DE2820753B1 - Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmesssystemen - Google Patents
Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei PositionsmesssystemenInfo
- Publication number
- DE2820753B1 DE2820753B1 DE2820753A DE2820753A DE2820753B1 DE 2820753 B1 DE2820753 B1 DE 2820753B1 DE 2820753 A DE2820753 A DE 2820753A DE 2820753 A DE2820753 A DE 2820753A DE 2820753 B1 DE2820753 B1 DE 2820753B1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- error correction
- correction profile
- housing
- machine
- graduation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims description 29
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Korrektur von Maschinen- und/oder Teilungsfehlern bei
Positionsmeßsystemen von Präzisionsmaschinen und -geräten mit Hilfe eines Fehlerkorrekturprofils, wobei
zur Messung der Relativlage zweier Objekte eine Teilungsverkörperung an einem Träger befestigt ist und
die Teilung von einer Abtasteinheit abgetastet wird, die mit einem zu messenden Objekt der Maschine
oder des Geräts verbunden ist.
Einrichtungen und Verfahren zur Korrektur von Maschinen- und/oder Teilungsfehlern sind bereits bekannt.
In der DE-PS 866402 wird zum Stand der Technik eine Meßeinrichtung mit einem Korrekturlineal
genannt, von dem aus die Ablesemarke mechanisch in eine dem jeweiligen Meßstrecken-Fehler entsprechende
Stellung gegenüber der Streckenmarke
gesteuert wird.
Aus der US-PS 3039032 ist ein Stellungsmeßsystem mit einer Korrekturschablone bekannt, die von
einem Fühler abgetastet wird, der direkt auf den Meßgeber einwirkt.
Ein weiteres Fehlerkorrektursystem ist in der DE-OS 2042505 beschrieben, bei dem das numerische
Meßsytem einer Maschine durch ein eine Korrekturschablone abtastendes Organ eine Zusatzbewegung
entsprechend dem jeweiligen Fehlerwert der Maschinenspindel erfährt. Die genannten Korrektureinrichtungen
weisen jeweils gesondert eine Korrekturschablone oder ein Korrekturlineal auf, die nach der
Herstellung am Meßgerät befestigt und justiert werden müssen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zur Fehlerkorrektur der eingangs genannten
Art zu schaffen, mit der eine besonders einfache und genaue Kompensation von Maschinen-
und/oder Teilungsfehlern erzielt wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß das Fehlerkorrekturprofil integrierender
Bestandteil eines ohnehin bei der Präzisionsmaschine oder dem Präzisionsgerät vorhandenen
Bauteils, z. B. des Trägers, des Gehäuses oder eines Gehäuseteils ist, so daß sich ein Befestigen und Justieren
eines separaten Fehlerkorrekturprofils an der Maschine oder dem Gerät erübrigt.
Weitere vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung und ein zweckmäßiges Verfahren zur Herstellung eines
Fehlerkorrekturprofils entnimmt man den Unteransprüchen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher
erläutert. Es zeigt
Fig. la, b, c drei Schnittansichten eines Längenmeßgeräts
nach der Erfindung, bei dem ein Maßstab an einem Träger befestigt ist,
Fig. 2a, b, c drei Schnittansichten eines Längenmeßgeräts, bei dem ein Maßstab in einem gekapselten
Gehäuse angeordnet ist, und
Fig. 3a, b, c drei Schnittansichten eines Längenmeßgeräts, bei dem ein Maßstab in einem gekapselten
zweiteiligen Gehäuse angeordnet ist.
In der Fig. 1 a, b, c ist ein Längenmeßgerät mit einem
Träger 1 an einem Bett 2 einer Bearbeitungsmaschine oder einer Meßmaschine durch eine Schraubverbindung
3 befestigt. Am Träger 1 ist mittels einer elastischen Klebeschicht 4 ein Maßstab 5 angebracht,
der das Meßnormal darstellt. Eine Abtasteinheit 6 stützt sich am Maßstab 5 über Rollen 7 ab und tastet
mit an sich bekannten, in der Zeichnung nicht dargestellten Mitteln die Teilung des Maßstabs 5 ab. An
einem Schlitten 8 der Bearbeitungsmaschine oder der Meßmaschine ist ein Montagefuß 9 mit einem Mitnehmer
10 mittels einer Schraubverbindung 11 befestigt, der die Relativbewegung von Bett 2 und Schlitten
8 auf die Abtasteinheit 6 überträgt. Dabei würden aber Maschinen- und Maßstabsfehler ohne Korrektureinrichtung
ebenfalls übertragen und gingen in das Meßergebnis als Fehler ein. Das Längenmeßgerät
weist daher erfindungsgemäß ein Fehlerkorrekturprofil 12 als Bestandteil des Trägers 1 auf.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform eines Längenmeßgeräts nach Fig. 2a, b, c ist ein Gehäuse
13 in Form eines Hohlprofils an einem Bett 2' einer
Bearbeitungsmaschine oder einer Meßmaschine mittels einer Schraubverbindung 3' befestigt. An einem
Schlitten 8' der Bearbeitungsmaschine oder der Meßmaschine ist ein Montagefuß 9' mit eiern Mitnehmer
10' in beliebiger Weise befestigt, der über eine schwertförmige Verjüngung 14 durch einen Schlitz 15
in das im übrigen vollkommen verschlossene Gehäuse 13 hineinragt, wobei im Schlitz 15 vorgesehene elastische
Dichtlippen 16 ein Eindringen von Verunreinigungen in das Innere des Gehäuses 13 verhindern.
An einer Innenfläche des Gehäuses 13 ist ein Maßstab 5' mittels einer elastischen Klebeschicht 4' angebracht,
an dem sich eine Abtasteinheit 6' über Rollen 7' abstützt und mit an sich bekannten, nicht dargestellten
Mitteln die Teilung des Maßstabs 5' abtastet. Die Relativbewegung vom Bett 2' und Schlitten 8' wird vom
Mitnehmer 10' auf die Abtasteinheit 6' übertragen. Zur Kompensation der Maschinen- und Maßstabsfehler
ist erfindungsgemäß ein Fehlerkorrekturprofil 12' als Bestandteil des Gehäuses 13 vorgesehen.
In einer zusätzlichen Ausführungsform eines Längenmeßgeräts nach Fig. 3 a, b, c ist ein zweiteiliges
Gehäuse 18a, 186 an einem Bett 2" einer Bearbeitungsmaschine
oder einer Meßmaschine mittels einer Schraubvorrichtung 3" befestigt. An einem Schlitten
8" der Bearbeitungsmaschine oder der Meßmaschine ist ein Montagefuß 9" mit einem Mitnehmer 10" in
beliebiger Weise befestigt, der über eine schwertförmige Verjüngung 14' durch einen mit Dichtlippen 16'
versehenen Schlitz 15' in das zweiteilige Gehäuse 18a, 18b hineinragt. An einer Innenfläche des Gehäuseteils
18a ist ein Maßstab 5" mittels einer elastischen Klebeschicht 4" angebracht, an dem sich eine Abtasteinheit
6" über Rollen 7" abstützt und die Teilung des Maßstabs 5" abtastet. Die Relativbewegung vom
Bett 2" und Schlitten 8" wird vom Mitnehmer 10" auf die Abtasteinheit 6" übertragen. Zur Kompensation
von Maschinen- und Maßstabsfehlern ist erfindungsgemäß ein Fehlerkorrekturprofil 12" als Bestandteil
des Gehäuseteils 18 b vorgesehen.
Das Fehlerkorrekturprofil 12,12', 12" wird von einem
Übertragungselement in Form eines Winkelhebels 19, 197, 19" abgegriffen, der um eine Achse 20,
20', 20" schwenkbar in der Abtasteinheit 6, 6', 6" gelagert ist. Dieser Winkelhebel 19,19*, 19" weist an
seinem längeren freien Ende eine Rolle 21, 21', 21" auf, die mittels einer an einem Zapfen 22, 22', 22"
der Abtasteinheit 6, 6', 6" befestigten Feder 23, 23', 23" am Fehlerkorrekturprofil 12,12', 12" anliegt, bei
einer Verschiebung der Abtasteinheit 6, 6', 6" der Kurve des Fehlerkorrekturprofils 12, 12', 12" folgt
und eine Schwenkbewegung des Winkelhebels 19,Iy, 19" um die Achse 20, 20', 20" bewirkt, die dem zu
korrigierenden Fehlerverlauf entspricht. Die Fehlerkorrektur erfolgt über einen am kürzeren freien Ende
des Winkelhebels 19,19*, 19" angeordneten Exzenter
24, 24', 24", der am Mitnehmer 10, 10', 10" anliegt und die Schwenkbewegung des Winkelhebels 19, 19,
19" in eine Relativbewegung zwischen der Abtasteinheit 6,6', 6" und dem Mitnehmer 10,10', 10" umsetzt.
Die Anlage des Exzenters 24,24', 24" am Mitnehmer 10, 10', 10" wird dabei durch eine weitere Feder
25, 25', 25" bewirkt, die an einem weiteren Zapfen 26, 26', 26" der Abtasteinheit 6, 6', 6" befestigt
ist.
Das Fehlerkorrekturprofil 12, 12', 12" wird vorzugsweise während des Vermessene oder nach dem
Vermessen des Maßstabes 5,5', 5" in der Gebrauchslage im Längenmeßgerät mittels eines rechnergestützten
Programms am Träger 1, im Gehäuse 13 oder in einem Gehäuseteil 186 entsprechend dem zu korrigierenden
gespeicherten Fehlerverlauf erzeugt. Bei der Herstellung des Fehlerkorrekturprofils 12" ist das
Gehäuseteil 18 b am Gehäuseteil 18a mittels nicht dargestellter Paßstifte reproduzierbar befestigt.
Zwecks besserer Zugänglichkeit beispielsweise zum Reinigen des Maßstabes 5" ist das Gehäuseteil 186
vom Gehäuseteil 18a lösbar.
Die Herstellung des Fehlerkorrekturprofils 12,12', 12" erfolgt dabei auf mechanische, chemische oder
auf eine andere geeignete Weise, wie beispielsweise durch Fräsen, Ätzen oder Beschichten.
Die Erfindung ist nicht auf lichtelektrische digitale Längenmeßgeräte beschränkt, sondern auch bei optischen,
induktiven, magnetischen und kapazitiven Meßgeräten anwendbar.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
1. Einrichtung zur Korrektur von Maschinen- und/oder Teilungsfehlern bei Positionsmeßsystemen
von Präzisionsmaschinen und -geräten mit Hilfe eines Fehlerkorrekturprofils, wobei zur
Messung der Relativlage zweier Objekte eine Teilungsverkörperung an einem Träger befestigt ist
und die Teilung von einer Abstasteinheit abgetastet wird, die mit einem zu messenende Objekt
der Maschine oder des Geräts verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Fehlerkorrekturprofil
(12,12', 12") als Bestandteil des Trägers (1), vorzugsweise eines Gehäuses (13) oder
eines Gehäuseteils (ISb) für die Teilungsverkörperung (5, 5', 5") ausgebildet ist und von einem
Übertragungselement abgegriffen wird, das eine korrigierende Relativbewegung zwischen der Abtasteinrichtung
(6,6', 6") und der Teilungsverkörperung (5, 5', 5") bewirkt.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, bei der die Abtasteinheit über einen Mitnehmer am zu messenden
Objekt angekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Übertragungselement von einem
in der Abtasteinheit (6,6', 6") um eine Achse (20, 20', 20") schwenkbar gelagerten Winkelhebel (19,
19', 19") gebildet wird, der an seinem einen freien Ende eine am Fehlerkorrekturprofil (12,12', 12")
anliegende Rolle (21,21', 21") und an seinem anderen freien Ende einen am Mitnehmer (10,10',
10") anliegenden Exzenter (24,24', 24") aufweist.
3. Verfahren zur Herstellung des Fehlerkorrekturprofils nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das Fehlerkorrekturprofil (12, 12', 12") während des Vermessene oder nach dem
Vermessen der Teilungsverkörperung (5, 5', 5") in der Gebrauchslage am Positionsmeßgerät mittels
eines rechnergestützten Programms am Träger (1), im Gehäuse (13) oder in einem Gehäuseteil
(ISb) entsprechend dem zu korrigierenden gespeicherten Fehlerverlauf erzeugt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Fehlerkorrekturprofil (12,
12', 12") auf mechanische, chemische oder auf eine sonstige geeignete Weise, z. B. durch Fräsen,
Ätzen oder Beschichten erzeugt wird.
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2820753A DE2820753C2 (de) | 1978-05-12 | 1978-05-12 | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen |
CH297279A CH636957A5 (de) | 1978-05-12 | 1979-03-30 | Einrichtung zur fehlerkorrektur an einer praezisionsmaschine oder an einem messgeraet und verfahren zur herstellung der einrichtung zur fehlerkorrektur. |
AT0254179A AT382966B (de) | 1978-05-12 | 1979-04-05 | Einrichtung zur fehlerkorrektur bei praezisionsmaschinen und -geraeten und verfahren zur herstellung eines fehlerkorrekturprofils |
US06/037,118 US4262423A (en) | 1978-05-12 | 1979-05-08 | Error correction apparatus for a length-measuring instrument and method for generating an error correction profile |
IT12591/79A IT1124069B (it) | 1978-05-12 | 1979-05-09 | Dispositivo per correzione di errori in un apparecchio per misure lineari e procedimento per la produzione di un diagramma di correzione |
JP5641379A JPS54155070A (en) | 1978-05-12 | 1979-05-10 | Error corrector for length measuring machine |
FR7912083A FR2425626A1 (fr) | 1978-05-12 | 1979-05-11 | Dispositif pour la correction des defauts dans un appareil de mesure de longueur, et procede pour la realisation d'une courbe de correction de defauts |
GB7916709A GB2022819B (en) | 1978-05-12 | 1979-05-14 | Error correction in measuring length |
JP1987077429U JPS62201009U (de) | 1978-05-12 | 1987-05-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2820753A DE2820753C2 (de) | 1978-05-12 | 1978-05-12 | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2820753B1 true DE2820753B1 (de) | 1979-07-05 |
DE2820753C2 DE2820753C2 (de) | 1980-03-06 |
Family
ID=6039189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2820753A Expired DE2820753C2 (de) | 1978-05-12 | 1978-05-12 | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4262423A (de) |
JP (2) | JPS54155070A (de) |
AT (1) | AT382966B (de) |
CH (1) | CH636957A5 (de) |
DE (1) | DE2820753C2 (de) |
FR (1) | FR2425626A1 (de) |
GB (1) | GB2022819B (de) |
IT (1) | IT1124069B (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3118607A1 (de) * | 1980-07-21 | 1982-03-04 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokyo | Laengenmessgeraet |
US4414746A (en) * | 1980-02-27 | 1983-11-15 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Linear scale type measuring instrument |
DE3216616A1 (de) * | 1982-05-04 | 1983-12-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesssystem |
DE3224005A1 (de) * | 1982-06-26 | 1984-01-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesssystem |
EP0168381B1 (de) * | 1984-07-03 | 1988-12-07 | RSF-Elektronik Gesellschaft m.b.H. | Längenmesseinrichtung |
DE3917729A1 (de) * | 1988-05-31 | 1989-12-07 | Iskra Sozd Elektro Indus | Lineare optoelektrische vorrichtung zur messung oder einstellung der gegenseitigen lage zweier gegenstaende |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3150977A1 (de) * | 1981-12-23 | 1983-06-30 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und einrichtung zur ermittlung und korrektur von fuehrungsfehlern |
DE3201005A1 (de) * | 1982-01-15 | 1983-07-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Einrichtung zur fehlerkorrektur bei positionsmesssystemen |
DE3201887C2 (de) * | 1982-01-22 | 1983-11-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
DE3208591C2 (de) * | 1982-03-10 | 1986-06-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem |
DE3210962A1 (de) * | 1982-03-25 | 1983-10-20 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesssystem |
DE3215336C1 (de) * | 1982-04-24 | 1983-06-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Messeinrichtung |
DE3229846C2 (de) * | 1982-08-11 | 1984-05-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE3311562C1 (de) * | 1983-03-30 | 1984-05-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messsystem mit einer Einrichtung zur Fehlerkorrektur |
AT395070B (de) * | 1983-11-22 | 1992-09-10 | Emr Elektronische Mess Und Reg | Laengenmesseinrichtung, insbesondere gekapselte laengenmesseinrichtung |
DE3711070A1 (de) * | 1987-04-02 | 1988-11-24 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
AT394110B (de) * | 1989-02-10 | 1992-02-10 | Rsf Elektronik Gmbh | Laengenmesssystem |
DE9006138U1 (de) * | 1990-05-31 | 1990-08-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmeßeinrichtung |
DE4438079A1 (de) * | 1994-10-25 | 1996-05-02 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Führung |
JP3443050B2 (ja) * | 1999-10-21 | 2003-09-02 | 株式会社ミツトヨ | 姿勢調整装置 |
ES2694043T3 (es) * | 2016-04-05 | 2018-12-17 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Dispositivo de medición de longitud |
CN111046326B (zh) * | 2019-12-26 | 2023-04-28 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于三误差耦合的大型高速回转装备误差分离方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2995826A (en) * | 1960-05-13 | 1961-08-15 | Optomcchanisms Inc | Work layout means |
US3212194A (en) * | 1962-11-19 | 1965-10-19 | Optomechanisms Inc | Automated work layout means |
US3605552A (en) * | 1969-06-02 | 1971-09-20 | Optomechanisms Inc | Means for generating compensating means |
DE2059957A1 (de) * | 1970-12-05 | 1972-06-15 | Scharmann & Co | Einrichtung zur Fehlerkompensation an Drehtischen von Werkzeugen,insbesondere von Horizontal-Bohr- und Fraeswerken |
FR2186126A5 (de) * | 1972-05-26 | 1974-01-04 | Axenov Vladimir | |
US3942895A (en) * | 1973-09-04 | 1976-03-09 | Teledyne, Inc. | Linear digital readout assembly for milling machines and the like and means for mounting same |
DE2510219C3 (de) * | 1975-03-08 | 1978-05-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
US4152837A (en) * | 1975-03-08 | 1979-05-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh. | Length measuring device |
DE2724858A1 (de) * | 1977-06-02 | 1978-12-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung |
-
1978
- 1978-05-12 DE DE2820753A patent/DE2820753C2/de not_active Expired
-
1979
- 1979-03-30 CH CH297279A patent/CH636957A5/de not_active IP Right Cessation
- 1979-04-05 AT AT0254179A patent/AT382966B/de not_active IP Right Cessation
- 1979-05-08 US US06/037,118 patent/US4262423A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-05-09 IT IT12591/79A patent/IT1124069B/it active
- 1979-05-10 JP JP5641379A patent/JPS54155070A/ja active Pending
- 1979-05-11 FR FR7912083A patent/FR2425626A1/fr active Granted
- 1979-05-14 GB GB7916709A patent/GB2022819B/en not_active Expired
-
1987
- 1987-05-25 JP JP1987077429U patent/JPS62201009U/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4414746A (en) * | 1980-02-27 | 1983-11-15 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Linear scale type measuring instrument |
DE3118607A1 (de) * | 1980-07-21 | 1982-03-04 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd., Tokyo | Laengenmessgeraet |
DE3216616A1 (de) * | 1982-05-04 | 1983-12-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesssystem |
US4527056A (en) * | 1982-05-04 | 1985-07-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Error correction system for position measuring device |
DE3224005A1 (de) * | 1982-06-26 | 1984-01-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesssystem |
EP0168381B1 (de) * | 1984-07-03 | 1988-12-07 | RSF-Elektronik Gesellschaft m.b.H. | Längenmesseinrichtung |
DE3917729A1 (de) * | 1988-05-31 | 1989-12-07 | Iskra Sozd Elektro Indus | Lineare optoelektrische vorrichtung zur messung oder einstellung der gegenseitigen lage zweier gegenstaende |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62201009U (de) | 1987-12-22 |
DE2820753C2 (de) | 1980-03-06 |
CH636957A5 (de) | 1983-06-30 |
ATA254179A (de) | 1986-09-15 |
GB2022819A (en) | 1979-12-19 |
US4262423A (en) | 1981-04-21 |
GB2022819B (en) | 1982-11-03 |
IT1124069B (it) | 1986-05-07 |
IT7912591A0 (it) | 1979-05-09 |
AT382966B (de) | 1987-05-11 |
FR2425626A1 (fr) | 1979-12-07 |
JPS54155070A (en) | 1979-12-06 |
FR2425626B1 (de) | 1985-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2820753C2 (de) | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen | |
DE2518745C3 (de) | Fehlerkompensation in Positioniersystemen | |
EP2909577B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur dickenmessung an messobjekten | |
DE3590145C2 (de) | ||
DE2712421A1 (de) | Laengenmesseinrichtung mit laengsverschieblichem masstab | |
EP0123895A1 (de) | Messeinrichtung | |
DE3841488A1 (de) | Koordinatenmessgeraet mit einem oder mehreren fuehrungselementen aus aluminium | |
DE3331208A1 (de) | Verfahren zum einstellen des farbwerks einer druckmaschine und messvorrichtung zu seiner durchfuehrung | |
EP0118607A2 (de) | Gekapselte Messeinrichtung | |
DE69204314T2 (de) | Verfahren und Anordnung zur Bestimmung der linearen thermischen Ausdehnung von langgestreckten Körpern. | |
DE2724858C3 (de) | ||
DE3311858C2 (de) | Meßgerät zur Teilungsprüfung von Zahnrädern | |
DE3586391T2 (de) | Verfahren zum erhoehen der praezision eines wegmesssystems durch kalibrieren gegenueber eines hochpraezisionssystems. | |
DE2502653C2 (de) | Schaltungsanordnung zur Kompensation des bei Profilmessungen auftretenden Steigungsfehlers | |
DE2231732C2 (de) | Einrichtung zur Messung und Aufzeichnung einer zurückgelegten Strecke | |
EP0706886A2 (de) | Vorrichtung zur Messung einer Durchbiegung eines Zylinders einer Rotationsdruckmaschine | |
DE3210962C2 (de) | ||
DE3136981C1 (de) | Fehlerkompensationseinrichtung | |
DE2329712A1 (de) | Anordnung zum kompensation von laengenaenderungen | |
DE7814349U1 (de) | ||
DE69015379T2 (de) | System für das automatische Kompensieren der Transversaloscillation der Scan-Ebene in einem Laserscanner für Profilmessung mittels einer Spezialeinrichtung. | |
DE3037042C2 (de) | Einrichtung zur Fehlerkorrektur an Positionsmeßsystemen | |
DE2234146C2 (de) | Elektrische Längenmeßeinrichtung | |
DE2654279C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Federmanometer-Meßsystems | |
DE3341879C2 (de) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |