DE10032333A1 - Keramischer Grünkörper, Verfahren zur Herstellung eines derartigen Grünkörpers und Verfahren zur Herstellung eines Keramikkörpers mit dem Grünkörper - Google Patents
Keramischer Grünkörper, Verfahren zur Herstellung eines derartigen Grünkörpers und Verfahren zur Herstellung eines Keramikkörpers mit dem GrünkörperInfo
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Abstract
Es wird ein keramischer Grünkörper vorgeschlagen, der mindestens zwei, mit einem Flüssigkleber miteinander verklebte, keramische Grünfolien aufweist. Weiter wird ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen keramischen Grünkörpers vorgeschlagen, wobei zunächst eine erste keramische Grünfolie zumindest bereichsweise und zumindest einseitig oberflächlich mit dem Flüssigkleber versehen, und wobei danach die erste keramische Grünfolie mit einer zweiten keramischen Grünfolie verklebt wird. Schließlich wird vorgeschlagen, einen Keramikkörper mit diesem keramischen Grünkörper herzustellen, der beispielsweise in planaren, keramischen Abgassensoren oder keramischen Mehrlagenhybriden als Schaltungsträger eingesetzt werden kann. Dazu wird der keramische Grünkörper nach dem Verkleben einer Temperaturbehandlung unterzogen, wobei die Polymermatrix der keramischen Grünfolien zunächst zumindest weitgehend thermisch zersetzt und/oder verdunstet, und anschließend der verbliebene Körper gesintert wird.
Description
Die Erfindung betrifft einen keramischen Grünkörper, ein
Verfahren zur Herstellung eines derartigen keramischen Grün
körpers sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Keramik
körpers mit dem keramischen Grünkörper nach der Gattung der
unabhängigen Ansprüche.
Bei der Herstellung planarer keramischer Abgassensoren oder
von Hybridschaltungsträgern auf der Basis keramischer Mehr
lagenhybride ist bekannt, keramische Grünfolien durch ein
Thermokompressionsverfahren, d. h. unter Anwendung von Druck
und Temperatur, zu einem keramischen Grünkörper miteinander
zu verbinden bzw. zu laminieren.
Grundlage der an sich bekannten keramischen Laminiertechnik
sind allgemein keramische Grünfolien, die beispielsweise
durch Foliengießen hergestellt werden. Diese Folien sind ty
pischerweise von 5 µm bis zu 2 mm dick und bestehen übli
cherweise aus Keramikpulver, das in eine Polymermatrix, häu
fig auf Basis von Polyvinylbutyral, eingebettet ist. Zugefügte
Weichmacher geben diesen Grünfolien vielfach weiter
eine gewisse Flexibilität.
Vor dem Laminieren der einzelnen keramischen Grünfolien wer
den diese im übrigen vielfach entsprechend der jeweiligen
Anwendung strukturiert, d. h. beispielsweise mit Ausnehmun
gen, Durchkontaktierungen, strukturierten Funktionsschichten
oder Leiterbahnen versehen. Dazu werden beispielsweise Me
tallpasten auf die einzelnen keramischen Grünfolien aufge
druckt.
Die Herstellung keramischer Grünfolien und deren Verarbei
tung zu keramischen Mehrlagenhybriden ist beispielsweise in
P. Boch et al., "Tape Casting of Al2O3/ZrO2 Laminated Compo
sites", J. Am. Ceram. Soc., Band 69, 8, (1986), C 191 bis
C 192, oder A. Roosen, "Basic Requirements for Tape Casting
of Ceramic Powders", Ceram. Transactions, Vol. 1, Part B,
Ceramic Powder Science, Am. Ceram. Soc., Columbus, 1988,
Seiten 675 bis 692, beschrieben.
Bekannte Thermokompressionsverfahren zur Herstellung von ke
ramischen Körpern durch Laminieren von keramischen Grünfoli
en weisen den Nachteil auf, daß das beim Laminieren erfor
derliche Erwärmen der keramischen Grünfolien zeitaufwendig
ist, und daß beispielsweise auf der Oberfläche der kerami
schen Grünfolien erzeugte Funktionsschichten durch den auf
zubringenden Druck deformiert werden können.
In DE 197 25 948 A1 ist zur Überwindung dieser Nachteile
weiter bereits vorgeschlagen worden, die Lamination der ein
zelnen keramischen Grünfolien zu einem Grünkörper durch Ver
kleben mittels doppelseitigem Klebeband vorzunehmen. Dieses
Verfahren wird auch als "Kalt-Niederdrucklamination" (KND)
bezeichnet. Weiter ist daraus die Herstellung einer stoffschlüssigen
Verbindung zwischen den zunächst miteinander
verklebten keramischen Grünfolien durch abschließendes Sin
tern zu einem Keramikkörper bekannt.
Die aus DE 197 25 948 A1 bekannte "Kalt-Niederdrucklami
nation" weist jedoch den Nachteil auf, daß sich der Ein
schluß von Luftblasen zwischen dem doppelseitigen Klebeband
und den zu verklebenden keramischen Grünfolien nur schwer
vermeiden läßt, was stellenweise zur Delamination und Funk
tionsstörungen führen kann. Insofern ist dieses Vorgehen
insbesondere zur Herstellung planarer Mehrlagenhybride für
elektronische Schaltungen oder von Keramikfolien für Gassen
soren nur bedingt einsetzbar. Außerdem läßt sich der Einsatz
bzw. die Aufbringung eines derartigen Klebebandes, bei
spielsweise bei der Herstellung von Mehrlagenhybriden, nur
sehr schwierig in übliche Dickschichtverfahren wie Siebdruck
integrieren.
Der erfindungsgemäße keramische Grünkörper, das erfindungs
gemäße Verfahren zur Herstellung eines derartigen Grünkör
pers und das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung ei
nes Keramikkörpers mit diesem Grünkörper hat gegenüber dem
Stand der Technik den Vorteil, daß damit die Vorteile der
klassischen Dickschichttechnologie mit den Vorteilen der
Kalt-Niederdrucklamination verbunden werden können. So kann
einerseits vorteilhaft auf die Anwendung eines Thermokom
pressionsverfahrens zur Verbindung der keramischen Grünfoli
en verzichtet werden, andererseits entfällt aber auch die
Gefahr der Delamination durch Blasenbildung.
Insgesamt ergibt sich somit eine erhebliche Vereinfachung
und Verkürzung des Fertigungsverfahrens, sowie eine Qualitätsverbesserung
der erhaltenen Keramikkörper. Dadurch füh
ren die erfindungsgemäßen Verfahren zu erheblichen Kostener
sparnissen, beispielsweise bei der Herstellung von Mehrla
genhybriden oder Gassensoren. Im übrigen erlaubt das erfin
dungsgemäße Verfahren zum Verkleben der keramischen Grünfo
lien auch einen einfachen Niveauausgleich, so daß eine gege
benenfalls zunächst vorhandene Oberflächenwelligkeit der
einzelnen verklebten Grünfolien zumindest teilweise ausge
glichen werden kann.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus
den in den Unteransprüchen genannten Maßnahmen.
So ist es besonders vorteilhaft, wenn der Flüssigkleber auf
die Grünfolien mittels eines an sich bekannten Siebdruckver
fahrens aufgebracht wird. Dabei kann die Viskosität des ein
gesetzten Flüssigklebers vorteilhaft durch Zusatz eines Lö
sungsmittels in der jeweils gewünschten Weise angepaßt wer
den. Zudem läßt sich durch den Siebdruck auch die Dicke der
aufgebrachten Flüssigkleberschicht an die Grünkörperfolien
anpassen bzw. in definierter Weise einstellen.
Vorteilhaft ist weiter, daß acrylat-basierte Flüssigkleber
sowohl auf Basis eines organischen Lösungsmittels wie Ace
ton, Ethylacetat und/oder Benzin, als auch auf Wasserbasis
herstellbar und siebdruckbar sind. Damit besteht vorteilhaft
die Möglichkeit, den eingesetzten Flüssigkleber auf die Zu
sammensetzung der zu verklebenden keramischen Grünfolien ab
zustimmen.
Das dem Flüssigkleber beispielsweise zum Aufbringen mittels
Siebdruck oder alternativ auch durch Aufsprühen zugesetzte
Lösungsmittel kann weiter vorteilhaft durch einen nachge
schalteten Trocknungsschritt wieder abgezogen werden, bevor
die mit dem Flüssigkleber versehenen keramischen Folien dann
gestapelt und damit miteinander verklebt werden.
Bei der Herstellung des Keramikkörpers ist es weiter vor
teilhaft, daß im Laufe der dabei durchgeführten Temperatur
behandlung zunächst die Polymermatrix, das heißt die in den
keramischen Grünfolien enthaltenen organischen Bestandteile
wie Binder, Weichmacher und gegebenenfalls Dispergatoren,
bei Temperaturen von 80°C bis 350°C thermisch zersetzt
und/oder verdunstet werden, wobei jedoch der eingesetzte
Flüssigkleber bei diesen Temperaturen thermisch noch stabil
ist.
Weiter weist der eingesetzte Flüssigkleber bei den zur ther
mischen Zersetzung der Polymermatrix erforderlichen Tempera
turen zunächst vorteilhaft eine hohe Viskosität auf, so daß
der Flüssigkleber bei diesen Temperaturen nur in vernachläs
sigbarem Ausmaß in die miteinander verklebten keramischen
Grünfolien eindringt. In diesem Stadium des erfindungsgemä
ßen Verfahrens zur Herstellung des Keramikkörpers werden die
miteinander verklebten Grünfolien somit zunächst im wesent
lichen durch den an der Oberfläche der Grünfolien befindli
chen Flüssigkleber zusammengehalten.
Nachdem dann die Polymermatrix durch die Temperaturbehand
lung in der erläuterten Weise thermisch zersetzt und/oder
verdunstet worden ist, wird anschließend die Temperatur im
Laufe dieser oder einer weiteren Temperaturbehandlung derart
erhöht, daß sich der auf der Oberfläche der keramischen
Grünfolien aufgetragene Flüssigkleber zunächst verflüssigt.
Diese Temperaturen liegen typischerweise bei 250°C bis
550°C. Damit wird vorteilhaft erreicht, daß der Flüssigkle
ber oberflächlich in das verbliebene, sehr poröse keramische
Gerüst der von der Polymermatrix befreiten Grünfolien eindringt,
und auf diese Weise eine innige und feste Verklebung
benachbarter Grünfolien bewirkt.
Bei einer weiteren Temperaturerhöhung wird der Kleber dann
thermisch zersetzt, so daß eine innige und direkte Verzah
nung der Teilchen bzw. der verbliebenen Keramikgerüste er
reicht wird, die sich bei einem nachfolgenden Sinterschritt
nun vorteilhaft nicht mehr voneinander lösen beziehungsweise
delaminieren, sondern zu einer stoffschlüssigen Verbindung
zusammensintern.
Aufgrund der hohen Temperaturen von 800°C bis 1750°C, teil
weise sogar bis 2200°C, bei dem abschließenden Sinterschritt
zur Herstellung des Keramikkörpers wird schließlich auch ei
ne zumindest weitgehende thermische Zersetzung des zuvor auf
die keramischen Grünfolien aufgetragenen Flüssigklebers ge
währleistet. Der erhaltene Keramikkörper weist somit zumin
dest nahezu keine Rückstände von Flüssigkleber und/oder Po
lymermatrix mehr auf.
Das erläuterte Ausführungsbeispiel geht zunächst von kerami
schen Grünfolien aus, wie sie bereits in DE 197 25 948 A1
beschrieben sind.
Diese keramischen Grünfolien werden dann zunächst jeweils
einseitig flächig mit einem acrylat-basierten Flüssigkleber
versehen.
Besonders bevorzugt ist ein Flüssigkleber der die Zusammen
setzung 2-Ethylhexylacrylat und Acrylsäure im Massenver
hältnis 90 : 10 bis 99,5 : 0,5, insbesondere 98 : 2, aufweist. In
diesem Fall wird als Lösungsmittel beispielsweise ein Aceton-Benzin-Gemisch
eingesetzt, das dem Flüssigkleber in ei
nem Anteil von 60 bis 70, insbesondere 65 Massenprozent, zu
gesetzt wird.
Alternativ kann der Flüssigkleber auch die Zusammensetzung
2-Ethylhexylacrylat, Methylacrylat und Acrylsäure aufweisen,
wobei diese Bestandteile dann in einem Massenverhältnis von
beispielsweise 75 : 20 : 5 eingesetzt werden. Als Lösungsmittel
dient in diesem Fall Isopropanol.
Den vorstehend erläuterten Flüssigklebern können weiterhin an
sich bekannte Abmischkomponenten in Form von Weichmachern
und/oder Klebharzen zugesetzt sein.
Zudem kommen auch Flüssigkleber in Frage, die Maleinsäure, Ita
consäure, Fumarsäure und/oder deren Ester, oder Vinylverbindun
gen, insbesondere Vinylester, Vinylacetat oder Vinylalkohol,
und/oder deren Ester enthalten.
Im einzelnen erfolgt das Auftragen des Flüssigklebers auf
die keramischen Grünfolien dadurch, daß der Flüssigkleber
zunächst mit dem Lösungsmittel versetzt, und anschließend
mittels eines an sich bekannten Siebdruckverfahrens einsei
tig flächig auf die keramischen Grünfolien aufgedruckt wird.
Alternativ zu dem Aufbringen durch Aufdrucken kann der Flüs
sigkleber jedoch beispielsweise auch aufgesprüht werden.
Als Lösungsmittel, das zur Verdünnung beziehungsweise Ein
stellung der Viskosität des eingesetzten Flüssigklebers beim
Sprühen oder Drucken eingesetzt wird, kann je nach Zusammen
setzung des Flüssigklebers neben den bereits genannten Lö
sungsmitteln im übrigen auch Wasser, Aceton, Benzin oder
Ethylacetat oder eine Mischung daraus eingesetzt werden.
Die eingesetzten, an sich bekannten keramischen Grünfolien
bestehen beispielsweise aus in einer Matrix eingebetteten
Keramikpartikeln, beispielsweise Yttrium-stabilisierte ZrO2-
Pulverpartikeln.
Die Matrix ist beispielsweise ein Polymer wie Polyvinylbuty
ral, dem gegebenenfalls ein Weichmacher zugesetzt ist.
Die typische Dicke der eingesetzten keramischen Grünfolien
beträgt ca. 5 µm bis 2000 µm, insbesondere 10 µm bis 200 µm.
Im übrigen können die eingesetzten keramischen Grünfolien
vor dem Aufbringen des Flüssigklebers weiter oberflächlich
bereichsweise in an sich bekannter Weise, beispielsweise
durch Aufdrucken einer Metallpaste, mit einer Funktions
schicht und/oder Ausnehmungen, insbesondere Durchkontaktie
rungen, und/oder Leiterbahnen versehen worden sein. Derarti
ge Keramikkörper sind als keramische Mehrlagenhybride für
Schaltungsträger bekannt.
Nachdem der Flüssigkleber mittels Siebdruck einseitig flä
chig auf die gegebenenfalls vorher mit einer Funktions
schicht und/oder Ausnehmungen versehenen keramischen Grünfo
lien aufgebracht worden ist, werden die derart vorbereiteten
keramischen Grünfolien gestapelt und gegebenenfalls, bei un
zureichendem Eigengewicht der Grünfolien, durch zusätzlichen
leichten Druck miteinander verklebt. Hierzu reicht ein Hand
druck oder ein leichter Walzendruck aus.
Dadurch entsteht ein keramischer Grünkörper, der aus minde
stens zwei, bevorzugt jedoch 3 bis 8 aufeinander gestapel
ten, jeweils paarweise miteinander verklebten, keramischen
Grünfolien besteht.
Um das zum Aufbringen des Flüssigklebers mittels Siebdruck
zugesetzte Lösungsmittel vor dem Stapeln der einzelnen Grün
folien zu dem Grünkörper wieder abzuziehen, ist es im übri
gen zweckmäßig, die einzelnen, mit dem Flüssigkleber verse
henen Grünfolien vor dem Stapeln zunächst bei einer Tempera
tur von 80°C bis 150°C, insbesondere 90°C bis 110°C, über
einen Zeitraum von 3 Minuten bis 60 Minuten zu trocknen.
Nach dem Stapeln und damit dem Verkleben der mit Flüssigkle
ber versehenen, keramischen Grünfolien zu dem als Zwischen
produkt dienenden keramischen Grünkörper, wird dieser dann
einer Temperaturbehandlung unterzogen.
Dazu wird der Grünkörper zunächst auf eine Temperatur aufge
heizt, bei der sich die Polymermatrix der keramischen Grün
folien thermisch zersetzt und/oder verdunstet. Diese Tempe
raturen betragen typischerweise 80°C bis 350°C. Es verblei
ben somit von den einzelnen Grünfolien jeweils poröse, kera
mische Gerüste, die untereinander über Zwischenschichten aus
Flüssigkleber verklebt sind.
Anschließend erfolgt dann eine Erhöhung der Temperatur be
ziehungsweise eine zweite Temperaturbehandlung, wobei der
zuvor entbinderte beziehungsweise von der Polymermatrix be
freite Grünkörper nun auf Temperaturen aufgeheizt wird, bei
denen sich der Kleber verflüssigt. Diese Temperaturen betra
gen üblicherweise 250°C bis 550°C. Mit diesem Verflüssigen
des aufgebrachten Klebers zwischen den einzelnen keramischen
Grünfolien ist gleichzeitig zumindest oberflächlich ein Ein
dringen des Klebers in das verbliebene, poröse keramische
Gerüst der keramischen Grünfolien verbunden. Somit ergibt
sich eine sehr feste und innige Verklebung.
Bei einer weiteren Temperaturerhöhung auf 350°C bis 650°C
wird der Kleber dann thermisch zersetzt. Die keramischen
Teilchen der verklebten Grünfolien stellen nun im direkten
Kontakt miteinander ein keramisches Gerüst mit einer innigen
Verzahnung dar.
Nachfolgend wird dann der so vorbehandelte Körper zur Ver
dichtung in an sich bekannter Weise auf höhere Temperaturen
von 850°C bis zu 2200°C und dabei gesintert.
Im übrigen kann während der gesamten Temperaturbehandlung
der verklebten Grünfolien der erzeugte Folienstapel auch mit
einem zusätzlichen Gewicht beschwert sein.
Während dieses abschließenden Sinterschrittes entsteht der
Keramikkörper, der nunmehr zumindest weitgehend frei von or
ganischen Bestandteilen ist.
Claims (20)
1. Keramischer Grünkörper mit mindestens zwei, miteinander
verklebten, keramischen Grünfolien, dadurch gekennzeichnet, daß
die Grünfolien mit einem Flüssigkleber miteinander verklebt
sind.
2. Grünkörper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Flüssigkleber ein acrylat-basierter Kleber ist, der insbe
sondere ein Copolymerisat auf Basis von Acrylsäure und Methy
lacrylsäure und/oder deren Ester mit 1 bis 25 Kohlenstoffatomen
oder substituierte Acrylamide und/oder Methacrylamide enthält.
3. Grünkörper nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß der Flüssigkleber mindestens eine Komponente ausgewählt
aus der Gruppe Maleinsäure, Itaconsäure, Fumarsäure und/oder de
ren Ester und/oder Abmischkomponenten, insbesondere Weichmacher
und/oder Klebharze, enthält.
4. Grünkörper nach mindestens einem der vorangehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkleber Vinylver
bindungen, insbesondere Vinylester, Vinylacetat, Vinylalkohol
und/oder deren Ester enthält.
5. Grünkörper nach mindestens einem der vorangehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkleber ein Lö
sungsmittel, insbesondere Wasser oder ein organisches Lösungsmittel
wie Aceton, Ethylacetat, Benzin oder ein Gemisch daraus
enthält.
6. Grünkörper nach mindestens einem der vorangehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkleber zur Erhö
hung der Kohäsion zunächst zumindest teilweise thermisch ver
netzt worden ist.
7. Grünkörper nach mindestens einem der vorangehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die keramischen Grünfolien
in eine Matrix eingebettete Keramikpartikel aufweisen.
8. Grünkörper nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß
die Matrix ein Polymer, insbesondere Polyvinylbutyral, aufweist.
9. Grünkörper nach mindestens einem der vorangehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Verkleben minde
stens eine keramische Grünfolie oberflächlich zumindest be
reichsweise mit mindestens einer Funktionsschicht und/oder Aus
nehmungen, insbesondere Durchkontaktierungen, und/oder Leiter
bahnen versehen worden ist.
10. Grünkörper nach mindestens einem der vorangehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Grünkörper einen Stapel
miteinander verklebter Grünfolien aufweist.
11. Verfahren zu Herstellung des keramischen Grünkörpers nach
mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekenn
zeichnet, daß zunächst eine erste keramische Grünfolie zumindest
bereichsweise und zumindest einseitig oberflächlich mit dem
Flüssigkleber versehen wird, und daß danach die erste keramische
Grünfolie mit einer zweiten keramischen Grünfolie verklebt wird.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß
der Flüssigkleber zumindest bereichsweise einseitig flächig auf
die erste keramische Grünfolie aufgebracht, insbesondere aufge
druckt oder aufgesprüht wird.
13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeich
net, daß die mit dem Flüssigkleber versehenen Grünfolien vor dem
Verkleben bei einer Temperatur von 80°C bis 120°C über eine
Zeitdauer von 3 min bis 60 min getrocknet werden.
14. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 11 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, daß die keramischen Grünfolien nach dem
Versehen mit dem Flüssigkleber gestapelt und insbesondere durch
leichten Andruck miteinander verklebt werden.
15. Verfahren zur Herstellung eines Keramikkörpers, insbeson
dere von Keramikfolien oder keramischen Mehrlagenhybriden, mit
einem keramischen Grünkörper nach mindestens einem der vorange
henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der keramische
Grünkörper nach dem Verkleben mindestens einer Temperaturbehand
lung unterzogen wird, wobei die Polymermatrix der Grünfolien zu
mindest weitgehend thermisch zersetzt und/oder verdunstet wird,
und wobei anschließend der Grünkörper gesintert wird.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß
die Temperaturbehandlung derart erfolgt, daß zunächst die Poly
mermatrix zumindest weitgehend thermisch zersetzt und/oder ver
dunstet wird, und danach der auf die Grünfolien aufgetragene
Flüssigkleber thermisch verflüssigt wird.
17. Verfahren nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeich
net, daß die Polymermatrix bei Temperaturen von 80°C bis 350°C
thermisch zersetzt und/oder verdunstet wird.
18. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß
der Flüssigkleber bei Temperaturen von 250°C bis 550°C thermisch
verflüssigt wird.
19. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß
der Flüssigkleber bei Temperaturen von 350°C bis 650°C thermisch
zersetzt wird.
20. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß
das Sintern bei Temperaturen von 800°C bis 2200°C erfolgt.
Priority Applications (5)
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JP2002506926A JP2004501806A (ja) | 2000-07-04 | 2001-06-20 | セラミックグリーン体、この種のグリーン体の製法および該グリーン体を用いるセラミック体の製法 |
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