DE10043031A1 - Verfahren zur Herstellung eines Grünkörpers - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines GrünkörpersInfo
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Abstract
Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines Grünkörpers werden mindestens einem Abscheidebrenner glasbildendes Ausgangsmaterial zugeführt, daraus in einer dem Abscheidebrenner zugeordneten Brennerflamme, die auf einen um seine Mittelachse in vorgegebener Drehrichtung rotierenden Träger gerichtet ist, Partikel gebildet und diese auf der Zylindermantelfläche des Trägers unter Bildung des Grünkörpers schichtweise abgeschieden, indem der Abscheidebrenner in einem vorgegebenen Bewegungsablauf entlang des Trägers zwischen Wendepunkten hin- und herbewegt wird. Um das bekannte Verfahren hinsichtlich der Abscheide-Effizienz und der Homogenität des Grünkörpers zu verbessern, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die Brennerflamme (7) auf den Träger (1) gerichtet ist, derart, dass ihre Hauptausbreitungsrichtung (8) die Träger-Mittelachse (2) nicht schneidet und um einen vorgegebenen Versatz (11) entgegen der Drehrichtung (3) verschoben zur Träger-Mittelachse (2) verläuft.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren für die Herstellung eines
Grünkörpers, indem einem Abscheidebrenner glasbildendes Ausgangsmaterial
zugeführt, daraus in einer dem Abscheidebrenner zugeordneten Brennerflamme, die
auf einen um seine Mittelachse in vorgegebener Drehrichtung rotierenden Träger
gerichtet ist, Partikel gebildet und diese auf der Zylindermantelfläche des Trägers
unter Bildung des Grünkörpers schichtweise abgeschieden werden, indem der
mindestens eine Abscheidebrenner in einem vorgegebenen Bewegungsablauf
entlang des Trägers zwischen Wendepunkten hin- und herbewegt wird.
Ein derartiges Verfahren ist aus der US-A 4,784,465 bekannt. Darin wird zur
Herstellung eines sogenannten Kernstabs einer Vorform für eine Single-Mode-Faser
mit geringer Dämpfung vorgeschlagen, einem Flammhydrolysebrenner
Glasausgangsstoffe in Form von SiCl4 und GeCl4 zuzuführen, daraus in der
Knallgasflamme des Brenners durch Hydrolyse SiO2- bzw. GeO2-Partikel zu
erzeugen und diese auf einem waagerecht orientierten, um seine Längsachse
rotierenden Trägerrohr schichtweise abzuscheiden. Der Brenner wird dabei parallel
zur Längsachse des Trägerrohrs hin- und herbewegt, wobei er waagerecht orientiert
und auf die Trägerrohr-Längsachse gerichtet ist. Der so hergestellte Sootkörper wird
zur Herstellung einer Vorform für die Single-Mode-Faser eingesetzt, wobei er in der
Vorform bzw. in der Faser den Bereich des lichtführenden Kerns oder einen Teil
davon bildet.
Der Volumenanteil des lichtführenden Kerns an der Vorform ist zwar gering. Aufgrund
der hohen Anforderungen an die optischen Eigenschaften des Kernbereichs und
damit auch an die Reinheiten der eingesetzten Glasausgangsstoffe erfordert dessen
Herstellung jedoch einen hohen Zeit- und Materialaufwand und stellt daher einen
wesentlichen Kostenfaktor bei der Vorformherstellung dar. Dabei spielen
Homogenität und Effizienz der Abscheidung eine wesentliche Rolle.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das bekannte Verfahren hinsichtlich der
Abscheide-Effizienz und der Homogenität des Grünkörpers zu verbessern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Brennerflamme auf
den Träger gerichtet ist, derart, dass ihre Hauptausbreitungsrichtung die Träger-
Mittelachse nicht schneidet und um einen vorgegebenen Versatz entgegen der
Drehrichtung verschoben zur Träger-Mittelachse verläuft.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist die Brennerflamme nicht auf die
Mittelachse des Trägers gerichtet, sondern daneben. Die Hauptausbreitungsrichtung
der Brennerflamme verläuft daher außerhalb der Ebenen, die die Träger-Mittelachse
enthalten; sie schneidet diese Ebene, oder sie läuft parallel zu einer davon.
Weiterhin ist die Brennerflamme dadurch gekennzeichnet, dass ihre
Hauptausbreitungsrichtung versetzt zur Träger-Mittelachse verläuft, mit der
Maßgabe, dass der Versatz entgegen der Drehrichtung des Trägers auf einem
vorgegebenen Wert eingestellt ist.
Dieser Versatz wird während des Abscheideprozesses konstant gehalten oder er wird
in vorgegebener Art und Weise variiert.
Es hat sich gezeigt, dass durch einen Versatz der Brennerflamme in Bezug auf die
Träger-Mittelachse wesentliche Produkteigenschaften des Grünkörpers, wie die
Dichte, die Homogenität der Abscheidung und insbesondere auch die Abscheiderate
beeinflußt werden. Durch einen Versatz entgegen der Drehrichtung wird eine deutlich
höhere Abscheide-Effizienz erhalten. Ohne an diese Erklärung dafür gebunden zu
sein, wird dies darauf zurückgeführt, dass sich aufgrund des Versatzes entgegen der
Drehrichtung eine längere Kontaktdauer für die in der Brennerflamme gebildeten
Partikel ergibt, während der ein Anhaften an der Oberfläche des sich bildenden
Grünkörpers ermöglicht wird.
Weiterhin wurde überraschend gefunden, dass durch das erfindungsgemäße
Verfahren auch eine Verbesserung der axialen Homogenität des Grünkörpers
hinsichtlich seiner Materialeigenschaften und seiner optischen Eigenschaften im
Vergleich zu einem Verfahren, bei dem die Brennerflamme direkt auf die Träger-
Mittelachse gerichtet ist, erreicht wird.
Dies läßt sich dadurch erklären, dass bei der Hin- und Herbewegung des
Abscheidebrenners entlang des Trägers infolge mechanischer Bauteiltoleranzen,
Maßänderungen während des Abscheideprozesses und aufgrund von Justagefehler
Abweichungen von der vorgegebenen Ausrichtung auftreten können. Diese
Abweichungen wirken sich auf den Auftreffpunkt der Brennerflamme auf die
Grünkörperoberfläche aus. Der Auftreffpunkt der Brennerflamme auf der Oberfläche
des sich bildenden Grünkörpers ist für die Stabilität des Abscheideprozesses und die
Materialhomogenität des Grünkörpers jedoch entscheidend. Denn der Auftreffpunkt
der Brennerflamme hat wesentlichen Einfluss auf die Temperaturverteilung über der
Grünkörper-Oberfläche. Die Temperaturverteilung wirkt sich wiederum auf die
Materialeigenschaften des Grünkörpers aus. Beispielsweise hängt der Einbau von
Dotierstoffen, von Hydroxylgruppen oder von Wasserstoff von der Maximaltemperatur
im Bereich der Grünkörper-Oberfläche und dem zeitlichen Verlauf der Abkühlung ab.
Damit beeinflusst die Temperaturverteilung auf der Grünkörper-Oberfläche die
radiale und axiale chemische Zusammensetzung und damit auch die optischen
Eigenschaften des Grünkörpers. Darüberhinaus bestimmt die Temperatur auch die
Dichteverteilung.
Bei einer Ausrichtung des Brenners auf die Träger-Mittelachse machen sich bereits
geringe Auslenkungen in einer deutlichen Änderung des Auftreffpunktes der
Brennerflamme und damit in Schwankungen in den axialen Materialeigenschaften,
wie der Dichte und der Dotierstoffhomogenität bemerkbar. Bei einem vorgegebenen
Versatz des Abscheidebrenners in Bezug auf die Träger-Mittelachse haben
Abweichungen von der vorgegebenen Ausrichtung jedoch eine deutlich geringere
Auswirkung auf den Auftreffpunkt der Brennerflamme. Es hat sich gezeigt, dass in
Abhängigkeit vom eingestellten Versatz ein "stabiler Arbeitsbereich" existiert, in dem
eine Auslenkung von der vorgegebenen Position des Abscheidebrenners und Lage
des Auftreffpunkts der Brennerflamme auf dem Grünkörper nur geringe Änderungen
der Produkteigenschaften bewirkt. Solange der Versatz innerhalb des erwähnten
Arbeitsbereichs liegt, wirken sich Abweichungen von der idealen Bewegungslinie des
Abscheidebrenners daher nur wenig auf die Produkteigenschaften des Grünkörpers
aus. Die Einstellung eines auf die jeweiligen Prozessbedingungen optimierten
Versatzes ist für einen Fachmann anhand weniger Versuche auffindbar.
Wie oben bereits dargelegt, ist die Hauptausbreitungsrichtung der Brennerflamme
und deren Auftreffpunkt auf der Oberfläche des rotierenden Grünkörpers
entscheidend. Die Form und Lage der Brennerflamme kann durch vielerlei
Maßnahmen, etwa durch Gasströme durch den Abscheidebrenner oder außerhalb
davon, durch mechanische Leitkörper oder durch Anlegen von elektrischen Feldern
variiert werden, ohne dass hierzu der Abscheidebrenner selbst bewegt werden muß.
Derartige Maßnahmen sind für die Positionierung der Brennerflamme und der
Einstellung ihrer Hauptausbreitungsrichtung im Sinne des erfindungsgemäßen
Verfahrens grundsätzlich geeignet und sollen von den folgenden Erläuterungen
umfaßt sein, auch wenn dabei der Einfachheit halber von einer Brennerflamme
ausgegangen wird, die während des Abscheideprozesses hinsichtlich ihrer Form und
Lage insoweit konstant gehalten wird, als das eine örtliche Verschiebung der
Brennerflamme stets mit einer entsprechenden Verschiebung des
Abscheidebrenners einhergeht.
Die "Hauptausbreitungsrichtung" der Brennerflamme stimmt in der Regel mit der
Mittelachse des Abscheidebrenners überein. Der Versatz entspricht dem kürzesten
Abstand zwischen der Hauptausbreitungsrichtung und der Längsachse des Trägers.
In einer Projektion auf eine gemeinsame Ebene können Hauptausbreitungsrichtung
der Brennerflamme und Träger-Längsachse senkrecht zueinander stehen, oder
einen von 90° abweichenden Winkel einschließen. Im letztgenannten Fall ist die
Brennerflamme somit in Richtung der Träger-Längsachse verkippt.
Unter einem Grünkörper wird hier ein zylinderförmiger, poröser Körper aus reinem
SiO2 oder aus Dotierstoffe enthaltendem SiO2 verstanden. Der Grünkörper dient zur
Herstellung von Vorformen für optische Fasern oder von Teilen davon.
Die Größe des einzustellenden Versatzes hängt auch vom Außendurchmesser des
sich bildenden Grünkörpers ab. Da dieser während des Abscheideprozesses
kontinuierlich zunimmt, hat es sich als vorteilhaft erwiesen, den Versatz auf einem
Wert im Bereich zwischen 10% und 80% des Außendurchmessers, vorzugsweise
zwischen 20% und 40% des Außendurchmessers des sich bildenden Grünkörpers
zu halten. Je nach Außendurchmesser des Trägers und Enddurchmesser des
Grünkörpers kann ein konstanter Versatz innerhalb dieser bevorzugten Bereiche
gehalten werden. Andernfalls wird der Versatz gemäß einer bevorzugten
Verfahrensvariante während der Bildung des Grünkörpers vergrößert. Die
Vergrößerung des Versatzes kann kontinuierlich oder schrittweise erfolgen. Dadurch
wird sichergestellt, dass der Versatz stets in dem erwähnten "stabilen Arbeitsbereich"
liegt. Die Vergrößerung des Versatzes erfolgt beispielsweise mittels einer
zeitabhängigen Regelung oder Steuerung oder eine Regelung oder Steuerung
anhand einer am sich bildenden Grünkörper erfassbaren Regelgröße, wie dem
Außendurchmesser, der Wandstärke oder dem Gewicht des sich bildenden
Grünkörpers. Der Versatz im Bereich zwischen 10% und 80%, vorzugsweise
zwischen 20% und 40%, des Außendurchmessers des Grünkörpers gewährleistet
wiederum ein Arbeiten in dem oben erwähnten "stabilen Arbeitsbereich", auch bei
großvolumigen Grünkörperen. Die Änderung des Versatzes kann durch seitliche
Verschiebung des Abscheidebrenners erreicht werden, oder durch eine Verkippung
des Abscheidebrenners entgegen die Träger-Längsachse und einer damit
einhergehenden Änderung der Hauptausbreitungsrichtung der Brennerflamme.
Es hat sich als günstig erwiesen, den Versatz zwischen Hauptausbreitungsrichtung
der Brennerflamme und Träger-Mittelachse auf einen Wert zwischen 1 mm und 4 mm
einzustellen, da bei einem derartigen Versatz entgegen der Drehrichtung der oben
erwähnte "stabile Arbeitsbereich" bei den meisten Abscheidebedingungen erreicht
wird.
Bei einer bevorzugten Verfahrensvariante wird der Abstand zwischen dem
Abscheidebrenner und der Oberfläche des sich bildenden Grünkörpers konstant
gehalten. Wie bereits weiter oben erläutert, hat der Abstand zwischen dem
Abscheidebrenner und der Grünkörper-Oberfläche wesentlichen Einfluß auf die
Oberflächentemperatur. Diese wiederum wirkt sich auf die Dichte des sich bildenden
Grünkörpers und auf die Abscheide-Effizienz aus. Ein konstanter Abstand während
des Abscheideprozesses erleichtert die Einhaltung und Einstellung radial homogener
Materialeigenschaften des Grünkörpers. Für die Konstanthaltung des Abstands kann
eine Regelung vorgesehen sein, die mit der oben erwähnten Regelung oder
Steuerung des Versatzes zwischen Brennerflamme und Träger-Mittelachse
kombiniert ist. Um den Abstand des Abscheidebrenners von der Grünkörper-
Oberfläche unabhängig von dem voreingestellten Versatz zwischen Brennerflamme
und Träger-Mittelachse einstellen zu können, verläuft die Bewegungsrichtung des
Abscheidebrenners beim Einstellen des Abstands zweckmäßigerweise senkrecht zu
der Bewegungsrichtung bei der Einstellung des Versatzes.
Bei einer bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens verläuft die
Hauptausbreitungsrichtung senkrecht zur Träger-Mittelachse. Die Brennerflamme
bzw. deren Ausbreitungsrichtung läßt sich hierbei besonders einfach ausrichten und
regeln.
Als günstig hat es sich erwiesen, dass der Abscheidebrenner unterhalb der Träger-
Mittelachse angeordnet ist. Die Brennerflamme ist hierbei nach oben, vorzugsweise
senkrecht nach oben, gerichtet. Die durch die Thermik unterstützte Strömung trägt
dabei zu einer hohen Abscheiderate bei.
Zur Erhöhung der Abscheideleistung werden zur Bildung des Grünkörpers
zweckmäßigerweise mehrere, entlang der Träger-Mittelachse angeordnete und
miteinander gekoppelte Abscheidebrenner eingesetzt. Die Abscheidebrenner sind
mechanisch oder elektrisch gekoppelt, so dass sie den gleichen oszillierenden
Bewegungsablauf zwischen Wendepunkten entlang des sich bildenden Grünkörpers
ausführen. Es können zwei Wendepunkte der Brennerbewegung im Bereich der
stirnseitigen Enden des sich bildenden Grünkörpers vorgesehen sein, wobei die
Abscheidebrenner im wesentlichen über die gesamte Länge des Grünkörpers bewegt
werden. Alternativ werden die Abscheidebrenner zwischen mehreren, über die
Grünkörper-Länge verteilten Wendepunkten oszillierend hin- und herbewegt.
Die Abscheidebrenner können den gleichen Versatz aufweisen. Es hat sich aber
gezeigt, dass benachbarte Abscheidebrenner sich gegenseitig beeinflussen, so dass
die Effizienz der Abscheidung benachbarter Abscheidebrenner geringer ist als die
Effizienz jedes einzelnen Abscheidebrenners. Daher wird eine Verfahrensweise
bevorzugt, bei der sich die Versätze benachbarter Abscheidebrenner unterscheiden.
Dadurch wird eine Vergrößerung des Abstandes zwischen den benachbarten
Abscheidebrennern erreicht. Dabei wird mindestens einer der Versätze entgegen der
Drehrichtung des Trägers eingestellt. Bei einer Optimierung der Abscheide-Effizienz
durch den Versatz entgegen der Träger-Drehrichtung einerseits und durch die
Vergrößerung des Brennerabstands andererseits kann sich aber auch ein Versatz
von Null oder sogar in Drehrichtung des Trägers als günstig erweisen.
Besonders bewährt hat sich eine Verfahrensweise, bei der die Abscheidebrenner
entlang der Träger-Mittelachse gesehen wechselweise in mindestens einer ersten
Reihe mit einem ersten Versatz und einer zweiten Reihe mit einem zweiten Versatz
angeordnet sind, wobei sich der erste Versatz und der zweite Versätze voneinander
unterscheiden. Die Abscheidebrenner sind entlang der Träger-Mittelachse zick
zackförmig angeordnet.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und einer
Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen in schematischer Darstellung im
einzelnen:
Fig. 1 eine Anordnung von Abscheidebrenner und Träger bei der Durchführung
des erfindungsgemäßen Verfahrens in einer Ansicht in Richtung der Träger-
Längsachse,
Fig. 2 eine zick-zackförmige Anordnung mehrerer Abscheidebrenner entlang
einem Träger bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens in
einer Ansicht in Richtung der Träger-Längsachse,
Fig. 3 ein Diagramm zu Aufbauleistung und Abscheideeffizienz in Abhängigkeit
vom Seitenversatz des Abscheidebrenners, und
Fig. 4 ein Diagramm zu GeO2-Dotierstoffkonzentration und relativer Sootdichte in
Abhängigkeit vom Seitenversatz.
Die Anordnung gemäß Fig. 1 zeigt ein Trägerrohr 1 aus Aluminiumoxid, das um
seine Längsachse 2 rotiert. Die Rotationsrichtung des Trägerrohrs 1 wird durch den
Richtungspfeil 3 angegeben. Mittels eines Flammhydrolysebrenners 4 aus Quarzglas
mit vertikal orientierter Mittelachse werden auf dem Trägerrohr 1 unter Bildung eines
porösen, mit GeO2 dotierten Grünkörpers 5 schichtweise SiO2- und GeO2-Partikel
abgeschieden, wobei der Flammhydrolysebrenner 4 entlang der Träger-Längsachse
2 oszillierend zwischen den Enden des sich bildenden Grünkörpers 5 hin- und
herbewegt wird.
Dem Flammhydrolysebrenner 4 werden Glasausgangsstoffe und Brennstoffe
zugeführt, wie dies schematisch anhand der Richtungspfeile 6 dargestellt ist, in einer
Brennerflamme 7 zu den SiO2- und GeO2-Partikeln umgesetzt. Die Brennerflamme 7
ist auf den Träger 1 und den darauf bereits gebildeten Grünkörper 5 gerichtet. Die
Hauptausbreitungsrichtung der Brennerflamme 7 verläuft koaxial zur Mittelachse des
Abscheidebrenners 4. Ihre Verlängerung über den Auftreffpunkt 9 auf der Oberfläche
10 des Grünkörpers 5 hinaus ist durch die punktierte Linie 8 dargestellt. Die
Hauptausbreitungsrichtung 8 verläuft somit auch vertikal und gleichzeitig senkrecht
zur Träger-Längsachse 2. Der Abscheidebrenner 4 ist derart ausgerichtet, dass die
Hauptausbreitungsrichtung 8 der Brennerflamme 7 in Bezug auf die Träger-
Längsachse 2 und entgegen der Rotationsrichtung 3 seitlich versetzt ist. Der Versatz
11 entspricht dem kürzesten Abstand zwischen der Hauptausbreitungsrichtung 8
(punktierte Linie 8) und der Träger-Längsachse 2.
Zur Veränderung des Versatzes 11 (durch den Abstandspfeil 11 angedeutet), ist der
Abscheidebrenner 4 in Richtung des Richtungspfeils 12 hin- und herbewegbar.
Außerdem ist der Abscheidebrenner 4 in Richtung des Richtungspfeils 13 auch in
vertikaler Richtung bewegbar, damit der Abstand zwischen dem Abscheidebrenner 4
bzw. der Brennerflamme 7 und der Oberfläche des Grünkörpers 5 auf einem
vorgegebenen Wert gehalten werden kann.
Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand der in Fig. 1 gezeigten
Anordnung beispielhaft beschrieben:
Zur Herstellung des mit GeO2 dotierten Grünkörpers 5 nach dem erfindungsgemäßen Verfahren werden dem Flammhydrolysebrenner 4 Glasausgangsstoffe in Form von GeCl4, SiCl4, Sauerstoff und Brenngase zugeführt (Richtungspfeile 6) und daraus in der Brennerflamme 7 SiO2- und GeO2-Partikel gebildet, und diese auf der Oberfläche 10 des um die Längsachse 2 rotierenden Grünkörpers mittels eines üblichen Soot- Außenabscheideverfahrens (OVD-Verfahren) abgeschieden. Als Trägerrohr 1 wird ein Aluminiumoxid-Rohr mit einem Durchmesser von 5 mm eingesetzt. Der Flammhydrolysebrenner 4 wird während des Abscheidens kontinuierlich entlang der Längsachse 2 in einem vorgegebenen Bewegungsablauf zwischen zwei ortsfesten Wendepunkten hin- und herbewegt, wobei eine SiO2-Schicht nach der anderen auf dem Träger 1 bzw. auf der Oberfläche 10 des sich bildenden Grünkörpers 5 abgeschieden wird.
Zur Herstellung des mit GeO2 dotierten Grünkörpers 5 nach dem erfindungsgemäßen Verfahren werden dem Flammhydrolysebrenner 4 Glasausgangsstoffe in Form von GeCl4, SiCl4, Sauerstoff und Brenngase zugeführt (Richtungspfeile 6) und daraus in der Brennerflamme 7 SiO2- und GeO2-Partikel gebildet, und diese auf der Oberfläche 10 des um die Längsachse 2 rotierenden Grünkörpers mittels eines üblichen Soot- Außenabscheideverfahrens (OVD-Verfahren) abgeschieden. Als Trägerrohr 1 wird ein Aluminiumoxid-Rohr mit einem Durchmesser von 5 mm eingesetzt. Der Flammhydrolysebrenner 4 wird während des Abscheidens kontinuierlich entlang der Längsachse 2 in einem vorgegebenen Bewegungsablauf zwischen zwei ortsfesten Wendepunkten hin- und herbewegt, wobei eine SiO2-Schicht nach der anderen auf dem Träger 1 bzw. auf der Oberfläche 10 des sich bildenden Grünkörpers 5 abgeschieden wird.
Ein wesentliches Kennzeichen des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin,
dass die Brennerflamme 7 seitlich versetzt zur Mittelachse 2 auf die Oberfläche 10
des Grünkörpers 5 auftrifft, wobei der Versatz 11 anhand einer (in der Fig. 1 nicht
dargestellten) Regelung auf einem Wert gehalten wird, der 50% der Wandstärke des
sich bildenden Grünkörpers 5 entspricht. Hierzu wird der Flammhydrolysebrenner 4
mit zunehmender Dicke des sich bildenden Grünkörpers 5 in Richtung des
Richtungspfeils 12 weiter nach außen verschoben.
Weiterhin ist eine Regelung vorgesehen, um den Abstand zwischen dem
Flammhydrolysebrenner 4 und der Oberfläche 10 des sich bildenden Grünkörpers 5
konstant zu halten. Hierzu wird der Flammhydrolysebrenner 4 mit zunehmender
Dicke des Grünkörpers 5 nach unten verschoben, wie dies schematisch der
Richtungspfeil 13 anzeigt.
Fig. 2 zeigt schematisch eine Anordnung mehrerer Flammhydrolysebrenner entlang
der Längsachse 2 des Trägerrohrs 1. Sofern in Fig. 2 die gleichen Bezugsziffern wie
in Fig. 1 verwendet sind, so sind damit gleich oder äquivalente Bestandteile oder
Funktionen der Anordnung bezeichnet, wie sie oben anhand dieser Bezugsziffern
näher erläutert sind.
Im Unterschied zu der Anordnung gemäß Fig. 1 werden bei der Anordnung gemäß
Fig. 2 eine Vielzahl von Flammhydrolysebrennern (4,14) eingesetzt, die entlang des
um seine Längsachse 2 rotierenden Trägerrohrs 1 oszillierend zwischen ortsfesten
Wendepunkten (in Fig. 1 nicht dargestellt) hin- und herbewegt werden. Die
Flammhydrolysebrenner (4, 14) sind wechselweise in einer oberen und in einer
unteren Reihe angeordnet, wobei die obere Reihe der Flammhydrolysebrenner durch
den Flammhydrolysebrenner 4 und die untere Reihe der Flammhydrolysebrenner
durch den Flammhydrolysebrenner 14 repräsentiert wird. Die
Flammhydrolysebrenner der oberen Reihe sind auf einem gemeinsamen
Brennerblock (in der Figur nicht dargestellt) montiert, der - wie durch die
Richtungspfeile 12 und 13 dargestellt - bewegbar ist. Dies gilt gleichermaßen für
Flammhydrolysebrenner der unteren Reihe. Zudem sind die Brennerblöcke der
oberen und der unteren Reihe mittels einer gemeinsamen Regelung verbunden,
mittels der die Bewegung der jeweiligen Flammhydrolysebrenner synchronisierbar ist.
Der Flammhydrolysebrenner 4 (und damit aller Flammhydrolysebrenner in der oberen
Reihe) ist so auf das Trägerrohr 1 gerichtet, dass dessen Brennerflamme 7 mit einer
schräg zur Vertikalen verlaufenden Hauptausbreitungsrichtung 8 und mit einem
Versatz 15 zur Mittelachse 2 des Trägerohrs 1 verläuft. Die
Hauptausbreitungsrichtung 8 verläuft somit schräg und gleichzeitig senkrecht zur
Träger-Längsachse 2. Der Flammhydrolysebrenner 4 ist derart ausgerichtet, dass die
Hauptausbreitungsrichtung 8 der Brennerflamme 7 in Bezug auf die Träger-
Längsachse 2 und entgegen der Rotationsrichtung 3 seitlich versetzt ist. Der Versatz
15 entspricht dem kürzesten Abstand zwischen der Hauptausbreitungsrichtung 8
(punktierte Linie 8) und der Träger-Längsachse 2.
Der Flammhydrolysebrenner 14 (und damit aller Abscheidebrenner in der oberen
Reihe) ist so auf das Trägerrohr 1 gerichtet, dass dessen Brennerflamme 7 eine
Hauptausbreitungsrichtung (durch die gestrichelte Linie 16 symbolisiert) aufweist, die
senkrecht zur Mittelachse 2 des Trägerohrs 1 verläuft und diese schneidet. Der
Flammhydrolysebrenner 14 ist somit derart ausgerichtet, dass die
Hauptausbreitungsrichtung 16 der Brennerflamme 7 in Bezug auf die Träger-
Längsachse 2 keinen Versatz aufweist.
Durch die wechselweise Anordnung der Flammhydrolysebrenner (4; 14) in der
oberen und der unteren Reihe ist der Abstand zwischen den Auftreffpunkten (9; 19)
der jeweiligen Brennerflammen 7 auf der Oberfläche des Grünkörpers 5 im Vergleich
zu einer linearen Anordnung der Flammhydrolysebrenner größer, so dass sich die
Flammhydrolysebrenner (4; 14) gegenseitig wenig beeinflussen. Dies erhöht die
Effizienz der Abscheidung im Vergleich zu einer linearen Brenneranordnung.
Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand der in Fig. 1 gezeigten
Anordnung beispielhaft beschrieben:
Zur Herstellung des mit GeO2 dotierten Grünkörpers 5 nach dem erfindungsgemäßen Verfahren werden dem Flammhydrolysebrenner 4 Glasausgangsstoffe in Form von GeCl4, SiCl4, Sauerstoff und Brenngase zugeführt (Richtungspfeile 6) und daraus in der Brennerflamme 7 SiO2- und GeO2-Partikel gebildet, und diese auf der Oberfläche 10 des um die Längsachse 2 rotierenden Grünkörpers mittels eines üblichen Soot- Außenabscheideverfahrens (OVD-Verfahren) abgeschieden. Als Trägerrohr 1 wird ein Aluminiumoxid-Rohr mit einem Durchmesser von 5 mm eingesetzt. Der Flammhydrolysebrenner 4 wird während des Abscheidens kontinuierlich entlang der Längsachse 2 in einem vorgegebenen Bewegungsablauf zwischen zwei ortsfesten Wendepunkten hin- und herbewegt, wobei eine SiO2-Schicht nach der anderen auf dem Träger 1 bzw. auf der Oberfläche 10 des sich bildenden Grünkörpers 5 abgeschieden wird.
Zur Herstellung des mit GeO2 dotierten Grünkörpers 5 nach dem erfindungsgemäßen Verfahren werden dem Flammhydrolysebrenner 4 Glasausgangsstoffe in Form von GeCl4, SiCl4, Sauerstoff und Brenngase zugeführt (Richtungspfeile 6) und daraus in der Brennerflamme 7 SiO2- und GeO2-Partikel gebildet, und diese auf der Oberfläche 10 des um die Längsachse 2 rotierenden Grünkörpers mittels eines üblichen Soot- Außenabscheideverfahrens (OVD-Verfahren) abgeschieden. Als Trägerrohr 1 wird ein Aluminiumoxid-Rohr mit einem Durchmesser von 5 mm eingesetzt. Der Flammhydrolysebrenner 4 wird während des Abscheidens kontinuierlich entlang der Längsachse 2 in einem vorgegebenen Bewegungsablauf zwischen zwei ortsfesten Wendepunkten hin- und herbewegt, wobei eine SiO2-Schicht nach der anderen auf dem Träger 1 bzw. auf der Oberfläche 10 des sich bildenden Grünkörpers 5 abgeschieden wird.
Ein wesentliches Kennzeichen des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin,
dass die Brennerflamme 7 seitlich versetzt zur Mittelachse 2 auf die Oberfläche 10
des Grünkörpers 5 auftrifft, wobei der Versatz 11 anhand einer (in der Fig. 1 nicht
dargestellten) Regelung auf einem Wert gehalten wird, der 50% der Wandstärke des
sich bildenden Grünkörpers 5 entspricht. Hierzu wird der Flammhydrolysebrenner 4
mit zunehmender Dicke des sich bildenden Grünkörpers 5 in Richtung des
Richtungspfeils 12 weiter nach außen verschoben.
Weiterhin ist eine Regelung vorgesehen, um den Abstand zwischen dem
Flammhydrolysebrenner 4 und der Oberfläche 10 des sich bildenden Grünkörpers 5
konstant zu halten. Hierzu wird der Flammhydrolysebrenner 4 mit zunehmender
Dicke des Grünkörpers 5 nach unten verschoben, wie dies schematisch der
Richtungspfeil 13 anzeigt.
Die Wirkung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird nachfolgend anhand der
Fig. 1, 3 und 4 näher erläutert.
In Fig. 3 ist auf der x-Achse der seitliche Versatz "V" des Flammhydrolysebrenner 4
in Millimetern aufgetragen. Das negative Vorzeichen symbolisiert einen Versatz "V"
entgegen der Rotationsrichtung 3. Auf der y-Achse ist einerseits die Aufbauleistung
"A" in g/h und andererseits die Effizienz "E" der Abscheidung in % aufgetragen. Aus
der Darstellung von Fig. 3 ist ersichtlich, dass sowohl die Aufbauleistung "A" (Kurve
20), als auch die Effizienz "E" (Kurve 21) mit größer werdendem Versatz "V" zunächst
deutlich zunehmen, ein Maximum bei einem Versatz "V" von ca. 2 mm erreichen und
danach wieder abfallen. Bei diesem Ausführungsbeispiel ergibt sich ein optimaler und
stabiler Arbeitsbereich bei einem Versatz "V" im Bereich zwischen etwa -1 mm und
etwa -3 mm entgegen der Rotationsrichtung 3.
Im Diagramm gemäß der Fig. 4 ist ebenfalls auf der x-Achse der seitliche Versatz
"V" in Millimetern aufgetragen und auf der y-Achse der mittlere
Germaniumdioxidgehalt "C" des Grünkörpers 5 in Gew.-%. Daraus ist ersichtlich,
dass der Germaniumdioxidgehalt "C" mit zunehmendem seitlichen Versatz "V" bis zu
einem Maximum bei etwa -3 mm deutlich zunimmt (Kurve 30). Ein optimaler, stabiler
Arbeitsbereich ergibt sich im Hinblick auf den Germaniumdioxidgehalt "0" bei einem
Versatz "V" im Bereich von etwa -1 mm und etwa -4 mm. Ergänzend ist in Fig. 4
noch die mittlere relative Dichte "d" in Abhängigkeit vom seitlichen Versatz "V"
aufgetragen, wobei ersichtlich ist, dass die Dichte "d" mit zunehmendem Versatz "V"
in etwa linear abnimmt (Kurve 31).
Claims (11)
1. Verfahren für die Herstellung eines Grünkörpers, indem mindestens einem
Abscheidebrenner glasbildendes Ausgangsmaterial zugeführt, daraus in einer
dem Abscheidebrenner zugeordneten Brennerflamme, die auf einen um seine
Mittelachse in vorgegebener Drehrichtung rotierenden Träger gerichtet ist,
Partikel gebildet und diese auf der Zylindermantelfläche des Trägers unter
Bildung des Grünkörpers schichtweise abgeschieden werden, indem der
Abscheidebrenner in einem vorgegebenen Bewegungsablauf entlang des
Trägers zwischen Wendepunkten hin- und herbewegt wird, dadurch
gekennzeichnet, dass die Brennerflamme (7) auf den Träger (1) gerichtet ist,
derart, dass ihre Hauptausbreitungsrichtung (8) die Träger-Mittelachse (2) nicht
schneidet und um einen vorgegebenen Versatz (11; 15) entgegen der
Drehrichtung (3) verschoben zur Träger-Mittelachse (2) verläuft.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Versatz (11;
15) auf einen Wert im Bereich zwischen 10% und 80% des
Außendurchmessers des sich bildenden Grünkörpers (5) gehalten wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Versatz (11;
15) auf einen Wert im Bereich zwischen 20% und 40% des
Außendurchmessers des sich bildenden Grünkörpers (5) gehalten wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass der Versatz (11; 15) auf einen Wert zwischen 1 mm und
4 mm eingestellt wird.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass der Versatz (11; 15) während der Bildung des
Grünkörpers (5) vergrößert wird.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen dem Abscheidebrenner (4) und
der Oberfläche (10) des sich bildenden Grünkörpers (1) konstant gehalten wird.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass die Hauptausbreitungsrichtung (8) senkrecht zur Träger-
Mittelachse (2) verläuft.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass der Abscheidebrenner (4) unterhalb der Träger-
Mittelachse (2) angeordnet ist.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass für die Bildung des Grünkörpers (5) mehrere, entlang der
Träger-Mittelachse (2) angeordnete und miteinander gekoppelte
Abscheidebrenner (4; 14) eingesetzt werden.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Versätze
benachbarter Abscheidebrenner (4; 14) unterscheiden.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die
Abscheidebrenner (4; 14) entlang der Träger-Mittelachse (2) gesehen
wechselweise in mindestens einer ersten Reihe mit einem ersten Versatz
(15)und einer zweiten Reihe mit einem zweiten Versatz angeordnet sind, wobei
sich der erste Versatz (15) und der zweite Versätze voneinander
unterscheiden.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000143031 DE10043031C2 (de) | 2000-09-01 | 2000-09-01 | Verfahren zur Herstellung eines Grünkörpers |
PCT/EP2001/010022 WO2002018284A1 (de) | 2000-09-01 | 2001-08-30 | Verfahren zur herstellung eines sio2-rohlings |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2000143031 DE10043031C2 (de) | 2000-09-01 | 2000-09-01 | Verfahren zur Herstellung eines Grünkörpers |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10043031A1 true DE10043031A1 (de) | 2002-03-28 |
DE10043031C2 DE10043031C2 (de) | 2002-10-31 |
Family
ID=7654586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2000143031 Expired - Fee Related DE10043031C2 (de) | 2000-09-01 | 2000-09-01 | Verfahren zur Herstellung eines Grünkörpers |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10043031C2 (de) |
WO (1) | WO2002018284A1 (de) |
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DE10043031C2 (de) | 2002-10-31 |
WO2002018284A1 (de) | 2002-03-07 |
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|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
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