CH636957A5 - Einrichtung zur fehlerkorrektur an einer praezisionsmaschine oder an einem messgeraet und verfahren zur herstellung der einrichtung zur fehlerkorrektur. - Google Patents
Einrichtung zur fehlerkorrektur an einer praezisionsmaschine oder an einem messgeraet und verfahren zur herstellung der einrichtung zur fehlerkorrektur. Download PDFInfo
- Publication number
- CH636957A5 CH636957A5 CH297279A CH297279A CH636957A5 CH 636957 A5 CH636957 A5 CH 636957A5 CH 297279 A CH297279 A CH 297279A CH 297279 A CH297279 A CH 297279A CH 636957 A5 CH636957 A5 CH 636957A5
- Authority
- CH
- Switzerland
- Prior art keywords
- error correction
- scale
- housing
- machine
- measuring device
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 claims 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 claims 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf lichtelektrische digitale Längemessgeräte beschränkt, sondern auch bei optischen, 3i induktiven, magnetischen und kapazitiven Messgeräten anwendbar.
C
2 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Einrichtung zur Fehlerkorrektur an einer Präzisionsma- Einrichtung zur Fehlerkorrektur weiter zu vereinfachen.
schine oder an einem Messgerät, bei der bzw. dem ein Massstab Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss durch die in An-
an einem Träger befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein spruch 1 gekennzeichnete Einrichtung zur Fehlerkorrektur und Fehlerkorrekturprofil (12) Bestandteil des Trägers (1) ist. s das im unabhängigen Anspruch 6 gekennzeichnete Verfahren
2. Einrichtung an einem Längenmessgerät nach Anspruch 1, zu deren Herstellung gelöst.
bei dem der Massstab in einem Gehäuse angeordnet ist, dadurch In einer bevorzugten Ausbildung der Erfindung ist das Fehgekennzeichnet, dass das Fehlerkorrekturprofil (12') Bestand- lerkorrekturprofil Bestandteil des Gehäuses und in einer zusätz-teil des Gehäuses (13) ist. liehen Ausführungsform bei einem zweiteiligen Gehäuse Be-
3. Einrichtung an einem Längenmessgerät nach Anspruch 1, io standteil eines Gehäuseteils.
bei dem der Massstab in einem zweiteiligen Gehäuse angeord- Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbeson-
net ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Fehlerkorrekturprofil dere darin, dass das Fehlerkorrekturprofil integrierender Be-(12") Bestandteil eines Gehäuseteiles (18 b) ist. standteil eines ohnehin am Messgerät vorhandenen Bauteils wie
4. Einrichtung an einem Längenmessgerät nach einem der des Massstabträgers, des Gehäuses oder eines Gehäuseteils ist, vorangehenden Ansprüche, bei dem die Teilung des Massstabs is so dass sich ein Befestigen und Justieren eines separaten Fehler-von einer Abtasteinheit abgetastet wird, die über einen Mitneh- korrekturprofils am Messgerät erübrigt.
mer am zu messenden Objekt angekoppelt ist, dadurch gekenn- Weitere vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung entnimmt zeichnet, dass ein Übertragungselement das Fehlerkorrektur- man den abhängigen Ansprüchen.
profil (12,12', 12") abgreift und eine Relativbewegung zwi- Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung sehen der Abtasteinheit (6,6', 6") und dem Mitnehmer (10, 20 dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. 10', 10") gemäss dem zu korrigierenden Fehlerverlauf bewirkt. Es zeigen
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, Figur la, b, c drei Schnittansichten eines Längenmessgerä-dass das Übertragungselement von einem in der Abtasteinheit tes, bei dem ein Massstab an einem Träger befestigt ist,
(6,6', 6") gelagerten Winkelhebel (19,19', 19") gebildet wird, Figur 2a, b, c drei Schnittansichten eines Längenmessgeräts, der an seinem einen freien Ende eine am Fehlerkorrekturprofil 25 bei dem ein Massstab in einem gekapselten Gehäuse angeordnet (12,12', 12") anliegende Rolle (21,21', 21") und an seinem ist und anderen freien Ende einen am Mitnehmer (10,10', 10") anlie- Figur 3a, b, c drei Schnittansichten eines Längenmessgeräts,
genden Exzenter (24,24', 24") aufweist. bei dem ein Massstab in einem gekapselten zweiteiligen Gehäu-
6. Verfahren zur Herstellung der Einrichtung zur Fehlerkor- se angeordnet ist.
rektur nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeich- 3<> In der Figur la, b, c ist ein Längenmessgerät mit einem net, dass das Fehlerkorrekturprofil (12,12', 12") während des Träger 1 an einem Bett 2 einer Bearbeitungsmaschine oder ei-Vermessens oder nach dem Vermessen des Massstabes (5,5', ner Messmaschine durch eine Schraubverbindung 3 befestigt. 5") in der Gebrauchslage im Messgerät mittels eines rechnerge- Am Träger 1 ist mittels einer elastischen Klebeschicht 4 ein stützten Programms am Träger (1) entsprechend dem zu korri- Massstab 5 angebracht, der das Messnormal darstellt. Eine Abgierenden gespeicherten Fehlerverlauf erzeugt wird. 35 tasteinheit 6 stützt sich am Massstab 5 über Rollen 7 ab, die mit
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, an sich bekannten, in der Zeichnung nicht dargestellten Mitteln dass das Fehlerkorrekturprofil (12,12', 12") auf mechanische die Teilung des Massstabs 5 abtastet. An einem Schlitten 8 der Weise, chemische Weise oder durch Beschichten erzeugt wird. Bearbeitungsmaschine oder der Messmaschine ist ein Montage-
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, fuss 9 mit einem Mitnehmer 10 mittels einer Schraubverbindung dass das Fehlerkorrekturprofil (12,12', 12") durch Fräsen er- 40 11 befestigt, der die Relativbewegung vom Bett 2 und Schlitten zeugt wird. 8 auf die Abtasteinheit 6 überträgt. Dabei würden aber Maschi-
9. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, nen- und Massstabsfehler ohne Korrektureinrichtung ebenfalls dass das Fehlerkorrekturprofil (12,12', 12") durch Ätzen er- übertragen und gingen in das Messergebnis als Fehler ein. Das zeugt wird. Längenmessgerät weist daher erfindungsgemäss ein Fehlerkor-
45 rekturprofil 12 als Bestandteil des Trägers 1 auf. Bei einer bevorzugten Ausführungsform eines Längenmessgeräts nach Figur 2a, b, c ist ein Gehäuse 13 in Form eines Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Fehlerkorrektur Hohlprofils an einem Bett 2' einer Bearbeitungsmaschine oder an einer Präzisionsmaschine oder an einem Messgerät, bei der einer Messmaschine mittels einer Schraubverbindung 3 ' befe-bzw. dem ein Massstab an einem Träger befestigt ist, sowie ein 50 stigt. An einem Schlitten 8' der Bearbeitungsmaschine oder der Verfahren zur Herstellung der Einrichtung zur Fehlerkorrektur. Messmaschine ist ein Montagefuss 9' mit einem Mitnehmer 10' Einrichtungen und Verfahren zur Korrektur von Maschi- in beliebiger Weise befestigt, der über eine schwertförmige Ver-nen- und Massstabsfehlern sind bereits bekannt. In der DE-PS jüngung 14 durch einen Schlitz 15 in das im übrigen vollkom-866 402 wird zum Stand der Technik eine Messeinrichtung mit men geschlossene Gehäuse 13 hineinragt, wobei im Schlitz 15 einem Korrekturlineal genannt, deren Ablesemarke mechanisch55 vorgesehene elastische Dichtlippen 16 ein Eindringen von Vérin eine dem jeweiligen Fehler einer Spindel entsprechende Stel- unreinigungen in das Innere des Gehäuses 13 verhindern. An lung gegenüber dem Massstab gesteuert wird. Aus der US-PS einer Innenfläche des Gehäuses 13 ist ein Massstab 5' mittels 3 039 032 ist ein Stellungsmesssystem mit einer Korrekturscha- einer elastischen Klebeschicht 4' angebracht, an dem sich eine blone bekannt, die von einem Fühler abgetastet wird, der direkt Abtasteinheit 6' über Rollen 7' abstützt, die mit an sich bekann-auf den Messwertgeber einwirkt. Ein weiteres Fehlerkorrektur- 60 ten, nicht dargestellten Mitteln die Teilung des Massstabs 5' system ist in der DE-OS 2 042 505 beschrieben, bei dem das abtastet. Die Relativbewegung vom Bett 2' und Schlitten 8' numerische Messsystem einer Maschine durch ein eine Korrek- wird vom Mitnehmer 10' auf die Abtasteinheit 6' übertragen, turschablone abtastendes Organ eine Zusatzbewegung entspre- Zur Kompensation der Maschinen- und Masstabsfehler ist er-chend dem jeweiligen Fehlerwert der Maschinenspindel erfährt. findungsgemäss ein Fehlerkorrekturprofil 12' als Bestandteil Die genannten Korrektureinrichtungen weisen jeweils geson- 65 des Gehäuses 13 vorgesehen.
dert eine Korrekturschablone oder ein Korrekturlineal auf, die In einer zusätzlichen Ausführungsform eines Längenmess-
nach der Herstellung am Messgerät befestigt und justiert wer- geräts nach Figur 3a, b, c ist ein zweiteiliges Gehäuse 18a, 18b den müssen. an einem Bett 2" einer Bearbeitungsmaschine oder einer Mess-
3
636 957
maschine mittels einer Schraubverbindung 3" befestigt. An einem Schlitten 8" der Bearbeitungsmaschine oder der Messmaschine ist ein Montagefuss 9" mit einem Mitnehmer 10" in beliebiger Weise befestigt, der über eine schwertförmige Verjüngung 14' durch einen mit Dichtlippen 16' versehenen Schlitz ; 15' in das zweiteilige Gehäuse 18a, 18b hineinragt. An einer Innenfläche des Gehäuseteils 18a ist ein Massstab 5" mittels einer elastischen Klebeschicht 4" angebracht, an dem sich eine Abtasteinheit 6 ' ' über Rollen 7 ' ' abstützt, die die Teilung des Massstabs 5 ' ' abtastet. Die Relativbewegung vom Bett 2 " und 11 Schlitten 8" wird vom Mitnehmer 10" auf die Abtasteinheit 6" übertragen. Zur Kompensation von Maschinen- und Massstabsfehlern ist erfindungsgemäss ein Fehlerkorrekturprofil 12" als Bestandteil des Gehäuseteils 18b vorgesehen.
Das Fehlerkorrekturprofil 12,12', 12" wird von einem i: Übertragungselement in Form eines Winkelhebels 19,19', 19" abgegriffen, der um eine Achse 20,20', 20" schwenkbar in der Abtasteinheit 6,6', 6" gelagert ist. Dieser Winkelhebel 19,19', 19" weist an seinem längeren freien Ende eine Rolle 21,21', 21 " auf, die mittels einer an einem Zapfen 22,22', 22" der 21 Abtasteinheit 6,6', 6" befestigten Feder 23,23', 23" am Feh-lerkorrektuprofil 12,12', 12" anliegt, bei einer Verschiebung der Abtasteinheit 6,6', 6" der Kurve des Fehlerkorrekturprofils 12,12', 12" folgt und eine Schwenkbewegung des Winkelhebels 19,19', 19" um die Achse 20,20', 20" bewirkt, die dem 2: zu korrigierenden Fehlerverlauf entspricht. Die Fehlerkorrektur erfolgt über einen am kürzeren freien Ende des Winkelhebels 19,19', 19" angeordneten Exzenter 24, 24', 24", der am Mitnehmer 10,10', 10" anliegt und die die Schwenkbewegung des Winkelhebels 19,19', 19" in eine Relativbewegung zwischen 3i der Abtasteinheit 6,6', 6" und dem Mitnehmer 10,10', 10"
umsetzt. Die Anlage des Exzenters 24,24', 24" am Mitnehmer 10,10', 10" wird dabei durch eine weitere Feder 25,25', 25" bewirkt, die an einem weiteren Zapfen 26,26', 26" der Abtasteinheit 6,6', 6" befestigt ist.
; Das Fehlerkorrekturprofil 12,12', 12" wird während des Vermessens oder nach dem Vermessen des Massstabes 5,5', 5" in der Gebrauchslage im Längenmessgerät mittels eines rechnergestützten Programms am Träger 1, im Gehäuse 13 oder in einem Gehäuseteil 18b entsprechend dem zu korrigierenden gelo speicherten Fehlerverlauf erzeugt. Bei der Herstellung des Fehlerkorrekturprofils 12" ist das Gehäuse teil 18b am Gehäuseteil 18a mittels nicht dargestellter Passstifte reproduzierbar befestigt. Zwecks besserer Zugänglichkeit beispielsweise zum Reinigen des Massstabes 5" ist das Gehäuseteil 18b vom Gehäuseteil i: 18a lösbar.
Die Herstellung des Fehlerkorrekturpofils 12,12', 12" erfolgt dabei auf mechanische, chemische oder auf eine andere geeignete Weise, wie beispielsweise durch Fräsen, Ätzen oder Beschichten.
2' Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, dass das Fehlerkorrekturprofil 12,12', 12" integrierender Bestandteil eines ohnehin am Längemessgerät vorhandenen Bauteils wie des Trägers 1, des Gehäuses 13 oder des Gehäuseteils 18b ist, so dass sich ein Befestigen und Justieren 2: eines separaten Fehlerkorrekturprofils erübrigt, wodurch eine besondere einfache und genaue Kompensation von Maschinen-und Massstabfehlern erzielt wird.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2820753A DE2820753C2 (de) | 1978-05-12 | 1978-05-12 | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CH636957A5 true CH636957A5 (de) | 1983-06-30 |
Family
ID=6039189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CH297279A CH636957A5 (de) | 1978-05-12 | 1979-03-30 | Einrichtung zur fehlerkorrektur an einer praezisionsmaschine oder an einem messgeraet und verfahren zur herstellung der einrichtung zur fehlerkorrektur. |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4262423A (de) |
| JP (2) | JPS54155070A (de) |
| AT (1) | AT382966B (de) |
| CH (1) | CH636957A5 (de) |
| DE (1) | DE2820753C2 (de) |
| FR (1) | FR2425626A1 (de) |
| GB (1) | GB2022819B (de) |
| IT (1) | IT1124069B (de) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0212564Y2 (de) * | 1980-02-27 | 1990-04-09 | ||
| JPS5726004U (de) * | 1980-07-21 | 1982-02-10 | ||
| DE3150977A1 (de) * | 1981-12-23 | 1983-06-30 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und einrichtung zur ermittlung und korrektur von fuehrungsfehlern |
| DE3201005A1 (de) * | 1982-01-15 | 1983-07-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Einrichtung zur fehlerkorrektur bei positionsmesssystemen |
| DE3201887C2 (de) * | 1982-01-22 | 1983-11-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
| DE3208591C2 (de) * | 1982-03-10 | 1986-06-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem |
| DE3210962A1 (de) * | 1982-03-25 | 1983-10-20 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesssystem |
| DE3215336C1 (de) * | 1982-04-24 | 1983-06-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Messeinrichtung |
| DE3216616C2 (de) * | 1982-05-04 | 1985-06-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem |
| DE3224005A1 (de) * | 1982-06-26 | 1984-01-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesssystem |
| DE3229846C2 (de) * | 1982-08-11 | 1984-05-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
| DE3311562C1 (de) * | 1983-03-30 | 1984-05-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messsystem mit einer Einrichtung zur Fehlerkorrektur |
| AT395070B (de) * | 1983-11-22 | 1992-09-10 | Emr Elektronische Mess Und Reg | Laengenmesseinrichtung, insbesondere gekapselte laengenmesseinrichtung |
| AT379449B (de) * | 1984-07-03 | 1986-01-10 | R S F Elektronik Ohg Rechtsfor | Laengenmesseinrichtung |
| DE8717712U1 (de) * | 1987-04-02 | 1989-08-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
| YU105688A (en) * | 1988-05-31 | 1990-10-31 | Iskra | Linear optoelectric device for measuring or adjustment of relative position of two objects |
| AT394110B (de) * | 1989-02-10 | 1992-02-10 | Rsf Elektronik Gmbh | Laengenmesssystem |
| DE9006138U1 (de) * | 1990-05-31 | 1990-08-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmeßeinrichtung |
| DE4438079A1 (de) * | 1994-10-25 | 1996-05-02 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Führung |
| JP3443050B2 (ja) * | 1999-10-21 | 2003-09-02 | 株式会社ミツトヨ | 姿勢調整装置 |
| EP3228993B1 (de) * | 2016-04-05 | 2018-08-01 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Längenmesseinrichtung |
| CN111046326B (zh) * | 2019-12-26 | 2023-04-28 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于三误差耦合的大型高速回转装备误差分离方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2995826A (en) * | 1960-05-13 | 1961-08-15 | Optomcchanisms Inc | Work layout means |
| US3212194A (en) * | 1962-11-19 | 1965-10-19 | Optomechanisms Inc | Automated work layout means |
| US3605552A (en) * | 1969-06-02 | 1971-09-20 | Optomechanisms Inc | Means for generating compensating means |
| DE2059957A1 (de) * | 1970-12-05 | 1972-06-15 | Scharmann & Co | Einrichtung zur Fehlerkompensation an Drehtischen von Werkzeugen,insbesondere von Horizontal-Bohr- und Fraeswerken |
| FR2186126A5 (de) * | 1972-05-26 | 1974-01-04 | Axenov Vladimir | |
| US3942895A (en) * | 1973-09-04 | 1976-03-09 | Teledyne, Inc. | Linear digital readout assembly for milling machines and the like and means for mounting same |
| US4152837A (en) * | 1975-03-08 | 1979-05-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh. | Length measuring device |
| DE2510219C3 (de) * | 1975-03-08 | 1978-05-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längenmeßeinrichtung |
| DE2724858A1 (de) * | 1977-06-02 | 1978-12-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung |
-
1978
- 1978-05-12 DE DE2820753A patent/DE2820753C2/de not_active Expired
-
1979
- 1979-03-30 CH CH297279A patent/CH636957A5/de not_active IP Right Cessation
- 1979-04-05 AT AT0254179A patent/AT382966B/de not_active IP Right Cessation
- 1979-05-08 US US06/037,118 patent/US4262423A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-05-09 IT IT12591/79A patent/IT1124069B/it active
- 1979-05-10 JP JP5641379A patent/JPS54155070A/ja active Pending
- 1979-05-11 FR FR7912083A patent/FR2425626A1/fr active Granted
- 1979-05-14 GB GB7916709A patent/GB2022819B/en not_active Expired
-
1987
- 1987-05-25 JP JP1987077429U patent/JPS62201009U/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2022819B (en) | 1982-11-03 |
| US4262423A (en) | 1981-04-21 |
| JPS62201009U (de) | 1987-12-22 |
| IT7912591A0 (it) | 1979-05-09 |
| FR2425626B1 (de) | 1985-04-12 |
| GB2022819A (en) | 1979-12-19 |
| DE2820753B1 (de) | 1979-07-05 |
| DE2820753C2 (de) | 1980-03-06 |
| FR2425626A1 (fr) | 1979-12-07 |
| ATA254179A (de) | 1986-09-15 |
| IT1124069B (it) | 1986-05-07 |
| JPS54155070A (en) | 1979-12-06 |
| AT382966B (de) | 1987-05-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CH636957A5 (de) | Einrichtung zur fehlerkorrektur an einer praezisionsmaschine oder an einem messgeraet und verfahren zur herstellung der einrichtung zur fehlerkorrektur. | |
| DE2518745C3 (de) | Fehlerkompensation in Positioniersystemen | |
| EP1839010B9 (de) | Verfahren zum bestimmen einer raumkoordinate eines messpunktes an einem messobjekt sowie entsprechendes koordinatenmessgerät | |
| DE4106987C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Einstellen des Spaltabstands zwischen zwei Objekten auf eine vorbestimmte Größe | |
| DE3590145C2 (de) | ||
| DE3316082A1 (de) | Messeinrichtung | |
| DE2165048A1 (de) | Einrichtung zum Korrigieren von Positionierungsfehlern an einem Meßgerät | |
| DE2942388A1 (de) | Halbleiterplaettchen-positioniervorrichtung | |
| EP0135700A2 (de) | Verfahren zum Einstellen des Farbwerks einer Druckmaschine | |
| DE69304485T2 (de) | Messvorrichtung für Blechbiegewinkel | |
| DE3713548C2 (de) | ||
| DE3311858C2 (de) | Meßgerät zur Teilungsprüfung von Zahnrädern | |
| DE2724858C3 (de) | ||
| DE2502653C2 (de) | Schaltungsanordnung zur Kompensation des bei Profilmessungen auftretenden Steigungsfehlers | |
| DE102009023123A1 (de) | Oberflächenmontagevorrichtung | |
| DE8621056U1 (de) | Gekapselte Positionsmeßeinrichtung | |
| DE3933575C2 (de) | ||
| EP0075081B1 (de) | Fehlerkompensationseinrichtung für Präzisionsmaschinen und Messgeräte | |
| DE2329712A1 (de) | Anordnung zum kompensation von laengenaenderungen | |
| DE10340851B4 (de) | Rundheitsmessvorrichtung | |
| DE7814349U1 (de) | ||
| DE3037042C2 (de) | Einrichtung zur Fehlerkorrektur an Positionsmeßsystemen | |
| CH646086A5 (de) | Einrichtung zur korrektur geometrischer maschinenfehler. | |
| DE1423628B2 (de) | Standortanzeigevorrichtung | |
| DE2800340A1 (de) | Geradlinige einstellvorrichtung, insbesondere fuer optische messungen |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PL | Patent ceased |