silangas, das nicht reagiert hat, und in die Atmosphäre abgegeben wird, immer noch einen Toxizitätspegel aufweisen, der höher ist als der gesetzlich vorgeschriebene Sicherheitspegel. Weiterhin können die Pulver, die durch Oxidation des Silangases erzeugt werden, zum Blockieren von Einlässen und Auslässen zum Gasreiniger und von diesem weg führen.
Als vorgeschlagene Verbesserung, um die vollständige Reaktion des Restprozessgases sicherzustellen, verwendet eine andere, herkömmliche Vorgehensweise Katalysatoren, um das Restprozessgas zu zerlegen, oder Absorptionsmittel zum Absorbieren toxischer Materialien oder Teilchen, so daß das in die Atmosphäre abgegebene Gas harmlos ist. Ein derartiges Verfahren erfordert allerdings komplizierte Vorgänge chemischer Reaktionen, Darüber hinaus sind Katalysatoren und Absorptionsmittel normalerweise teuer, und können nicht wiederholt eingesetzt werden, was zu Zusatzkosten des Herstellungsverfahrens führt. Darüber hinaus werden die Katalysatoren und Absorptionsmittel selbst durch den Prozeß toxisch, und werden zu industriellem Abfall, der nicht einfach entsorgt werden kann.
Daher betrifft die vorliegende Erfindung und ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Aufbereitung von Restprozessgas, welche im wesentlichen eine oder mehrere der Schwierigkeiten infolge der Einschränkungen und Nachteile beim Stand der Technik ausschalten.
Zusätzliche Merkmale und Vorteile der Erfindung werden aus der nachstehenden Beschreibung deutlicher, ergeben sich zum Teil aus der Beschreibung, oder werden bei Umsetzung der Erfindung in die Praxis deutlich. Die Ziele und weitere Vorteile der Erfindung werden durch die Anordnungen und Verfahren erzielt, die insbesondere in der schriftlichen Beschreibung und den Patentansprüchen angegeben sind, und aus den beigefügten Zeichnungen deutlich werden.
Um diese und weitere Vorteile zu erzielen, und gemäß dem Zweck der Erfindung, wird ein Verfahren zur Aufbereitung von Restprozessgas mit folgenden Schritten zur Verfügung gestellt:
Einlassen des Restprozessgases in eine Kamme, wobei das Restprozessgas eine gefährliche erste Konzentration aufweist;
Verdünnen des Restprozessgases durch Vermischen mit einem Inertgas;
Einlassen eines reaktiven Gases in die Kammer und Vermischen des reaktiven Gases mit dem verdünnten Restprozessgas, um eine Reaktion zwischen dem verdünnten Restprozessgas und dem reaktiven Gas hervorzurufen; und
Auslassen des übrigbleibenden Gasgemisches, wobei das Restprozessgas im Gasgemisch eine ungefährliche zweite Konzentration aufweist.
Zudem wird eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens zur Verfügung gestellt welche umfasst:
eine Kammer mit
einen Restprozessgaseinlass;
zumindest einem ersten Gaseinlass zum Einlassen von Inertgas;
zumindest einem zweiten Gaseinlass zum Einlassen eines reaktiven Gases;
einem Gasauslass; und
zumindest einer Ablenkplatte zur Verlängerung der Gasflusswegstrecke in der Kammer.
Bei einer Zielrichtung der Erfindung weist die Kammer weiterhin mehrere Dampfsperren zur Verlängerung der Zeit auf, in welcher das Restprozessgas in Kontakt mit dem reaktiven Gas steht.
Gemäß einer weiteren Zielrichtung der Erfindung weist die Kammer weiterhin ein Druckmeßgerät auf, das mit der Kammer verbunden ist, um den Druck innerhalb der Kammer zu überwachen.
Es wird darauf hingewiesen, daß sowohl die voranstehende, allgemeine Beschreibung als auch die nachstehende, detaillierte Beschreibung als beispielhaft und erläuternd zu verstehen sind, und ein besseres Verständnis der beanspruchten Erfindung erläutern sollen.
Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert, aus welchen weitere Vorteile und Merkmale hervorgehen. Es zeigt:
1 ein Flussdiagramm eines herkömmlichen Verfahrens zur Handhabung von Restprozessgas in einem Halbleiterherstellungsverfahren;
2 eine Ausführungsform einer Vorrichtung zur Verarbeitung von Restprozessgas gemäß der vorliegenden Erfindung; und
3 ein Flussdiagramm eines Verfahrens zur Verarbeitung von Restprozessgas gemäß der vorliegenden Erfindung.
Die vorliegende Erfindung schlägt ein Verfahren zur Verarbeitung von Restprozessgas auf solche Weise vor, daß zuerst Restprozessgas und ein Inertgas einer Kammer zugeführt werden, um das Restprozessgas zu verdünnen. Die Kammer weist einen oder mehrere Gaseinlassmechanismen auf, durch welche das Restprozessgas und das Inertgas in die Kammer hineingelangen. Dann wird ein reaktives Gas in die Kammer durch einen anderen Gaseinlassmechanismus eingelassen, damit es sich mit dem verdünnten Restprozessgas mischt und mit diesem reagiert. Weiterhin weist die Kammer mehrere Dampfsperren auf, um den Weg zu verlängern, den die Gase in der Kammer zurücklegen. Ein verlängerter Bewegungsweg verlängert die Zeit, in welcher das verdünnte Restprozessgas in Kontakt mit dem reaktiven Gas gelangt, so daß soviel Restprozessgas wie möglich reagiert. Die übrigbleibenden Gase, einschließlich des Inertgases, des reaktiven Gases und des Restprozessgases, die nicht reagiert haben, werden einem Gasreiniger über einen Gasauslassmechanismus zugeführt.
Die Reaktion zwischen dem Restprozessgas und dem reaktiven Gas führt zu pulverförmigen Materialien. Daher weist gemäß einer Ausführungsform der Erfindung die Kammer weiterhin eine Pulversammeleinrichtung am Boden der Kammer auf, und kann die Pulversammeleinrichtung zumindest zwei Tore aufweisen. Während die chemische Reaktion zwischen dem Restprozessgas und dem reaktiven Gas in der Kammer geschieht, ist ein erstes Tor der Pulversammeleinrichtung geöffnet, um die sich ergebenden Pulver zu sammeln, die in die Pulversammeleinrichtung infolge ihres Gewichtes hineinfallen. Das erste Tor wird geschlossen, wenn die Pulvermenge einen vorbestimmten Pegel erreicht. Dann wird ein zweites Tor geöffnet, um die Pulver zu entfernen. Das erfindungsgemäße System muß während des Entfernens der sich ergebenden Pulver nicht angehalten werden.
Die vorliegende Erfindung stellt einen geeigneten Reaktionsweg zur Verfügung, um eine vollständige Reaktion des Restprozessgases zu erreichen, so daß das Gas, das danach an den Gasreiniger abgelassen wird, verdünnt wurde und reagiert hat, und das Gas, das schließlich in die Atmosphäre abgelassen wird, einen Toxizitätspegel aufweist, der niedriger ist als die minimalen Sicherheitsvorschriften. Das Einlassen eines Inertgases zur Mischung mit dem Restprozessgas, bevor das Restprozessgas in Kontakt mit dem reaktiven Gas gelangt, verringert die Möglichkeit für eine explosive Reaktion. Darüber hinaus reagiert das Restprozessgas nur dann mit dem reaktiven Gas, nachdem es in die Kammer eingelassen wurde. Die vorliegende Erfindung verwendet die Pulversammeleinrichtung zum Sammeln der Pulver, die aufgrund der Reaktion erzeugt werden. Auf diese Weise wird das Problem gelöst, daß Pulver die Einlässe und Auslässe des Gasreinigers sperren, wie dies bei der herkömmlichen Vorgehensweise der Fall ist.
2 zeigt eine Ausführungsform der Vorrichtung zur Verarbeitung von Restprozessgas gemäß der vorliegenden Erfindung. Wie aus 2 hervorgeht, ist ein Restprozessgasaufbereitungsvorrichtung 25 irgendwo zwischen einer Prozesskammer und einem Gasreiniger (nicht gezeigt) angeordnet. Falls eine Pumpe zwischen einer Prozesskammer und einem Gasreiniger vorgesehen ist, ist die Restprozessgasaufbereitungsvorrichtung 25 alternativ zwischen der Pumpe und dem Gasreiniger angeordnet.
Wie aus 2 hervorgeht, weist die Restprozessgasaufbereitungsvorrichtung 25 eine Kammer 251 auf. Restprozessgas, das in einer Halbleiterbearbeitungskammer erzeugt wird, beispielsweise einer CVD-Kammer, wird der Kammer 251 über einen Restprozessgaseinlassmechanismus 252 zugeführt. Die Kammer 251 weist weiterhin einen oder mehrere erste Gaseinlassmechanismen 253 auf. Ein Ende des einen oder der mehreren Gaseinlassmechanismen 253 ist mit einer oder mehreren Inertgasquellen (nicht gezeigt) verbunden, damit Inertgas in die Kammer 251 eingelassen werden kann. Da Restprozessgas explosiv ist, stellt es während des Herstellungsvorgangs eine Gefahr dar. Inertgas wird eingelassen, um die Konzentration des Restprozessgases auf einen Pegel zu verdünnen, der niedriger ist als der niedrigste Explosionspegel (LEL), um Sicherheit in der Fabrik zu gewährleisten. Der eine oder die mehreren ersten Gaseinlassmechanismen 253 können über die gesamte Kammer 251 vorgesehen sein, um sicherzustellen, daß sich das Inertgas ausreichend mit dem Restprozessgas mischt, um das Ziel der Verdünnung des Restprozessgases zu erreichen.
Die Kammer 251 weist weiterhin einen oder mehrere zweite Gaseinlassmechanismen 254 auf. Ein Ende des einen oder der mehreren Gaseinlassmechanismen 254 ist mit einer oder mehreren Reaktivgasquellen (nicht gezeigt) verbunden, um ein reaktives Gas in die Kammer 251 einzulassen. Die Kammer 251 kann einen oder mehrere zweite Gaseinlassmechanismen 254 aufweisen, die über die Kammer 251 vorgesehen sind, um eine ausreichende Menge an reaktivem Gas einzulassen, das mit dem Hauptanteil des Restprozessgases reagieren soll. Die Kammer 251 weist weiterhin mehrere Dampfsperren 2511 auf, um den Weg zu verlängern, den das Restprozessgas, das Inertgas und das reaktive Gas zurücklegen müssen. Da das Vorsehen der mehreren Dampfsperren 2511 den Ausbreitungsweg der Gase verlängert, wird die Zeit verlängert, in welcher das Restprozessgas in Kontakt mit dem reaktiven Gas gelangt. Daher kann die Kammer 251 klein ausgebildet werden, und dennoch die Ziele der vorliegenden Erfindung erreichen. Eine kleinere Kammer nimmt weniger Raum ein, und erfordert weniger Material, was sich als verringerter Kostenaufwand bemerkbar macht.
Die nachstehend geschilderte Ausführungsform konzentriert sich auf die Aufbereitung von Restprozessgas, welches Silan enthält. Allerdings können die Vorrichtung und das Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung auch bei der Aufbereitung anderer typischer Restprozessgase eingesetzt werden. Da das restliche Silangas explosiv ist, wird Inertgas hinzugefügt, um das Restprozessgas zu verdünnen, bevor es in Kontakt mit einem reaktiven Gas gelangt, beispielsweise Sauerstoff (O₂). Das Inertgas kann Stickstoffgas (N₂) sein. Die Menge an zugefügtem Stickstoff sollte nicht zu groß sein, daß sie die Reaktion zwischen Silan und Sauerstoff stören könnte. Die Menge an zugefügtem Stickstoff hängt von der Menge an Silangas ab, und gemäß der vorliegende Erfindung wird folgende Berechnung vorgeschlagen.
Der LEL-Wert von Silangas beträgt 1,4 % (Volumenprozentsatz). Wenn man allerdings berücksichtigt, daß das aus einer Prozesskammer ausgestoßene Abgas NF₃ oder ein anderes Gas enthalten kann, und unter Annahme des schlimmsten Falls, wird gemäß der vorliegenden Erfindung der LEL-Wert für das gemischte Restprozessgas auf 0,5 % (also 5000 ppm) eingestellt. Die Menge an Stickstoff, die eingelassen werden kann, wird daher unter Verwendung der folgenden Gleichung berechnet:
wobei Q_T = Q_R + Q_N2 ist, und Q_N2 die Flussmenge an Stickstoffgas ist.
200 QR = QT = QR + QN2 woraus sich ergibt: Q_N2 = 199 Q_R.
Wenn bei diesem Beispiel unter der Annahme, daß Q_N2 = 200 Q_R ist, die Flussmenge des Restprozessgases 500 sccm (Standardkubikzentimeter) beträgt, dann ist die Menge Q_N2 gleich 500 sccm × 200 = 100 LPM. Ein reaktives Gas, saubere trockene Luft (CDA), das danach eingelassen wird, enthält ebenfalls Stickstoff, und die Menge an Stickstoff, die bei dieser Ausführungsform berechnet wird, reicht aus.
Bei einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird CDA als reaktives Gas verwendet. Allgemein stellt CDA Sauerstoff zur Verfügung, zur Reaktion mit dem Silangas. Obwohl bei dieser Ausführungsform keine Wärmezufuhr erforderlich ist, reagiert eine große Menge an Stickstoff ausreichend mit dem Hauptanteil des Silangases. Daher wird theoretisch eine höhere Menge an CDA vorgezogen. Allerdings gibt es eine maximale Menge an CDA, die eingesetzt werden kann. Wenn man annimmt, daß die Restprozessgasaufbereitungsvorrichtung 25 einen Gasreiniger aufweist, der ein Volumen von 200 LPM hat, ergibt sich unter Bezug auf die voranstehenden Berechnungen, bei denen (Q_N2 + Q_R) = 100 LPM ist, folgende Berechnung: QCDA + QN2 + QR = 200 LPM QCDA = 200 LPM – (QN2 + QR) = 100 LPM
Auf der Grundlage der voranstehenden Berechnungen kann die Menge an Stickstoff und CDA exakt berechnet werden. Weiterhin kann bei einer alternativen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, um die Kosten der Aufbereitung von Restprozessgas zu verringern, Luft dazu eingesetzt werden, CDA als das reaktive Gas zu ersetzen, um die Kosten der Aufbereitung von Restprozessgas zu verringern.
Wie wiederum in 2 dargestellt ist, fallen nach dem Einlassen des Restprozessgases in die Kammer 251 und dessen Reaktion mit dem reaktiven Gas, pulverförmige Reste aus der Reaktion zum Boden der Kammer 251 in eine Pulversammeleinrichtung 255. Die Pulverreste aus der Reaktion von Silan und Sauerstoff sind SiO₂, mit weißer Farbe, und sammeln sich häufig an, und verstopfen die Einlässe und Auslässe der Einrichtung, beispielsweise eines Gasreinigers. Gemäß der vorliegenden Erfindung gelangt das Restprozessgas nur in Kontakt mit dem reaktiven Gas, nachdem das Restprozessgas in die Prozesskammer gelangt ist, wodurch jede Möglichkeit ausgeschaltet wird, daß sich Reste in den Einlässen und Auslässen ansammeln.
Zusätzlich sammelt sich restliches Pulver schnell während der Reaktion des Restprozessgases und des reaktiven Gases an, so daß die Pulversammeleinrichtung 255 ständig von einem Benutzer geleert werden muß. Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist die Pulversammeleinrichtung 255 zumindest zwei Tore 2551 und 2552 auf. Wenn die Restprozessgasaufbereitungsvorrichtung 25 in Betrieb ist, ist das obere Tor 2551 geöffnet, um das restliche Pulver zu sammeln, und ist das untere Tor 2552 geschlossen, so daß die gesammelten, restlichen Pulver nicht durch die Pulversammeleinrichtung 255 hindurchfallen. Nach einem vorbestimmten Zeitraum wurde eine beträchtliche Menge an restlichem Pulver durch die Pulversammeleinrichtung 255 gesammelt, wird das obere Tor 2511 geschlossen, und wird das untere Tor 2552 dann durch das Gewicht des restlichen Pulvers zum Öffnen veranlasst, um das restliche Pulver zu entfernen.
Während des Entfernungsvorgangs wird das untere Tor 2552 geschlossen, und das obere Tor 2551 erneut geöffnet, damit das Ansammeln der restlichen Pulver weitergeht. Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die Vorrichtung während des Entfernungsvorgangs nicht abgeschaltet werden muß, unter exakter Steuerung durch das Öffnen und Schließen der Tore 2551 und 2552.
Das Restprozessgas, nachdem es durch das Inertgas verdünnt wurde, und mit dem reaktiven Gas reagiert hat, wird mit den anderen Gasen aus einem Gasauslaßmechanismus 256 ausgestoßen.
Wie voranstehend geschildert ist ein Ende des Gasauslassmechanismus 256 mit einem Gasreiniger verbunden. Das sich ergebende Mischgas wird dann zum Gasreiniger hin ausgestoßen, und in dem Gasreiniger bearbeitet. Das bearbeitete, gemischte Gas wird dann zu Abgas, das in die Atmosphäre ausgelassen wird. Allerdings weist das Abgas einen Toxizitätspegel auf, der niedriger ist als die minimalen Sicherheitsstandards.
Bei einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ein Druckmeßgerät 257 vorgesehen, das an der Kammer 251 angebracht ist, um den Luftdruck in der Kammer 251 zu überwachen, damit Gefahren vermieden werden, die durch einen übermäßigen Druck hervorgerufen werden.
Eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist ein Wasserkühlrohr auf, welches die Restprozessgasaufbereitungsvorrichtung 25 umgibt. Da bei der Reaktion zwischen Silan und Sauerstoff eine beträchtliche Wärme freigesetzt wird, unterstützt das Wasserkühlrohr die Abkühlung der Restprozessgasaufbereitungsvorrichtung 25, um alle Gefahren zu verringern, die mit zu hohen Temperaturen zusammenhängen.
3 zeigt ein Flussdiagramm eines Verfahrens zur Aufbereitung von Restprozessgas gemäß der vorliegenden Erfindung. Gemäß 3 wird im Schritt 501 eine Kammer der vorliegenden Erfindung zur Verfügung gestellt. Im Schritt 502 werden Restprozessgas und Inertgas in die Kammer eingelassen, so daß sich das Restprozessgas und das Inertgas mischen, damit das Restprozessgas verdünnt wird. Dann wird ein reaktives Gas in die Kammer eingelassen, damit es mit dem Restprozessgas reagiert. Nach der Reaktion werden im Schritt 543 das Restprozessgas, das reagiert hat, Inertgas sowie Restprozessgas, das nicht reagiert hat, sämtlich aus der Kammer ausgestoßen. Alternativ wird eine Pulversammeleinrichtung im Schritt 503 bereitgestellt, um pulverförmige Reste aus der chemischen Reaktion zwischen dem Restprozessgas und dem reaktiven Gas zu sammeln.
Fachleuten auf diesem Gebiet wird deutlich werden, daß verschiedene Modifikationen und Abänderungen bei dem geschilderten Verfahren und dem geschilderten Erzeugnis vorgenommen werden können, ohne vom Wesen oder Umfang der Erfindung abzuweichen. Anderer Ausführungsformen der Erfindung werden Fachleuten auf diesem Gebiet unter Berücksichtigung der Beschreibung deutlich werden, und aus der Umsetzung der Erfindung in die Praxis. Hierbei sind die Beschreibung und die Beispiele nur als beispielhaft zu verstehen, da sich Wesen und Umfang der Erfindung aus der Gesamtheit der vorliegenden Anmeldeunterlagen ergeben und von den beigefügten Patentansprüchen umfasst sein sollen.

Claims

Verfahren zur Aufbereitung von Restprozessgas mit folgenden Schritten: Einlassen des Restprozessgases in eine Kammer (251), wobei das Restprozessgas eine gefährliche erste Konzentration aufweist; Verdünnen des Restprozessgases durch Vermischen mit einem Inertgas; Einlassen eines reaktiven Gases in die Kammer (251) und Vermischen des reaktiven Gases mit dem verdünnten Restprozessgas, um eine Reaktion zwischen dem verdünnten Restprozessgas und dem reaktiven Gas hervorzurufen; und Auslassen des übrigbleibenden Gasgemisches, wobei das Restprozessgas im Gasgemisch eine ungefährliche zweite Konzentration aufweist.
Vorrichtung (25) zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, umfassend: eine Kammer (251) mit: einem Restprozessgaseinlass (252); zumindest einem ersten Gaseinlass (253) zum Einlassen von Inertgas; zumindest einem zweiten Gaseinlass (254) zum Einlassen eines reaktiven Gases; einem Gasauslass (256); und zumindest einer Ablenkplatte (2511) zur Verlängerung der Gasflusswegstrecke in der Kammer (251).
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Inertgas Stickstoff enthält.
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das reaktive Gas saubere, trockene Luft ist.
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin ein Gasreiniger vorgesehen ist, der an die Kammer (251) angeschlossen ist.
Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Gasauslass mit dem Gasreiniger verbunden ist.
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin eine Pulversammeleinrichtung (255) vorgesehen ist, die mit der Kammer verbunden ist.
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Dampfsperren vorgesehen sind.
Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Pulversammeleinrichtung zumindest ein Tor aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das zumindest eine Tor selektiv während des Betriebs der Kammer geöffnet und geschlossen werden kann.
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin ein Druckmessgerät vorgesehen ist, das an die Kammer angeschlossen ist.
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass weiterhin ein Wasserkühlrohr vorgesehen ist.