DE10049718A1 - Vorrichtung zur Erfassung einer thermisch bedingten Längenausdehnung eines Maschinenteils - Google Patents

Vorrichtung zur Erfassung einer thermisch bedingten Längenausdehnung eines Maschinenteils

Info

Publication number
DE10049718A1
DE10049718A1 DE10049718A DE10049718A DE10049718A1 DE 10049718 A1 DE10049718 A1 DE 10049718A1 DE 10049718 A DE10049718 A DE 10049718A DE 10049718 A DE10049718 A DE 10049718A DE 10049718 A1 DE10049718 A1 DE 10049718A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
temperature sensor
metallic conductor
proportional
tracks
average temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE10049718A
Other languages
English (en)
Inventor
Jan Braasch
Josef Mueller
Martin Seichter
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority to DE10049718A priority Critical patent/DE10049718A1/de
Priority to CNB018169759A priority patent/CN1229617C/zh
Priority to AT01960721T priority patent/ATE431538T1/de
Priority to EP01960721A priority patent/EP1328770B1/de
Priority to DE50114898T priority patent/DE50114898D1/de
Priority to PCT/EP2001/010137 priority patent/WO2002031434A1/de
Priority to US10/398,571 priority patent/US6866451B2/en
Priority to JP2002534773A priority patent/JP2004511763A/ja
Publication of DE10049718A1 publication Critical patent/DE10049718A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/16Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
    • G01B7/18Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge using change in resistance
    • G01B7/20Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge using change in resistance formed by printed-circuit technique
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/37Measurements
    • G05B2219/37274Strain gauge
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S33/00Geometrical instruments
    • Y10S33/19Thermal expansive
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T408/00Cutting by use of rotating axially moving tool
    • Y10T408/16Cutting by use of rotating axially moving tool with control means energized in response to activator stimulated by condition sensor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/30Milling
    • Y10T409/303976Milling with means to control temperature or lubricate
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/30Milling
    • Y10T409/304536Milling including means to infeed work to cutter
    • Y10T409/304648Milling including means to infeed work to cutter with control means energized in response to activator stimulated by condition sensor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/30Milling
    • Y10T409/306664Milling including means to infeed rotary cutter toward work
    • Y10T409/306776Axially
    • Y10T409/306832Axially with infeed control means energized in response to activator stimulated by condition sensor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/30Milling
    • Y10T409/306664Milling including means to infeed rotary cutter toward work
    • Y10T409/307224Milling including means to infeed rotary cutter toward work with infeed control means energized in response to activator stimulated by condition sensor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/30Milling
    • Y10T409/30784Milling including means to adustably position cutter
    • Y10T409/307952Linear adjustment
    • Y10T409/308008Linear adjustment with control for adjustment means responsive to activator stimulated by condition sensor
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/30Milling
    • Y10T409/309576Machine frame
    • Y10T409/309744Machine frame including means to compensate for deformation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Abstract

Es wird ein Temperatursensor (1) beschrieben, der es erlaubt, die Temperaturverteilung längs eines Maschinenteils (5) zu erfassen, und dessen Längsausdehnung zu berechnen. Der Temperatursensor (1) weist Trimmbahnen (T1-TN) auf, die das gesamte Temperaturprofil des Maschinenteils (5) erfassen, und eine genaue Kalibrierung des Temperatursensors (1) erlauben, auch wenn die Fertigungsstreuung des Temperatursensors (1) wegen der kostengünstigen Ausgangsmaterialien hoch ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erfassung einer thermisch be­ dingten Längenausdehnung eines Maschinenteils, etwa einer Werkzeugma­ schine.
Beim Betrieb einer Werkzeugmaschine entsteht beispielsweise durch die Reibung einer sich drehenden Spindel Wärme, die zu thermischer Ausdeh­ nung der erwärmten Maschinenteile und so zu Ungenauigkeiten in den Ab­ messungen des bearbeiteten Werkstückes führen kann. Sind die Ausdeh­ nungen bekannt, kann durch entsprechende Nachregelung eine verbesserte Maßhaltigkeit des Werkstückes erzielt werden.
Die DE 38 22 873 C1 beschreibt eine Vorrichtung zum Messen und Ausglei­ chen thermisch bedingter Längenausdehnungen an Maschinen, insbeson­ dere Werkzeugmaschinen. Dabei wird der elektrische Widerstand eines Temperatursensors aus Platin, der in thermischem Kontakt mit einem Be­ reich des Maschinenteils steht, als Maß für die thermische Längenausdeh­ nung des Maschinenteils in diesem Bereich verwendet. Es wird die Tatsache ausgenutzt, daß sowohl die Änderung des elektrischen Widerstandes eines metallischen Leiters als auch die Längenausdehnung eines Maschinenteils in einem Bereich von ca. 0-100°C in guter Näherung lineare Funktionen der Temperatur sind. Auch bei einer Temperaturverteilung längs des vom Tem­ peratursensor erfaßten Bereiches des Maschinenteiles ist dann die Längen­ ausdehnung des Maschinenteiles eine in guter Näherung lineare Funktion des elektrischen Widerstandes des Temperatursensors.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zum Erfassen der thermisch bedingten Längenausdehnung eines Maschinenteils anzugeben, die kosten­ günstig zu fertigen und flexibel einsetzbar ist.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 1. Vorteilhafte Ausführungsformen ergeben sich aus den Merk­ malen, die in den von Anspruch 1 abhängigen Ansprüchen aufgeführt sind.
Erfindungsgemäß besteht ein Temperatursensor zum Erfassen der mittleren Temperatur längs der Ausdehnungsrichtung eines Maschinenteiles aus ei­ nem ersten metallischen Leiter, der auf dem zu überwachenden Bereich an­ geordnet ist, sowie weiteren metallischen Leitern, die als Trimmbahnen ebenfalls auf dem zu überwachenden Bereich angeordnet sind, und die die gleiche Temperaturverteilung wie der erste metallische Leiter erfassen. Über elektrische Verbindungen kann der Gesamtwiderstand des Temperatursen­ sors so kalibriert werden, daß auch bei einer großen Prozeßstreuung in der Herstellung des Temperatursensors dieser auf einen gewünschten Wert ka­ libriert werden kann, etwa auf den Industriestandard PT100 (100 Ω) bei 0°C).
Eine besonders kostengünstige Variante ergibt sich, wenn der Temperatur­ sensor in üblicher Leiterplattentechnologie aufgebaut wird. Dabei werden Kupferbahnen auf einem Leiterplattensubstrat vorgesehen, die untereinan­ der über Lötbrücken verschaltet werden können um einen geforderten Wi­ derstandswert zu erzielen.
Weitere Vorteile sowie Einzelheiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen an­ hand der Figuren. Dabei zeigt
Fig. 1 einen Temperatursensor zur Erfassung der Tempera­ tur längs einer Ausdehnungsrichtung
Fig. 2 ein Anwendungsbeispiel solcher Temperatursensoren
Eine erste einfache Ausführungsform einer Vorrichtung zur Erfassung einer thermisch bedingten Längenausdehnung zeigt Fig. 1. Ein Temperatursen­ sor 1 besteht aus einem Leiterplattensubstrat 2, das einen ersten metalli­ schen Leiter 3 in Form einer mäanderförmigen Kupferbahn mit Rücklei­ tungsbahn 4 trägt. Der erste metallische Leiter 3 habe einen elektrischen Widerstand von R0. Über als unterbrochene Kupferbahnen ausgebildete Schalter S1-SN können die ebenfalls aus Kupferbahnen bestehenden, zum ersten metallischen Leiter 1 in Serie geschalteten Trimmbahnen T1-TN mit einem Widerstand von R1-RN einzeln mittels eines Lötpunktes kurzge­ schlossen werden. Der Gesamtwiderstand des Temperatursensors 1 verrin­ gert sich dabei jeweils um den Widerstand R1-RN der kurzgeschlossenen Trimmbahn T1-TN.
Vorteilhafterweise verdoppelt sich der Widerstandswert R1-RN der einzel­ nen Trimmbahnen T1-TN jeweils, so daß RN + 1 = 2.RN gilt. Für einen Temperatursensor 1 dieser Art ergibt sich so ein Widerstandswert zwischen R0 (alle Trimmbahnen T1-TN kurzgeschlossen) und R0 + R1 + R2 +...+ RN (alle Trimmbahnen T1-TN aktiviert), wobei Zwischenwerte mit einer Schrittweite von R1 eingestellt werden können.
Der Temperatursensor 1 hat eine Länge L in Richtung seines ersten metalli­ schen Leiters 3 und seiner Trimmbahnen T1-TN. Die Weite W des Tempe­ ratursensors 1 ist dazu verhältnismäßig klein, ein Verhältnis von L/W größer als 20 ist sinnvoll, da mit dem Temperatursensor 1 ein Temperaturprofil in einer Ausdehnungsrichtung X erfaßt werden soll.
Um zwischen der mit dem Temperatursensor 1 ermittelten Temperatur und der Längenausdehnung eines Maschinenteiles 5 eine gute Korrelation zu bekommen, ist es wichtig, daß sowohl die erste metallische Struktur 3, als auch die Trimmbahnen T1-TN das gleiche Temperaturprofil erfassen. Ist dies nicht der Fall, kann der Widerstand des Temperatursensors 1 kein gu­ tes Maß für die mittlere Temperatur längs des überwachten Bereiches des Maschinenteiles 5 sein.
Trimmbahnen T1-TN mit kleinen Widerständen über die ganze Länge L des Temperatursensors 1 müssen sehr breit ausgelegt werden und benötigen viel Platz. Um die Weite W des Temperatursensors 1 dennoch klein zu hal­ ten, kann eine Abgleichmöglichkeit mit sehr kleinen Widerständen alternativ auch als optionale Überbrückungen 6 von Windungen des mäanderförmigen ersten metallischen Leiters 3 ausgeführt werden, die über elektrische Ver­ bindungen S0 geschaltet werden. Bei der Auslegung der Anordnung ist der Widerstand der optionalen Überbrückung 6 als Parallelschaltung zu den überbrückten Windungen des ersten metallischen Leiters 3 zu berücksichti­ gen. Es ist aus oben genanntem Grund darauf zu achten, daß nicht mehr als ca. 10% des Endwiderstandes des kalibrierten Temperatursensors von Strukturen stammen, die nicht das gesamte Temperaturprofil erfassen.
In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform wird ein Temperatursen­ sor 1 auf einem herkömmlichen flexiblen Leiterplattensubstrat 2 (kupferka­ schiertes Glashartgewebe auf Epoxydharzbasis) der Dicke 0,3 mm realisiert. Die Dicke der Kupferschicht beträgt dabei 5 µm. Der Widerstand des unka­ librierten Temperatursensors beträgt ca. 132 Ω mit einer Toleranz von ± 12%. Diese Toleranz ist vor allem auf Dickenschwankungen der Kupfer­ schicht dieses preisgünstig erhältlichen Ausgangsmaterials zurückzuführen. Es stehen weiter acht Möglichkeiten zum Abgleich des Temperatursensors 1 zur Verfügung, von denen drei mit den Widerstandswerten 4 Ω, 8 Ω und 16 Ω als Trimmbahnen T1, T2, T3 ausgebildet sind. Die übrigen fünf Abgleich­ möglichkeiten sind durch optionale Überbrückungen 6 verschiedener Teile des mäanderförmigen ersten metallischen Leiters realisiert und erlauben die Reduzierung des Gesamtwiderstandes um 2 Ω, 1 Ω, 0,5 Ω, 0,25 Ω und 0,125 Ω. Man erhält so 256 Kombinationsmöglichkeiten mit einer Abstufung von 0,125 Ω.
Der Gesamtwiderstand nach der Kalibrierung des Temperatursensors 1 soll 116,3 Ω bei 20°C betragen. Durch die Parallelschaltung eines externen Wi­ derstandes zum Temperatursensor 1 kann der Temperaturkoeffizient des Temperatursensors 1 (er entspricht zunächst dem Temperaturkoeffizienten des verwendeten Kupfermaterials) dem eines Platinsensors angenähert werden, und gleichzeitig der Widerstand der Anordnung auf den PT100-Wert von 107,8 Ω bei 20°C gesenkt werden. Die Auswertung dieses Sen­ sors kann nun über eine auf PT100-Verhalten geeichte Auswerteelektronik 7 erfolgen, die als Standardkomponente günstig erhältlich ist.
Im ungünstigsten Fall hat der Gesamtwiderstand dieses Temperatursensors 1 einen Anteil von ca. 3.5%, der nicht vom gesamten Temperaturprofil längs der Länge L des Temperatursensors abhängt. Die Längenausdehnung des Maschinenteiles 5 läßt sich damit hinreichend genau berechnen.
Der Widerstandswert des Temperatursensors 1 wird von einer Auswerte­ elektronik 7 gemessen, die daraus die Längenausdehnung des Maschinen­ teils 5 berechnet und diesen an die Steuerung 8 der Werkzeugmaschine übergibt. Die Steuerung 8 kann nun bei Bedarf die Längenausdehnung durch korrigierte Positionierungsbefehle an die Werkzeugmaschine ausglei­ chen.
Zur Ausführung der Trimmbahnen T1-TN sei noch erwähnt, daß diese nicht nur wie in Fig. 1 gezeichnet als in Serie mit dem ersten metallischen Leiter 3 geschaltete Widerstandsbahnen mit einer Möglichkeit zur Über­ brückung durch elektrische Verbindungen S1-SN ausgeführt werden kön­ nen, es sind z. B. auch Widerstandsbahnen denkbar, die zur Kalibrierung nachträglich parallel zum ersten metallischen Leiter 3 geschaltet werden können. In beiden Varianten ist es möglich, die elektrischen Verbindungen wie beschrieben als Lötbrücken auszuführen, aber auch Drahtbrücken, 0 Ω-Widerstände oder durchtrennbare Leiterbahnstücke sind denkbar.
In Fig. 2 ist eine Anwendung der beschriebenen Temperatursensoren 1 gezeigt. Eine Werkzeugmaschine 10 vom C-Typ hat zwei Arme 11 und 12 in Richtung X und Y. Durch die Rotation einer Spindel 14 im Festlager 13 ent­ steht Wärme, die sich über Arm 11 auch auf Arm 12 ausbreiten kann. Beide Arme 11, 12 dehnen sich dadurch aus und verändern den Abstand zwischen Spindel 14 und Werkstück 15 in unerwünschter Weise. Mit den Temperatur­ sensoren 1 wird das Temperaturprofil der Arme 11 und 12 im wesentlichen über deren gesamte Länge erfaßt und damit eine Korrektur ihrer Längen­ ausdehnung möglich.

Claims (5)

1. Vorrichtung zur Erfassung thermisch bedingter Längenausdehnungen eines Maschinenteils (5) etwa einer Werkzeugmaschine, mit einem längs einer Ausdehnungsrichtung (X) verlegten Temperatursensor (1) aus einem ersten metallischen Leiter (3), dessen elektrischer Wider­ stand proportional zur mittleren Temperatur eines zu überwachenden Bereichs ist, dadurch gekennzeichnet, daß neben dem ersten metalli­ schen Leiter (3) Trimmbahnen (T1-TN) in Form von weiteren metalli­ schen Leitern liegen, die wahlweise über elektrische Verbindungen (S1-SN) mit dem ersten metallischen Leiter (3) verschaltbar sind, und deren elektrischer Widerstand R1-RN ebenfalls proportional zur mittleren Temperatur des zu überwachenden Bereiches ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge (L) des Temperatursensors (1) längs der Ausdehnungsrichtung (X) min­ destens das zwanzigfache seiner Breite (W) beträgt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Trimm­ bahnen (T1-TN) abgestufte elektrische Widerstände aufweisen, und der elektrische Gesamtwiderstand des Temperatursensors (1) mit der Genauigkeit des kleinsten Widerstandes einer Trimmbahn (T1-TN) einstellbar ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste metallische Leiter (3) und die Trimmbahnen (T1-TN) als Leiterbahnen auf einem gemeinsamen Leiterplattensubstrat (2) ausgebildet sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste metallische Leiter (3) und die Trimmbahnen (T1-TN) aus Kupfer beste­ hen.
DE10049718A 2000-10-07 2000-10-07 Vorrichtung zur Erfassung einer thermisch bedingten Längenausdehnung eines Maschinenteils Withdrawn DE10049718A1 (de)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10049718A DE10049718A1 (de) 2000-10-07 2000-10-07 Vorrichtung zur Erfassung einer thermisch bedingten Längenausdehnung eines Maschinenteils
CNB018169759A CN1229617C (zh) 2000-10-07 2001-09-04 用于获取机械零件由热引起的纵向膨胀量的装置
AT01960721T ATE431538T1 (de) 2000-10-07 2001-09-04 Vorrichtung zur erfassung einer thermisch bedingten längenausdehnung eines maschinenteils
EP01960721A EP1328770B1 (de) 2000-10-07 2001-09-04 Vorrichtung zur erfassung einer thermisch bedingten längenausdehnung eines maschinenteils
DE50114898T DE50114898D1 (de) 2000-10-07 2001-09-04 Vorrichtung zur erfassung einer thermisch bedingten längenausdehnung eines maschinenteils
PCT/EP2001/010137 WO2002031434A1 (de) 2000-10-07 2001-09-04 Vorrichtung zur erfassung einer thermisch bedingten längenausdehnung eines maschinenteils
US10/398,571 US6866451B2 (en) 2000-10-07 2001-09-04 Device for detecting a thermal linear dilation on part of a machine
JP2002534773A JP2004511763A (ja) 2000-10-07 2001-09-04 機械部品の、熱に起因する長さ方向への膨張を検出するための装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10049718A DE10049718A1 (de) 2000-10-07 2000-10-07 Vorrichtung zur Erfassung einer thermisch bedingten Längenausdehnung eines Maschinenteils

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10049718A1 true DE10049718A1 (de) 2002-04-18

Family

ID=7659005

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10049718A Withdrawn DE10049718A1 (de) 2000-10-07 2000-10-07 Vorrichtung zur Erfassung einer thermisch bedingten Längenausdehnung eines Maschinenteils
DE50114898T Expired - Lifetime DE50114898D1 (de) 2000-10-07 2001-09-04 Vorrichtung zur erfassung einer thermisch bedingten längenausdehnung eines maschinenteils

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE50114898T Expired - Lifetime DE50114898D1 (de) 2000-10-07 2001-09-04 Vorrichtung zur erfassung einer thermisch bedingten längenausdehnung eines maschinenteils

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6866451B2 (de)
EP (1) EP1328770B1 (de)
JP (1) JP2004511763A (de)
CN (1) CN1229617C (de)
AT (1) ATE431538T1 (de)
DE (2) DE10049718A1 (de)
WO (1) WO2002031434A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10158381B4 (de) * 2001-11-28 2005-01-05 Stemmann-Technik Gmbh Schleifringübertrager

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002003025A1 (en) * 2000-06-30 2002-01-10 Unova Ip Corp. Method for determining effective coefficient of thermal expansion
DE10225243B4 (de) * 2002-06-07 2013-01-31 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmessgerät und Verfahren zur Korrektur von Wärmeausdehnungen, insbesondere für eine Bearbeitungsmaschine
CN100425977C (zh) * 2004-11-22 2008-10-15 中国科学院理化技术研究所 用位移传感器测量聚合物基泡沫材料线膨胀系数的方法
WO2012082543A2 (en) * 2010-12-14 2012-06-21 Mag Ias, Llc Method for automatic compensation of thermal distortion in a gantry machine
US10352678B2 (en) * 2015-09-25 2019-07-16 Mitutoyo Corporation Coefficient-of-thermal-expansion measurement method of dimension reference gauge, measuring device for coefficient of thermal expansion and reference gauge
US10365633B2 (en) * 2017-06-14 2019-07-30 Ford Motor Company Method for generating CNC machine offset based on thermal model
TWI649648B (zh) 2017-12-05 2019-02-01 財團法人工業技術研究院 加工機熱補償控制系統及其方法
CN117030784B (zh) * 2023-10-08 2023-12-15 江苏穹宇机械科技有限公司 一种蒸汽回转窑的轮带热胀冷缩性能测试装置

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3293909A (en) * 1964-06-10 1966-12-27 Boeing Co High temperature strain gage
US4146957A (en) * 1977-01-17 1979-04-03 Engelhard Minerals & Chemicals Corporation Thick film resistance thermometer
US4428976A (en) 1979-11-13 1984-01-31 Gould Inc. Geometric balance adjustment of thin film strain gage sensors
US4331035A (en) 1979-11-13 1982-05-25 Gould Inc. Geometric balance adjustment of thin film strain gage sensors
US4375056A (en) * 1980-02-29 1983-02-22 Leeds & Northrup Company Thin film resistance thermometer device with a predetermined temperature coefficent of resistance and its method of manufacture
JPS58172844U (ja) * 1982-05-13 1983-11-18 株式会社東芝 ロ−ドセル
DE3678063D1 (de) * 1985-08-08 1991-04-18 Hottinger Messtechnik Baldwin Dehnungsmessstreifen-aufnehmer.
DE3633573C1 (de) * 1986-10-02 1988-02-04 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Vorrichtung zur Kompensation von temperaturbedingten Verlagerungen eines Maschinenpunktes,insbesondere der temperaturbedingten Verlagerung einer Arbeitsspindelachse gegenueber einem Maschinen-Referenzpunkt
JPS63187303U (de) * 1987-05-22 1988-11-30
JPH01164001A (ja) * 1987-12-21 1989-06-28 Yamatake Honeywell Co Ltd 薄膜抵抗素子
DE3822873C1 (de) 1988-07-06 1989-10-12 Guenter Prof. Dr.-Ing. Dr.H.C. Dr.E.H. Spur
DE3841488A1 (de) * 1988-12-09 1990-06-13 Zeiss Carl Fa Koordinatenmessgeraet mit einem oder mehreren fuehrungselementen aus aluminium
GB2227563B (en) * 1989-01-28 1992-07-01 Ferranti Int Signal Error determination for multi-axis apparatus due to thermal distortion
JPH07113585B2 (ja) * 1990-04-13 1995-12-06 山武ハネウエル株式会社 測温抵抗体の接続装置
IL94340A (en) * 1990-05-09 1994-05-30 Vishay Israel Ltd Selectable high precision resistor and technique for production thereof
JP2617651B2 (ja) * 1992-05-29 1997-06-04 株式会社ミツトヨ タッチ信号プローブ
JP3196395B2 (ja) * 1993-02-18 2001-08-06 株式会社村田製作所 抵抗温度センサ
DE4312394A1 (de) * 1993-04-16 1994-10-20 Gsf Forschungszentrum Umwelt Widerstandsthermometer
JP3175890B2 (ja) * 1993-12-27 2001-06-11 日本碍子株式会社 温度センサ
JP3436793B2 (ja) * 1994-03-31 2003-08-18 株式会社共和電業 ひずみゲージ
JP3151655B2 (ja) * 1996-02-19 2001-04-03 オークマ株式会社 工作機械の熱変位推定方法
DE19643383A1 (de) 1996-10-21 1998-05-14 Helmut F Schiessl Materialbearbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Überwachung und Steuerung eines Materialbearbeitungsvorgangs
JPH1194650A (ja) * 1997-09-19 1999-04-09 Canon Inc 温度検知素子、その調整方法、及び画像形成装置
JPH11121207A (ja) * 1997-10-13 1999-04-30 Murata Mfg Co Ltd 温度センサ
AU2066699A (en) * 1998-01-16 1999-08-02 Mark Paul Norman Sensor elements
DE19820005B4 (de) * 1998-05-06 2007-04-05 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Flächiger Sensor
EP0969264A3 (de) * 1998-05-06 2001-06-13 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Flächiger Sensor, Anordnung des flächigen Sensors und Verfahren zur Kompensation thermischer Verformungen

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10158381B4 (de) * 2001-11-28 2005-01-05 Stemmann-Technik Gmbh Schleifringübertrager

Also Published As

Publication number Publication date
ATE431538T1 (de) 2009-05-15
US6866451B2 (en) 2005-03-15
JP2004511763A (ja) 2004-04-15
DE50114898D1 (de) 2009-06-25
EP1328770A1 (de) 2003-07-23
EP1328770B1 (de) 2009-05-13
CN1468365A (zh) 2004-01-14
CN1229617C (zh) 2005-11-30
US20040028114A1 (en) 2004-02-12
WO2002031434A1 (de) 2002-04-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2554536C2 (de) Verfahren zum Bestimmen der Breite und/oder des Schichtwiderstandes von flächenhaften Leiterzügen integrierter Schaltungen
EP3566034B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur in situ kalibrierung eines thermometers
DE10335553A1 (de) Verfahren und Anordnung zur Feuchtemessung
DE10049718A1 (de) Vorrichtung zur Erfassung einer thermisch bedingten Längenausdehnung eines Maschinenteils
DE10146321A1 (de) Sensorbaustein mit einem Sensorelement, das von einem Heizelement umgeben ist
DE19753642A1 (de) Elektrischer Widerstand mit wenigstens zwei Anschlußkontaktfeldern auf einem Keramik-Substrat sowie Verfahren zu dessen Herstellung
DE19957991C2 (de) Anordnung einer Heizschicht für einen Hochtemperaturgassensor
DE10254222B4 (de) Fluidum-Durchsatz-Messanordnung
DE60128510T2 (de) Leiterrahmen mit niedrigem Temperaturkoeffizienten für integrierte Schaltungen sowie integrierte Schaltungen mit einem solchen Leiterrahmen
EP2817597B1 (de) Temperaturmess-modul mit lagekompensation
EP3141913A1 (de) Vorrichtung zur messung eines stroms
EP1217635A2 (de) Elektrischer Widerstand mit Platinmetall oder einer Platinmetallverbindung sowie Sensoranordnung
DE19920401A1 (de) Anordnung und Verfahren zur Temperaturschätzung
EP1248968B1 (de) Anordnung zur temperaturmessung und -regelung
DE102004042719A1 (de) Stromsensor mit einem Messwiderstand
DE102013206406B4 (de) Raumklimamessgerät und Regelungseinrichtung
EP3247984B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur temperaturerfassung sowie verwendung der vorrichtung
DE1698249B2 (de) Schaltung zur kompensation der grundlinienneigung des thermogramms bei zwei gegenpolig in reihe geschalteten thermoelementen eines differential-thermoanalysators
DE10216017A1 (de) Halbleiterbauelement
EP1879005A1 (de) Verfahren zur Überprüfung eines Temperatursensors mit mindestens zwei temperatursensitiven Widerständen
EP1982153B1 (de) Widerstandsthermometer
DE102007031615A1 (de) Verfahren zur Überprüfung eines Temperatursensors mit mindestens zwei temperatursensitiven Widerständen
WO2014095423A2 (de) Sensorelement, thermometer sowie verfahren zur bestimmung einer temperatur
EP1609220B1 (de) Temperaturausgleichselement für eine anschlusseinheit
DE19715080C1 (de) Thermometeranordnung mit einem Thermoelement

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8139 Disposal/non-payment of the annual fee