DE10108576A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Temperaturkompensation einer piezoelektrischen Vorrichtung - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Temperaturkompensation einer piezoelektrischen VorrichtungInfo
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Abstract
Ein Steuersystem zur Temperaturkompensation einer piezoelektrischen Vorrichtung wird offenbart. Das Steuersystem weist eine Temperaturkompensationsschaltung auf, die betreibbar ist, um ein Steuersignal aufzunehmen, das einer erwünschten Position der piezoelektrischen Vorrichtung entspricht, und das Steuersignal ansprechend auf einer abgeschätzten Temperatur in der Nähe der piezoelektrischen Vorrichtung zu kompensieren. Eine Steuervorrichtung für die piezoelektrische Vorrichtung ist betreibbar, um das temperaturkompensierte Steuersignal aufzunehmen und ein Steuersignal zu erzeugen, das geeignet ist, um die piezoelektrische Vorrichtung zu der erwünschten Position zu treiben. Die Temperatur in der Nähe der piezoelektrischen Vorrichtung kann aus einer abgeschätzten ferroelektrischen Polarisation der piezoelektrischen Vorrichtung oder von einem Temperatursensor abgeschätzt werden.
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf pie
zoelektrische Vorrichtungen und insbesondere auf eine
Vorrichtung und ein Verfahren zur genauen Steuerung der
Bewegung einer piezoelektrischen Vorrichtung unter vari
ierenden Betriebstemperaturen.
Piezoelektrische Vorrichtungen verändern ihre Form an
sprechend auf ein angelegtes elektrisches Feld. Ein elek
trisches Feld, das in der Polarisationsrichtung angelegt
wird, bewirkt eine Ausdehnung des piezoelektrischen Mate
rials in der gleichen Richtung, während eine Spannung,
die in der entgegengesetzten Richtung zur Polarisation
angelegt wird, eine Kontraktion des Materials in der
gleichen Richtung bewirken wird. Piezoelektrische Biege
betätigungsvorrichtungen, wie beispielsweise thermisch
vorgespannte Biegebetätigungsvorrichtungen verwenden die
"Biegewirkung" der Betätigungsvorrichtung, um elektrische
Energie in mechanische Energie umzuwandeln.
Aufgrund der Natur ihrer Konstruktion jedoch ist die Lei
stung dieser Vorrichtungen temperaturabhängig und stellt
ein Problem bei Anwendungen wie beispielsweise einem Mo
torsystem dar, wo die Temperatur der Betätigungsvorrich
tung von 0°C bis 100°C während des Betriebes reichen
kann. In diesem breiten Temperaturbereich verändert sich
die Position der Betätigungsvorrichtung als eine Funktion
der angelegten Spannung und der Temperatur, so daß die
Betätigungsvorrichtung temperaturkompensiert werden muß,
um eine durchgängige, zuverlässige und vorhersagbare Be
wegung oder Verschiebung der Betätigungsvorrichtung an
sprechend auf das Eingangsbefehlssignal vorzusehen.
In der Vergangenheit wurden piezoelektrische Betätigungs
vorrichtungen, die als Brennstoffsystembetätigungsvor
richtungen angewandt wurden, durch mechanische Mittel
temperaturkompensiert, wie beispielsweise durch hydrauli
sche Kompensation. Diese mechanischen Verfahren erfordern
komplexe Konstruktionen, die beträchtliche Produktkosten
mit sich bringen und die Zuverlässigkeit des Ventilsteu
ersystems verringern.
Somit gibt es eine Notwendigkeit für eine piezoelektri
sche Betätigungsvorrichtung, die die Notwendigkeit für
komplexe und unzuverlässige mechanische Vorrichtungen
ausräumt, um eine Temperaturkompensation der Betätigungs
vorrichtung vorzusehen. Es besteht auch eine Notwendig
keit für eine piezoelektrische Betätigungsvorrichtung,
die genau und zuverlässig zu einer erwünschten Position
in einem relativ breiten Temperaturbereich der Betäti
gungsvorrichtung betrieben werden kann.
Während die Erfindung in Verbindung mit gewissen Ausfüh
rungsbeispielen beschrieben wird, wird klar sein, daß die
Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele einge
schränkt ist. Im Gegensatz dazu weist die Erfindung alle
Alternativen, Modifikationen und äquivalente Ausführungen
auf, wie sie im Kern und Umfang der vorliegenden Erfin
dung liegen.
Gemäß der Prinzipien der vorliegenden Erfindung weist ein
Steuersystem zur Temperaturkompensation einer piezoelek
trischen Vorrichtung eine Temperaturkompensationsschal
tung auf, die betreibbar ist, um ein Steuersignal von ei
ner Steuersignalquelle zu empfangen, das einer erwünsch
ten Position bzw. Soll-Position der piezoelektrischen
Vorrichtung entspricht. Die Temperatursteuerschaltung ist
betreibbar, um ein temperaturkorrigiertes oder tempera
turkompensiertes Steuersignal ansprechend auf eine abge
schätzte Temperatur in der Nähe der piezoelektrischen
Vorrichtung zu erzeugen. Eine piezoelektrische Steuer
schaltung ist mit der Temperaturkompensationsschaltung
gekoppelt und ist betreibbar, um ein Steuersignal anspre
chend auf das Steuersignal zu erzeugen, das von der Tem
peratursteuerschaltung erzeugt wird, um die piezoelektri
sche Vorrichtung in die gewünschte Position zu treiben,
und zwar ansprechend auf die abgeschätzte Temperatur der
piezoelektrischen Vorrichtung.
Die obigen und andere Ziele und Vorteile der vorliegenden
Erfindung sollen aus den beigefügten Zeichnungen und ih
rer Beschreibung offensichtlich werden.
Die beigefügten Zeichnungen, die in der Beschreibung dar
gelegt werden und einen Teil davon bilden, veranschauli
chen Ausführungsbeispiele der Erfindung und sie dienen
zusammen mit einer oben dargelegten allgemeinen Beschrei
bung der Erfindung und der unten dargelegten detaillier
ten Beschreibung der Ausführungsbeispiele dazu, die Prin
zipien der Erfindung zu erklären.
Fig. 1 ist ein Blockdiagramm eines Steuersystems zur
Temperaturkompensation einer piezoelektrischen
Vorrichtung gemäß der Prinzipien der vorliegen
den Erfindung; und
Fig. 2 ist ein alternatives Ausführungsbeispiel des in
Fig. 1 gezeigten Temperaturkompensationssteu
ersystems.
Mit Bezug auf die Figuren und auf Fig. 1 insbesondere
ist ein Steuersystem 10 gemäß der Prinzipien der vorlie
genden Erfindung gezeigt, und zwar zur Temperaturkompen
sation einer piezoelektrischen Vorrichtung 12, wie bei
spielsweise einer thermisch vorgespannten Biegebetäti
gungsvorrichtung, die mit dem Steuersystem 10 durch ein
Paar von Leitungen 14a, 14b gekoppelt ist. Wie im Detail
unten beschrieben wird, ist das Steuersystem 10 betreib
bar, um ein Steuersignal auf der Leitung 16 von einer
(nicht gezeigten) Steuersignalquelle aufzunehmen, das ei
ner gewünschten Position bzw. Soll-Position der Betäti
gungsvorrichtung 12 entspricht. Ansprechend auf das Steu
ersignal auf der Leitung 16 legt das Steuersystem 10 eine
Spannung an die Betätigungsvorrichtung 12 an, die mit dem
Steuersignal in Beziehung steht, die entsprechend anspre
chend auf eine abgeschätzte Temperatur in der Nähe der
Betriebsumgebung der Betätigungsvorrichtung 12 kompen
siert worden ist. In dieser Weise steuert das Steuersy
stem 10 genau die Verschiebung der Betätigungsvorrichtung
12 ansprechend auf den Empfang des Steuersignals auf der
Leitung 16 von der (nicht gezeigten) Steuersignalquelle
über einen Bereich von Betätigungsvorrichtungsbetrieb
stemperaturen. Während dies nicht gezeigt ist, wird klar
sein, daß die Steuersignalquelle irgendein Positionssteu
ersystem sein kann, das die Position einer piezoelektri
schen Vorrichtung durch ein Steuersignal steuern kann.
Weiterhin mit Bezug auf Fig. 1 weist das Steuersystem 10
eine eindimensionale empirische Karte oder Datenstruktur
18 auf, die betreibbar ist, um das erwünschte Betäti
gungsvorrichtungspositionssteuersignal bzw. das Betäti
gungsvorrichtungssteuersignal für die erwünschte Position
auf der Leitung 16 von der (nicht gezeigten) Steuersi
gnalquelle als eine Eingangsgröße in die Karte 18 aufzu
nehmen. Ansprechend auf den Empfang des Steuersignals auf
der Leitung 16 erzeugt die Datenstruktur 18 als eine Aus
gangsgröße auf der Leitung 20 ein erwünschtes Steuersi
gnal bzw. Soll-Steuersignal, das elektrisch mit einer
herkömmlichen Betätigungsvorrichtungssteuerschaltung 22
kompatibel ist, die dem Fachmann bekannt ist. Die Daten
struktur 18 kann eine Nachschautabelle sein, die im RAM
oder ROM gespeichert ist, ein Programmalgorithmus oder
eine verkabelte Schaltung, wie dem Fachmann leicht offen
sichtlich sein wird, wobei diese betreibbar sind, um eine
Ausgangsgröße auf der Leitung 20 zu erzeugen, wobei das
erwünschte Steuersignal einen Wert oder Parameter be
sitzt, der von der empirischen Karte 18 definiert wird,
und zwar ansprechend auf das erwünschte Betätigungsvor
richtungspositionssteuersignal auf der Eingangsleitung
16.
Gemäß der Prinzipien der vorliegenden Erfindung weist das
Steuersystem 10 eine Temperaturkompensationsschaltung
auf, die im allgemeinen bei 24 gezeigt ist, die mit der
Datenstruktur oder Karte 18 und der Betätigungsvorrich
tungssteuerschaltung 22 gekoppelt ist. Die Temperaturkom
pensationsschaltung 24 ist betreibbar, um das Steuersi
gnal auf der Leitung 20 aufzunehmen, das als eine Aus
gangsgröße der Datenstruktur 18 erzeugt wird, und um ein
temperaturkompensiertes Steuersignal auf der Leitung 26
zu erzeugen, das ansprechend auf eine abgeschätzte Tempe
ratur in der Nähe der Betriebsumgebung der piezoelektri
schen Vorrichtung 12 korrigiert oder kompensiert worden
ist.
Insbesondere ist eine Hysterese verwickelt in die Bezie
hung zwischen der Größe des Steuersignals, das an die Be
tätigungsvorrichtung 12 angelegt wird, das heißt die
Steuerspannung, und der Verschiebung der Betätigungsvor
richtung 12 ansprechend auf dieses Steuersignal. Da die
piezoelektrischen Vorrichtungen nicht lineare Gain- bzw.
Verstärkungsvorrichtungen sind, ist das physikalische Be
wegungsprofil der Vorrichtung nicht direkt proportional
zum Profil des Steuersignals, das an die Betätigungsvor
richtung angelegt wurde. Darüber hinaus ist die Hystere
sekurve temperaturabhängig, so daß ein Eingangssteuersi
gnal, das an eine Betätigungsvorrichtung angelegt worden
ist, um eine erwünschte Verschiebung bei einer Temperatur
der Betätigungsvorrichtung zu erzeugen, nicht die gleiche
Verschiebung der Betätigungsvorrichtung bei einer anderen
Temperatur erzeugen wird. Zu diesem Zwecke ist die Tempe
raturkompensationsschaltung 24 betreibbar, um das Steuer
signal auf der Leitung 20 ansprechend auf die abgeschätz
te Temperatur in der Nähe der Betriebsumgebung der Betä
tigungsvdrrichtung 12 zu korrigieren oder zu kompensie
ren, um ein temperaturkorrigiertes oder temperaturkompen
siertes Steuersignal auf der Leitung 26 zu erzeugen, das
die Betätigungsvorrichtung 12 zu der erwünschten Position
oder Verschiebung bei der abgeschätzten Temperatur in der
Nähe der Betätigungsvorrichtung treiben wird.
Insbesondere weist die Temperaturkompensationsschaltung
24 des Steuersystems 10 eine zweidimensionale empirische
Karte oder Datenstruktur 28 auf, die betreibbar ist, um
das Steuersignal für die erwünschte Betätigungsvorrich
tungsposition auf der Leitung 20 zu empfangen, und zwar
von der eindimensionalen Karte oder Datenstruktur 18 als
eine Eingangsgröße in die Karte 28. Die Karte 28 ist auch
betreibbar, um eine abgeschätzte Temperatur in der Nähe
der Betätigungsvorrichtung 12 auf der Leitung 30 zu emp
fangen, und zwar als eine weitere Eingangsgröße für die
Karte 28. Ansprechend auf den Empfang des Steuersignals
für die erwünschte Betätigungsvorrichtungsposition auf
der Leitung 20 und die abgeschätzte Temperatur in der Nä
he der Betätigungsvorrichtung 12 auf der Leitung 30, er
zeugt die Datenstruktur 28 als eine Ausgangsgröße auf der
Leitung 26 das temperaturkorrigierte oder temperaturkom
pensierte Steuersignal, das die Betätigungsvorrichtung 12
zu der erwünschten Position oder Verschiebung ansprechend
auf die abgeschätzte Temperatur in der Nähe der Betäti
gungsvorrichtung 12 treiben wird. Das temperaturkorri
gierte oder temperaturkompensierte Steuersignal auf der
Leitung 26 ist mit der Betätigungsvorrichtungssteuer
schaltung 22 gekoppelt, um die Betätigungsvorrichtung 12
zu der erwünschten Position oder Verschiebung bei der ab
geschätzten Temperatur in der Nähe der Betätigungsvor
richtung 12 zu treiben. Die Datenstruktur 28 kann auch
eine Nachschautabelle sein, die in einem RAM oder Ar
beitsspeicher oder einem ROM oder Lesespeicher gespei
chert ist, ein Programmalgorithmus oder eine verkabelte
Schaltung, wie leicht dem Fachmann offensichtlich sein
wird, die betreibbar ist, um als eine Ausgangsgröße auf
der Leitung 26 das temperaturkorrigierte oder temperatur
kompensierte Steuersignal auf der Leitung 26 zu erzeugen,
das einen Wert oder Parameter besitzt, der von der empi
rischen Karte 28 ansprechend auf das erwünschte Steuersi
gnal auf der Leitung 20 und die abgeschätzte Temperatur
in der Nähe der Betätigungsvorrichtung 12 auf der Ein
gangsleitung 30 definiert wird.
Gemäß eines Aspektes der vorliegenden Erfindung kann die
Temperatur in der Nähe der Betätigungsvorrichtung 12 aus
einer abgeschätzten ferroelektrischen Polarisation der
Betätigungsvorrichtung 12 abgeschätzt werden. Insbesonde
re weist die Temperaturkompensationsschaltung 24 des
Steuersystems 10 typischerweise eine Polarisationsab
schätzschaltung auf, die im allgemeinen bei 32 angezeigt
ist, die mit der Datenstruktur oder Karte 28 und der Be
tätigungsvorrichtungssteuerschaltung 22 gekoppelt ist.
Für eine gegebene Zeitdauer mißt die Polarisationsab
schätzschaltung 32 die Veränderung der angelegten Span
nung an die Betätigungsvorrichtung 12 (V) durch eine Kom
parator- bzw. Vergleichsschaltung 34, die mit der Betäti
gungsvorrichtungssteuerschaltung 22 durch die Leitung 36
gekoppelt ist. Während der gleichen Zeitdauer mißt die
Polarisationsabschätzschaltung 32 die Veränderung der La
dung auf der Betätigungsvorrichtung 12 (Q) durch eine
Stromintegrationsschaltung 38, die mit der Betätigungs
vorrichtungssteuerschaltung 22 durch die Leitung 40 ge
koppelt ist. Aus den gemessenen V- und Q-Werten wird eine
äquivalente Kapazität der Betätigungsvorrichtung 12 (CE)
durch die folgende Gleichung bestimmt, wobei die äquiva
lente Kapazität (CE) abhängig ist von der physikalischen
Konstruktion der Betätigungsvorrichtung 12 und von der
Temperatur in der Nähe der Betriebsumgebung der Betäti
gungsvorrichtung 12:
CE = Q/V
Um eine genaue Abschätzung der äquivalenten Kapazität
(CE) sicherzustellen, muß V ein signifikanter Teil (< 50%)
des vollen Laufbereiches der Betätigungsvorrichtung
12 sein. Die Hysteresekurve von Spannung gegenüber Ladung
der Betätigungsvorrichtung wird den minimalen Wert von V
bestimmen, der in dieser Berechnung verwendet werden
kann, und zwar ohne Verlust der Genauigkeit.
Die Polarisationsabschätzschaltung 32 des Steuersystems
10 weist eine eindimensionale empirische Karte oder Da
tenstruktur 42 auf, die betreibbar ist, um die äquivalen
te Kapazität (CE) auf der Leitung 44 als eine Eingangs
größe in die Karte 42 aufzunehmen. Die empirische Karte
oder Datenstruktur 42 wird vorzugsweise von den ferro
elektrischen Polarisationshysteresekurven der Betäti
gungsvorrichtung 12 abgeleitet, um die abgeschätzte Tem
peratur auf der Leitung 30 zu erzeugen. Die äquivalente
Kapazität (CE) ergibt effektiv einen einzigartigen Nei
gungswert in den ferroelektrischen Polarisationshystere
sekurven, die mit der abgeschätzten Temperatur in der Nä
he der Betätigungsvorrichtung 12 korreliert bzw. in Be
ziehung gesetzt werden kann, wie dem Fachmann offensicht
lich sein wird. Die Datenstruktur 42 kann auch eine Nach
schautabelle sein, die in dem RAM bzw. Arbeitsspeicher
oder dem ROM bzw. Lesespeicher gespeichert ist, weiter
einen Programmalgorithmus oder eine verkabelte Schaltung,
wie dem Fachmann offensichtlich sein wird, und zwar be
treibbar zur Erzeugung einer Ausgangsgröße auf der Lei
tung 30, wobei die abgeschätzte Temperatur einen Wert
oder Parameter besitzt, der von der empirischen Karte 42
ansprechend auf die äquivalente Kapazität (CE) auf der
Eingangsleitung 44 definiert wird.
Alternativ ist wie in Fig. 2 gezeigt, wo gleiche Bezugs
zeichen gleiche Teile darstellen, ein Steuersystem 10'
gemäß eines weiteren Aspektes der vorliegenden Erfindung
zur Temperaturkompensation der Betätigungsvorrichtung 12
gezeigt. In diesem Ausführungsbeispiel wird die Polarisa
tionsabschätzschaltung 32 der Fig. 1 durch einen Tempe
ratursensor 46 ersetzt, der geeignet ist, um in der all
gemeinen Betriebsumgebung der Betätigungsvorrichtung 12
montiert zu werden. Beispielsweise könnte in einem Motor
system der Temperatursensor 46 befestigt sein, um die Mo
toröl- oder Kühlmitteltemperatur abzufühlen, oder der
Sensor könnte direkt an der Betätigungsvorrichtung 12 be
festigt sein. Auf diese Weise erzeugt der Sensor 46 eine
abgeschätzte Temperatur in der Nähe der Betriebsumgebung
der Betätigungsvorrichtung 12 als eine Eingangsgröße auf
der Leitung 30 in die zweidimensionale empirische Karte
oder Datenstruktur 28. Die Karte 28 ist betreibbar, um
das Steuersignal für die erwünschte Betätigungsvorrich
tungsposition auf der Leitung 20 aufzunehmen, und zwar
von der eindimensionalen Karte oder Datenstruktur als ei
ne Eingangsgröße in die Karte 28. Die Karte 28 ist auch
betreibbar, um die abgeschätzte Temperatur in der Nähe
der Betätigungsvorrichtung 12 auf der Leitung 30 als eine
weitere Eingangsgröße in die Karte 28 aufzunehmen. An
sprechend auf den Empfang des Steuersignals für die er
wünschte Betätigungsvorrichtungsposition auf der Leitung
20 und die abgeschätzte Temperatur in der Nähe der Betä
tigungsvorrichtung 12 auf der Leitung 30 erzeugt die Da
tenstruktur 28 als eine Ausgangsgröße auf der Leitung 26
das temperaturkorrigierte oder temperaturkompensierte
Steuersignal, das die Betätigungsvorrichtung 12 zu der
erwünschten Position oder Verschiebung treibt, anspre
chend auf die abgeschätzte Temperatur in der Nähe der Be
tätigungsvorrichtung 12. Das temperaturkorrigierte oder
temperaturkompensierte Steuersignal wird auf der Leitung
26 an die Betätigungsvorrichtungssteuerschaltung 22 ge
koppelt, um die Betätigungsvorrichtung 12 zu der er
wünschten Position oder Verschiebung bei der abgeschätz
ten Temperatur in der Nähe der Betätigungsvorrichtung zu
treiben.
Im Gebrauch wird klar sein, daß das Steuersystem 10 be
treibbar ist, um ein temperaturkorrigiertes oder tempera
turkompensiertes Steuersignal an die Betätigungsvorrich
tung 12 zu liefern, um die Betätigungsvorrichtung 12 an
die erwünschte Position oder Verschiebung zu treiben, und
zwar ansprechend auf die abgeschätzte Temperatur in der
Nähe der Betätigungsvorrichtung. Die Temperaturkompensa
tionsschaltung 24 des Steuersystems 10 eliminiert die
Notwendigkeit von komplexen und unzuverlässigen mechani
schen Vorrichtungen zum Vorsehen einer Temperaturkompen
sation der Betätigungsvorrichtung 12. Zusätzlich elimi
niert die Polarisationsabschätzschaltung 32 der Fig. 1
die Notwendigkeit eines Temperatursensors 46 (Fig. 2)
zur Abschätzung der Temperatur in der Nähe der Be
triebsumgebung der Betätigungsvorrichtung 12. Das Steuer
system 12 der vorliegenden Erfindung sieht eine genaue
Bewegungssteuerung der Betätigungsvorrichtung 12 unter
variierenden Betriebstemperaturen vor.
Während die vorliegende Erfindung durch eine Beschreibung
von verschiedenen Ausführungsbeispielen veranschaulicht
worden ist, und während diese Ausführungsbeispiele ziem
lich genau beschrieben worden sind, besteht bei den An
meldern nicht die Absicht, in irgendeiner Weise den Um
fang der beigefügten Ansprüche auf diese detaillierte
Ausführung einzuschränken oder zu begrenzen. Zusätzliche
Vorteile und Modifikationen werden dem Fachmann leicht
offensichtlich werden. Die Erfindung in ihren breiteren
Aspekten ist daher nicht auf die speziellen Details, die
entsprechende Vorrichtung und das Verfahren und das ver
anschaulichende gezeigte und beschriebene Ausführungsbei
spiel begrenzt. Entsprechend können Abweichungen von die
sen Details vorgenommen werden, ohne vom Kern oder Umfang
des allgemeinen erfindungsgemäßen Konzeptes der Anmelder
abzuweichen.
Andere Aspekte, Ziele und Vorteile der vorliegenden Er
findung können aus einem Studium der Zeichnungen, der Of
fenbarung und der beigefügten Ansprüche erhalten werden.
Claims (20)
1. Vorrichtung zur Temperaturkompensation einer piezo
elektrischen Vorrichtung die folgendes aufweist:
eine Temperaturkompensationsschaltung, die betreib bar ist, um ein erstes Steuersignal entsprechend ei ner erwünschten Position der piezoelektrischen Vor richtung aufzunehmen und ein zweites Steuersignal ansprechend auf das erste Steuersignal zu erzeugen, das ansprechend auf eine abgeschätzte Temperatur in der Nähe der piezoelektrischen Vorrichtung kompen siert ist; und
eine Steuerschaltung für eine piezoelektrische Vor richtung, die mit der Temperaturkompensationsschal tung gekoppelt ist und betreibbar ist, um das zweite Steuersignal aufzunehmen und ein drittes Steuersi gnal ansprechend auf das zweite Steuersignal zu er zeugen, das geeignet ist, um die piezoelektrische Vorrichtung in die erwünschte Position zu treiben.
eine Temperaturkompensationsschaltung, die betreib bar ist, um ein erstes Steuersignal entsprechend ei ner erwünschten Position der piezoelektrischen Vor richtung aufzunehmen und ein zweites Steuersignal ansprechend auf das erste Steuersignal zu erzeugen, das ansprechend auf eine abgeschätzte Temperatur in der Nähe der piezoelektrischen Vorrichtung kompen siert ist; und
eine Steuerschaltung für eine piezoelektrische Vor richtung, die mit der Temperaturkompensationsschal tung gekoppelt ist und betreibbar ist, um das zweite Steuersignal aufzunehmen und ein drittes Steuersi gnal ansprechend auf das zweite Steuersignal zu er zeugen, das geeignet ist, um die piezoelektrische Vorrichtung in die erwünschte Position zu treiben.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Temperatur
kompensationsschaltung eine erste Datenstruktur auf
weist, die betreibbar ist, um das erste Steuersignal
mit der abgeschätzten Temperatur in der Nähe der
piezoelektrischen Vorrichtung zu korrelieren bzw. in
Beziehung zu setzen, um das zweite Steuersignal zu
erzeugen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Temperatur
kompensationsschaltung weiter eine Polarisationsab
schätzschaltung aufweist, die mit der Steuerschal
tung für die piezoelektrische Vorrichtung gekoppelt
ist und betreibbar ist, um die ferroelektrische Po
larisation der piezoelektrischen Vorrichtung zu
schätzen.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Temperatur
kompensationsschaltung weiter eine zweite Daten
struktur aufweist, die betreibbar ist, um die Tempe
ratur in der Nähe der piezoelektrischen Vorrichtung
abzuschätzen, und zwar aus der abgeschätzten ferro
elektrischen Polarisation der piezoelektrischen Vor
richtung.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Polarisati
onsabschätzschaltung eine Komparator- bzw. Ver
gleichsschaltung aufweist, die betreibbar ist, um
eine Veränderung der Schaltung zu messen, die an die
piezoelektrische Vorrichtung angelegt wird, und zwar
über eine vorbestimmte Zeitdauer.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Polarisati
onsabschätzschaltung weiter eine Integratorschaltung
aufweist, die betreibbar ist, um den Strom zu inte
grieren, der in die piezoelektrische Vorrichtung
fließt, und zwar über eine vorbestimmte Zeitdauer.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Temperaturab
schätzschaltung einen Temperatursensor aufweist, der
betreibbar ist, um die Temperatur in der Nähe der
piezoelektrischen Vorrichtung abzuschätzen.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei die Temperatur
kompensationsschaltung eine erste Datenstruktur auf
weist, die betreibbar ist, um das erste Steuersignal
mit der abgeschätzten Temperatur in der Nähe der
piezoelektrischen Vorrichtung zu korrelieren bzw.
damit in Beziehung zu setzen, um das zweite Steuer
signal zu erzeugen.
9. Vorrichtung zur Temperaturkompensation einer piezo
elektrischen Vorrichtung, die folgendes aufweist:
eine erste Datenstruktur, die betreibbar ist, um ein erstes Steuersignal entsprechend einer erwünschten Position der piezoelektrischen Vorrichtung mit einer abgeschätzten Temperatur in der Nähe der piezoelek trischen Vorrichtung zu korrelieren bzw. in Bezie hung zu setzen, um ein zweites Steuersignal anspre chend auf das erste Steuersignal zu erzeugen, das ansprechend auf die abgeschätzte Temperatur in der Nähe der piezoelektrischen Vorrichtung kompensiert wurde; und
eine Steuerschaltung für die piezoelektrische Vor richtung, die betreibbar ist, um das zweite Steuer signal aufzunehmen und ein drittes Steuersignal an sprechend auf das zweite Steuersignal zu erzeugen, das geeignet ist, um die piezoelektrische Vorrich tung zu der erwünschten Position zu treiben.
eine erste Datenstruktur, die betreibbar ist, um ein erstes Steuersignal entsprechend einer erwünschten Position der piezoelektrischen Vorrichtung mit einer abgeschätzten Temperatur in der Nähe der piezoelek trischen Vorrichtung zu korrelieren bzw. in Bezie hung zu setzen, um ein zweites Steuersignal anspre chend auf das erste Steuersignal zu erzeugen, das ansprechend auf die abgeschätzte Temperatur in der Nähe der piezoelektrischen Vorrichtung kompensiert wurde; und
eine Steuerschaltung für die piezoelektrische Vor richtung, die betreibbar ist, um das zweite Steuer signal aufzunehmen und ein drittes Steuersignal an sprechend auf das zweite Steuersignal zu erzeugen, das geeignet ist, um die piezoelektrische Vorrich tung zu der erwünschten Position zu treiben.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, die weiter eine Polari
sationsabschätzschaltung aufweist, die mit der Steu
erschaltung für die piezoelektrische Vorrichtung ge
koppelt ist und betreibbar ist, um die ferroelektri
sche Polarisation der piezoelektrischen Vorrichtung
abzuschätzen.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, die weiter eine zweite
Datenstruktur aufweist, die betreibbar ist, um die
Temperatur in der Nähe der piezoelektrischen Vor
richtung aus der abgeschätzten ferroelektrischen Po
larisation der piezoelektrischen Vorrichtung abzu
schätzen.
12. Vorrichtung nach Anspruch 10, wobei die Polarisati
onsabschätzschaltung eine Komparatorschaltung auf
weist, die betreibbar ist, um eine Spannungsverände
rung zu messen, dis an die piezoelektrische Vorrich
tung über eine vorbestimmte Zeitdauer angelegt wor
den ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, wobei die Polarisati
onsabschätzschaltung weiter eine Integratorschaltung
aufweist, die betreibbar ist, um den Strom zu inte
grieren, der in die piezoelektrische Vorrichtung
über die vorbestimmte Zeitdauer fließt.
14. Vorrichtung nach Anspruch 9, die weiter einen Tempe
ratursensor aufweist, der betreibbar ist, um die
Temperatur in der Nähe der piezoelektrischen Vor
richtung abzuschätzen.
15. Verfahren zur Temperaturkompensation einer piezo
elektrischen Vorrichtung, das folgendes aufweist:
Empfang eines ersten Steuersignals, das einer er wünschte Position einer piezoelektrischen Vorrich tung entspricht;
Abschätzung der Temperatur in der Nähe der piezo elektrischen Vorrichtung; und
Erzeugung eines Steuersignals, das geeignet ist, um die piezoelektrische Vorrichtung zu der erwünschten Position zu treiben, wobei das Steuersignal anspre chend auf die abgeschätzte Temperatur in der Nähe der piezoelektrischen Vorrichtung temperaturkompen siert ist.
Empfang eines ersten Steuersignals, das einer er wünschte Position einer piezoelektrischen Vorrich tung entspricht;
Abschätzung der Temperatur in der Nähe der piezo elektrischen Vorrichtung; und
Erzeugung eines Steuersignals, das geeignet ist, um die piezoelektrische Vorrichtung zu der erwünschten Position zu treiben, wobei das Steuersignal anspre chend auf die abgeschätzte Temperatur in der Nähe der piezoelektrischen Vorrichtung temperaturkompen siert ist.
16. Verfahren nach Anspruch 15, wobei der Schritt der
Erzeugung des Steuersignals folgendes aufweist:
Erzeugung eines zweiten Steuersignals ansprechend auf das erste Steuersignal, das ansprechend auf die abgeschätzte Temperatur in der Nähe der piezoelek trischen Vorrichtung kompensiert ist; und
Erzeugung eines dritten Steuersignals ansprechend auf das zweite Steuersignal, das geeignet ist, um die piezoelektrische Vorrichtung zu der erwünschten Position zu treiben.
Erzeugung eines zweiten Steuersignals ansprechend auf das erste Steuersignal, das ansprechend auf die abgeschätzte Temperatur in der Nähe der piezoelek trischen Vorrichtung kompensiert ist; und
Erzeugung eines dritten Steuersignals ansprechend auf das zweite Steuersignal, das geeignet ist, um die piezoelektrische Vorrichtung zu der erwünschten Position zu treiben.
17. Verfahren nach Anspruch 15, das weiter folgendes
aufweist:
Abschätzung der ferroelektrischen Polarisation der piezoelektrischen Vorrichtung; und
Abschätzung der Temperatur in der Nähe der piezo elektrischen Vorrichtung aus der abgeschätzten fer roelektrischen Polarisation der piezoelektrischen Vorrichtung.
Abschätzung der ferroelektrischen Polarisation der piezoelektrischen Vorrichtung; und
Abschätzung der Temperatur in der Nähe der piezo elektrischen Vorrichtung aus der abgeschätzten fer roelektrischen Polarisation der piezoelektrischen Vorrichtung.
18. Verfahren nach Anspruch 15, das weiter die Abschät
zung der Temperatur in der Nähe der piezoelektri
schen Vorrichtung durch einen Temperatursensor auf
weist.
19. Verfahren nach Anspruch 16, das weiter folgendes
aufweist:
Vorsehen einer ersten Datenstruktur, die betreibbar bzw. wirksam ist, um das erste Steuersignal mit der abgeschätzten Temperatur in der Nähe der piezoelek trischen Vorrichtung zu korrelieren bzw. in Bezie hung zu setzen, um das zweite Steuersignal zu erzeu gen.
Vorsehen einer ersten Datenstruktur, die betreibbar bzw. wirksam ist, um das erste Steuersignal mit der abgeschätzten Temperatur in der Nähe der piezoelek trischen Vorrichtung zu korrelieren bzw. in Bezie hung zu setzen, um das zweite Steuersignal zu erzeu gen.
20. Verfahren nach Anspruch 17, das weiter folgendes
aufweist:
Vorsehen einer zweiten Datenstruktur, die betreibbar ist, um die Temperatur in der Nähe der piezoelektri schen Vorrichtung aus der abgeschätzten ferroelek trischen Polarisation der piezoelektrischen Vorrich tung abzuschätzen.
Vorsehen einer zweiten Datenstruktur, die betreibbar ist, um die Temperatur in der Nähe der piezoelektri schen Vorrichtung aus der abgeschätzten ferroelek trischen Polarisation der piezoelektrischen Vorrich tung abzuschätzen.
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