DE10051905A1 - Strahlungsquelle und Bestrahlungsanordnung - Google Patents

Abstract

Strahlungsquelle (11) für elektromagnetische Strahlung, deren wesentlicher Wirkanteil im Bereich des nahen Infrarot, insbesondere im Wellenlängenbereich zwischen 0,8 mum und 1,5 mum, liegt, zur Ausbildung einer langgestreckten Bestrahlungszone, mit einer langgestreckten Halogenlampe (11), die einen röhrenförmigen, an den Enden gesockelten Glaskörper (14) mit mindestens einer Glühwendel (15) hat, und einem langgestreckten Reflektor (12), wobei die Sockel (13) der Halogenlampe im Bereich der Reflektorfläche oder, bezogen auf die Position der Halogenlampe, hinter dieser angeordnet sind, wobei die Enden der Halogenlampe zum Reflektor hin umgebogen sind und die oder mindestens eine Glühwendel im gebogenen Bereich des Glaskörpers verdickt ausgeführt ist, derart, daß die Strahlungflußdichte der Strahlungsquelle in deren Längsrichtung zwischen den äußersten Punkten der Sockel im wesentlichen konstant ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Strahlungsquelle nach dem Oberbe­ griff des Anspruchs 1 sowie eine mit einer solchen Strahlungs­ quelle aufgebaute Bestrahlungsanordnung.

Aus früheren Patentanmeldungen der Anmelderin, so etwa der DE 197 36 462 A1, WO 99/42774 oder P 10024731.8 (unveröffent­ licht), sind Verfahren zur Behandlung von Oberflächen, Bearbei­ tung von Materialien und Herstellung von Verbundwerkstoffen un­ ter Einsatz von elektromagnetischer Strahlung bekannt, deren wesentlicher Wirkanteil im Bereich des nahen Infrarot, insbe­ sondere im Wellenlängenbereich zwischen 0,8 µm und 1,5 µm, liegt. Bei einer Reihe dieser Anwendungen ist die Realisierung einer relativ breiten Bestrahlungszone im Interesse einer hohen Produktivität des jeweiligen Verfahrens wesentlich. Es ist da­ her der Einsatz einer langgestreckten Halogenlampe, die einen röhrenförmigen, an den Enden gesockelten Glaskörper mit mindes­ tens einer Glühwendel hat, mit einem langgestreckten Reflektor als Strahlungsquelle bekannt.

Bei bekannten Strahlungsquellen bzw. Bestrahlungsvorrichtungen mit langgestreckten, beidseitig gesockelten Lampen - beispiels­ weise für medizinische oder lichttechnische Anwendungen - haben die Lampen Anschlüsse bzw. Sockel, die koaxial zum Glaskörper an dessen Enden angeordnet sind; vgl. etwa die US 4,287,554 oder DE 33 17 812 A1. Diese Druckschriften beschreiben im übri­ gen Bestrahlungsanordnungen mit mehreren Strahlungsquellen, die parallel nebeneinander angeordnet sind.

Mit einer solchen Strahlungsquelle läßt sich eine breite Be­ strahlungszone mit über ihre Breite annähernd konstanter Strah­ lungsflußdichte realisieren, die wiederum über die entsprechen­ de Breite des Arbeitsbereiches einheitliche Prozeßbedingungen schafft. Allerdings fällt an den Enden der Halogenlampe, also in der Nachbarschaft der Sockel, die Strahlungsflußdichte ab, so daß in diesen Bereichen andere Werte der Prozeßparameter gelten. Diese Bereiche sind daher bei Anwendungen, bei denen es auf eine konstante Strahlungsflußdichte über die gesamte Pro­ duktbreite ankommt, im Prinzip nicht nutzbar, so daß die pro­ zeßtechnisch nutzbare Breite der Bestrahlungszone kleiner als die Länge der Strahlungsquelle ist.

Bestimmte großtechnische Prozesse, die mit Strahlung im Bereich des nahen Infrarot ("NIR-Strahlung") durchgeführt werden kön­ nen, lassen sich grundsätzlich mit sehr großen Materialbreiten durchführen. Die Einzelanfertigung entsprechender, sehr langer Halogenlampen stößt aber auf technische Schwierigkeiten und ist höchst kostenaufwendig. Es wäre daher für diese Prozesse er­ strebenswert, mehrere langgestreckte Halogenlampen in Standard­ längen in deren Längsrichtung aneinander zu reihen, um so die Längen der entsprechenden Bestrahlungszonen zu summieren. Hier wirkt sich aber das oben erwähnte Problem des Abfalls der Strahlungsflußdichte an den sockelnahen Enden der Glaskörper der einzelnen Halogenlampen besonders gravierend aus. Mit den derzeitigen Strahlungsquellen-Konstruktionen ist eine solche Bestrahlungsanordnung daher für Anwendungen, bei denen es kri­ tisch auf die Konstanz der Strahlungsflußdichte über die gesam­ te Breite des Arbeitsbereiches ankommt, nicht realisierbar.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine verbesser­ te Strahlungsquelle der gattungsgemäßen Art anzugeben, die die Erzeugung einer Bestrahlungszone mit einer im wesentlichen der Länge der Strahlungsquelle entsprechenden Breite erlaubt, über die die Strahlungsflußdichte im wesentlichen konstant ist.

Diese Aufgabe wird durch eine Strahlungsquelle mit den Merkma­ len des Anspruchs 1 gelöst.

Die Erfindung schließt einerseits den grundlegenden Gedanken ein, die Lampenenden, über deren Länge naturgemäß keine Strah­ lung emittiert werden kann, - bezogen auf das zu bearbeitende Material bzw. Halbfabrikat - hinter den Glaskörper mit einer Glühwendel zu verlegen, über die NIR-Strahlung abgegeben wird. Weiterhin schließt die Erfindung den Gedanken ein, diese Nach- Hinten-Verlegung der Enden bzw. Anschlüsse durch eine Umbiegung des Glaskörpers im endnahen Bereich zu verwirklichen.

Desweiteren gehört zur Erfindung der Gedanke, die Glühwendel oder (bei Vorhandensein mehrerer Glühwendeln in dem Glaskörper) mindestens eine Glühwendel in dem erwähnten endnahen Bereich verdickt auszuführen, damit dort relativ mehr Strahlungsenergie im NIR-Bereich imitiert wird. Hierdurch wird dem trotz des Nach-Hinten-Verlegens der Enden zu erwartenden Abfall der Strahlungsflußdichte an den umgebogenen Enden des Glaskörpers entgegengewirkt. Der Grad der Verdickung bzw. Verdichtung der Glühwendel ist in Abhängigkeit von der konkreten Gestalt bzw. dem Radius der Umbiegung des Glaskörpers zu bestimmen - was im konstruktiven Ermessen des Fachmanns liegt und wozu im übrigen Vergleichsversuche mit verschiedenen Mustern hinreichende An­ haltspunkte geben können.

In einer wegen ihrer Einfachheit bevorzugten Ausführung ist mindestens ein Ende der Halogenlampe im Bezug auf deren Längs­ erstreckung über einen Krümmungsradius im wesentlichen rechtek­ kig umgebogen. Hierbei verlaufen also die Lampenanschlüsse grundsätzlich im rechten Winkel zur Längserstreckung des Glas­ körpers und der Glühwendel, womit sich auf einfache Weise eine Reihung der Lampenanschlüsse von hintereinander angeordneten Halogenlampen realisieren läßt.

In einer hierzu alternativen Ausführung weist mindestens ein Ende der Halogenlampe einen Bereich C-förmiger Biegung auf, derart, daß der äußerste Punkt des diesem Ende zugeordneten Sockels gegenüber dem äußersten Punkt des Glaskörpers an diesem Ende geringfügig nach Innen versetzt ist. Es ist auch die Aus­ führung von Halogenlampen möglich, deren Glaskörper an einem Ende diese letztgenannte Geometrie aufweist, während am anderen Ende die oben erwähnte rechtwinklige Umbiegung realisiert ist. Die letztgenannte Ausführung ermöglicht (wenn auch mit etwas höherem Konstruktionsaufwand bezüglich der Halogenlampe) in noch verbesserter Weise die "nahtlose" Aneinanderreihung von Strahlungsquellen zur Realisierung eines sehr breiten Bestrah­ lungsfeldes mit nahezu völlig konstanter Strahlungsflußdichte, da hierbei für die Stromzuführung zu den Lampensockeln mehr Platz zur Verfügung steht.

Die Enden der Halogenlampe sind zweckmäßigerweise in wärmelei­ tendem Kontakt mit dem Reflektor angeordnet und/oder den Sok­ keln sind Kühlmittel zur Wärmeabführung zugeordnet. Hierdurch wird ein steiler Temperatur(T)-Gradient zwischen den gebogenen Bereichen des Glaskörpers und dem jeweils benachbarten An­ schlußbereich realisierbar. Hierdurch wird insbesondere ein Temperaturabfall von einer oberhalb von 600°C liegenden Tempe­ ratur des Glaskörpers auf eine Anschluß- bzw. Endtemperatur deutlich unterhalb von 300°C, speziell unterhalb von 200°C, er­ zeugt und der thermischen Empfindlichkeit der Lampenenden Rech­ nung getragen.

Die erwähnten Kühlmittel umfassen in einer ersten speziellen Ausführung Wärmeabstrahlungsflächen ("Flags") an den Enden der Lampe. Zusätzlich oder alternativ hierzu sind Steckkontakt-Sok­ kel mit speziellen Wärmeleitmitteln zur Wärmeabführung an den (in der Regel im wesentlichen vollständig metallischen und da­ her die Wärme sehr gut ableitenden) Reflektor vorgesehen.

Noch effizienter, wenn auch verfahrenstechnisch aufwendiger, ist der Einsatz eines unter Druck stehenden Kühlfluids zur Ab­ führung der Wärme von den Lampenenden. Hierzu umfassen die Kühlmittel Kühlfluid-Strömungskanäle zur Zuleitung des Kühl­ fluids zu den Enden bzw. endnahen Bereichen der Halogenlampe und/oder den diesen benachbarten Bereichen des zugeordneten Re­ flektors.

Speziell ist im Reflektor mindestens ein Preßluft-Strömungs­ kanal mit auf die Enden der Halogenlampe gerichteten Aus­ trittsöffnungen ("Düsen") vorgesehen, über den kalte Druckluft - oder auch ein anderes Kühlgas - in diese Bereiche zugeführt wird. In einer bevorzugten Ausführungsform dieses Gedankens ist eine Mehrzahl von Preßluft-Strömungskanälen im Reflektor vorge­ sehen, die jeweils derart angeordnete und ausgebildete Aus­ trittsöffnungen aufweisen, daß die zugeführte Druckluft (Preß­ luft) um die Enden bzw. endnahen Bereiche des Glaskörpers ver­ wirbelt wird. Diese turbulente Strömung gewährleistet eine zu­ verlässige Abführung der Wärme von allen zu kühlenden Oberflä­ chenbereichen.

Eine weitere bevorzugte Ausführung hat Wasserkanäle im Reflek­ tor, die sockelnahe Bereiche desselben durchqueren. Durch diese Wasserkanäle wird Kühlwasser geleitet, das einerseits zur Küh­ lung des (der Strahlung der Glühwendel direkt ausgesetzten) Re­ flektors und andererseits - mittelbar über die Wärmeleitung zwischen Reflektor und Lampenenden - auch zur Kühlung der Lam­ penenden dient.

Eine besonders vorteilhafte Art und Weise der Wärmeabführung ermöglichen Reflektoren, die als massive Strangpreßprofile aus einem Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit, insbesondere Alu­ minium oder einer Aluminiumlegierung, ausgeführt sind. In der­ artige Reflektoren sind nämlich die Kühlfluid-Strömungskanäle (sowohl in der Ausführung als Preßluftkanäle als auch in der Ausführung als Wasserkanäle) besonders leicht einarbeitbar, und die massive Ausführung des Reflektors verleiht diesem eine hohe Wärmekapazität und trägt damit zur Vergleichmäßigung der Wärme­ abstrahlung durch die Strahlungsquelle auch bei geringfügigen Inhomogenitäten des primären Strahlungsprofils der Glühwendel bzw. bei geringfügigen Schwankungen der Versorgungsspannung bei.

Ein derartiges Reflektorprofil mit besonders vorteilhaften Re­ flexionseigenschaften, die zu einer langen Lebensdauer der Ha­ logenlampe beitragen, sowie mit einer besonders leichten Hand­ habbarkeit in einem modular aufgebauten Bestrahlungssystem hat eine im Querschnitt im wesentlichen rechteckige Außenkontur und eine im Querschnitt im wesentlichen W-förmige Reflektorfläche, wobei insbesondere zwei oder drei Kühlfluid-Strömungskanäle im Fußbereich zwischen dem "W" und der rechteckigen Außenkontur eingearbeitet sind.

Eine Bestrahlungsanordnung unter Einsatz der erfindungsgemäßen Lösung umfaßt eine Mehrzahl von Strahlungsquellen der vorge­ schlagenen Art, von denen mindestens zwei auf einer Linie hin­ tereinander angeordnet sind. Hierbei ist die Strahlungsfluß­ dichte über die gesamte Längserstreckung der aneinandergereih­ ten Strahlungsquellen zwischen den voneinander abgewandten äu­ ßersten Punkten der ersten und letzten gereihten Strahlungs­ quelle im wesentlichen konstant. Eine vorteilhafte Realisierung eines Gesamt-Kühlsystems ergibt sich in einer zweckmäßigen Aus­ führung, bei der die Kühlfluid-Strömungskanäle der aneinander­ gereihten Strahlungsquellen miteinander ausgerichtet und zu durchgehenden Strömungskanälen verbunden sind. Diese haben je­ weils einen Anschluß zur Kühlfluid-Zuführung an einer ersten der gereihten Strahlungsquellen.

Eine derartige Bestrahlungsanordnung ist insbesondere zur NIR- Trocknung von Lacken oder Kunststoffbeschichtungen - speziell Pulverlacken -, zur Herstellung von Kunststofflaminaten oder zur thermischen Behandlung (speziell Trocknung und/oder Vernet­ zung) von Dünnschichtstrukturen, speziell auf thermisch emp­ findlichen Substraten im Bereich des Halbleiter- und Display­ technologie, sowie bei weiteren Anwendungen einsetzbar, bei de­ nen die Realisierung breiter Bestrahlungszonen mit nahezu ideal konstanter Strahlungsflußdichte eine hohe Produktivität des Verfahrens ergibt.

Vorteile und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich im üb­ rigen aus den Unteransprüchen sowie der nachfolgenden Beschrei­ bung bevorzugter Ausführungsbeispiele anhand der Figuren. Von diesen zeigen

Fig. 1 einen Ausschnitt aus einer Bestrahlungsanordnung mit einer Strahlungsquelle gemäß einer ersten Ausfüh­ rungsform der Erfindung in Art einer Längsschnittdar­ stellung,

Fig. 2 einen Ausschnitt aus einer Bestrahlungsanordnung mit einer Strahlungsquelle gemäß einer zweiten Ausfüh­ rungsform der Erfindung in Art einer Längsschnittdar­ stellung und

Fig. 3 eine skizzenartige Darstellung der Ortsabhängigkeit der Strahlungsflußdichte in Längsrichtung der Be­ strahlungsanordnungen nach Fig. 1 oder 2.

Fig. 1 zeigt einen Ausschnitt aus einer NIR-Bestrahlungsanord­ nung 10 für technologische Zwecke mit einer Mehrzahl von in Längsrichtung und in Ausrichtung miteinander aneinandergereih­ ten Halogen-Glühfadenlampen 11 mit jeweils einem zugeordneten, langgestreckten Reflektor 12, der aus einem Al-Strangpreßprofil gefertigt ist.

Der grundsätzliche Aufbau des Reflektors ist an sich aus der EP 0 999 724 A2 der Anmelderin bekannt und wird daher hier nicht weiter erläutert. Nachfolgend wird lediglich auf speziel­ le Kühleinrichtungen Bezug genommen werden, die im Inneren oder in der Nähe des Reflektors angeordnet sind.

Wie aus der Figur zu ersehen ist, hat die Halogen-Glühfadenlam­ pe 11 einen röhrenförmigen, an den beiden Enden jeweils einen Anschlußstift 13 aufweisenden Glaskörper 14, in dessen Zentrum eine langgestreckte Glühwendel 15 verläuft. Sie wird bei erhöh­ ter Spannung und daher mit erhöhter Betriebstemperatur oberhalb von 2500 K, insbesondere oberhalb von 2900 K, betrieben und liefert daher Strahlung, deren wesentlicher Strahlungsanteil im Bereich des nahen Infrarot, speziell im Wellenlängenbereich zwischen 0,8 µm und 1,5 µm, liegt. Der Glaskörper 14 ist nahe seiner Enden annähernd rechtwinklig umgebogen derart, daß ein in etwa im rechten Winkel zu seinem Verlauf im mittleren Teil sich erstreckender Endabschnitt schließlich den jeweiligen An­ schluß 13 trägt. Es ist auch zu erkennen, daß die Glühwendel 15 sich zu dem Bereich des "Abwinklung" hin zunehmend verdickt bzw. ihre Spiralstruktur dichter ausgeführt ist.

Durch die Umbiegung des Glaskörpers 14 zum Reflektor und dem jeweiligen Anschluß hin in Verbindung mit der verdickten bzw. verdichteten Ausführung der Glühwendel 15 wird erreicht, daß die Halogen-Glühfadenlampe 11 bis in ihre seitlichen Endberei­ che hin eine im wesentlichen konstante Strahlungsflußdichte der NIR-Strahlung liefert.

Hierzu wird auf Fig. 3 hingewiesen, in der der Strahlungsfluß­ dichteverlauf zweier konventioneller, aneinander gereihter NIR- Lampen mit einer gestrichelten Linie bezeichnet ist, während die sich bei der Anordnung nach Fig. 1 ergebende Ortsabhängig­ keit der Strahlungsflußdichte in Längsrichtung der Bestrah­ lungsanordnung 10 (schematisch) mit einer strichpunktierten Li­ nie bezeichnet ist. Der vorgeschlagene Aufbau ermöglicht also eine Aneinanderreihung mehrerer Strahlungsquellen zur Bildung einer linear ausgedehnten Bestrahlungsanordnung ohne wesentli­ che Einbrüche in der Strahlungsflußdichte an den Stoßstellen.

Im Inneren des Reflektors 12 ist ein Kühlwasserkanal 16 zur Kühlung des Reflektors mit Kühlwasser W vorgesehen. Nahe der Reflektoroberfläche verläuft ein Preßluftröhrchen 17 mit Luft­ düsen 18 nahe der die Anschlüsse tragenden Enden des Glaskör­ pers 14, durch die dieser Bereich des Glaskörpers mit kalter Preßluft A beaufschlagt wird. Durch diese Kühlung der Lampenen­ den wird - in Kombination mit dem Wärmeableitungsvermögen des massiven Metallreflektors - ein steiler T-Gradient verwirk­ licht. Dieser sichert, daß trotz Glaskörpertemperaturen ober­ halb von 600°C eine für die Lebensdauer der Strahlungsquelle wichtige Enden-Temperatur um oder unterhalb von 200°C erreich­ bar wird.

Fig. 2 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Bestrah­ lungsanordnung 20, bei der zu Fig. 1 funktionsgleiche Komponen­ ten auch mit an Fig. 1 angelehnten Bezugsziffern bezeichnet sind.

Es ist zu erkennen, daß der Reflektor 22 hier nur bis unterhalb der Mittenachse des Glaskörpers 24 bzw. der Glühwendel 25 reicht und - anders als bei der Anordnung 10 nach Fig. 1 - ei­ nen durch die aneinandergereihten Reflektoren 22 durchgehenden Kühlwasserkanal 26 aufweist.

Hinsichtlich der Halogen-Glühfadenlampe 21 besteht ein wesent­ licher Unterschied in der geometrisch modifizierten Ausbildung der Umbiegung im Bereich der Lampenenden. Diese ist hier näm­ lich im wesentlichen C-förmig ausgeführt, womit erreicht wird, daß die Anschlüsse 23 gegenüber den äußersten Punkten des Glas­ körpers 24 etwas nach innen versetzt sind. Dies ermöglicht zum einen das noch dichtere Aneinanderstoßen der Halogenlampen 21 und zum anderen das Vorsehen von relativ großflächigen Kühlflä­ chen (Flags) 29 an den Anschlüssen 23. Zudem sind im Bereich des Durchführungen der Lampenenden durch den Reflektorkörper spannungsausgleichende und wärmeleitende Buchsen 30 vorgesehen, die für eine gute Wärmeübertragung an den Reflektorkörper sor­ gen.

Durch diese Maßnahmen zusammen wird - bei Verzicht auf Einrich­ tungen zu einer aktiven Druckluftkühlung - ebenfalls ein rela­ tiv steiler T-Gradient im Bereich der Lampenenden erreicht.

Durch die enge Aneinanderreihung der Halogenlampen, die mit der Ausbildung des Glaskörpers nach Fig. 2 möglich wird, in Verbin­ dung mit der C-förmigen Ausformung der Umbiegungsbereiche wird eine sehr gute Konstanz der Strahlungsflußdichte im Längsver­ lauf von mehreren aneinanderstoßenden Strahlungsquellen mög­ lich, wie die durchgezogene Linie in Fig. 3 (wiederum schema­ tisch) zeigt. Dies gelingt bis zu einem gewissen Grade sogar ohne zusätzliche Verdickung bzw. Verdichtung der Glühwendel 25 in den Umbiegungsbereichen des Lampenkörpers.

Die Ausführung der Erfindung ist nicht auf die oben beschriebe­ nen Beispiele und hervorgehobenen Aspekte beschränkt, sondern im Rahmen der Ansprüche ebenso in einer Vielzahl von Abwandlun­ gen möglich, die im Rahmen fachgemäßen Handelns liegen.

Bezugszeichenliste

10

;

20

NIR-Bestrahlungsanordnung

11

;

21

Halogen-Glühfadenlampe

12

;

22

Reflektor

13

;

23

Anschlußstift

14

;

24

Glaskörper

15

;

25

Glühwendel

16

;

26

Kühlwasserkanal

17

Preßluftröhrchen

18

Luftdüse

29

Kühlfläche (Flag)

30

Buchse
A Preßluft
W Kühlwasser

Claims (15)

1. Strahlungsquelle (11; 21) für elektromagnetische Strah­ lung, deren wesentlicher Wirkanteil im Bereich des nahen Infrarot, insbesondere im Wellenlängenbereich zwischen 0,8 µm und 1,5 µm, liegt, zur Ausbildung einer langge­ streckten Bestrahlungszone, mit einer langgestreckten Halogenlampe (11; 21), die einen röhrenförmigen, an den Enden gesockelten Glaskörper (14; 24) mit mindestens ei­ ner Glühwendel (15; 25) hat, und einem langgestrecktem Reflektor (12; 22), wobei Anschlüsse (13; 23) der Halo­ genlampe im Bereich der Reflektorfläche oder, bezogen auf die Position der Halogenlampe, hinter dieser ange­ ordnet sind,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Enden des Glaskörpers zum Reflektor hin umgebogen sind und
die oder mindestens eine Glühwendel im gebogenen Bereich des Glaskörpers verdickt oder verdichtet ausgeführt ist, derart, daß die Strahlungsflußdichte der Strahlungsquel­ le in deren Längsrichtung zwischen den äußersten Punkten der Sockel im wesentlichen konstant ist.

2. Strahlungsquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Ende des Glaskörpers (14) in Bezug auf dessen Längserstreckung über einen Krümmungsradius im wesentlichen rechteckig umgebogen ist.

3. Strahlungsquelle nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Ende des Glaskörpers (24) einen Bereich C-förmiger Biegung aufweist, derart, daß der äußerste Punkt des diesem Ende zugeordneten Anschluß (23) gegen­ über dem äußersten Punkt des Glaskörpers (24) an diesem Ende geringfügig nach innen versetzt ist.

4. Strahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Enden der Halogenlampe (11; 21) in wärmeleitendem Kontakt mit dem Reflektor (12; 22) angeordnet sind und/oder den Enden Kühlmittel (16, 17, 18; 26, 29, 30) zur Wärmeabführung zugeordnet sind derart, daß ein stei­ ler T-Gradient zwischen den gebogenen Bereiches des Glaskörpers (14; 24) und dem jeweils benachbarten An­ schluß (13; 23), insbesondere ein T-Abfall von einer Glaskörpertemperatur oberhalb von 600°C auf eine Sockel- Temperatur unterhalb von 300°C, speziell unterhalb von 200°C, erzeugt wird.

5. Strahlungsquelle nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlmittel Wärmeabstrahlungsflächen (29) an den En­ den der Halogenlampe (21) umfassen.

6. Strahlungsquelle nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlmittel Kühlfluid-Strömungskanäle (16, 17) zur Zuleitung eines unter Druck stehenden Kühlfluids zu den Enden bzw. endnahen Bereichen der Halogenlampe (11) und/oder den diesen benachbarten Bereichen des Reflek­ tors (12) umfassen.

7. Strahlungsquelle nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch mindestens einen Preßluft-Strömungskanal (17) im oder nahe dem Reflektor (12) mit auf die Enden des Glaskör­ pers gerichteten Austrittsöffnungen (18).

8. Strahlungsquelle nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch eine Mehrzahl von Preßluft-Strömungskanälen (17) im Re­ flektor (12), die jeweils auf die Enden der Halogenlampe (11) gerichtete Austrittsöffnungen (18) aufweisen, wobei die Austrittsöffnungen derart angeordnet und ausgebildet sind, daß zugeführte Preßluft um die Enden bzw. endnahen Bereiche des Glaskörpers (14) der Halogenlampe verwir­ belt wird.

9. Strahlungsquelle nach einem der Ansprüche 6 bis 8, gekennzeichnet durch Wasserkanäle (16; 26) im Reflektor (12; 22), die den Lampenenden benachbarte Bereiche desselben durchqueren.

10. Strahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Steckkontakt-Sockel (23), denen Wärmeleitmittel (29) zur Wärmeabführung an den Reflektor (22) zugeordnet sind.

11. Strahlungsquelle nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Reflektor (22) als massives Strangpreßprofil aus ei­ nem Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit, insbesondere Aluminium oder einer Aluminiumlegierung, ausgeführt ist.

12. Strahlungsquelle nach Anspruch 11 und einem der Ansprü­ che 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß in das Strangpreßprofil Kühlfluid-Strömungskanäle (26) eingepreßt sind.

13. Strahlungsquelle nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Querschnitt der Außenkontur des Strangpreßprofils im wesentlichen rechteckig und der Querschnitt der Reflek­ torfläche im wesentlichen W-förmig ist, wobei insbeson­ dere zwei oder drei Kühlfluid-Strömungskanäle im Fußbe­ reich des "W" eingepreßt sind.

14. Bestrahlungsanordnung (10; 20) mit einer Mehrzahl von Strahlungsquellen (11; 21) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei mindestens zwei der Strahlungsquellen auf einer Linie hintereinander angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsflußdichte über die gesamte Längserstrek­ kung der aneinandergereihten Strahlungsquellen zwischen den voneinander abgewandten äußersten Punkten der ersten und letzten gereihten Strahlungsquelle im wesentlichen konstant ist.

15. Bestrahlungsanordnung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß Kühlfluid-Strömungskanäle (16; 26) der aneinandergereih­ ten Strahlungsquellen (11; 21) miteinander ausgerichtet und zu durchgehenden Strömungskanälen verbunden sind, die jeweils einen Anschluß (30) zur Kühlfluid-Zuführung an einer ersten der gereihten Strahlungsquellen haben.