DE10056936B4 - Strahlungsuntersuchungssystem und Verfahren unter Verwendung desselben - Google Patents
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Abstract
Strahlungsuntersuchungssystem, umfassend:
eine Steuer-Strahlungselektronenröhre (1) zum Projizieren von Strahlung auf einen zu untersuchenden Gegenstand (3);
einen Bildverstärker (5) zum Umwandeln einer Vielzahl von Projektionsbildern, die durch die Strahlung von der Steuer-Strahlungselektronenröhre (1) erzeugt werden, in visuelle Bilder, wobei der Bildverstärker (5) einen Teil (6) für visuelle Bilder aufweist, auf den die visuellen Bilder projiziert werden;
eine elektronische Blende (10) mit einem Übertragungsteil (11) für visuelle Bilder zum sequentiellen Übertragen der visuellen Bilder, die auf den Teil (6) für visuelle Bilder des Bildverstärkers (5) projiziert werden; und
eine Kamera (15) zum sequentiellen Fotografieren der visuellen Bilder von dem Übertragungsteil (11) für visuelle Bilder der elektronischen Blende (10);
wobei der Übertragungsteil (11) für visuelle Bilder eine Vielzahl von Polarisationsfiltern (13) aufweist, die in Abhängigkeit von angelegten elektrischen Signalen die visuellen Bilder durchlassen oder sperren,
wobei die visuellen Bilder nacheinander entlang einer Umfangsrichtung des Teils...
eine Steuer-Strahlungselektronenröhre (1) zum Projizieren von Strahlung auf einen zu untersuchenden Gegenstand (3);
einen Bildverstärker (5) zum Umwandeln einer Vielzahl von Projektionsbildern, die durch die Strahlung von der Steuer-Strahlungselektronenröhre (1) erzeugt werden, in visuelle Bilder, wobei der Bildverstärker (5) einen Teil (6) für visuelle Bilder aufweist, auf den die visuellen Bilder projiziert werden;
eine elektronische Blende (10) mit einem Übertragungsteil (11) für visuelle Bilder zum sequentiellen Übertragen der visuellen Bilder, die auf den Teil (6) für visuelle Bilder des Bildverstärkers (5) projiziert werden; und
eine Kamera (15) zum sequentiellen Fotografieren der visuellen Bilder von dem Übertragungsteil (11) für visuelle Bilder der elektronischen Blende (10);
wobei der Übertragungsteil (11) für visuelle Bilder eine Vielzahl von Polarisationsfiltern (13) aufweist, die in Abhängigkeit von angelegten elektrischen Signalen die visuellen Bilder durchlassen oder sperren,
wobei die visuellen Bilder nacheinander entlang einer Umfangsrichtung des Teils...
Description
- Die Erfindung betrifft im allgemeinen Strahlungsuntersuchungssysteme und Verfahren unter Verwendung derselben und insbesondere ein Strahlungsuntersuchungssystem und ein Verfahren unter Verwendung desselben, die ermöglichen, daß visuelle Bilder unter Verwendung einer elektronischen Blende nacheinander übertragen werden.
- Strahlung beinhaltet α-Strahlen, β-Strahlen, γ-Strahlen, Röntgenstrahlen, Neutronenstrahlen usw., die bei der Reaktion mit Materialien eine elektrolytische Dissoziation verursachen. Röntgenstrahlen sind Elektronenwellen, deren Wellenlängen im Bereich von 10–0,001 nm liegen und die solche optischen Eigenschaften wie Reflexion und Beugung usw. aufweisen. Die Wellenlängen können unter Verwendung eines Beugungsgitters exakt gemessen werden.
- Röntgenstrahlen besitzen die Fähigkeit des Durchtritts oder Durchgangs durch einen Gegenstand. Die Durchtrittsrate ändert sich in Abhängigkeit von den Materialien, der Dichte und der Dicke des Gegenstandes. Ein Röntgenstrahlerfassungsverfahren verwendet diese Eigenschaft von Röntgenstrahlen, um die Dicke und Position eines fehlerhaften Teils in dem Gegenstand aus der Differenz in der Lichtintensität eines mit Röntgenstrahlen fotografierten Films zu ermitteln.
- Röntgenstrahlen zeigen das Phänomen der Beugung, wenn sie in einen Gegenstand übertragen werden. Ein Verfahren zum Messen der Röntgenstrahlenbeanspruchung verwendet diese Eigenschaft von Röntgenstrahlen, um die Beanspruchung zu berechnen, durch Übertragen von Röntgenstrahlen in den Gegenstand und Messen einer Abmessungsänderung des Abstands zwischen den Flächen eines bestimmten Kristallgitters, auf das eine Beanspruchung aufgebracht wird, aus den gebeugten Strahlen.
- Ein Strahlungsuntersuchungssystem ist ein typisches System für einen zerstörungsfreien Test (NDT), das das Röntgenstrahlerfassungsverfahren und das Verfahren zum Messen der Röntgenstrahlbeanspruchung verwendet und systematisiert. Die Röntgenstrahlen-Durchtrittseigenschaften ändern sich in Abhängigkeit von den Materialien, der Dichte und der Dicke eines zu untersuchenden Gegenstandes, so daß die Röntgenstrahlen in Röntgenstrahlprojektionsbilder reflektiert werden. Das Strahlungsuntersuchungssystem wandelt die Röntgenstrahlprojektionsbilder in visuelle Bilder um. Das Strahlungsuntersuchungssystem führt einen zerstörungsfreien Test auf einem Teil des Gegenstandes, der von außen unsichtbar ist, auf der Basis der umgewandelten visuellen Bilder aus.
-
4 ist eine perspektivische Ansicht, die ein herkömmliches Strahlungsuntersuchungssystem schematisch zeigt, und5 ist eine perspektivische Ansicht, die teilweise einige Elemente des Systems von4 aus einem anderen Winkel zeigt. Wie dargestellt, besteht das herkömmliche Strahlungsuntersuchungssystem aus einem X-Y-Tisch57 , auf dem ein durch einen NDT zu untersuchender Gegenstand53 liegt, einer Röntgenelektronenröhre51 zum Erzeugen von Röntgenstrahlen und Projizieren der Röntgenstrahlen in den Gegenstand53 , und einem Bildverstärker55 zum Erzeugen von visuellen Bildern aus den Röntgenstrahlen, die durch den Gegenstand53 hindurchgetreten sind. Das Strahlungsuntersuchungssystem besteht ferner aus einer Bildauswahleinheit60 zum Auswählen von gewünschten visuellen Bildern aus den visuellen Bildern, die durch den Bildverstärker55 erzeugt werden, und einer Kamera65 mit ladungsgekoppeltem Bauelement (CCD) zum Fotografieren der ausgewählten Bilder und Ausgeben derselben an einem Bildsensor (nicht dargestellt). - Zwischen der Röntgenelektronenröhre
51 und dem Bildverstärker55 ist der X-Y-Tisch57 angeordnet, auf dem der Gegenstand53 liegt und der in den X-Y-Richtungen beweglich ist. Der Bildverstärker55 ist auf einem Durchtrittsweg der von der Röntgenelektronenröhre51 erzeugten Röntgenstrahlen angeordnet. Auf der unteren Seite des Bildverstärkers55 ist ein Teil56 für visuelle Bilder vorgesehen, auf den die durch den Bildverstärker55 erzeugten visuellen Bilder projiziert werden. - Die Bildauswahleinheit
60 ist entlang des Durchtrittsweges der Röntgenstrahlen unter dem Teil56 für visuelle Bilder angeordnet und umfaßt ein primäres Galvanometer61 und ein sekundäres Galvanometer62 . Das primäre Galvanometer61 weist eine Drehwelle parallel zur Ebene des Teils56 für visuelle Bilder auf und das sekundäre Galvanometer62 weist eine Drehwelle senkrecht zur Ebene des Teils56 für visuelle Bilder auf. Am einen Ende der Drehwelle des primären Galvanometers61 ist ein primärer Reflektor63 zum selektiven Reflektieren der visuellen Bilder von dem Teil56 für visuelle Bilder montiert. Am einen Ende der Drehwelle des sekundären Galvanometers61 ist ein sekundärer Reflektor64 zum selektiven Reflektieren der vom primären Reflektor63 reflektierten visuellen Bilder in Richtung der CCD-Kamera65 montiert. - Die Bildauswahleinheit
60 umfaßt ferner eine Galvanometer-Steuereinheit67 zum Steuern der Drehwinkel des primären Galvanometers61 und des sekundären Galvanometers62 , um die CCD-Kamera65 selektiv mit den visuellen Bildern, die auf den Teil56 für visuelle Bilder projiziert werden, über einen Reflexionsweg, der durch den primären Reflektor63 und den sekundären Reflektor64 optisch gebildet wird, zu versorgen. - Das primäre und das sekundäre Galvanometer
61 und62 weisen ein sehr geringes Trägheitsmoment auf, um dadurch eine präzise Servosteuerung mit hoher Geschwindigkeit zu ermöglichen. Folglich sind das primäre und das sekundäre Galvanometer61 und62 in der Lage, den primären und den sekundären Reflektor63 und64 mit hoher Geschwindigkeit präzise zu drehen, um visuelle Bilder von einem beliebigen Teil des Teils56 für visuelle Bilder zu reflektieren. - Das herkömmliche Strahlungsuntersuchungssystem arbeitet in der folgenden Weise.
- Die Röntgenelektronenröhre
51 strahlt Röntgenstrahlen in Richtung der zu untersuchenden Fläche auf dem Gegenstand53 , während sie mit konstanter Geschwindigkeit entlang einer Umfangsrichtung gedreht wird. Projizierte Bilder, die durch die Röntgenstrahlen erzeugt werden, welche durch den Gegenstand53 hindurchgetreten sind, werden auf dem Umfang auf die obere Fläche des Bildverstärkers55 projiziert. Die projizierten Bilder auf der oberen Fläche des Bildverstärkers55 werden über die Innenseite des Bildverstärkers55 in visuelle Bilder umgewandelt. Die visuellen Bilder werden auf den Teil56 für visuelle Bilder projiziert, der am unteren Ende des Bildverstärkers55 angeordnet ist. Die auf den Teil56 für visuelle Bilder projizierten visuellen Bilder werden von der Bildauswahleinheit60 ausgewählt und von der CCD-Kamera65 fotografiert. Die von der CCD-Kamera65 fotografierten visuellen Bilder werden von einem Computer (nicht dargestellt) synthetisiert und analysiert. - Das herkömmliche Strahlungsuntersuchungssystem führt jedoch aufgrund der Galvanometer
61 und62 , die als Bildauswahleinheit60 zum Auswählen von visuellen Bildern vergleichsweise teuer sind, zu hohen Produktionskosten. Außerdem kann eine Verzerrung der visuellen Bilder durch den primären und den sekundären Reflektor63 und64 im Verlauf der Übertragung der visuellen Bilder zur CCD-Kamera65 verursacht werden, wodurch sich eine Verminderung der Zuverlässigkeit des Untersuchungsergebnisses ergibt. - Um die vorstehend beschriebenen Probleme zu lösen, wurde ein Strahlungsuntersuchungssystem vorgeschlagen, das eine Vielzahl von Bildverstärkern und eine Vielzahl von CCD-Kameras entsprechend der Anzahl von projizierten Bildern, die durch die Röntgenstrahlen erzeugt werden, vorsieht, so daß visuelle Bilder, die durch den Bildverstärker
55 erzeugt werden, direkt in die jeweiligen CCD-Kameras übertragen werden können. Das Strahlungsuntersuchungssystem dieser Art ist beim unverzüglichen und präzisen Fotografieren der visuellen Bilder vorteilhaft, es erfordert jedoch nach wie vor hohe Produktionskosten. - Die US-A-5,878,107 offenbart eine Röntgenlithografievorrichtung mit einer Röntgenstrahlröhre, einem Röntgenstrahl- bzw. Bildverstärker und einer Abbildungsoptik zum Abbilden des Bildes vom Bildverstärker auf ein radiographisches Element oder einen Fluoreszenzdetektor (Kameraelemente). Das zu untersuchende Objekt ist zwischen der Röntgenstrahlröhre und dem Bildverstärker angeordnet. Zwischen dem Bildverstärker und dem radiografischen Element ist eine Hochgeschwindigkeitsverschlussblende angeordnet, die mit den Röntgenstrahlungssequenzen synchronisiert ist und als mechanisches, elektronisches oder LCD-Element ausgebildet sein kann. Die von den Kameraelementen aufgenommenen Bilder werden elektronisch weiterverarbeitet.
- Auch die US-A-5,594,770 schlägt eine Röntgenstrahluntersuchungseinrichtung vor, bei der ein Objekt mit Röntgenstrahlen aus einer Röntgenquelle durchstrahlt wird und die durchtretenden Röntgenstrahlen auf einem Bildverstärker auftreffen. Die Strahlen aus der Röntgenquelle können auf verschiedene Bereiche des Objekts ausgerichtet werden. Bei einer Ausführung tastet das optische Abbildungssystem mit einer Kamera unter Verwendung zweier Spiegel auf jeweils einem Galvanometerantrieb die Bereiche des Bildverstärkers synchron ab, auf denen gerade die durchtretenden Röntgenstrahlen auftreffen. Bei einer zweiten Ausführung werden eine Vielzahl von nebeneinander angeordneten Minisystemen aus Bildverstärker und Bildwandlungselement vorgeschlagen, bei denen die räumlich getrennten, durchtretenden Strahlen auch räumlich getrennt aufgenommen werden.
- Bei der Röntgenuntersuchungseinheit der
DE 31 34 076 C2 hat die Strahlenquelle mehrere räumlich versetzt angeordnete Röntgenelemente, die nacheinander oder teilweise zeitgleich das Objekt aus verschiedenen Richtungen durchstrahlen. Die Strahlen treffen nach dem Objekt räumlich versetzt auf einem Bildverstärker auf und werden von dort ausgangsseitig mittels eines Abbildungssystems auf einen Film oder einen Fluoreszenzschirm projiziert. Das Abbildungssystem hat eine oder mehrere Einheiten aus Linse und Verschlussblende, die um eine Achse der Untersuchungseinheit drehbar oder verschiebbar sind. Durch Drehen oder Verschieben werden die Einheit(en) an derjenigen Austrittstelle(n) des Bildverstärkers positioniert an der oder an denen gerade das gewandelte und verstärkte Bild von dem oder den aktivierten Röntgenelementen ankommt. Die zeitlich versetzten (teilweise simultanen) Teilbilder werden auf dem Film oder dem Fluoreszenzschirm überlagert. - Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Strahlungsuntersuchungssystem und ein Verfahren zur Verwendung desselben bereitzustellen, welche ermöglichen, dass visuelle Bilder unverzüglich und präzise, jedoch mit niedrigeren Produktionskosten fotografiert werden können.
- Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruchs 1 bzw. 5 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand von Unteransprüchen.
- Die Lösung der vorstehenden Aufgabe erfolgt durch die Bereitstellung eines Strahlungsuntersuchungssystems mit einer Steuer-Strahlungselektronenröhre zum Projizieren von Strahlung auf einen zu untersuchenden Gegenstand, einem Bildverstärker zum Umwandeln einer Vielzahl von Projektionsbildern, die durch die Strahlung von der Steuer-Strahlungselektronenröhre erzeugt werden, in visuelle Bilder, wobei der Bildverstärker einen Teil für visuelle Bilder aufweist, auf den die visuellen Bilder projiziert werden, einer elektronische Blende mit einem Übertragungsteil für visuelle Bilder zum Übertragen der visuellen Bilder, die auf den Teil für visuelle Bilder des Bildverstärkers projiziert werden, der Reihe nach, und einer Kamera zum Fotografieren der visuellen Bilder von dem Übertragungsteil für visuelle Bilder der elektronischen Blende der Reihe nach. Der Übertragungsteil für visuelle Bilder umfasst eine Vielzahl von Polarisationsfiltern zum Übertragen oder Abschirmen der visuellen Bilder gemäß den von diesen empfangenen elektrischen Signalen.
- Vorzugsweise werden elektrische Signale synchron mit der Erzeugung der visuellen Bilder an den Übertragungsteil für visuelle Bilder angelegt, was die fortlaufende Übertragung der visuellen Bilder durch diesen bewirkt.
- Es ist wirksam, daß die Polarisationsfilter aus einer Flüssigkristallanzeige (LCD) oder einer Plasmaanzeigetafel (PDP) bestehen.
- Vorzugsweise werden die visuellen Bilder nacheinander entlang einer Umfangsrichtung des Teils für visuelle Bilder erzeugt, und die Polarisationsfilter sind entlang einer Umfangsrichtung des Übertragungsteils für visuelle Bilder angeordnet, so daß sie den visuellen Bildern entsprechen.
- Vorzugsweise beinhaltet die Strahlung Röntgenstrahlen.
- Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung kann die Aufgabe gelöst werden durch ein Strahlungsuntersuchungsverfahren unter Verwendung eines Strahlungsuntersuchungssystems, welches die folgenden Schritte umfaßt: Projizieren von Strahlung von einer Steuer-Strahlungselektronenröhre auf einen zu untersuchenden Gegenstand, Umwandeln einer Vielzahl von Projektionsbildern, die durch die Strahlung von der Steuer-Strahlungselektronenröhre erzeugt werden, mit einem Bildverstärker in visuelle Bilder, wobei der Umwandlungsschritt das Projizieren der visuellen Bilder auf einen Teil für visuelle Bilder umfaßt, Vorsehen einer elektronischen Blende mit einem Übertragungsteil für visuelle Bilder entsprechend den visuellen Bildern benachbart zum Teil für visuelle Bilder, Übertragen der visuellen Bilder des Teils für visuelle Bilder nacheinander durch den Übertragungsteil für visuelle Bilder, und Fotografieren der visuellen Bilder, die durch die elektronische Blende hindurchtreten, der Reihe nach. Der Übertragungsteil für visuelle Bilder umfasst eine Vielzahl von Polarisationsfiltern zum Übertragen oder Abschirmen der visuellen Bilder, und der Übertragungsschritt umfaßt das Anlegen der elektrischen Signale an die Polarisationsfilter.
- Vorzugsweise umfasst der Übertragungsschritt das Anlegen von elektrischen Signalen synchron mit der Erzeugung der visuellen Bilder an den Übertragungsteil für visuelle Bilder.
- Es ist wirksam, daß die Polarisationsfilter aus einer Flüssigkristallanzeige (LCD) oder einer Plasmaanzeigetafel (PDP) bestehen.
- Vorzugsweise umfaßt der Umwandlungsschritt das fortlaufende Erzeugen von visuellen Bildern entlang einer Umfangsrichtung des Teils für visuelle Bilder, und die Polarisationsfilter sind entlang einer Umfangsrichtung des Übertragungsteils für visuelle Bilder angeordnet, so daß sie den visuellen Bildern entsprechen.
- Vorzugsweise umfaßt die von der Steuerstrahlungselektronenröhre projizierte Strahlung Röntgenstrahlen.
- Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
-
1 schematisch eine perspektivische Ansicht eines erfindungsgemäßen Strahlungsuntersuchungssystems; -
2 eine Draufsicht auf einen Polarisationsfilter einer in1 gezeigten elektronischen Blende; -
3 eine Draufsicht auf Bilder, die von einer in1 gezeigten Kamera fotografiert werden; -
4 schematisch eine perspektivische Ansicht eines herkömmlichen Strahlungsuntersuchungssystems; und -
5 eine perspektivische Ansicht von einigen Elementen von4 aus einem anderen Winkel. - Nachstehend werden ein Strahlungsuntersuchungssystem und ein Verfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung im einzelnen mit Bezug auf die zugehörigen Zeichnungen beschrieben.
-
1 zeigt schematisch eine perspektivische Ansicht eines Strahlungsuntersuchungssystems gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, und2 zeigt eine Draufsicht auf einen Polarisationsfilter einer in1 dargestellten elektronischen Blende. Wie darin dargestellt, besteht das Strahlungsuntersuchungssystem aus einem X-Y-Tisch7 , auf dem ein durch einen NDT zu untersuchender Gegenstand3 liegt, einer Steuer-Röntgenelektronenröhre1 zum Erzeugen von Röntgenstrahlen in Richtung eines Untersuchungsbereichs auf dem Gegenstand3 , einem Bildverstärker5 zum Erzeugen von visuellen Bildern aus den Röntgenstrahlen, die durch den Gegenstand3 hindurchtreten, welcher einen Teil6 für visuelle Bilder aufweist, auf den die visuellen Bilder projiziert werden, einer elektronischen Blende10 mit einem Übertragungsteil11 für visuelle Bilder zum Übertragen der visuellen Bilder vom Bildverstärker5 der Reihe nach, und einer CCD-Kamera15 zum fortlaufenden Fotografieren der visuellen Bilder von der elektronischen Blende10 und zum Ausgeben derselben an einen Bildsensor (nicht dargestellt). - Zwischen der Steuer-Röntgenelektronenröhre
1 und dem Bildverstärker5 ist der X-Y-Tisch7 angeordnet, auf dem der Gegenstand3 liegt und der in den X-Y-Richtungen beweglich ist. - Die Steuer-Röntgenelektronenröhre
1 strahlt die Röntgenstrahlen auf den Untersuchungsbereich des Gegenstandes3 mehrere Male ein, während sie mit konstanter Geschwindigkeit gedreht wird. Da die Steuer-Röntgenelektronenröhre1 entlang des Umfangs des Bildverstärkers5 gedreht wird, werden eine Vielzahl von Projektionsbildern, die durch die Röntgenstrahlen erzeugt werden, welche durch den Gegenstand3 hindurchtreten, auf dem Umfang auf der oberen Fläche des Bildverstärkers5 angeordnet. Die auf der oberen Fläche des Bildverstärkers5 erzeugten Projektionsbilder sind unsichtbar und werden in visuelle Bilder umgewandelt, während sie durch die Innenseite des Bildverstärkers5 laufen. Die visuellen Bilder werden auf den Teil5 [6 ] für visuelle Bilder entlang dessen Umfangsrichtung projiziert. - Die elektronische Blende
10 besteht, wie in2 dargestellt, aus dem Übertragungsteil11 für visuelle Bilder, der eine Vielzahl von Polarisationsfiltern13 zum Übertragen oder Abschirmen der visuellen Bilder gemäß elektrischen Signalen, die von einer Steuereinheit (nicht dargestellt) zum Steuern des Strahlungsuntersuchungssystems synchron mit der Erzeugung der visuellen Bilder angelegt werden, umfaßt, und einem Decodierer12 zum Ermöglichen, daß eine externe elektrische Leistung zu den jeweiligen Polarisationsfiltern13 auf der Basis der elektrischen Signale von der Steuereinheit zum Steuern des Strahlungsuntersuchungssystems geliefert wird. Jeder Polarisationsfilter13 besteht aus einer LCD oder einer PDP, und ist entlang des Umfangs des Übertragungsteils11 für visuelle Bilder an den entsprechenden Positionen der jeweiligen visuellen Bilder, die auf den Teil6 für visuelle Bilder projiziert werden, angeordnet. Die Polarisationsfilter13 sind jeweils mit entsprechenden Leitungen17 verbunden. Wenn über jede elektrische Leitung17 , die mit jedem Polarisationsfilter13 verbunden ist, elektrische Leistung geliefert wird, kann Licht in jeden Polarisationsfilter13 übertragen werden und jedes visuelle Bild wird folglich in Richtung der CCD-Kamera15 projiziert. - Das erfindungsgemäße Strahlungsuntersuchungssystem wird in folgender Weise betrieben:
Für einen NDT des zu untersuchenden Gegenstandes3 erzeugt die Steuer-Röntgenelektronenröhre1 während der Drehung Röntgenstrahlen und projiziert die Röntgenstrahlen auf den Untersuchungsbereich des Gegenstandes3 . Die Röntgenstrahlen, die durch den Gegenstand3 hindurchtreten, werden zu visuellen Bildern geformt, während sie durch den Bildverstärker5 hindurchlaufen. Die visuellen Bilder werden nacheinander auf den Teil6 für visuelle Bilder projiziert, der auf der unteren Seite des Bildverstärkers5 vorgesehen ist. Die Steuereinheit legt die elektrischen Signale synchron mit der Erzeugung der visuellen Bilder an den Decodierer12 an, um dadurch zu jedem der Polarisationsfilter13 entsprechend den visuellen Bildern, die auf den Teil6 für visuelle Bilder projiziert werden, elektrische Leistung zu liefern. - Als nächstes werden die visuellen Bilder durch die CCD-Kamera
15 fotografiert, nachdem sie durch die Polarisationsfilter13 der elektronischen Blende10 hindurchgetreten sind, wie in3 dargestellt. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel strahlt die Steuer-Röntgenelektronenröhre1 die Röntgenstrahlen achtmal auf den Gegenstand3 entlang deren Drehrichtung ein, und acht visuelle Bilder werden der Reihe nach auf dem Teil6 für visuelle Bilder durch die Röntgenstrahlen erzeugt, die durch den Gegenstand3 hindurchgetreten sind. Die jeweiligen Polarisationsfilter13 werden synchron mit der Erzeugung der entsprechenden visuellen Bilder mit elektrischer Leistung versorgt. Daher wird die elektrische Leistung zu den jeweiligen Polarisationsfiltern13 der Reihe nach geliefert, wenn die jeweiligen visuellen Bilder erzeugt werden. Die jeweiligen visuellen Bilder treten nacheinander achtmal durch die Polarisationsfilter13 hindurch. Die visuellen Bilder, die durch die Polarisationsfilter13 hindurchgetreten sind, werden achtmal von der CCD-Kamera fotografiert. - Wie vorstehend beschrieben, werden gemäß der vorliegenden Erfindung die auf den Teil
6 für visuelle Bilder projizierten visuellen Bilder unter Verwendung der Vielzahl von Polarisationsfiltern13 , die aus einer LCD oder einer PDP bestehen, die in der Lage sind, Licht zu übertragen, wenn elektrische Leistung zugeführt wird, direkt von der CCD-Kamera15 fotografiert. Folglich kann die Verzerrung der visuellen Bilder oder die zeitliche Verzögerung, die häufig durch die herkömmlichen Galvanometer verursacht wurden, verhindert werden. Außerdem können die Produktionskosten im Vergleich zum herkömmlichen System, das die Vielzahl von Bildverstärkern und entsprechend diesen die Vielzahl von CCD-Kameras verwendet, verringert werden. - Wie vorstehend beschrieben, kann gemäß der vorliegenden Erfindung unter Verwendung einer elektronischen Blende, die die visuellen Bilder nacheinander überträgt, ein unverzügliches und exaktes Untersuchungsergebnis erzielt werden und Produktionskosten können eingespart werden.
Claims (8)
- Strahlungsuntersuchungssystem, umfassend: eine Steuer-Strahlungselektronenröhre (
1 ) zum Projizieren von Strahlung auf einen zu untersuchenden Gegenstand (3 ); einen Bildverstärker (5 ) zum Umwandeln einer Vielzahl von Projektionsbildern, die durch die Strahlung von der Steuer-Strahlungselektronenröhre (1 ) erzeugt werden, in visuelle Bilder, wobei der Bildverstärker (5 ) einen Teil (6 ) für visuelle Bilder aufweist, auf den die visuellen Bilder projiziert werden; eine elektronische Blende (10 ) mit einem Übertragungsteil (11 ) für visuelle Bilder zum sequentiellen Übertragen der visuellen Bilder, die auf den Teil (6 ) für visuelle Bilder des Bildverstärkers (5 ) projiziert werden; und eine Kamera (15 ) zum sequentiellen Fotografieren der visuellen Bilder von dem Übertragungsteil (11 ) für visuelle Bilder der elektronischen Blende (10 ); wobei der Übertragungsteil (11 ) für visuelle Bilder eine Vielzahl von Polarisationsfiltern (13 ) aufweist, die in Abhängigkeit von angelegten elektrischen Signalen die visuellen Bilder durchlassen oder sperren, wobei die visuellen Bilder nacheinander entlang einer Umfangsrichtung des Teils (6 ) für visuelle Bilder erzeugt werden, und wobei die Polarisationsfilter (13 ) entlang einer Umfangsrichtung des Übertragungsteils (11 ) für visuelle Bilder angeordnet sind, so dass sie den visuellen Bildern entsprechen. - System nach Anspruch 1, wobei elektrische Signale synchron mit der Erzeugung der visuellen Bilder an den Übertragungsteil (
11 ) für visuelle Bilder angelegt werden, was die fortlaufende Übertragung der visuellen Bilder durch diesen bewirkt. - System nach Anspruch 1, wobei die Polarisationsfilter (
13 ) aus einer Flüssigkristallanzeige oder einer Plasmaanzeigetafel ausgebildet sind. - System nach Anspruch 1, wobei die Strahlung Röntgenstrahlen umfasst.
- Strahlungsuntersuchungsverfahren unter Verwendung eines Strahlungsuntersuchungssystems, welches die folgenden Schritte umfasst: Projizieren von Strahlung von einer Steuer-Strahlungselektronenröhre (
1 ) auf einen zu untersuchenden Gegenstand (3 ); Umwandeln einer Vielzahl von Projektionsbildern, die durch die Strahlung von der Steuer-Strahlungselektronenröhre (1 ) erzeugt werden, mit einem Bildverstärker (5 ) in visuelle Bilder, wobei der Umwandlungsschritt das Projizieren der visuellen Bilder auf einen Teil (6 ) für visuelle Bilder umfasst; Vorsehen einer elektronischen Blende (10 ) mit einem Übertragungsteil (11 ) für visuelle Bilder entsprechend den visuellen Bildern benachbart zum Teil (6 ) für visuelle Bilder, wobei der Übertragungsteil (11 ) eine Vielzahl von Polarisationsfiltern (13 ) zum Durchlassen oder Sperren der visuellen Bilder aufweist, und wobei an der elektronischen Blende die Vielzahl der Polarisationsfilter entlang einer Umfangsrichtung des Übertragungsteils (11 ) entsprechend der visuellen Bildern angeordnet sind; sequentielles Übertragen der visuellen Bilder des Teils (6 ) für visuelle Bilder durch den Übertragungsteil (11 ) für visuelle Bilder, wobei der Übertragungsschritt das Anlegen der elektrischen Signale an die Polarisationsfilter umfasst; und sequentielles Fotografieren der visuellen Bilder, die durch die elektronische Blende (10 ) hindurchtreten; wobei der Umwandlungsschritt das fortlaufende Erzeugen von visuellen Bildern entlang einer Umfangsrichtung des Teils (6 ) für visuelle Bilder umfasst. - Verfahren nach Anspruch 5, wobei der Übertragungsschritt das Anlegen von elektrischen Signalen synchron mit der Erzeugung der visuellen Bilder an den Übertragungsteil (
11 ) für visuelle Bilder umfasst. - Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, wobei die Polarisationsfilter (
13 ) aus einer Flüssigkristallanzeige oder einer Plasmaanzeigetafel ausgebildet sind. - Verfahren nach Anspruch 5, wobei die von der Steuer-Strahlungselektronenröhre (
1 ) projizierte Strahlung Röntgenstrahlen umfasst.
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