DE2724858C3 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE2724858C3 DE2724858C3 DE2724858A DE2724858A DE2724858C3 DE 2724858 C3 DE2724858 C3 DE 2724858C3 DE 2724858 A DE2724858 A DE 2724858A DE 2724858 A DE2724858 A DE 2724858A DE 2724858 C3 DE2724858 C3 DE 2724858C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- correction
- measuring
- profile
- link chain
- links
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 27
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04G—ELECTRONIC TIME-PIECES
- G04G17/00—Structural details; Housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
- G01B5/0009—Guiding surfaces; Arrangements compensating for non-linearity there-of
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
)0
Die Erfindung bezieht sich auf .'ine Einrichtung zur
Fehlerkompensation bei Prä^.isionsmaschinen und Meßgeräten,
insbesondere auf eine Korr Utureinrichtung für
ein gekapseltes Längenmeßgerät zum Messen der r· Relativlage zweier Objekte, mil einem quer zur
Meßrichtung einstellbaren Korrekturprofil, einem Übertragungselement zwischen Abtasteinheit, Korrektiirprofil
und einem der vorgenannten Objekte. Die beiden Objekte können von Bett und Schlitten der -to
Präzisionsmaschine gebildet werden.
Es sind Korrektureinrichtungen zur Kompensation von Maschinenfehlern bekannt. In der DE-PS 8 66 402
wird zum Stand der Technik eine Meßeinrichtung mit Korrekturlineal genannt, deren Ablesemarke mecha- ■*■>
nisch in eine dem jeweiligen Fehler einer Spindel entsprechende Stellung gegenüber dem Maßstab
gesteuert wird. Eine ähnliche Lö3ung wird in der US-PS 2 26 162 angegeben. Aus der US-PS 30 39 032 ist ein
Stellungsmeßsystem mit einer Korrekturschablone w bekannt, die von einem Fühler abgetastet wird, der
direkt auf den Meßwertgeber (Drehmelder) einwirkt. In der CH-PS 2 66 408 ist eine optische Meßeinrichtung
vorgeschlagen, bei der korrekturabhängige Steuermittel den Strahlengang in der optischen Ableseeinheit M
beeinflussen. Die DE-AS 12 31 595 zeigt eine Vorrichtung zur elektrischen Fernanzeige der Bewegungen
eines beweglichen Maschinenbauteiles, wobei zum Ausgleich von Fehlern ein Kompensationssystem
vorhanden ist, welches ein verformbares Metallband W)
aulweist, das von einem Geber abgetastet wird. Ein verformbares Metallband wird auch in der US-PS
31 82 375 und der US-PS 23 36 550 als Korrekturprofil vorgeschlagen. Ein weiteres Fehlerkorrektursystem ist
in der DE-OS 20 42 505 beschrieben. Dort erfährt das μ numerische Meßsystem einer Maschine durch ein die
Korrekturschablone abtastendes Organ eine Zusatzbewegung entsprechend dem jeweiligen Fehlerwert der
Maschinenspindel.
Ferner sind aus der DE-PS 13 03 080, der DE-PS 10 70 522 und der US-PS 29 95 826 Korrektureinrichtungen
bekannt. Dort werden Korrekturschablonen um einen Drehpunkt verschwenkt, dadurch wird das
Korrekturprofil quer zur Meßrichtung einstellbar.
Die genannten Korrektureinrichtungen arbeiten zum Teil mit zusätzlichen elektrischen bzw, optischen
Stellgliedern oder Drehgebern, oder aber sie sind direkt an die Maschine gekoppelt. In allen Fällen sind sie
jedoch konstruktiv sehr aufwendig und dementsprechend kostspielig, aber oft trotzdem nicht sehr variabel.
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht darin, eine Korrektureinrichtung zu schaffen, die
einfach — d. h. kostengünstig — aufgebaut ist, die platzsparend ist, die einen großen Korrekturbereich
aufweist, die auch nichtlineare Korrekturen erlaubt,
deren Eigenfehler vernachlässigbar klein bleibt und die auch bei großen Meßlängen verwendbar ist.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß das Korrekturprofil von einer in Meßrichtung
verlaufenden Gliederkette gebildet wird, deren Glieder quer zur Meßrichtung einstellbar sind.
Ein weiterer Vorteil besteht gemäß der Erfindung darin, daß die Gliederkette innerhalb eines Hohlprofils
angeordnet, und daO die einzelnen Glieder entsprechend dem zu korrigierenden Fehlerverlauf von
außerhalb des Hohlprofils mittels Exzentern auslenkbar sind.
An einem Ausiührungsbeispiel soll anhand der
Zeichnung die Erfindung noch näher erläutert werden. Es zeigt
Fig. 1 einen Querschnitt durch ein gekapseltes Längsnmeßgerät,
F i g. 2 eine Ansicht auf Montagefuß, Schwert, Winkelhebel und teilweise dargesteältes Korrekturprofil.
F i g. 3 ein Korrekturprofil mit ausseienden Gliedern,
Fig.4 Gliederkettenausschnitt mit kammartig ineinandergreifenden
elastischen Gelenken,
Fig.5 Ansicht auf eine mit Teilung versehene
Abtastplatte.
Die vereinfachte Schnittdarstellung in F i g. 1 zeigt ein gekapseltes Längenmeßgerät mit einem Hohlprofil 1,
welches an dem Bett 2 einer Bearbcilungs- oder Meßmaschine in beliebiger Weise fest angebracht ist.
Ein Schlitten 3 der Bearbeitungs- oder Meßmaschine trägt einen Montcgefuß 4, der beispielsweise mit
Schrauben 5 an dem Schlitten 3 befestigt ist. Der Montagefuß 4 weist ein Schwert 6 auf, das durch einen
Schlitz la in das im übrigen vollkommen geschlossene hohlprofil I hineinragt. An einer Innenfläche des
Hohlprofils 1 ist über eine elastische Klebeschicht 7 ein Maßstab 8 angebracht, der das Meßnormal verkörpert.
Am Maßstab 8 stützt sich eine Abtasteinheit 9 ab, die ,τιit
an sich bekannten, in Fig. 1 nicht dargestellten Mitteln
die Teilung des Maßstabes abtastet. Die Relativbewegung von Maschinenbett 2 und Maschinenschlitten 3
wird vom Montagefuß 4 und dem Schwert 6 über einen Winkelhebel 10 auf die Abtasteinheit % und den Maßstab
8 übertragen. Die Führungsfehler von Maschinenbett 2 und Maschinenschlitten 3 würden ohne Korrektureinrichtung
ebenfalls voll übertragen und gingen in das Meßergebnis als Fehler ein. Das Längenmeßgerät weist
daher eine Korrektureinrichtung auf, die im Innern des Hohlprofils angeordnet ist. Einzelne, in sich steife
Glieder II' bilden eine Gliederkette II, die mittels Exzentern 12 von außen einer zur Meßrichtung einzeln
ausgelenkt werden können. Der Winkelhebel 10 ist um eine Achse 10' schwenkbar mit der Abtasteinheit 9
verbunden. Ein freies Ende des Winkelhebels 10 trägt
eine Rolle 13, die bei Verschiebung dem Linienzug der Gliederkette folgt und den Winkelhebel 10 um die
Achse 10' verschwenkt Die Schwenkbewegung des Winkelhebels 10 entspricht dem zu korrigierenden
Fehlerverlauf der Einrichtung. Die Korrektur wird durch einen zweiten Arm des Winkelhebels — der auch
als Exzenter 14 ausgebildet sein kann — vorgenommen, der die Schwenkbewegung des Winkelhebels in eine
Relativbewegung zwischen der Abtasteinheit 9 und dem Schwert 6 umsetzt. Das durch den Schlitz Xa des
Hohlprofils ragende Schwert 6 wird von dachförmig angeordneten Dichtlippen 15 eng umschlossen, so daß
auch an dieser Stelle die sichere Kapselung der Meßeinrichtung gewährleistet ist.
In der F i g. 2 ist zur besseren Verständlichkeit nur ein
Teil der Bauelemente in der Seitenansicht gezeigL Der Montagefuß 4 mit den Bohrungen 4' für die Befestigungsschrauben
trägt das Schwert 6, dessen Oberseite mit einem zylindrischen Mitnehmer 6' versehen ist, an
dem der Winkelhebel 10 mit seinem Exzenter 14 angreift. Die Abtasteinheit 9 ist als Fragment nur soweit
dargestellt, daß die Befestigung des Winkelhebels 10 mitteis Achse 10' in ihr erkennbar ist. Wird nun der
Montagefuß 4 in Pfeilrichtung verschoben, folgt die Abtasteinheit 9 dieser Längsbewegung und der
Winkelhebel 10 mit der Rolle 13 tastet die Gliederkette 11 ab, deren Glieder ii' über Exzenter 12 entsprechend
dem Fehlerverlauf ausgelenkt sind. Dabei verschwenkt sich der Winkelhebel 10 um seine Achse 10' und
aufgrund des Exzenters 14 verändert sich der Abstand zwischen der Abtasteinheit 9 und dem zylindrischen
Mitnehmer 6', also auch dem Montagefuß. Der Führungsfehler, dem der Montagefuß 4 samt dem
Maschineiischlitten 3 unterliegt, kann also durch e»ie
von der einstellbaren Gliederkette 11 verursachte Relativbewegung zwischen Abtasteinheit 9 und Montagefuß
4 kompensiert werden.
In der Fig.3 ist ein Korrekturprofil 1! gezeigt, bei
dem die einzelnen Glieder W durch die Exzenter 12 ausgelenkt sind. Da sich durch die Auslenkung
Längenänderungen ergeben, sind die einzelnen Glieder
ίο mit Stiften 16 und Ausschnitten 17 versehen, die
Gelenke bilden, bei denen Längsverschiebungen möglich sind.
Eine Variante der Gelenke, die eine Längsbeweglichkeit erlauben, ist in F i g. 4 dargestellt Die Enden der
Glieder 11' sind mit kammartig ineinandergreifenden elastischen Formteilen 18 versehen.
In der Fig.5 ist eine mit einer Teilung 19 versehene
Abtastplatte 9' gezeigt. Bei dieser Ausführung handelt es sich — wie bei Fig. 1 — um ein lichtelektrisches
digitales Längenmeßgerät. Bei eine, einfachen Bauart ist die Abtasteinheit 9 nicht am Maßstab 8 geführt,
sondern ist direkt über einen Mitnehmer 20 mit einem der obengenannten Objekte 3 verbunden. Die Abtastplatte
9' ist über Blattfedern 21 mit dem Mitnehmer 20
so verbünden, daß sie vom Übertragungselement 10,13
und 14 in Meßrichtung bewegt werden kann.
Es liegt im Wesen der Erfindung, daß sie sich nicht auf lichtelektrische digitale Längenmeßgeräte beschränkt,
sondern die Erfindung ist ebenso vorteilhaft bei
jo optischen, induktiven, kapazitiven und magnetischen
Meßgeräten einsetzbar. Die Erfindung ist selbstverständlich nicht auf die Korrektur von Führungsfehlern
beschränkt, sondern auch zur Korrektur von inneren Teilungsfehlern geeignet.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (4)
- Patentansprüche:U Einrichtung zur Fehlerkompensation bei Präzisionsmaschinen und Meßgeräten, insbesondere Korrektureinrichtung für ein gekapsaltes Längenmeßgerät zum Messen der Relativlage zweier Objekte, mit einem quer zur Meßrichtung einstellbaren Korrekturprofil, einem Übertragungselement zwischen Abtasteinheit, Korrekturprofil und einem der vorgenannten Objekte, dadurch gekennzeichnet, daß das Korrekturprofii von einer in Meßrichtung verlaufenden Gliederkette (11) gebildet wird, deren Glieder (1Γ) quer zur Meßrichtung einstellbar sind.
- 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gliederkette (11) innerhalb eines Hohlprofils (1) angeordnet ist. und daß die einzelnen Glieder (1Γ) entsprechend dem zu korrigierenden Fehlervertarif von außerhalb des Hohlprofils (1) mittels Exzentern (12) auslenkbar sind.
- 3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gelenke der einzelnen Glieder [W) eine Längsverschiebung der Glieder (11') erlauben.
- 4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gelenkt durch kammartig ineinandergreifende elastische Formteile (18) gebildet werden.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19772724858 DE2724858A1 (de) | 1977-06-02 | 1977-06-02 | Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung |
CH407778A CH632592A5 (de) | 1977-06-02 | 1978-04-17 | Lagemesseinrichtung mit korrektureinrichtung. |
AT0306378A AT376036B (de) | 1977-06-02 | 1978-04-27 | Einrichtung zur fehlerkompensation |
US05/907,662 US4170828A (en) | 1977-06-02 | 1978-05-19 | Error correction apparatus for longitudinal measuring instrument |
GB21851/78A GB1591009A (en) | 1977-06-02 | 1978-05-24 | Error compensation devices |
JP53064479A JPS5847001B2 (ja) | 1977-06-02 | 1978-05-31 | 修正装置を有する測長器 |
IT12638/78A IT1104247B (it) | 1977-06-02 | 1978-05-31 | Apparecchio per misure lineari con dispositivo correttore |
FR7816333A FR2393264A1 (fr) | 1977-06-02 | 1978-05-31 | Appareil de mesure de longueur avec dispositif correcteur |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19772724858 DE2724858A1 (de) | 1977-06-02 | 1977-06-02 | Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2724858A1 DE2724858A1 (de) | 1978-12-07 |
DE2724858B2 DE2724858B2 (de) | 1979-03-22 |
DE2724858C3 true DE2724858C3 (de) | 1979-11-22 |
Family
ID=6010495
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19772724858 Granted DE2724858A1 (de) | 1977-06-02 | 1977-06-02 | Laengenmessgeraet mit korrektureinrichtung |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4170828A (de) |
JP (1) | JPS5847001B2 (de) |
AT (1) | AT376036B (de) |
CH (1) | CH632592A5 (de) |
DE (1) | DE2724858A1 (de) |
FR (1) | FR2393264A1 (de) |
GB (1) | GB1591009A (de) |
IT (1) | IT1104247B (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3136981C1 (de) * | 1981-09-17 | 1983-01-13 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Fehlerkompensationseinrichtung |
DE3208591A1 (de) * | 1982-03-10 | 1983-09-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesssystem |
EP0090139A1 (de) * | 1982-03-25 | 1983-10-05 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmesssystem |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2820753C2 (de) * | 1978-05-12 | 1980-03-06 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen |
DE3201005A1 (de) * | 1982-01-15 | 1983-07-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Einrichtung zur fehlerkorrektur bei positionsmesssystemen |
DE3215336C1 (de) * | 1982-04-24 | 1983-06-09 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Gekapselte Messeinrichtung |
DE3216616C2 (de) * | 1982-05-04 | 1985-06-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem |
DE3229846C2 (de) * | 1982-08-11 | 1984-05-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE3379112D1 (en) * | 1983-02-12 | 1989-03-09 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Encapsulated measuring device |
DE3311562C1 (de) * | 1983-03-30 | 1984-05-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Messsystem mit einer Einrichtung zur Fehlerkorrektur |
AT395070B (de) * | 1983-11-22 | 1992-09-10 | Emr Elektronische Mess Und Reg | Laengenmesseinrichtung, insbesondere gekapselte laengenmesseinrichtung |
AT379449B (de) * | 1984-07-03 | 1986-01-10 | R S F Elektronik Ohg Rechtsfor | Laengenmesseinrichtung |
AT393030B (de) * | 1989-05-23 | 1991-07-25 | Rsf Elektronik Gmbh | Inkrementales messsystem |
DE10046818B4 (de) * | 2000-09-20 | 2008-02-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
CN110375607B (zh) * | 2019-08-07 | 2021-01-08 | 天津市增益达精锻齿轮科技有限公司 | 一种汽车锥齿轮自动检测跳动装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US226162A (en) * | 1880-04-06 | Island | ||
US2336550A (en) * | 1943-05-01 | 1943-12-14 | Fisher Scientific Co | Compensating spectrophotometer |
DE866402C (de) * | 1944-02-29 | 1953-02-09 | Leitz Ernst Gmbh | Messeinrichtung mit einer Vorrichtung zur Berichtigung des Messstreckenfehlers |
CH266408A (de) * | 1945-09-01 | 1950-01-31 | Gmbh Ernst Leitz | Vorrichtung zur Berichtigung der Messfehler von mit optischen Messeinrichtungen versehenen Maschinen und Instrumenten. |
US3039032A (en) * | 1960-03-30 | 1962-06-12 | Andrew H Fowler | Error compensator for a position transducer |
US2995826A (en) * | 1960-05-13 | 1961-08-15 | Optomcchanisms Inc | Work layout means |
DE1157877B (de) * | 1960-12-14 | 1963-11-21 | Wenczler & Heidenhain | Vorrichtung zur Geradfuehrung eines verschiebbaren Organs, z.B. Taster, Schlitten od. dgl. bei Praezisionsmaschinen |
US3347116A (en) * | 1965-02-23 | 1967-10-17 | Pratt & Whitney Inc | Automatic measuring lead screw compensator |
DE2042505A1 (de) * | 1970-08-27 | 1972-03-02 | Werkzeugmasch Heckert Veb | Korrektureinrichtung für numerische Meßsysteme |
DE2059957A1 (de) * | 1970-12-05 | 1972-06-15 | Scharmann & Co | Einrichtung zur Fehlerkompensation an Drehtischen von Werkzeugen,insbesondere von Horizontal-Bohr- und Fraeswerken |
GB1393035A (en) * | 1971-07-09 | 1975-05-07 | Olivetti & Co Spa | Precision measuring apparatus with aerostatic bearings |
US3816003A (en) * | 1973-03-12 | 1974-06-11 | Dynamics Res Corp | Sealed linear encoder |
US4047586A (en) * | 1976-03-23 | 1977-09-13 | Pitney-Bowes, Inc. | Zero load adjustment apparatus for spring weighing scale |
-
1977
- 1977-06-02 DE DE19772724858 patent/DE2724858A1/de active Granted
-
1978
- 1978-04-17 CH CH407778A patent/CH632592A5/de not_active IP Right Cessation
- 1978-04-27 AT AT0306378A patent/AT376036B/de not_active IP Right Cessation
- 1978-05-19 US US05/907,662 patent/US4170828A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-05-24 GB GB21851/78A patent/GB1591009A/en not_active Expired
- 1978-05-31 JP JP53064479A patent/JPS5847001B2/ja not_active Expired
- 1978-05-31 FR FR7816333A patent/FR2393264A1/fr active Granted
- 1978-05-31 IT IT12638/78A patent/IT1104247B/it active
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3136981C1 (de) * | 1981-09-17 | 1983-01-13 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Fehlerkompensationseinrichtung |
EP0075081A1 (de) * | 1981-09-17 | 1983-03-30 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Fehlerkompensationseinrichtung für Präzisionsmaschinen und Messgeräte |
DE3208591A1 (de) * | 1982-03-10 | 1983-09-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesssystem |
EP0088222B1 (de) * | 1982-03-10 | 1986-10-08 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmesssystem |
EP0090139A1 (de) * | 1982-03-25 | 1983-10-05 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmesssystem |
DE3210962A1 (de) * | 1982-03-25 | 1983-10-20 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Laengen- oder winkelmesssystem |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2724858B2 (de) | 1979-03-22 |
IT7812638A0 (it) | 1978-05-31 |
IT1104247B (it) | 1985-10-21 |
GB1591009A (en) | 1981-06-10 |
US4170828A (en) | 1979-10-16 |
FR2393264B1 (de) | 1981-11-06 |
AT376036B (de) | 1984-10-10 |
JPS5847001B2 (ja) | 1983-10-20 |
FR2393264A1 (fr) | 1978-12-29 |
DE2724858A1 (de) | 1978-12-07 |
ATA306378A (de) | 1984-02-15 |
CH632592A5 (de) | 1982-10-15 |
JPS542766A (en) | 1979-01-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2724858C3 (de) | ||
DE2727769C2 (de) | Gekapselte Längenmeßeinrichtung für große Meßlängen | |
DE2712421C2 (de) | Gekapselte Längenmeßeinrichtung | |
DE2820753C2 (de) | Einrichtung zur Fehlerkorrektur bei Positionsmeßsystemen | |
DE2844066C2 (de) | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung | |
DE3334398C1 (de) | Messeinrichtung | |
EP1529197B1 (de) | Längenmesseinrichtung | |
DE2712096C2 (de) | Gekapselte Meßeinrichtung | |
DE3136981C1 (de) | Fehlerkompensationseinrichtung | |
DE3915679A1 (de) | Positionsmesseinrichtung mit einer justiervorrichtung | |
DE3208591A1 (de) | Laengen- oder winkelmesssystem | |
DE8621056U1 (de) | Gekapselte Positionsmeßeinrichtung | |
EP0093850A2 (de) | Längen- oder WinkelmeBsystem | |
DE3210962C2 (de) | ||
DE2919699A1 (de) | Vorrichtung, insbesondere zur digitalen kraftmessung | |
DE2713004A1 (de) | Lage-messwertgeber fuer werkzeugmaschinen und messvorrichtungen oder -maschinen | |
EP0441125B1 (de) | Längen- oder Winkelmesseinrichtung | |
DE7717404U1 (de) | ||
DE3311562C1 (de) | Messsystem mit einer Einrichtung zur Fehlerkorrektur | |
DE3215336C1 (de) | Gekapselte Messeinrichtung | |
WO2007134653A1 (de) | Vorrichtung zur bestimmung der position eines entlang mindestens einer verschieberichtung bewegbaren objektes | |
DE8127240U1 (de) | Fehlerkompensationseinrichtung | |
DE3037042C2 (de) | Einrichtung zur Fehlerkorrektur an Positionsmeßsystemen | |
DE19614410C2 (de) | Positionsmeßeinrichtung | |
DE4341191C2 (de) | Längenmeßeinrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |