DE10107142A1 - Verfahren zur Herstellung eines chipförmigen Halbleiterbauelements und damit herstellbares Halbleiterbauelement - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines chipförmigen Halbleiterbauelements und damit herstellbares HalbleiterbauelementInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleiterbauelements, insbesondere Feldeffekttransistorchips, bei dem metallische Elektrodenkontakte an der Chipoberfläche zur Kontaktierung frei liegen, wobei die Chipseitenkante zur Kontaktierung wenigstens einer Elektrode des Bauelements verwendet wird. Das Herstellungsverfahren lässt sich in einen Front-End-Prozess integrieren, indem der Rand der Chipvorderseiten fototechnisch und durch Ätzung strukturiert wird, um Gräben bis zu einigen 100 mum Tiefe in den Wafer zu ätzen, die anschließend mit Metall gefüllt werden und dann die seitliche Metallisierung an den Chipkanten (5) bilden.
Description
Die Erfindung betrifft insbesondere das Gebiet der chipförmi
gen Halbleiterbauelemente und ein Verfahren zur Herstellung
eines Feldeffekttransistorchips.
Bei bekannten oder handelsüblichen Leistungsfeldeffekttransi
storen liegt der Drainkontakt auf der Chiprückseite, und die
Chipkante bleibt ungenutzt. Dies schränkt die Funktionalität
eines derartigen Leistungshalbleiterbauelements ein, da die
Chiprückseite elektrisch nicht isoliert und dadurch auch
nicht als rein thermischer Kontakt zur Abfuhr der beim Be
trieb des Leistungshalbleiterbauelements entstehenden Wärme
genutzt werden kann. Außerdem konnte durch den auf der Chip
rückseite realisierten Drainkontakt der bekannten Leistungs
halbleiterbauelemente die Drainkontaktierung nicht auf der
Chipvorderseite, das heißt nicht auf der vom Verdrahtungs
substrat abgewendeten Chipoberfläche realisiert werden.
Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Her
stellung eines chipförmigen Halbleiterbauelements, insbeson
dere eines Leistungsfeldeffekttransistorchips und ein derar
tiges Halbleiterbauelement mit erhöhter Funktionalität anzu
geben, bei dem die Chiprückseite elektrisch isoliert und zu
einem rein thermischen Kontakt genutzt werden kann.
Diese Aufgabe wird anspruchsgemäß gelöst.
Gemäß dem wesentlichen Aspekt zeichnet sich das erfindungsge
mäße Herstellungsverfahren dadurch aus, dass die Chipseiten
kante zur Kontaktierung wenigstens einer Elektrode des Halb
leiterbauelements verwendet wird.
Bevorzugt wird bei einem Feldeffektleistungstransistorchip
die Chipseitenkante zur Herstellung des Drainkontakts verwen
det. Damit lässt sich die externe Drainkontaktierung auf der
Chipvorderseite realisieren.
Durch die Verwendung der Chipseitenkante als Drainkontakt
wird eine Metallisierung dieser Chipkante notwendig. Diese
Metallisierung dient der Verringerung des Übergangswiderstan
des und ermöglicht die externe Kontaktierung durch Bonddrähte
oder Flipchipmontage. Diese seitliche Metallisierung der
Chipkante wird, wie folgt, in einem Front-End-Prozess ausge
führt:
Der Rand der Chipvorderseiten wird fototechnisch struktu
riert, um Gräben bis zu einigen 100 µm Tiefe in den Wafer zu
ätzen. Die Gräben können aber auch gesägt und dann zerstörend
geätzt werden. Diese Gräben werden dann mit Metall gefüllt
und bilden die seitliche Metallisierung. Auf der Chipvorder
seite werden anschließend noch die Anschlussflächen für die
externe Kontaktierung realisiert.
Zur Abfuhr der beim Betrieb des Leistungshalbleiterbauele
ments entstehenden Wärme kann somit die Chiprückseite zum
Aufbringen einer elektrischen Isolierschicht und einer dar
über liegenden Rückseitenmetallisierung verwendet werden.
Beim Zuschneiden des Wafers in einzelne Chips kann die Säge
spur entweder in die metallisierten Abschnitte an der Chip
seitenkante oder auch außerhalb dieser metallisierten Ab
schnitte an der Chipseitenkante gelegt werden.
Die nachfolgende Beschreibung beschreibt unter Bezug auf die
beiliegende Zeichnung ein erfindungsgemäßes Herstellungsver
fahren anhand von Beispielen eines mit dem Herstellungsver
fahren herstellbaren Leistungsfeldeffekttransistors.
Die Figuren der Zeichnung zeigen im einzelnen:
Fig. 1 einen schematischen Querschnitt durch einen er
findungsgemäßen Feldeffekttransistorchip, bei dem
die Sägespur in der seitlichen Metallisierung
liegt, und
Fig. 2 einen schematischen Querschnitt durch einen er
findungsgemäßen Feldeffekttransistorchip, bei dem
die Sägespur außerhalb der nach oben geführten
Kantenkontaktierung liegt.
Bei dem in Fig. 1 in Form eines schematischen Querschnitts
dargestellten Feldeffekttransistorchip 1 befinden sich an
zwei gegenüberliegenden Chipseitenkanten 5 Kontaktierungsab
schnitte 8 aus Metall, die als Drainkontakte dienen und mit
Anschlussflächen 6 auf der Chipvorderseite 4 in elektrischer
Verbindung stehen. Fig. 1 zeigt ferner auf der Chipvordersei
te 4 eine Anschlussfläche 7, die den Gate- oder Sourcean
schluss bildet. Die auf der Chipvorderseite 4 gebildeten An
schlussflächen 6, 7 liegen auf einer EPI-Schicht 11, die ih
rerseits auf einem Substrat 10 liegt. Die Chiprückseite 3 ist
mit einer elektrischen Isolierschicht 9 elektrisch isoliert,
so dass die Chiprückseite zum reinen, thermischen Kontakt ge
nutzt werden kann.
Um die Chipkante 5 für die Drainkontakte zu nutzen, ist eine
Metallisierung dieser Chipseitenkante notwendig. Diese Metal
lisierung dient der Verringerung des Übergangswiderstandes
und ermöglicht die externe Kontaktierung durch Bonddrähte
oder Flipchipmontage.
Bevorzugt ist die seitliche Metallisierung in einem Front-
End-Prozess integriert:
Der Rand der Chipvorderseite 4 wird auf dem Wafer fototech
nisch strukturiert, um Gräben bis zu einer Tiefe T von 100
bis annähernd 600 µm zu ätzen. Die Gräben können aber auch
gesägt und dann damage-geätzt werden. Anschließend werden
diese Gräben mit Metall gefüllt und bilden die seitlichen, me
tallisierten Abschnitte 8. Auf der Chipvorderseite 4 werden
dann noch die Anschlussflächen 6, 7 für die externe Kontak
tierung gebildet. Es ist zu erwähnen, dass bei dem in Fig. 1
gezeigten Ausführungsbeispiel die Sägespur, mit der der Wafer
in die einzelnen Chips geteilt wird, in den seitlichen, metal
lisierten Abschnitten 8 liegt.
Bei dem in Fig. 2 ebenfalls in einem schematischen Quer
schnitt gezeigten, zweiten Ausführungsbeispiel liegt die Säge
spur dagegen außerhalb der nach oben geführten, seitlichen, me
tallischen Abschnitte 8 zur Drainkontaktierung.
Dem Fachmann sollte unmittelbar deutlich machen, dass die in
den Fig. 1 und 2 gezeigten Ausführungsbeispiele lediglich
schematisch zu verstehen sind und dass die benötigte Kontakt
fläche, das heißt die Fläche der seitlichen, metallisierten
Abschnitte 8 um so größer sein muss, je größer der Chip, das
heißt, je größer die Nennleistung eines solchen Leistungshalb
leiterbauelements ist.
Die nachstehende Tabelle zeigt anhand mehrerer, nach dem her
kömmlichen Herstellungsverfahren realisierter Halbleiterbau
elemente und nach dem erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren
realisierter Halbleiterbauelemente den Anteil des Substrates
am gesamten Produktwiderstand der beiden Technologien bezüg
lich Standard-Rückseitenkontakt und dem erfindungsgemäß vor
geschlagenen Chipkantenkontakt für unterschiedliche Chipflä
chen auf.
Das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren ermöglicht somit
eine Kontaktierung zur Herstellung des Elektrodenkontakts an
der Chipkante durch eine Metallisierung derselben, die entwe
der die Gesamtfläche der Chipkanten oder nur einen Teil der
selben, das heißt diese abschnittsweise bedecken kann.
1
Leistungshalbleiterbauelement
3
Chiprückseite
4
Chipvorderseite
5
Chipseitenkante
6
Anschlussfläche für die Drainelektrode
7
Anschlussfläche für die Gate- oder Sourceelektrode
8
seitliche, metallisierte Abschnitte
9
Rückseitenisolierung
10
Substrat
11
EPI-Schicht
12
Rückseitenmetallisierung
Claims (12)
1. Verfahren zur Herstellung eines chipförmigen Halbleiter
bauelements, insbesondere Feldeffekttransistorchips, bei dem
metallische Elektrodenkontakte an der Chipoberfläche zur Kon
taktierung freiliegen,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Chipseitenkante (5) zur Kontaktierung wenigstens ei
ner Elektrode des Bauelements (1) verwendet wird.
2. Herstellungsverfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Chipseitenkante (5) als Drainkontakt verwendet wird.
3. Herstellungsverfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
dass zur Herstellung des Drainkontakts wenigstens eine Chip
seitenkante (5) zumindest abschnittsweise metallisiert wird.
4. Herstellungsverfahren nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Metallisierung der Chipseitenkante (5) in einem
Front-End-Prozess ausgeführt wird.
5. Herstellungsverfahren nach Anspruch 3 oder 4,
dadurch gekennzeichnet,
dass bei Herstellung der metallisierten Abschnitte (8) an der
Chipseitenkante (5) der Rand der Chipvorderseite (4) foto
technisch strukturiert oder eingesägt wird, um Gräben bis zu
einigen 100 µm Tiefe in den Wafer zu ätzen und dass diese
Gräben anschließend mit Metall gefüllt werden.
6. Herstellungsverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
dass die metallisierten Elektrodenkontakte (8) an der Chip
seitenkante (5) mit entsprechenden Anschlussflächen (6) auf
der Chipvorderseite (4) in Verbindung gebracht werden.
7. Herstellungsverfahren nach einem der vorangehenden Ansprü
che,
dadurch gekennzeichnet,
dass eine elektrische Isolierschicht (9) auf die Chiprücksei
te (3) aufgebracht wird.
8. Herstellungsverfahren nach einem der vorangehenden Ansprü
che,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Sägespur beim Zuschneiden des Wafers in einzelne
Halbleiterbauelemente bzw. Chips in die metallisierten Ab
schnitte (8) der Chipseitenkante gelegt wird.
9. Herstellungsverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Sägespur beim Zerschneiden des Wafers in einzelne
Halbleiterbauelemente bzw. Chips außerhalb der metallisierten
Abschnitte (8) der Chipseitenkante gelegt wird.
10. Halbleiterbauelement, insbesondere Feldeffekttransistor
chip,
gekennzeichnet durch
wenigstens einen an oder auf der Chipseitenkante (5) liegen
den, metallischen Elektrodenkontakt (8), der mit wenigstens
einer zugehörigen, metallischen Anschlussfläche (6) auf der
Chipvorderseite (4) in Verbindung steht.
11. Leistungshalbleiterbauelement nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Elektrodenkontakt (8) an der Chipseitenkante (5) ein
Drainkontakt ist.
12. Leistungshalbleiterbauelement nach Anspruch 10 oder 11,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Chiprückseite eine elektrische Isolierschicht (9)
aufweist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10107142A DE10107142A1 (de) | 2001-02-15 | 2001-02-15 | Verfahren zur Herstellung eines chipförmigen Halbleiterbauelements und damit herstellbares Halbleiterbauelement |
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DE10107142A DE10107142A1 (de) | 2001-02-15 | 2001-02-15 | Verfahren zur Herstellung eines chipförmigen Halbleiterbauelements und damit herstellbares Halbleiterbauelement |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10107142A1 true DE10107142A1 (de) | 2002-11-14 |
Family
ID=7674202
Family Applications (1)
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DE10107142A Withdrawn DE10107142A1 (de) | 2001-02-15 | 2001-02-15 | Verfahren zur Herstellung eines chipförmigen Halbleiterbauelements und damit herstellbares Halbleiterbauelement |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10107142A1 (de) |
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- 2001-02-15 DE DE10107142A patent/DE10107142A1/de not_active Withdrawn
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