DE4315336B4 - Verfahren und Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur Messung und Korrektur von Prozessvariablen in folgenden Verfahrensschritten:
– messen der Prozessvariablen über Sensorelement bzw. Sensorelemente und Umformung mittels Elektronik in ein elektrisches Signal, sowie messen der Temperatur der Elektronik,
– übermitteln der Werte an einen Computer,
– Korrektur der gemessenen Prozessvariablen durch Approximation der
temperaturabhängigen Aussteuerungskennlinie der Elektronik,
dadurch gekennzeichnet,
dass zusätzlich zur Elektroniktemperatur TE die Temperatur des Sensorelementes TS gemessen und die Differenz ΔTE,S aus beiden Temperaturen ermittelt wird,
dass die gemessene Temperaturdifferenz ΔTE,S durch ein Polynom dtE,S entwickelt wird und in die temperaturabhängige Aussteuerungskennlinie zusätzlich eingeht, derart, dass daraus eine resultierende Aussteuerungskennlinie ermittelt wird, welche zur Korrektur der gemessenen Prozessvariablen verwendet wird.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen gemäß Oberbegriff der Patentansprüche 1 und 5.
  • Beim vorliegenden Verfahren werden Prozeßvariable, beispielsweise Druck, über Sensorelemente gemessen und anschließend in ein elektronisch verarbeitbares elektrisches Signal umgeformt. Neben der eigentlichen Prozeßvariablen wird zur Qualifizierung der Fehlerbehaftetheit der Aussteuerungskennlinie der Elektronik ebenfalls die Temperatur der Elektronik gemessen. Hierzu sind Temperatursensoren eingesetzt die zumeist in die Elektronik implementiert werden. Nach Umformung der gemessenen physikalischen Größe in ein elektrisches Signal erfolgt eine Digitalisierung und Übermittlung der Werte an einen Computer. In diesem Computer erfolgt die Korrektur der gemessenen Prozeßvariablen durch Approximation der temperaturabhängigen Aussteuerungskennlinie der Elektronik.
  • Zur Approximation der gemessenen temperaturabhängigen Aussteuerungskennlinie der Elektronik werden zumeist mathematische Reihenentwicklungen angewendet. Abhängig von der gemessenen Temperatur wird dann der elektrisch umgeformte Prozessvariablenwert korrigiert. Hierzu legt man zur Eichung des Verfahrens zumeist einen Referenzzustand fest, bei dem der Aussteuerungswert welcher proportional zur Prozessvariablen ist, kompensiert ist.
  • Aus der Werbeschrift der Firma Honeywell (34-st-05-01, 6/83 page 1 of 8) "st 3000 transmitter and sfc smart field communicator" ist eine nach dieser Maßgabe arbeitende Einrichtung bekannt, bei der im Bereich der Elektronik ein Temperaturfühler vorgesehen ist.
  • In diesem, wie in werteren bekannten Verfahren und Einrichtungen ergibt sich das Problem, dass Sensor, das heißt Prozessvariablensensor und Umformungs- beziehungsweise Übertragungselektronik zwei Baugruppen bilden, die jede für sich gewisse Temperaturabhängigkeiten produziert. Bei den bekannten Verfahren und Einrichtungen wird nachteiligerweise der Entstehungsort der Temperaturabhängigkeiten nicht differenziert betrachtet, was unter Umständen zu einer nut unvollständigen Temperaturkompensation führt.
  • Ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 ist aus der DE 28 52 570 A1 bekannt, wobei hier zusätzlich zur Elektroniktemperatur die Temperatur des Sensorelementes gemessen und eine Differenz der beiden Werte ermittelt, die zur Korrektur der gemessenen Prozessvariablen verwendet wird.
  • Ferner ist es aus der DE 34 24 288 C2 ein vergleichbares Verfahren bekannt, wobei hier die Temperatur gemessen und zur Kompensation eines Temperaturfehlers verwendet wird.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren sowie eine Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozessvariablen der gattungsgemäßen Art derart weiterzubilden, dass Temperatureffekte differenzierter bewertbar, und entsprechend genauer kompensiert werden können.
  • Die gestellte Aufgabe wird hinsichtlich eines Verfahrens der gattungsgemäßen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zusätzlich zur Elektroniktemperatur die Temperatur des Sensorelementes gemessen, die Differenz aus beiden Temperaturen ermittelt und zur Korrektur der gemessenen Prozeßvariable berücksichtigt wird. In Ausgestaltung der Erfindung wird die Differenz dTE,S aus der Temperatur der Elektronik und der Temperatur des Sensorelementes in einer Funktion dTE,S = a0 + b0 × ΔTE,S berücksichtigt, welche zu der approximierten Funktion der temperaturabhängigen Aussteuerungskennlinie addiert wird. Eine solche Vorgehensweise ist in den allermeisten Fällen schon ausreichend und führt zu dem Ziel, daß die Temperaturkompensationsgüte gegenüber bekannten Maßnahmen und Verfahren schon erheblich gesteigert wird. Für den Fall, daß Elektronik und Sensor schon keinen stabilen Referenzzustand mehr definierbar machen, ist es zweckmäßig in einer zweiten alternativen Ausgestaltungsmöglichkeit die Berücksichtigung der Temperaturdifferenz zwischen Elektroniktemperatur TE und Sensorelementtemperatur TS multiplikativ in dem die Aussteuerungskennlinie approximierenden Polynom TK berücksichtigen. Das die Aussteuerungskennlinie approximierende Polynom TK (T) wird dabei mit der Funktion dTE = a0 + b0ΔTE,S multipliziert, welche die Temperaturdifferenz zwischen Elektronik und Sensorelementtemperatur TS berücksichtigt. Die Korrektur erfolgt in diesem Fall durch eine multiplikative Berücksichtigung der Temperaturdifferenz in allen zu berücksichtigenden Koeffizienten der Potenzen des Polynomes. Bei der Approximation der Aussteuerungskennlinie durch das benannte Polynom werden bekanntermaßen Koeffizienten gebildet, die jeweils beispielsweise den quadratischen, den kubischen oder Anteile höherer Ordnung am Gesamtanteil der Funktion wichten. Durch die multiplikative Berücksichtigung wird dieser zusätzlich gemessene Temperatureffekt ebenfalls gewichtet in allen zu berücksichtigenden Koeffizienten. Dies führt zu einer genauen und differenzierten Berücksichtigung auftretender Temperaturunterschiede zwischen Sensorelement und Elektronik. Diese treten grundsätzlich dann auf, wenn die Aussteuerung der Elektronik zunimmt, wodurch der Leistungsbedarf steigt und somit Verlustwärme erzeugt wird. Eine solche multiplikative Berücksichtigung der Temperaturdifferenz ist jedoch nur dann gerechtfertigt, da sie aufwendiger ist, wenn die Differenztemperatureffekte so groß sind, daß für eine gewünschte Kompensationsgüte diese zwingend ist. Ansonsten ist eine Kompensation durch additive Berücksichtigung der Differenztemperatur – wie oben beschrieben – völlig ausreichend.
  • Bei einer thermisch räumlichen Trennung von Sensorelement und Elektronik heizt sich die Elektronik gegenüber dem Sensor auf, und die Rückbezugnahme auf den Referenzzustand, bei dem Sensor und Elektronik auf gleicher Temperatur sind im Stand der Technik nicht möglich. Durch die Bewertung der Temperaturdifferenz zwischen Elektronik und Sensorelement ist dies aber bei der vorliegenden Erfindung wieder möglich. In weiterer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird bei der Funktion dTE,S zusätzlich die zeitliche Entwicklung des Temperaturgradienten zwischen Sensorelement und Elektronik berücksichtigt. Dies verfeinert das Meßverfahren in dem Falle, indem beispielsweise höhere Aussteuerungen mit höherer Leistung nur kurzfristig erfolgen, so daß eine Erwärmung der Elektronik weitgehend unterhleibt, oder für den Fall, daß die Elektronik und das Sensorelement thermisch gekoppelt sind, wodurch die Erwärmung der Elektronik auch direkt oder indirekt zu einer Erwärmung des Sensorelementes führt.
  • Hinsichtlich der Einrichtung ist die gestellte Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mindestens ein weiterer Temperaturfühler vorgesehen ist, welcher am Sensor angeordnet ist. In weiterer Ausgestaltung ist der Sensor als Drucksensor ausgebildet. Besonders vorteilhaft können hierbei kapazitiv arbeitende Drucksensoren eingesetzt werden. Solche kapazitiv arbeitende Drucksensoren bestehen in der Regel aus einem keramischen Träger in Plattenform, sowie mindestens einer zumeist ebenfalls keramischen Membran, die zur Trägerplatte beabstandet gehalten ist. Zwischen Membran und Trägerplatte wird ein Meßraum gebildet, und die sich zugewandten Innenoberflächen dieses Meßraumes sind mit leitenden Schichten versehen, so daß ein Durchbiegung der Membran den Abstand der leitenden Schichten zueinander ändert. Dies führt zu einer Kapazitätsänderung die hierbei gemessen werden kann. Besonders bei solchen Drucksensoren ist eine Temperaturkompensation von großer Bedeutung.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung können Sensor und Elektronik thermisch isoliert voneinander angeordnet sein. Alternativ dazu können Sensor und Elektronik jedoch auch thermisch gekoppelt sein. Hierzu ist in weiterer Ausgestaltung vorgesehen Sensor und Elektronik innerhalb des gemeinsamen Gehäuses anzuordnen. In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß die Einrichtung aus mehreren Sensoren besteht, denen jeweils eine Umformer- bzw. Übertragungselekronik zugeordnet ist. Der Computer ist als Zentralcomputer vorgesehen, welchem über elektrische Mittel die Meßwerte jedes Sensors übertragbar sind. Die elektrischen Mittel können dabei in weiterer Ausgestaltung im wesentlichen aus einem elektronischen Datenbus bestehen, über welchen sowohl die Meßwerte der Prozeßvariablen als auch die Temperaturmeßwerte jedes Sensors dem Computer übertragbar sind. Alternativ dazu ist vorgeschlagen, daß an den Sensoren elektrische Mittel zur Funkübertragung vorgesehen sind, über welche jeweils sowohl Prozeßvariablenmeßwert als auch der dem Prozeßvariablenwert zugeordnete Temperaturwert übertragbar sind.
  • Insgesamt ergibt sich bei dem erfindungsgemäß vorgeschlagenen Verfahren sowie der Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen, daß neben der Berücksichtigung der Temperatur der Elektronik auch die Temperatur des Sensorelementes berücksichtigt werden kann und aus der Differenz der beiden Temperaturen nun die Kompensation vorgenommen wird. Dies führt zu einer differenzierteren Bewertung der Temperaturabhängigkeit und somit auch zu einer genaueren Kompensation. Zusätzlich ergibt sich da der Vorteil, daß durch diese kombinierte Berücksichtigung beider Temperaturen die Güte bzw. Qualität der Elektronik geringer sein kann, ohne daß die Qualität der Meßwerte bzw. der kompensierten Meßwerte darunter leidet. Dies führt dazu, daß die Elektronik unter Verwendung preiswerterer Elemente deutlich verbilligt wird.
  • Die Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und im Nachfolgenden näher beschrieben. Es zeigt:
  • 1 schematische Darstellung der Wirkung des Verfahrens
  • 2 Meßeinrichtung.
  • 1 zeigt die Wirkungsweise des erfindungsgemäßen Verfahrens anhand der Aussteuerungskennlinie. Dargestellt ist die Aussteuerungskennlinie bei einem Drucksensor. Hierbei ist die Aussteuerung A über der Temperatur T aufgetragen. Die Aussteuerung A stellt den in ein elektrisches Signal umgeformten analogen druckproportionalen Wert dar. In dieser Darstellung ist nicht die Abhängigkeit des Aussteuerungswertes vom Druck dargestellt, sondern nur die Aussteuerungskennlinie, daß heißt die Abhängigkeit des Aussteuerungswertes von der Temperatur. Das heißt mit anderen Worten der Aussteuerungswert weist neben der gewollten Druckabhängigkeit noch eine ungewollte Temperaturabhängigkeit auf.
  • Bei der Aufnahme der Aussteuerungskennlinie wird von einem Referenzzustand ausgegangen, daß heißt man nimmt über den gesamten Temperaturbereich an, daß Elektronik und Sensor immer auf gleicher Temperatur sind. Unter dieser Annahme ergibt sich dann die dargestellte Kurve.
  • Bei bekannten Verfahren setzt man dabei immer voraus, daß dies näherungsweise gegeben ist, und daß zwischen Sensorelement und Elektronik kein Temperaturunterschied ist. Tatsächlich zeigt sich jedoch, daß bei der Umformung des Sensorsignales zunächst in ein analoges elektrisches Signal je nach Ausgangswert, daß heißt je nach gemessenem Druckwert, der Leistungsbedarf und damit die Verlustwärme der Elektronik steigt. Bei niedrigen Aussteuerungswerten, sprich bei kleinen Druckwerten, ist die Wärmeerzeugung vernachlässigbar. Steigt der Druck jedoch stark an, so steigt auch die Aussteuerung der Elektronik und es entsteht Verlustwärme. Sobald sich in der Praxis ergibt, daß diese Aussteuerungsanstiege nicht sprungartig und kurz, sondern von derartiger Dauer sind, daß eine entsprechende thermische Verlustleistung ansteht und die Elektronik aufheizt, und somit eine Temperaturdifferenz zwischen Elektronik und Sensorelement entsteht. Dies hat dann die Wirkung, daß man sich nicht mehr auf der wie in 1 dargestellten Aussteuerungskennlinie befindet, da diese ja über den gesamten Temperaturbereich unter der Bedingung aufgenommen ist, daß zwischen Sensorelement uund Elektronik zueinander keine Temperaturdifferenz vorhanden ist. Eine Aufheizung der Elektronik gegenüber dem Sensor führt also zu einer Abweichung von dieser Aussteuerungskennlinie.
  • Geht man, wie bei üblichen Verfahren bekannt, immer davon aus, daß keine Temperaturdifferenz zwischen Elektronik und Sensor herrscht, so kann man die Messwerte entsprechend der approximierten Aussteuerungskennlinie kompensieren. Für den oben benannten Fall, daß die Temperaturen zwischen Elektronik und Sensorelement verschieden sind, stimmt diese Aussteuerungskennlinie, und damit die Temperaturkompensation nicht mehr. Beim erfindungsgemäßen Verfahren hat sich gezeigt, daß sich beim Auftreten von Differenztemperatur zwischen Elektronik und Sensorelement die Aussteuerungskennlinie näherungsweise parallel verschiebt. Näherungsweise heißt hierbei, daß es wahrscheinlich neben der Parallelverschiebung auch noch eine Drehung geben kann. Diese ist jedoch in den allermeisten Fällen unerheblich.
  • Die Aussteuerungskennlinie in ursprünglich bekannter Weise, wie dies der durchgezogene Kurvenverlauf aus 1 zeigt geht in die ansicht bekannte Temperaturkompensation ein, bei der die Aussteuerungskennlinie durch eine approximierte Funktion genähert wird. Diese Funktion bleibt auch weiterhin Bestandteil der Kompensation insgesamt. Hinzu kommt jetzt jedoch in einer Ausgestaltungsversion der Erfindung eine zusätzliche additive Temperaturkompensation beim Auftreten von unterschiedlichen Temperaturen zwischen Elektronik und Sensor der Gestalt: dTE,S = a0 + b0 × ΔTE,S.
  • Diese Funktion wird in einem Ausführungsbeispiel der Erfindung auf die durch das Polynom AK (T) approximierter Aussteuerungskennlinie aufaddiert. Die Summe aus beiden ist die resultierende Aussteuerungskennlinie, die dann temperaturkompensiert wird.
  • Diese gesamtbetrachtete resultierende Aussteuerungskennlinie ist in 1 parallel verschoben als gestrichelter Kurvenverlauf dargestellt.
  • In alternativer Ausgestaltung der Erfindung wird die zusätzlich berücksichtigte genannte Funktion DTE,S = a0 + b0 × ΔTE,S mit dem Polynom AK (T) multipliziert. Dabei geht die Funktion dTE,S in jedes einzelne Glied, entsprechend gewichtet nach der Größe der Koeffizienten, des Polynoms ein. Eine solche Berücksichtigung ist nur dann sinnvoll, wenn die Kompensation noch feinfühliger sein muß.
  • Zum besseren Verständnis sein hier noch mal darauf hingewiesen, daß die Darstellung gemäß 1 die Aussteuerungskennlinie in Abhängigkeit von der Temperatur zeigt. Im genannten Beispiel geht es jedoch nicht um die Bestimmung der Temperatur als solches, sondern um die Messung des Druckes. Das benannte Verfahren befaßt sich jedoch mit der Kompensation der störenden Temperaturabhängigkeit. Natürlich ist die Aussteuerung A im wesentlichen abhängig vom Druck, so daß sich A als Funktion von Druck und Temperatur ergibt. Die Funktion A (P,T) wäre somit eigentlich dreidimensional darzustellen. Die Darstellung in 1 zeigt jedoch eine Projektion dieser Funktion in Abhängigkeit von der Temperatur, weil genau diese Temperaturabhängigkeit im nachgeordneten Computer kompensiert wird.
  • 2 zeigt den Aufbau und die Zuordnung der einzelnen apparativen Komponenten zueinander. Hierbei stellt 2 jedoch kein elektrisches Schaltbild, sondern nur eine funktionsmäßige Zuordnung dar. Innerhalb eines Gehäuses 10 ist der Drucksensor 1 angeordnet, welcher mit Druckeingängen 1' und 1'' versehen ist. Dieser Sensor, bzw. Drucksensor ist demnach als Differenzdrucksensor ausgebildet. Der so abgenommene druckabhängige kapazitive Wert wird einem Umformer 3 zugeführt, der druckproportionale elektrische Ausgangswerte erzeugt. Der Ausgang- bzw. Aussteuerungswert wird dann einem AD-Wandler 5 zugeführt, der die Meßwerte digitalisiert, und anschließend über eine Übertragungstrecke 6 dem Rechner 7 zuführt. Die Übertragungsstrecke 6 kann entweder als Busleitung oder als Funkstrecke ausgebildet sein. Auf dem Umformer, daß heißt auf der Umformerelektronik 3 ist ein Temperaturfühler 4 vorgesehen. Umformer 3 und AD-Wandler 5 können jedoch auch gemeinsam auf einer Elektronikplatine dargestellt sein, auf dem der Temperaturfühler 4 angeordnet ist. Ein weiterer Temperaturfühler 2 ist auf dem Prozeßvariablensensor, in diesem Falle dem Drucksensor angeordnet. Der Ausgangswert dieses Temperaturfühlers wird dann ebenfalls über den AD-Wandler 5 digitalisiert und über die Übertragungsstrecke 6 dem Rechner 7 zugeführt. Innerhalb des Rechners wird die Differenz aus den Temperaturen der Temperaturfühler 2 und 4 ermittelt. Die Temperaturdifferenz wird dabei in der oben dargestellten Verfahrensweise in der Approximation der temperaturabhängigen Aussteuerungskennlinie mitberücksichtigt und die Temperaturkompensation mit einbezogen. Die Differenzbildung kann jedoch auch schon im Bereich des AD-Wandlers, daß heißt in dem Elektronikbereich vorgenommen werden, der der Übertragungsstrecke 6 vorgeschaltet ist. Somit könnte die Temperaturdifferenz sogleich übertragen werden, so daß die Differenzbildung im Rechner nicht mehr erfolgen muß. Drucksensor 1 sowie Umformer 3 und AD-Wandler 5 sind zwar zu allermeist innerhalb eines gemeinsamen Gehäuses 10 angeordnet, jedoch ergibt sich durch die apparative Trennung zwischen Drucksensor und Elektronik ein Temperaturgradient. Dieser in der Praxis oft auftretende Temperaturgradient zwischen Sensor und Elektronik wird mit der vorliegenden Erfindung in der Temperaturkompensation der Aussteuerung mitberücksichtigt.

Claims (13)

  1. Verfahren zur Messung und Korrektur von Prozessvariablen in folgenden Verfahrensschritten: – messen der Prozessvariablen über Sensorelement bzw. Sensorelemente und Umformung mittels Elektronik in ein elektrisches Signal, sowie messen der Temperatur der Elektronik, – übermitteln der Werte an einen Computer, – Korrektur der gemessenen Prozessvariablen durch Approximation der temperaturabhängigen Aussteuerungskennlinie der Elektronik, dadurch gekennzeichnet, dass zusätzlich zur Elektroniktemperatur TE die Temperatur des Sensorelementes TS gemessen und die Differenz ΔTE,S aus beiden Temperaturen ermittelt wird, dass die gemessene Temperaturdifferenz ΔTE,S durch ein Polynom dtE,S entwickelt wird und in die temperaturabhängige Aussteuerungskennlinie zusätzlich eingeht, derart, dass daraus eine resultierende Aussteuerungskennlinie ermittelt wird, welche zur Korrektur der gemessenen Prozessvariablen verwendet wird.
  2. Verfahren zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Differenz dTE,S der Temperatur der Elektronik und der Temperatur des Sensorelementes in einer Funktion dTE,S = a0 + b0ΔTE,S berücksichtigt wird, welche zu der approximierten Funktion der temperaturabhängigen Aussteuerungskennlinie additiert wird.
  3. Verfahren zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine durch ein Polynom AK (T) approximierte Aussteuerungskennlinie mit einer Funktion dTE,S = a0 + b0ΔTE,S multipliziert wird, welche die Temperaturdifferenz zwischen Elektroniktemperatur TE und Sensorelementtemperatur TS berücksichtigt.
  4. Verfahren zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Koeffizient b0 der Funktion dTE,S zusätzlich die zeitliche Entwicklung des Temperaturgradienten zwischen Sensorelement und Elektronik berücksichtigt.
  5. Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen mit mindestens einem Sensor zur Messung der Prozeßvariablen, einer mit einem Temperaturfühler versehenen Umformer- und Übertragungselektronik zur Aufbereitung und Übermittlung der gemessenen Werte an einen Computer, welcher mit Mitteln zur Approximation der temperaturabhängigen Aussteuerungskennlinie der Umformer- und Übermittlungselektronik ausgestattet ist, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein weiterer Temperaturfühler vorgesehen ist, welcher am Sensor angeordnet ist.
  6. Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor als Drucksensor ausgebildet ist.
  7. Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Drucksensor als kapazitiv arbeitender Drucksensor ausgebildet ist.
  8. Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen nach einem oder mehreren der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß Sensor und Elektronik thermisch isoliert voneinander angeordnet sind.
  9. Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß Sensor und Elektronik thermisch gekoppelt sind.
  10. Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß Sensor und Elektronik innerhalb eines gemeinsamen Gehäuses angeordnet sind.
  11. Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen nach einem oder mehreren der Ansprüche 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung aus mehreren Sensoren besteht denen jeweils eine Umformer- und Übertragungselektronik zugeordnet ist, und daß der Computer als Zentralcomputer vorgesehen ist, welchem über elektrische Mittel die Meßwerte jedes Sensors übertragbar sind.
  12. Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die elektischen Mittel im wesentlichen aus einem elektronischen Datenbus bestehen, über welchen sowohl die Meßwerte der Prozeßvariablen als auch die Temperaturmeßwerte jedes Sensors dem Computer übertragbar sind.
  13. Einrichtung zur Messung und Korrektur von Prozeßvariablen nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß an den Sensoren elektrische Mittel zur Funkübertragung vorgesehen sind, über welche jeweils sowohl Prozeßvariablenmeßwert als auch der dem Prozeßvariablenmeßwert zugeordneten Temperaturwert übertragbar sind.
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