DE10225243B4 - Positionsmessgerät und Verfahren zur Korrektur von Wärmeausdehnungen, insbesondere für eine Bearbeitungsmaschine - Google Patents

Positionsmessgerät und Verfahren zur Korrektur von Wärmeausdehnungen, insbesondere für eine Bearbeitungsmaschine Download PDF

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Abstract

Positionsmessgerät, bestehend aus einem ersten Teil (2.1) und einem zweiten Teil (2.2), wobei das erste Teil (2.1) relativ zum zweiten Teil (2.2) verschiebbar ist, und – das erste Teil (2.1) • eine Maßverkörperung (2.11), sowie • eine Temperaturmesseinheit (2.3) aufweist, die gegenüber der Maßverkörperung (2.11) unverschiebbar angeordnet ist und mehrere Einzelsensoren (2.31) umfasst, die als U-förmige Leiterbahnen ausgebildet sind, und – das zweite Teil (2.2) • einen Abtastkopf (2.21), sowie • eine Korrekturelektronik (2.23), durch welche ein temperaturkorrigierter Positionswert (X2k; Xk) ermittelbar ist, aufweist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Korrektur von Wärmeausdehnungen bei einem Positionsmessgerät gemäß dem Anspruch 1 und ein entsprechendes Verfahren gemäß Anspruch 9. Darüber hinaus betrifft die Erfindung auch eine Bearbeitungsmaschine gemäß Anspruch 13.
  • Derartige Positionsmessgeräte bestehen häufig aus einem ersten Bauteil etwa ein Maßstabsgehäuse, in dem ein Maßstab oder ein Maßband als Maßverkörperung untergebracht ist, und aus einem zweiten Bauteil, häufig ein Abtastwagen mit einem Abtastkopf, durch welchen eine Abtastung der Maßverkörperung vorgenommen wird. Beide Bauteile sind relativ zueinander in Messrichtung verschiebbar und können an jeweils zueinander verfahrbare Teile einer Bearbeitungsmaschine, etwa einer Werkzeugmaschine montiert werden, um die relative Position dieser zueinander verfahrbaren Teile zu bestimmen.
  • Im Betrieb solcher Werkzeugmaschinen wird ausgehend von den Antrieben, Lager oder Führungen Wärme in die Werkzeugmaschine eingebracht.
  • Diese Erwärmungen führen zu Wärmedehnungen und Verformungen der Werkzeugmaschine und werden in der Regel auch auf die Maßverkörperung selbst übertragen, so dass auch dort eine temperaturbedingte Längenänderung festzustellen ist. Die Erwärmungen führen daher letztlich zu einer Beeinträchtigung der Bearbeitungsgenauigkeit der gesamten Werkzeugmaschine.
  • Es gibt zahlreiche Ansätze diese Ursache der Verschlechterung der Bearbeitungsgenauigkeit, zum Beispiel durch eine angepasste Bauweise der Werkzeugmaschinen, zu reduzieren. Diese bieten aber nur begrenztes Optimierungspotenzial, so dass häufig eine aktive temperaturabhängige Messwertkorrektur vorgenommen wird.
  • In der DE 1 99 04 472 A1 der Anmelderin wird durch eine spezielle Platzierung von länglichen Temperatursensoren eine verbesserte Korrektur von temperaturbedingten Verformungen an Werkzeugmaschinen erreicht. Die Auswertung der Temperatursensorsignale erfolgt dort in der Auswerteeinheit der numerischen Steuerung der Werkzeugmaschine.
  • Gemäß der DE 1 00 07 540 A1 kann der Temperaturgradient entlang eines Maßstabes für eine Temperaturkorrektur einer Längenmessung herangezogen werden. Dabei werden die Messdaten von punktförmigen Einzelsensoren entsprechend weiterverarbeitet.
  • In der DE 1 96 01 275 A1 der Anmelderin ist ein Positionsmessgerät gezeigt, bei dem durch einen mit dem Abtastwagen mitbewegten Temperatursensor die lokale Maßstabstemperatur ermittelt wird. Das entsprechende Temperatursignal wird über ein Kabel an eine ortsfeste elektronische Vorrichtung übermittelt, wo ein korrigierter Positionswert berechnet wird.
  • Die Vorrichtungen und Verfahren im Stand der Technik haben unter anderem den Nachteil, dass ein Abgleich zwischen der Auswerteelektronik, die üblicherweise in der numerischen Maschinesteuerung untergebracht ist, und dem Positionsmessgerät für die thermische Korrektur erforderlich ist. Dabei treten häufig Inkompatibilitäten auf, die, wenn überhaupt, meistens nur unter großem Zeitaufwand beseitigt werden können.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren zu schaffen, so dass hochpräzise Bearbeitungsergebnisse erreicht werden können, wobei für die thermische Korrektur kein Abgleich zwischen Maschinesteuerung und Positionsmessgerät bzw. und einer Bearbeitungsmaschine vorgenommen werden muss.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Positionsmessgerät mit den Merkmalen des Anspruches 1 sowie einem Verfahren mit den Merkmalen des Anspruches 10 beziehungsweise durch eine Bearbeitungsmaschine, insbesondere eine Werkzeugmaschine, mit den Merkmalen des Anspruches 14 gelöst.
  • Die Vorteile des erfindungsgemäßen Positionsmessgerätes sind besonders darin zu sehen, dass durch eine vergleichsweise kostengünstige und einfach zu implementierende Lösung eine hohe Präzision erreicht werden kann.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
  • Die Erfindung beruht insbesondere auf dem Gedanken, dass im Bereich der Maßverkörperung durch eine Aktivierung von Einzelsensoren, die als U-förmige Leiterbahnen ausgebildet sind, eine Temperaturmessung vorgenommen wird, so dass ein Temperaturprofil bestimmt werden kann bzw. mehrere Einzeltemperaturen entlang der Messrichtung ermitteln werden können. Abhängig von der unkorrigierten Position des Abtastwagens, bzw. des am Abtastwagen befestigten Abtastkopfes, relativ zur Maßverkörperung werden die Temperaturmesswerte eines oder mehrerer Einzelsensoren für die Korrektur des Positionswertes berücksichtigt. Die Korrektur wird mit Hilfe einer Korrekturelektronik vorgenommen, die sich am oder im Abtastwagen befindet. Die temperaturkorrigierten Positionsdaten können dann an eine Maschinensteuerung, beispielsweise seriell, übermittelt werden. Die Übermittlung der temperaturkorrigierten Positionsdaten kann über ein Kabel oder aber auch drahtlos erfolgen. Dadurch, dass hier bereits korrigierte Positionsdaten vom Positionsmessgerät bzw. von der Bearbeitungsmaschine an eine Maschinensteuerung übergeben werden, ist dieses System universell und unabhängig von Typ der Maschinensteuerung einsetzbar. Separate Auswertungen der Temperatursensorsignale brauchen in der Maschinensteuerung nicht vorgenommen werden. Inkompatibilitäten zwischen der Maschinensteuerung und dem Positionsmessgerät bzw. und der Bearbeitungsmaschine treten folglich bei dieser Art der Temperaturkorrektur nicht auf.
  • Als geometrischer Ausgangs- oder Nullpunkt für die Korrektur wird der sogenannte thermische Fixpunkt der Maßverkörperung herangezogen. Unter dem thermischen Fixpunkt der Maßverkörperung, ist derjenige Punkt, gegebenenfalls auch diejenige Linie, zu verstehen, welcher sich bei einer Temperaturänderung relativ zu seiner Unterlage nicht bewegt, auch wenn diese Unterlage einen anderen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist als die Maßverkörperung des Positionsmessgerätes. Als Unterlage ist in diesem Zusammenhang insbesondere das Maßstabsgehäuse oder ein Teil einer Bearbeitungsmaschine, etwa das Maschinenbett einer Werkzeugmaschine, zu sehen.
  • Der Begriff Bearbeitungsmaschine ist nicht auf Werkzeugmaschinen eingegrenzt, sondern umfasst auch Maschinen zur Bestückung von Elektronikbauteilen oder zur Bearbeitung von Halbleiterelementen. Darüber hinaus fallen unter die Bezeichnung Bearbeitungsmaschine auch Automatisierungsmaschinen, wie etwa Roboter.
  • Auch diese Bearbeitungsmaschinen weisen in der Regel mindestens einen thermischen Fixpunkt (gegebenenfalls auch eine Linie) auf, der dadurch gekennzeichnet ist, dass dieser relativ zu einem Punkt auf einer funktionsrelevanten Achse thermischbedingt nicht wandert. Für Werkzeugmaschinen, bei denen ein Maschinenschlitten oder Werkstücktisch in horizontaler Richtung verfahrbar ist und demgegenüber das Werkzeug nur in vertikaler Richtung bewegt werden kann, ist diese funktionsrelevante Achse üblicherweise die Bewegungsachse des Werkzeuges. Für den umgekehrten Fall, wenn der Werkstücktisch nicht verfahrbar ist, aber die Bewegungsachse des Werkzeuges bewegt wird, kann die funktionsrelevante Achse orthogonal zur Messrichtung durch einen Punkt auf dem Werkstücktisch, beispielsweise eine Ecke verlaufen.
  • In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird zusätzlich zur temperaturbedingten Änderung des Abstandes zwischen thermischem Fixpunkt der Maßverkörperung und des Abtastkopfes auch die temperaturbedingte Abstandsänderung zwischen der Maßverkörperung und dem thermischen Fixpunkt der Bearbeitungsmaschine berücksichtigt.
  • Weitere Einzelheiten und Vorteile der erfindungsgemäßen Vorrichtung und des erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispieles anhand der beiliegenden Figuren.
  • Es zeigen die
  • 1 eine schematische Darstellung einer Werkzeugmaschine mit einem Positionsmessgerät,
  • 2a einen Längsschnitt durch das Maßstabsgehäuse des Positionsmessgerätes,
  • 2b einen Querschnitt durch das Maßstabsgehäuse des Positionsmessgerätes mit dem Abtastwagen,
  • 3 eine schematische Darstellung der elektrischen Schaltung des Positionsmessgerätes,
  • 4 eine alternative Ausgestaltung einer Temperaturmesseinheit.
  • Die im Ausführungsbeispiel beschriebene Anordnung umfasst eine Werkzeugmaschine 1, die aus einem ortsfesten Maschinenbett 1.1 und einem relativ zum Maschinenbett verfahrbaren Maschinenschlitten 1.2 besteht. Am Maschinenschlitten 1.2 kann ein Werkstück 3 eingespannt werden, das durch ein Werkzeug 1.11, beispielsweise ein Fräser, bearbeitet werden kann. Mit Hilfe eines Positionsmessgerätes 2 kann die relative Position zwischen dem Werkzeug 1.11 und dem Werkstück 3 bestimmt werden. Zu diesem Zweck ist am Maschinenbett 1.1 ein Maßstabsgehäuse 2.1 des Positionsmessgerätes 2 befestigt und am Maschinenschlitten 1.2 ein verfahrbarer Abtastwagen 2.2. In der Ansicht wird der übersichtlichkeithalber als Bearbeitungsrichtung nur die Messrichtung X betrachtet. Die Werkzeugachse W1 ist im gezeigten Beispiel nicht in die Messrichtung X bewegbar, sondern nur in vertikaler Richtung.
  • Darüber hinaus ist an der Werkzeugmaschine 1 ein Temperatursensor 4 angebracht. Der Temperatursensor 4 besteht gemäß der 3 aus einer mäanderförmigen Leiterbahn 4.1, die auf einem dünnen Leiterplattensubstrat 4.2 aufgebracht ist. Die mäanderförmige Leiterbahn 4.1 weist einen temperaturabhängigen Widerstand auf, so dass diese als Temperaturfühler genutzt werden kann.
  • Die Werkzeugmaschine 1 weist, wie in der 1 gezeigt, einen thermischen Fixpunkt F1 auf, der sich dadurch auszeichnet, dass sich eine Linie, nämlich die sogenannte thermische Fixpunktlinie f1 orthogonal zur Messrichtung X durch den thermischen Fixpunkt F1 nicht gegenüber der Werkzeugachse W1 verschiebt, auch wenn sich die Temperatur der Werkzeugmaschine 1 ändert. Der thermische Fixpunkt F1 liegt im gezeigten Beispiel auf der Verlängerung der Werkzeugachse W1.
  • Das Positionsmessgerät 2 besteht, wie bereits erwähnt, aus einem Maßstabsgehäuse 2.1 und einem Abtastwagen 2.2. Entsprechend der 2a ist im Maßstabsgehäuse 2.1 des Positionsmessgerätes 2 in seinem mittleren Bereich eine Bohrung 2.13 vorgesehen, durch die das Maßstabsgehäuse 2.1 unverrückbar mit dem Maschinenbett 1.1 der Werkzeugmaschine 1, etwa durch eine Schraubverbindung, befestigt werden kann. Darüber hinaus kann das Maßstabsgehäuse 2.1 an weiteren Punkten mittels Schraubverbindung am Maschinenbett 2.1 fixiert werden, allerdings ist diese Befestigung derart ausgeführt, dass eine geringfügige Verschiebung in X-Richtung zwischen Maßstabsgehäuse 2.1 und Maschinenbett 1.1 möglich ist. Dies wird dadurch erreicht, dass die entsprechenden Bohrungen im Maßstabsgehäuse 2.1, durch welche die Befestigungsschrauben gesteckt werden können in bezüglich der X-Richtung vergleichsweise biegeweichen Laschen 2.14 vorgesehen sind.
  • Innerhalb des Maßstabsgehäuses 2.1 befindet sich ein Maßstab 2.11, der mit dem Maßstabsgehäuses 2.1 beispielsweise durch eine Klebeverbindung 2.12, gemäß der 2b fest verbunden ist. Der Maßstab 2.11 besteht aus einem Glaskörper und verfügt demnach über einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von 8 ppm/K. Der Maßstab 2.11 weist eine Skalenteilung in Form eines Strichmusters auf, wobei bei einer Temperatur von 20°C jeder Strich eine Breite von 10 μm hat, wie auch jede Lücke zwischen zwei benachbarten Strichen ebenfalls 10 μm misst. Die Klebeverbindung 2.12 ist dergestalt, dass sich der Maßstab 2.11 in den gegebenen Grenzen in X-Richtung praktisch frei gegenüber dem Maßstabsgehäuse 2.1 verschieben kann. Aufgrund des sich ergebenden Kräftegleichgewichtes bei einer Temperaturänderung des Maßstabsgehäuses 2.1 und damit auch des Maßstabes 2.11 selbst, bleibt die Mitte des Maßstabes 2.11 von einem ortfesten Betrachter aus gesehen am gleichen Ort, nämlich an dessen thermischen Fixpunkt F2. Dagegen werden sich die beiden Enden des Maßstabes 2.11 bei einer Erwärmung nach außen, vom thermischen Fixpunkt F2 wegbewegen und bei einer Abkühlung zum thermischen Fixpunkt F2 hin bewegen. Nachdem für die Positionsmessung die Messrichtung X relevant ist, kann man als geometrischen Bezug für die thermische Ausdehnung des Positionsmessgerätes 2 in guter Näherung auch eine Fixpunktlinie f2, die orthogonal zur Messrichtung X ausgerichtet ist und auf welcher der thermische Fixpunkt F2 liegt, heranziehen.
  • An der Innenwand des Maßstabsgehäuses 2.1 ist gemäß der 2b darüber hinaus eine Temperaturmesseinheit 2.3 befestigt, die sich parallel zur Messrichtung X erstreckt. Die Temperaturmesseinheit 2.3 besteht aus Einzelsensoren, die auf einem Leiterplattensubstrat 2.32 aufgebracht sind. Die Einzelsensoren sind im gezeigten Beispiel als U-förmige Leiterbahnen 2.31 ausgeführt, wobei jede U-förmige Leiterbahn 2.31 naturgemäß eine Umkehrung aufweist. Der Abstand eines festen Punktes auf der Fixpunktlinie f2 zur jeweiligen Umkehrung ist für jede U-förmige Leiterbahn 2.31 unterschiedlich groß. Die U-förmigen Leiterbahnen 2.31 weisen jeweils einen temperaturabhängigen Widerstand auf und können deshalb als Temperatursensoren verwendet werden, wobei der Widerstand jeder U-förmigen Leiterbahn 2.31 Rückschlüsse auf die mittlere Temperatur im jeweiligen Bereich entlang der Messrichtung X erlaubt. Eine numerische Integration, bzw. Mittelung muss systembedingt bei dieser Anordnung im Auswerteprozess nicht mehr vorgenommen werden.
  • Durch die Anbringung der Temperaturmesseinrichtung 2.3 an der Wand des Maßstabsgehäuses 2.1 wird im Prinzip die Temperatur des Maßstabsgehäuses 2.1 gemessen. In der Praxis zeigte es sich, dass der Temperaturunterschied zwischen Maßstabsgehäuse 2.1 und Maßstab 2.11 vernachlässigbar klein ist. Für eine möglichst genaue Messung ist es aber prinzipiell von Vorteil, wenn der Abstand zwischen Temperaturmesseinheit 2.3 und Maßstabsgehäuse 2.1 klein gehalten wird.
  • Der Abtastwagen 2.2 des Positionsmessgerätes 2 ist, wie in der 2b gezeigt, am Maschinenschlitten 1.2 der Werkzeugmaschine 1 befestigt, in diesem Fall verschraubt, so dass der Abtastwagen 2.2 im Betrieb der Werkzeugmaschine 1 mit dem Maschinenschlitten 1.2 mitbewegt wird. Der Abtastwagen 2.2 besteht aus einem Abtastkopf 2.21, und einem Montagefuß 2.22, in dem elektronische Komponenten untergebracht sind. Eine dieser elektronischen Komponenten ist die Korrekturelektronik 2.23. Darüber hinaus weist der Abtastwagen 2.2 auch eine serielle Schnittstelle 2.24 auf.
  • Die Funktion des Positionsmessgerätes 2 beruht auf einem optischen Prinzip, wobei der Maßstab 2.11 vom Abtastkopf 2.21 des Abtastwagens 2.2 im Durchlichtverfahren abgetastet wird. Alternativ dazu können natürlich auch andere Messverfahren zur Anwendung kommen, so können etwa magnetische Maßstäbe abgetastet werden, oder es können auch induktive Messprinzipen eingesetzt werden.
  • Gemäß der schematischen Darstellung der 3 befinden sich im Maßstabsgehäuse 2.1 darüber hinaus noch elektronische Bauteile, die in den 2a und 2b nicht näher dargestellt sind. Insbesondere sind dies ein Multiplexer 2.35, und ein Analog-Digital-Wandler 2.36. Die Endpunkte 2.33 der U-förmigen Leiterbahnen 2.31 werden gemäß der 3 mit einem Multiplexer 2.35 verbunden, der mit einem Analog-Digitalwandler 2.36 in Verbindung steht, der seinerseits in elektrischer Verbindung mit der Korrekturelektronik 2.23 im Abtastwagen 2.2 steht. Die Korrekturelektronik 2.23 ist über eine serielle Schnittstelle 2.24 und einem Kabel mit einer Maschinensteuerung 5 verbunden.
  • Im Betrieb des Positionsmessgerätes 2 wird in Zeitintervallen von 10 Sekunden der Multiplexer 2.35 komplett durchgeschaltet, so dass jede der U-förmigen Leiterbahnen 2.31 bestromt wird, und deren Widerstand und damit deren mittlere Temperatur mit Hilfe der gängigen Vier-Leitertechnik bestimmt wird. Die Temperaturen werden im Analog-Digital-Wandler 2.36 in digitale Daten umgewandelt und dann über eine Kabelverbindung an die Korrekturelektronik 2.35 im Abtastkopf 2.21 weitergeleitet, wo sie dann abgespeichert werden.
  • Zeitlich parallel dazu erfolgt die Abtastung des Maßstabes 2.11 durch den Abtastkopf 2.21. Dabei ermittelt die Elektronik im Abtastwagen 2.2, wie viele Skalenteilungen bzw. Striche des Maßstabes 2.11 zwischen dem thermischen Fixpunkt F2 und der aktuellen Position des Abtastwagens 2.2 liegen. Im gezeigten Beispiel beträgt der Mittenabstand zweier benachbarter Striche bei 20°C auf dem Maßstab 2.1 20 μm.
  • Der absolute Abstand in Millimeter bzw. Mikrometern hängt nun davon ab, welche mittlere Temperatur des Maßstabes 2.11 in dem relevanten Bereich, nämlich zwischen dem thermischen Fixpunkt F2 des Maßstabs 2.11 und der aktuellen Position des Abtastwagens 2.2 vorliegt. Ausgehend von der aktuellen Strichzahl wird der relevante Bereich ausgewählt. Danach wird diejenige U-förmige Leiterbahn 2.31 bestimmt, deren Umkehrung der aktuellen Position des Abtastwagens 2.2 am nächsten kommt. Sodann wird der entsprechende Temperaturwert der ausgewählten U-förmige Leiterbahn 2.31 aus dem Speicher der Korrekturelektronik 2.23 abgefragt. Nun kann durch die Korrekturelektronik 2.23 eine Korrektur der gemessenen Länge vorgenommen werden. Es sind hier beispielsweise 10 000 Striche des Maßstabes 2.11 durch den Abtastwagen 2.2 seit dem Passieren des thermischen Fixpunktes F2 überfahren worden. Entsprechend dieser Strichzahl wird die dazugehörige U-förmige Leiterbahn 2.31 zur Temperaturmessung herangezogen. Es wird beispielsweise eine mittlere Temperatur für den relevanten Bereich von 32,5°C festgestellt. Aus dieser Information kann nun die temperaturkorrigierte Position X2k, siehe 1, nach folgender Formel bestimmt werden: X2k = 10000·20 μm + (10000·20 μm·(32,5°C – 20°C)·8 ppm/K) X2k = 200000 im + 20 μm = 200020 μm
  • Der tatsächliche, korrigierte Abstand X2k zwischen der Fixpunktlinie f2 und dem Abtastwagen 2.2 beträgt also 200020 μm.
  • Alternativ zu der beschriebenen Methode kann zur Temperaturbestimmung auch der Mittelwert zweier U-förmige Leiterbahnen 2.31 zwischen deren Umkehrungen sich der Abtastwagen 2.2 befindet, herangezogen werden. Ebenso kann die Genauigkeit durch die Erhöhung der Anzahl der U-förmige Leiterbahnen 3.31 bzw. von Einzelsensoren bei gegebener Länge des Maßstabes 2.11 erhöht werden.
  • Die Bearbeitungsgenauigkeit der Werkzeugmaschine 1 kann darüber hinaus weiter gesteigert werden, wenn man die thermisch bedingte Ausdehnung zwischen den Fixpunktlinien f1 und f2 berücksichtigt, also letztlich die thermisch korrigierte Position zwischen dem Werkzeug 1.11 und dem Maschinenschlitten 1.2. Dies wird durch Berücksichtigung der Temperatur zwischen den thermischen Fixpunktlinien f1 und f2 erreicht, indem die mittlere Temperatur durch den Temperatursensor 4 bestimmt wird. Für die Bestimmung der Temperatur wird die Korrekturelektronik 2.23 im Abtastwagen 2.2 eingesetzt, die über ein Kabel mit dem Temperatursensor 4 verbunden ist.
  • Im gezeigten Beispiel beträgt der Abstand zwischen den Fixpunktlinien f1 und f2 bei 20°C 400000 μm. Im Betrieb der Werkzeugmaschine 1 wird nun eine mittlere Temperatur zwischen den Fixpunktlinien f1 und f2 von 30°C gemessen. Der thermische Ausdehnungskoeffizient der Werkzeugmaschine 1 im entsprechenden Bereich zwischen den Fixpunktlinien f1 und f2 beträgt 10,5 ppm/K.
  • Somit ergibt sich folgender, korrigierter Abstand X1k zwischen den beiden thermischen Fixpunktlinien f1 und f2: X1k = 400000 μm + (400000 μm·(30°C – 20°C) – 10,5 ppm/K) X1k = 400000 μm + 42 μm = 400042 μm
  • Der korrigierte Abstand zwischen dem Abtastwagen 2.2 und der Fixpunktlinie f1 beträgt demnach: Xk = X1k + X2k = 200020 μm + 400042 μm = 600062 μm
  • Es konnte bei der Bearbeitung des Werkstückes 3 somit in der Messrichtung X ein Längenfehler von 62 μm kompensiert werden.
  • Der korrigierte Positionswert Xk wird von der Korrekturelektronik 2.23 im Abtastwagen 2.2 an eine serielle Schnittstelle 2.24 weitergeleitetet. An der seriellen Schnittstelle 2.24 befindet sich ein Kabel einer Steuerung 5, die als korrigierten Positionswert die 600062 μm in Form eines mehrstelligen digitalen Codewortes erhält, ohne dass dort für die Korrektur eine Rechnerleistung bereitgestellt werden muss.
  • Die Werkzeugmaschine 1, bzw. das Positionsmessgerät 2 ist damit in der Lage einen bereits korrigierten Positionsmesswert auszugeben, der, insbesondere wenn er als digitaler Wert weitergegeben wird, von jeder Maschinensteuerung 5 eingelesen werden kann. Es ist somit eine Werkzeugmaschine 1, bzw. ein Positionsmessgerät 2 geschaffen worden, welche bzw. welches universal mit verschiedensten Typen von Maschinensteuerungen 5 eingesetzt werden kann.
  • In der 4 ist eine alternative Ausgestaltung der Temperaturmesseinheit 2.3 gezeigt. Dabei sind die Einzelsensoren 2.31 über einen Datenbus 2.34 miteinander verbunden. Im Betrieb des Positionsmessgerätes 2 bzw. der Werkzeugmaschine 1 werden die Temperaturen in einem vorgegeben Zeitintervall von der Korrekturelektronik 2.23 abgefragt und gespeichert.
  • Die Korrekturelektronik 2.23, kann entsprechend den erforderlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten des Maßstabes 2.11 bzw. des gesamten Längenmesssystems und der Werkzeugmaschine 1, beispielsweise durch einen geeigneten EPROM-Baustein, konfiguriert werden. Ebenso besteht die Möglichkeit, dass vor der Inbetriebnahme des Positionsmessgerätes 2 bzw. der Maschine 1 ein geeigneter Wärmeausdehnungskoeffizient des Positionsmessgerätes 2 und/oder der Maschine 1 per Software festgelegt werden kann.
  • Darüber hinaus ist es aber auch noch möglich, dass eine Anpassung der Korrektur auf das verwendete Werkstückmaterial vorgenommen wird. Wenn etwa mit der Werkzeugmaschine 1 ausschließlich Aluminium verarbeitet wird, so kann dies in der Konfiguration der Korrekturelektronik bereits berücksichtigt werden. Voraussetzung für eine wirksame Korrektur ist in diesem Fall auch die Kenntnis der Werkstücktemperatur.

Claims (15)

  1. Positionsmessgerät, bestehend aus einem ersten Teil (2.1) und einem zweiten Teil (2.2), wobei das erste Teil (2.1) relativ zum zweiten Teil (2.2) verschiebbar ist, und – das erste Teil (2.1) • eine Maßverkörperung (2.11), sowie • eine Temperaturmesseinheit (2.3) aufweist, die gegenüber der Maßverkörperung (2.11) unverschiebbar angeordnet ist und mehrere Einzelsensoren (2.31) umfasst, die als U-förmige Leiterbahnen ausgebildet sind, und – das zweite Teil (2.2) • einen Abtastkopf (2.21), sowie • eine Korrekturelektronik (2.23), durch welche ein temperaturkorrigierter Positionswert (X2k; Xk) ermittelbar ist, aufweist.
  2. Positionsmessgerät gemäß Anspruch 1, wobei der temperaturkorrigierte Positionswert (X2k; Xk) basierend auf den Messergebnissen der Temperaturmesseinheit (2.3) und der unkorrigierten Position des Abtastkopfes (2.21) relativ zur Maßverkörperung (2.11) ermittelbar ist.
  3. Positionsmessgerät gemäß einem der Ansprüche 1 oder 2, wobei das zweite Teil (2.2) eine serielle Schnittstelle (2.24) zur Übertragung der korrigierten Positionswerte (X2k; Xk) an eine weiterverarbeitende Elektronik (5), insbesondere eine Maschinensteuerung, aufweist.
  4. Positionsmessgerät gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Einzelsensoren (2.31) der Temperaturmesseinheit (2.3) über einen Multiplexer (2.35) mit der Korrekturelektronik (2.23) verbunden sind.
  5. Positionsmessgerät, gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Einzelsensoren (2.31) über einen Datenbus (2.34) gekoppelt sind.
  6. Positionsmessgerät gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einem weiteren Temperatursensor (4), mit dem die mittlere Temperatur eines ersten Maschinenelementes (2.1) im Bereich zwischen einem thermischen Fixpunkt (F2) der Maßverkörperung (2.11) und einem thermischen Fixpunkt (F1) des ersten Maschinenelementes (1.1) erfassbar ist.
  7. Positionsmessgerät gemäß Anspruch 6, wobei der weitere Temperatursensor (4) zur Weiterverarbeitung der Messwerte mit einer Elektronik im zweiten Teil (2.2) des Positionsmessgerätes (2) in Verbindung steht.
  8. Positionsmessgerät gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Korrekturelektronik (2.23) mindestens ein für die Korrektur erforderlicher Wärmeausdehnungskoeffizient per Software vorgebbar ist.
  9. Verfahren zur Positionsmessung mit einem Positionsmessgerät, bestehend aus einem ersten Teil (2.1) und einem zweiten Teil (2.2), wobei das erste Teil (2.1) relativ zum zweiten Teil (2.2) entlang einer Messrichtung (X) verschiebbar ist und mehrere Einzelsensoren (2.31) umfasst, die als U-förmige Leiterbahnen ausgebildet sind, mit folgenden Schritten: • Aktivierung mindestens eines Einzelsensors (2.31) einer Temperaturmesseinheit (2.3), die sich entlang der Messrichtung im ersten Teil (2.1) erstreckt, zur Bestimmung der Temperatur des mindestens einen Einzelsensors (2.31), • Bestimmung der unkorrigierten Position eines Abtastkopfes (2.21), welcher dem zweiten Teil (2.2) zugeordnet ist, relativ zu einer Maßverkörperung (2.11), die dem ersten Teil (2.1) zugeordnet ist, • Korrektur der unkorrigierten Position des Abtastkopfes (2.21) relativ zur Maßverkörperung (2.11), basierend auf der gemessenen Temperatur zumindest eines Einzelsensors (2.31) durch eine Korrekturelektronik (2.23) im zweiten Teil (2.2) des Positionsmessgerätes (2).
  10. Verfahren gemäß Anspruch 9, wobei in einem weiteren Schritt die korrigierten Daten von der Korrekturelektronik (2.23) zu einer weiterverarbeitende Elektronik (5), insbesondere zu einer Maschinensteuerung, übertragen werden.
  11. Verfahren gemäß Anspruch 9 oder 10, mit folgenden zusätzlichen Schritten: • Bestimmung der Temperatur eines ersten Maschinenelements (1.1), das einen thermischen Fixpunkt (F1) aufweist, im Bereich zwischen diesem thermischen Fixpunkt (F1) und einem thermischen Fixpunkt (F2) der Maßverkörperung (2.11) durch einen weiteren Temperatursensor (4), • Korrektur der unkorrigierten Position des Abtastkopfes (2.21) relativ zur Maßverkörperung (2.11), basierend auf der gemessenen Temperatur zumindest eines Einzelsensors (2.31) und der gemessenen Temperatur des weiteren Temperatursensors (4), durch eine Korrekturelektronik (2.23), welche dem zweiten Teil (2.2) zugeordnet ist.
  12. Verfahren gemäß Anspruch 9, 10 oder 11, wobei der Korrekturelektronik (2.23) mindestens ein für die Korrektur erforderlicher Wärmeausdehnungskoeffizient per Software vorgegeben wird.
  13. Bearbeitungsmaschine, insbesondere Werkzeugmaschine, bestehend aus – einem ersten Maschinenelement (1.1), – einem zweiten Maschinenelement (1.2), welches relativ zum ersten Maschinenelement (1.1) verschiebbar ist, und – einem Positionsmessgerät (2), bestehend aus einem ersten Teil (2.1) und einem zweiten Teil (2.2), wobei das erste Teil (2.1) relativ zum zweiten Teil (2.2) verschiebbar ist, und • das erste Teil (2.1) unverschiebbar mit dem ersten Maschinenelement (1.1) verbunden ist und • eine Maßverkörperung (2.11), sowie • eine Temperaturmesseinheit (2.3) aufweist, die gegenüber der Maßverkörperung (2.11) unverschiebbar angeordnet ist und mehrere Einzelsensoren (2.31) umfasst, die als U-förmige Leiterbahnen ausgebildet sind, und • das zweite Teil (2.2) unverschiebbar mit einem zweiten Maschinenelement (1.2) verbunden ist und • einen Abtastkopf (2.21), sowie • eine Korrekturelektronik (2.23), durch welche ein temperaturkorrigierter Positionswert (X2k; Xk) ermittelbar ist, aufweist.
  14. Bearbeitungsmaschine gemäß Anspruch 13, wobei am ersten Maschinenelement (1.1) ein weiterer Temperatursensor (4) angebracht ist, der zur Weiterverarbeitung der Messwerte mit der Korrekturelektronik (2.23) im zweiten Teil (2.2) des Positionsmessgerätes in Verbindung bringbar ist.
  15. Bearbeitungsmaschine gemäß Anspruch 14, wobei das erste Maschinenelement (1.1) einen thermischen Fixpunkt (F1) und die Maßverkörperung (2.11) des Positionsmessgerätes (2) ebenso einen thermischen Fixpunkt (F2) aufweist, wobei durch den weiteren Temperatursensor (4) die Temperatur des ersten Maschinenelements (1.1) im Bereich zwischen den thermischen Fixpunkten (F1; F2) bestimmbar ist und durch die Temperaturmesseinheit (2.3) die Temperatur zwischen dem thermischen Fixpunkt (F2) der Maßverkörperung (2.11) und des zweiten Teils (2.2) bestimmbar ist.
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