DE10030436A1 - Verfahren zur Herstellung einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht, Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht und laminiertes keramisches Elektronikteil - Google Patents
Verfahren zur Herstellung einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht, Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht und laminiertes keramisches ElektronikteilInfo
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Abstract
Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht unter Verwendung einer Feststoffkomponente, eines verdünnenden Lösungsmittels, eines Dispergiermittels, einer organischen Harzkomponente und eines Hauptlösungsmittels offenbart, dadurch gekennzeichnet, dass der Siedepunkt des verdünnenden Lösungsmittels um 100 C oder mehr unter dem des Hauptlösungsmittels liegt und das verdünnende Lösungsmittel mit der organischen Harzkomponente und dem Hauptlösungsmittel kompatibel ist, wobei das Verfahren einen ersten Dispergierungsschritt zum Erhalt eines ersten Schlickers durch Dispergierungsbehandlung einer durch Mischen der Feststoffkomponente, des verdünnenden Lösungsmittels und des Dispergiermittels hergestellten ersten Mahlsuspension, einen zweiten Dispergierungsschritt zum Erhalt eines zweiten Schlickers durch Dispergierungsbehandlung einer durch Mischen des ersten Schlickers mit der organischen Harzkomponente und dem Hauptlösungsmittel hergestellten zweiten Mahlsuspension und einen Schritt zum Eliminieren des verdünnenden Lösungsmittels aus dem zweiten Schlicker umfasst.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Masse für ei
ne elektrisch leitfähige Dickschicht. Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere
ein Verfahren zur Herstellung einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht,
die für eine Innenelektrode eines laminierten keramischen Elektronikteils verwendet
wird, eine Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht, die mittels eines erfin
dungsgemäßen Verfahrens erhalten wird, sowie ein laminiertes keramisches Elek
tronikteil unter Verwendung derselben.
Eine Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht, beispielsweise eine Masse für
eine elektrisch leitfähige Dickschicht für Siebdruck zur Verwendung in einem lami
nierten keramischen Elektronikteil, wird für gewöhnlich durch Kneten einer ein Me
tallpulver wie zum Beispiel Ni, Cu, Ag, Pd enthaltenden elektrisch leitfähigen Kom
ponente mit einem organischen Bindemittel, das durch Auflösen einer organischen
Harzkomponente, wie zum Beispiel Ethylcellulose oder ein Acrylharz, in einem re
lativ schwerersiedenden Hauptlösungsmittel, beispielsweise Carbitol oder Terpi
neol, hergestellt wird, gefolgt von Dispergierung unter Verwendung einer Disper
giermaschine hergestellt. Die Masse für die elektrisch leitfähige Dickschicht zur
Verwendung bei Siebdruck sollte so eingestellt sein, dass sie eine Viskosität von 10
Pa oder mehr aufweist, um eine hohe Druckpräzision zu erreichen. Im Allgemeinen
werden drei Walzen als Mittel zur Dispergierung einer derartig hoch viskosen Mas
se eingesetzt.
Bei dem eingangs beschriebenen Verfahren zur Herstellung einer Masse für eine
elektrisch leitfähige Dickschicht wird jedoch zum Beispiel, wenn ein in der Feststoff
komponente enthaltenes Metallpulver ein feines Pulver mit einer durchschnittlichen
Primärpartikelgröße von 1,0 µm oder weniger ist, die Aggregationskraft zwischen
den Pulverpartikeln aufgrund der vergrößerten spezifischen Oberfläche des Fest
stoffkomponentenpulvers erhöht, so dass eine Dispergierung mit drei Walzen oder
ähnlichem kein vollständiges Vermahlen des aggregierten Pulvers der Feststoff
komponente erreichen kann, was zu dem Problem eines in der Masse für die elek
trisch leitfähige Dickschicht nicht dispergierten verbleibenden Feststoffkomponen
tenaggregats führt.
Es gibt ein Verfahren, bei dem vor der Dispergierungsbehandlung ein Dispergier
mittel als Zusatz zu einer Mahlsuspension zugegeben wird, um eine Feststoffkom
ponente zu erhalten, die ein gleichmäßig in einer Masse dispergiertes Pulver mit
einer durchschnittlichen Primärpartikelgröße von 1,0 µm oder weniger enthält. Bei
einem Dispergierungsverfahren unter Verwendung von drei Walzen oder ähnlichem
erwies sich jedoch die gleichmäßige Adsorbierung eines oberflächenaktiven Stoffs,
zum Beispiel eines Dispergiermittels, an der Oberfläche eines Feststoffkomponen
tenpulvers als schwierig, da die Viskosität der eine Feststoffkomponente und ein
organisches Bindemittel umfassenden Mahlsuspension hoch war. Insbesondere
solche Polymerdispergiermittel, die an der funktionellen Gruppe einer Oberfläche
eines Feststoffkomponentenpulvers in einer Vielfachpunktkonfiguration adsorbiert
werden, um eine Aggregation von Partikeln durch sterische Hinderungsrepulsion
und elektrostatische Repulsion zwischen den Partikeln zu verhindern, sind bei ge
wöhnlicher Temperatur meist viskose Flüssigkeiten. Es war daher schwierig, sie
gleichmäßig an der Oberfläche eines Feststoffkomponentenpulvers adsorbieren zu
lassen. Zudem trat das Problem auf, dass eine ein organisches Bindemittel bilden
de organische Harzkomponente ein Adsorbieren eines Dispergiermittels an der
Oberfläche eines Feststoffkomponentenpulvers verhinderte.
Es gibt ein weiteres Verfahren zur Verwirklichung einer hohen Dispergierungswir
kung, bei dem eine organische Harzkomponente mit einem Dispergiermittel ge
mischt wird, nachdem man es an einer Pulveroberfläche adsorbieren lässt. Bei ei
nem Dispergierungsvorgang unter Verwendung von drei Walzen oder ähnlichen
war es jedoch schwierig, eine Mahlsuspension mit einer für ein Dreiwalzendisper
gierungsverfahren geeigneten Viskosität unter Verwendung einer aus nur einer
Feststoffkomponente, einem Hauptlösungsmittel und einem Dispergiermittel beste
henden Zusammensetzung zu erhalten. Daher war es unvermeidbar, vor der Dis
pergierungsbehandlung der Mahlsuspension eine organische Harzkomponente zu
zugeben, und da die organische Harzkomponente ein Adsorbieren des Dispergier
mittels verhinderte, konnte keine Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht mit
ausgezeichneten Dispergierbarkeit einer Feststoffkomponente erzielt werden.
Wenn eine Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht mit derartigen nicht dis
pergierten Partikeln einer Feststoffkomponente als Masse für den Siebdruck einer
Innenelektrode eines laminierten keramischen Elektronikteils verwendet wird, treten
die nicht dispergierten Partikel der Feststoffkomponente als hervorstehende Teile
auf der getrockneten überzogenen Schicht auf und durchdringen die Keramik
schicht, wodurch ein Kurzschlussfehler verursacht wird.
Zur Bewältigung der oben beschriebenen Probleme sehen bevorzugte Ausführun
gen der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer Masse für eine
elektrisch leitfähige Dickschicht sowie eine Masse für eine elektrisch leitfähige
Dickschicht mit wenigen nicht dispergierten Partikeln einer Feststoffkomponente in
der Masse und mit ausgezeichneter Dispergierbarkeit, auch wenn die Feststoff
komponente der Masse für die elektrisch leitfähige Dickschicht ein Pulver mit einer
durchschnittlichen Primärpartikelgröße von 1,0 µm oder weniger aufweist, sowie ein
laminiertes keramisches Elektronikteil mit einer nur geringen kurzschlussbedingten
Fehlerrate vor.
Eine bevorzugte Ausführung der vorliegenden Erfindung sieht ein Verfahren zur
Herstellung einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht unter Verwendung
einer Feststoffkomponente, eines verdünnenden Lösungsmittels, eines Dispergier
mittels, einer organischen Harzkomponente und eines Hauptlösungsmittels vor, bei
dem der Siedepunkt des oben erwähnten verdünnenden Lösungsmittels um 100°C
oder mehr unter dem des oben erwähnten Hauptlösungsmittels liegt und das oben
erwähnte verdünnende Lösungsmittel mit der oben erwähnten organischen Harz
komponente und dem oben erwähnten Hauptlösungsmittel kompatibel ist, wobei
das Verfahren einen ersten Dispergierungsschritt zum Erhalt eines ersten Schlic
kers durch Dispergierungsbehandlung einer durch Mischen der oben erwähnten
Feststoffkomponente, des oben erwähnten verdünnenden Lösungsmittels und des
oben erwähnten Dispergiermittels hergestellten ersten Mahlsuspension, einen
zweiten Dispergierungsschritt zum Erhalt eines zweiten Schlickers durch Dispergie
rungsbehandlung einer durch Mischen des oben erwähnten ersten Schlickers mit
der oben erwähnten organischen Harzkomponente und dem oben erwähnten
Hauptlösungsmittel hergestellten zweiten Mahlsuspension sowie einen Schritt zur
Eliminierung des oben erwähnten verdünnenden Lösungsmittels aus dem oben
erwähnten zweiten Schlicker umfasst.
Die oben erwähnte erste Mahlsuspension kann weiterhin das Hauptlösungsmittel
umfassen.
Die oben erwähnte erste Mahlsuspension kann weiterhin die organische Harzkom
ponente enthalten, wobei die Menge der in der besagten ersten Mahlsuspension
enthaltenen besagten organischen Harzkomponente kleiner oder gleich einem
Drittel der Gesamtmenge der in der Masse für die elektrisch leitfähige Dickschicht
enthaltenen organischen Harzkomponente ist.
Der oben erwähnte Schritt zur Eliminierung des verdünnenden Lösungsmittel kann
weiterhin einen Eindampfungseliminierungsvorgang unter Verwendung mindestens
eines der Verfahren des Erwärmens und des Auspumpens umfassen.
Das oben erwähnte Dispergiermittel kann eine Fettsäure sein.
Die oben erwähnte Fettsäure kann entweder eine Stearinsäure, eine Ölsäure oder
ein Metallsalz derselben sein.
Die oben erwähnte Fettsäure kann einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dick
schicht in einer Menge von 0,05-5,0 Masseteilen zugegeben werden.
Das oben erwähnte Dispergiermittel kann ein anionisches Dispergiermittel sein.
Das oben erwähnte anionische Dispergiermittel kann ein Polymer mit einem Ge
wichtsmittel-Molekulargewicht von 5.000 oder mehr sein.
Das oben erwähnte anionische Dispergiermittel kann ein Monomer mit mindestens
einem aus einer Gruppe bestehend aus einer Carbonsäure, einer Sulfonsäure, ei
ner Phosphorsäure und einem Neutralsalz derselben gewählten Bestandteil umfas
sen.
Das oben erwähnte anionische Dispergiermittel kann der Masse zur Bildung einer
Dickschicht in einer Menge von 0,05 bis 10,0 Masseteilen zugegeben werden.
Die oben erwähnte Feststoffkomponente kann mindestens ein Metallpulver enthal
ten.
Die oben erwähnte Feststoffkomponente kann mindestens ein Pulver mit einer
durchschnittlichen Primärpartikelgröße von 1,0 µm oder weniger enthalten.
Die oben erwähnte Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht kann eine Mas
se für den Siebdruck sein.
Eine weitere bevorzugte Ausführung der vorliegenden Erfindung sieht eine Masse
vor, die durch das Verfahren der vorliegenden Erfindung erhaltbar ist.
Eine weitere bevorzugte Ausführung der vorliegenden Erfindung sieht ein laminier
tes keramisches Elektronikteil vor, das durch eine Innenelektrode gekennzeichnet
ist, welche durch Verwenden einer durch das Herstellverfahren der vorliegenden
Erfindung erhaltbaren Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht gebildet wird.
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung gehen aus der folgen
den Beschreibung der Erfindung, die auf die Begleitzeichnungen Bezug nimmt,
hervor.
Fig. 1 ist ein Flussdiagramm, das die Schritte zur Herstellung einer Masse für eine
elektrisch leitfähige Dickschicht gemäß einer der erfindungsgemäßen Ausführun
gen zeigt.
Fig. 2 ist ein Flussdiagramm, das die Schritte zur Herstellung einer Masse für eine
elektrisch leitfähige Dickschicht gemäß einer anderen erfindungsgemäßen Ausfüh
rung zeigt.
Fig. 3 ist ein Flussdiagramm, das die Schritte zur Herstellung einer Masse für eine
elektrisch leitfähige Dickschicht gemäß einer weiteren anderen erfindungsgemäßen
Ausführung zeigt.
Fig. 4 ist ein Flussdiagramm, das die Schritte zur Herstellung einer Masse für eine
elektrisch leitfähige Dickschicht gemäß einer noch weiteren erfindungsgemäßen
Ausführung zeigt.
Das Verfahren zur Herstellung einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht
gemäß der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass es zwei Dis
pergierungsschritte und einen Schritt zur Eliminierung eines verdünnenden Lö
sungsmittels umfasst, wobei eine Feststoffkomponente, ein verdünnendes Lö
sungsmittel, ein Dispergiermittel, eine organische Harzkomponente und ein Haupt
lösungsmittel verwendet werden. Das Verfahren zur Herstellung einer Masse für
eine elektrisch leitfähige Dickschicht gemäß der vorliegenden Erfindung ist in der
nachstehenden Fig. 1 dargestellt.
Zuerst werden eine Feststoffkomponente, ein Dispergiermittel, ein Hauptlösungs
mittel und ein verdünnendes Lösungsmittel mit einem um 100°C oder mehr unter
dem des Hauptlösungsmittels liegenden Siedepunkt hergestellt. Nach dem Vermi
schen der Feststoffkomponente mit dem Dispergiermittel wird das verdünnende
Lösungsmittel nach Bedarf zugegeben, um eine erste Mahlsuspension in einem für
die Dispergierung geeigneten schwach viskosen Zustand zu erhalten. Dann wird
sie mittels einer Dispergiermaschine einer Dispergierungsbehandlung unterzogen,
um einen ersten Schlicker zu erhalten. Dies wird als erster Dispergierungsschritt
bezeichnet. Da die erste Mahlsuspension bei dem ersten Dispergierungsschritt kei
ne organische Harzkomponente enthält, kann sie sowohl das Problem einer verzö
gerten Adsorption eines Dispergiermittels aufgrund der hohen Viskosität einer
Mahlsuspension nach der herkömmlichen Technologie als auch das Problem der
Verhinderung der Adsorption eines Dispergiermittels durch die organische Harz
komponente lösen und erlaubt eine effektive Adsorption eines Dispergiermittels an
einer Pulveroberfläche. Es wird festgestellt, dass das Hauptlösungsmittel der ersten
Mahlsuspension nach Bedarf zugegeben werden kann. Weiterhin kann die erste
Mahlsuspension die organische Harzkomponente in einer solchen Menge enthal
ten, dass sowohl das Problem der verzögerten Adsorption eines Dispergiermittels
aufgrund der hohen Viskosität einer Mahlsuspension als auch das Problem einer
Verhinderung der Adsorption eines Dispergiermittels durch eine organische Harz
komponente nicht auftreten. Das heißt, die in der besagten ersten Mahlsuspension
enthaltene Menge der organischen Harzkomponente kann kleiner oder gleich ei
nem Drittel der Gesamtmenge der in besagter Masse für die elektrisch leitfähige
Dickschicht enthaltenen besagten organischen Harzkomponente sein.
Als Nächstes wird ein zuvor durch Mischen einer organischen Harzkomponente
und des Hauptlösungsmittels erhaltenes organisches Bindemittel dem ersten
Schlicker zum Mischen zugegeben, um eine zweite Mahlsuspension herzustellen.
Ist die vorbestimmte Menge der organischen Harzkomponente in der ersten Mahl
suspension enthalten, wird ein durch Mischen des Rests der organischen Harz
komponente ohne die vorbestimmte Menge und des Hauptlösungsmittels herge
stelltes organisches Bindemittel dem ersten Schlicker zugegeben und mit diesem
gemischt, um so einen zweiten Schlicker zu erhalten. Dieser wird dann mittels einer
Dispergiermaschine einer Dispergierungsbehandlung unterzogen, um die zweite
Mahlsuspension zu erhalten. Dieses wird als zweiter Dispergierungsschritt be
zeichnet. Auch wenn der zweiten Mahlsuspension eine organische Harzkompo
nente zugegeben wird, wird das Feststoffkomponentenpulver in dem zweiten
Schlicker vollständig dispergiert, da das Dispergiermittel bereits an der Oberfläche
des Feststoffkomponentenpulvers adsorbiert wurde. Da das Dispergiermittel an der
Oberfläche des Feststoffkomponentenpulvers adsorbiert worden ist, weist das
Feststoffkomponentenpulver zudem eine ausgezeichnete Benetzbarkeit gegenüber
der organischen Harzkomponente auf. Zudem wird die Dispergierung des Fest
stoffkomponentenpulvers in dem organischen Bindemittel aufgrund der geringen
Viskosität der zweiten Mahlsuspension selbst beschleunigt.
Als Nächstes wird das verdünnende Lösungsmittel aus dem zweiten Schlicker eli
miniert, um eine Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht zu erhalten. Dies
wird als Schritt zur Eliminierung des verdünnenden Lösungsmittels bezeichnet.
Als erfindungsgemäßes verdünnendes Lösungsmittel wird nach Bedarf ein Lö
sungsmittel mit einem um 100°C oder mehr unter dem des Hauptlösungsmittels
liegenden Siedepunkt verwendet. Beispielsweise ist ein Ketonlösungsmittel, wie
zum Beispiel Aceton oder Dimethylketon, ein alkoholisches Lösungsmittel, wie zum
Beispiel Methanol oder Ethanol, oder Ähnliches als verdünnendes Lösungsmittel im
Fall einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht unter Verwendung von
Terpenöl als Hauptlösungsmittel und Ethylcellulose als organische Harzkompo
nente bevorzugt. Liegt der Siedepunkt der verdünnenden Lösungsmittel nicht um
100°C oder mehr unter dem des Hauptlösungsmittels, besteht eine Neigung zum
Eintreten einer azeotropen Destillation des verdünnenden Lösungsmittels und des
Hauptlösungsmittels, wodurch das Hauptlösungsmittel durch Eindampfen im Ver
lauf der Eliminierung des verdünnenden Lösungsmittels aus dem zweiten Schlicker
eingedampft wird. Daher ist die Menge des Hauptlösungsmittels in der für die elek
trisch leitfähige Dickschicht erhaltenen Masse eher kleiner als beabsichtigt, mit dem
Ergebnis, dass eine wünschenswerte Schichtstärke nicht erzielt werden kann, wenn
eine überzogene Schicht unter Verwendung einer derartigen Masse für eine elek
trisch leitfähige Dickschicht gebildet wird.
Das Eliminierungsverfahren bei dem Schritt zur Eliminierung des verdünnenden
Lösungsmittels unterliegt keiner bestimmten Einschränkung. Es können zum Bei
spiel Erwärmen, Abpumpen oder beides zusammen angewendet werden. Abhängig
von der Art des zuzugebenden verdünnenden Lösungsmittels ist es möglich, das
Lösungsmittel nur durch Erwärmen oder Abpumpen zu eliminieren. Unter Berück
sichtigung der Produktivität ist es jedoch bevorzugt, beides zusammen einzusetzen.
Als erfindungsgemäßes Dispergiermittel kann ein anionisches Dispergiermittel oder
ein fettsäurenartiges Dispergiermittel nach Bedarf eingesetzt werden. Ein Metall
pulver wie Ni, Cu, Ag oder Pd oder ein anorganisches Oxidpulver, zum Beispiel ein
keramisches, weist im Allgemeinen eine Oberfläche auf, die auf eine Grundeigen
schaft aufgrund ihrer Hydroxylgruppe hinweist. Die Adsorption eines aziden Disper
giermittels an der Oberfläche eines derartigen Grundpulvers verbessert die Disper
gierbarkeit eines Pulvers in einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht.
Ein anionisches Dispergiermittel wird als polymerer Typ und ein fettsäurenartiges
Dispergiermittel als Typ geringer relativer Molekülmasse bezeichnet. Ein anioni
sches Dispergiermittel verbessert insbesondere die Dispergierbarkeit eines Schlic
kers und einer Masse in größerem Umfang, da es mehrere funktionelle Gruppen in
einer Molekularstruktur aufweist, die mit der Adsorption an der Oberfläche des
Feststoffkomponentenpulvers in Beziehung stehen, um eine Aggregation zwischen
den Pulverpartikeln durch Bilden einer dreidimensionalen Adsorptionsschicht an der
Pulveroberfläche zu verhindern. Ein anionisches Dispergiermittel ist daher als Dis
pergiermittel bevorzugt.
Als anionisches Dispergiermittel können zum Beispiel Polyacrylsäure, ein Po
lyacrylat, Polymethacrylsäure, ein Polymethacrylat, Maleinsäure, Maleinanhydrid,
ein phosphatesterhaltiges Harz, ein sulfonatesterhaltiges Harz, ein Polyphenolharz,
Polyglutaminsäure, ein Polyoxyalken, ein säuremodifiziertes Alkydharz, ein säure
modifiziertes Amidharz und ein aus einer Kombination derselben erhaltenes Copo
lymer mit einem Gewichtsmittelmolekulargewicht von 5.000 oder mehr, vorzugs
weise 10.000 oder mehr, nach Bedarf verwendet werden. Liegt das Gewichtsmit
telmolekulargewicht unter 5.000, nimmt die Adsorptionsrate zur Oberfläche des
Feststoffkompontenpulvers hin und die Desorptionsrate von der Oberfläche des
Feststoffkomponentenpulvers weg zu, was zu dem Problem der Desorption eines
Teils des Dispergiermittels während der Dispergierungsbehandlung führt. Es wird
festgestellt, dass ein gewähltes anionisches Dispergiermittel mit dem Hauptlö
sungsmittel und dem verdünnenden Lösungsmittel kompatibel sein sollte. Ferner
wird das anionisches Dispergiermittel der Masse für die elektrisch leitfähige Dick
schicht in einer Menge von 0,05 bis 10,0 Masseteilen zugegeben. Liegt die Zuga
bemenge unter 0,1 Masseteilen, wird das Feststoffkomponentenpulver aufgrund
unzureichender Adsorption des Dispergiermittels an der Oberfläche des Feststoff
komponentenpulvers aggregiert. Liegt die Menge über 10,0 Masseteilen, wird die
Adsorptionsfähigkeit der Oberfläche des Feststoffkomponentenpulvers gesättigt,
daher kann eine weitere Verbesserung der Dispergierbarkeit entsprechend der zu
gegebenen Menge nicht erwartet werden und die Menge der in der Masse für die
elektrisch leitfähige Dickschicht enthaltenen nichtflüchtigen organischen Kompo
nenten ist übermäßig, so dass die Eliminierung des Bindemittels beim Brennen un
zureichend ist, was zu Mängeln wie unzureichendem Sintern und Schichtablösung
führt. Daher ist es bevorzugt, die Zugabemenge des anionischen Dispergiermittels
zur Sättigung der Dispergierungsverbesserungswirkung abzumessen und es dann
in einer Menge zuzugeben, die für die Adsorption an der zu sättigenden Pulver
oberfläche ausreichend ist, das heißt in einem Bereich von 0,05 bis 10,0 Massetei
len.
Als fettsäurenartiges Dispergiermittel können beispielsweise Stearinsäure, Ölsäure
oder ein Metallsalz derselben nach Bedarf verwendet werden. Es wird festgestellt,
dass ein gewähltes fettsäureartiges Dispergiermittel mit dem Hauptlösungsmittel
und dem verdünnenden Lösungsmittel kompatibel sein sollte. Ferner wird das fett
säureartige Dispergiermittel der Masse für die elektrisch leitfähige Dickschicht in
einer Menge von 0,05 bis 5,0 Masseteilen zugegeben. Liegt die Zugabemenge un
ter 0,05 Masseteilen, wird das Feststoffkomponentenpulver aufgrund unzureichen
der Adsorption des Dispergiermittels an der Oberfläche des Feststoffkomponenten
pulvers aggregiert. Liegt die Menge über 5,0 Masseteilen, wird die Adsorptionsfä
higkeit der Oberfläche des Feststoffkomponentenpulvers gesättigt, daher kann eine
weitere Verbesserung der Dispergierbarkeit entsprechend der zugegebenen Menge
nicht erwartet werden und die Menge der in der Masse für die elektrisch leitfähige
Dickschicht enthaltenen nichtflüchtigen organischen Komponenten ist übermäßig,
so dass die Eliminierung des Bindemittels beim Brennen unzureichend ist, was zu
Mängeln wie unzureichendes Sintern und Schichtablösung führt. Daher ist es be
vorzugt, die zur Sättigung der Dispergierungsverbesserungswirkung erforderliche
Zugabemenge des fettsäureartigen Dispergiermittels abzumessen und es dann in
einer Menge zugeben, die für die Adsorption an der zu sättigenden Pulveroberflä
che ausreichend ist, das heißt in einem Bereich von 0,05 bis 5,0 Masseteilen.
Weiterhin weist die erfindungsgemäße Feststoffkomponente als Hauptkomponente
vorzugsweise ein Metallpulver von Ni, Cu, Ag, Pd oder ähnlichem oder ein aus ei
nem derartigen Metallpulver hergestelltes Legierungspulver auf. Ein derartiges
Metallpulver bzw. Legierungspulver dient als elektrisch leitfähige Komponente in
einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht. Weiterhin kann abhängig von
den Anwendungen der Masse für die elektrisch leitfähige Dickschicht ein anorgani
sches Oxidpulver, zum Beispiel ein keramisches, nach Bedarf der Feststoffkompo
nente zugegeben werden.
Ferner zeigt sich die Dispergierungswirkung der vorliegenden Erfindung, wenn die
erfindungsgemäße Feststoffkomponente mindestens ein Pulver mit einer durch
schnittlichen Primärpartikelgröße von 1,0 µm oder weniger, vorzugsweise 0,5 µm
oder weniger, enthält. Selbst wenn ein Pulver mit einer durchschnittlichen Primär
partikelgröße von über 1,0 µm verwendet wird, kann die Dispergierungswirkung der
vorliegenden Erfindung erzielt werden. Eine gute Dispergierung kann jedoch in ge
wissem Maße auch von einem Dispergierungsverfahren unter Verwendung von drei
allgemeinen Walzen gemäß der herkömmlichen Technologie erwartet werden, da
das Pulver eine kleine spezifische Oberfläche aufweist.
Weiterhin kann bei einem in den erfindungsgemäßen Dispergierungsschritten aus
geübten Dispergierungsverfahren eine für das Dispergieren einer Mahlsuspension
geringer Viskosität geeignete Dispergiermaschine verwendet werden. Eine Impel
ler-Dispergiermaschine, eine Homogenisier-Dispergiermaschine, ein Topfdisper
gierverfahren, eine Sandmühlen-Dispergiermaschine, etc. können beispielsweise
aufgeführt werden. Zwar wird im Allgemeinen für den ersten Dispergierschritt sowie
für den zweiten Dispergierschritt die gleiche Dispergiermaschine verwendet, doch
können verschiedene Dispergiermaschinen unter Berücksichtigung der Viskosität
der zu dispergierenden Mahlsuspension und der Produktivität und Eigenschaften
der Dispergiermaschine verwendet werden.
Wenn weiterhin die besten Dispergiermittel, die besten Schlickerzusammensetzun
gen und die optimalen Bedingungen für die Dispergierung bei der Herstellung einer
Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht, bei der die Feststoffkomponente
ein Metallpulver, ein Legierungspulver desselben oder Ähnliches und ein anorgani
sches Oxidpulver, beispielsweise ein keramisches, umfasst, für jedes Pulver unter
schiedlich sind, können der erste Schlicker oder der zweite Schlicker durch Mi
schen mehrerer Schlicker gewonnen werden, die durch die Dispergierungsbe
handlungen jeweils unter Verwendung eines Dispergiermittels, einer Schlickerzu
sammensetzung und Dispergierbedingungen, die jedem Pulver am besten entspre
chen, erhalten wurden. Es ist ferner zulässig, die verdünnenden Lösungsmittel aus
jeder der Vielzahl der zweiten Schlicker zu eliminieren, um mehrere Zwischenmas
sen zu erhalten, gefolgt von deren Zusammenmischen, um eine Masse für eine
elektrisch leitfähige Dickschicht mit der gewünschten Endzusammensetzung zu
erhalten. Somit können, wie in Fig. 2 gezeigt, eine erste Mahlsuspension A und ei
ne erste Mahlsuspension B jeweils einer ersten Dispergierbehandlung unterzogen
werden, um einen ersten Schlicker A und einen ersten Schlicker B zu erhalten, so
dass diese anschließend gemischt werden, um eine zweite Mahlsuspension zu er
halten. Wie in Fig. 3 gezeigt, können auch ein zweiter Schlicker A und ein zweiter
Schlicker B gemischt werden, um ein Schlickergemisch zu bilden, gefolgt von der
Eliminierung des verdünnenden Lösungsmittels, um eine Masse für eine elektrisch
leitfähige Dickschicht zu erhalten. Wie in Fig. 4 gezeigt, kann das verdünnende Lö
sungsmittel auch aus einem zweiten Schlicker A bzw. aus einem zweiten Schlicker
B eliminiert werden, um eine Zwischenmasse A und eine Zwischenmasse B zu er
halten, gefolgt von deren Zusammenmischen, um eine Masse für eine elektrisch
leitfähige Dickschicht zu erhalten. Somit können mehrere Schlicker oder Massen
nach Bedarf entweder zu einem Zeitpunkt nach einem ersten Dispergierungsschritt,
zu einem Zeitpunkt nach einem zweiten Dispergierungsschritt und zu dem Zeit
punkt nach der Eliminierung des verdünnenden Lösungsmittels zusammengemischt
werden. Der grundlegende Ablauf des Verfahrens zur Herstellung einer Masse für
eine elektrisch leitfähige Dickschicht gemäß der vorliegenden Erfindung ist jedoch
derselbe, mit einem ersten Dispergierungsschritt, bei dem ein Dispergiermittel an
der Feststoffkomponente in einer ersten Mahlsuspension mit einer geringen Visko
sität adsorbiert wird, mit einem zweiten Dispergierungsschritt, bei dem der erste
Schlicker in einem Gemisch aus einer organischen Harzkomponente und einem
Hauptlösungsmittel dispergiert wird, und mit einem Schritt, bei dem das verdünnen
de Lösungsmittel eliminiert wird.
Die folgenden Beispiele zeigen die Verwendung einer Masse für eine elektrisch
leitfähige Dickschicht gemäß der vorliegenden Erfindung als Masse für eine In
nenelektrode eines laminierten Keramikkondensators als laminiertes keramisches
Elektronikteil.
Als Ausgangsmaterialien wurden eine Feststoffkomponente, ein verdünnendes Lö
sungsmittel, ein Dispergiermittel, eine organische Harzkomponente und ein Haupt
lösungsmittel zubereitet, so dass die endgültige Masse für die elektrisch leitfähige
Dickschicht gemäß der vorliegenden Erfindung eine in Tabelle 1 gezeigte Zusam
mensetzung aufweist. Es wird festgestellt, dass das verdünnende Lösungsmittel
nicht in der Zusammensetzung der erhaltenen endgültigen Masse für die elektrisch
leitfähige Dickschicht enthalten ist, da es nach den Dispergierbehandlungen elimi
niert wird.
Zuerst wird das Verfahren zur Herstellung der Probenmassen 1-13 für die elek
trisch leitfähige Dickschicht erläutert. Die Feststoffkomponente, das Dispergiermittel
und das verdünnende Lösungsmittel wurden zusammengemischt, um eine erste
Mahlsuspension zu erhalten, wurden dann in einen Harztopf mit einem Volumen
von 1 Liter zusammen mit Kugeln (2 mm Durchmesser) gegeben. Die Dispergie
rungsbehandlung wurde in der Topfmühle durchgeführt, wobei der Topf bei einer
konstanten Drehgeschwindigkeit 12 Stunden lang gedreht wurde, um einen ersten
Schlicker zu erhalten. Als Nächstes wurde ein zuvor durch Mischen der organi
schen Harzkomponente und des Hauptlösungsmittels erhaltenes organisches Bin
demittel in den oben erwähnten Topf gegeben. Die Dispergierungsbehandlung in
der Topfmühle wurde weitere 12 Stunden bei einer konstanten Drehgeschwindig
keit durchgeführt, um einen zweiten Schlicker zu erhalten. Als Nächstes wurde der
zweite Schlicker durch Erwärmen auf 45°C und bei einem verringertem Druck von
2,0 × 10-1 atm zwecks Eliminierung des verdünnenden Lösungsmittel einer Destillati
on bei verringertem Druck unterzogen, um eine Masse für eine elektrisch leitfähige
Dickschicht zu erhalten.
Als Nächstes wird nachstehend das Verfahren zur Herstellung der Probenmasse 14
für die elektrisch leitfähige Dickschicht erläutert. Zuerst wurden die Feststoffkompo
nente, das verdünnende Lösungsmittel und ein organisches Bindemittel, das durch
Mischen der organischen Harzkomponente und des Hauptlösungsmittels erhalten
wurde, zusammengemischt, um eine erste Mahlsuspension zu erhalten, dann in
einen Harztopf mit einem Volumen von 1 Liter zusammen mit Kugeln (2 mm
Durchmesser) gegeben. Die Dispergierungsbehandlung wurde in der Topfmühle
durchgeführt, wobei der Topf bei einer konstanten Drehgeschwindigkeit 12 Stunden
lang gedreht wurde, um einen ersten Schlicker zu erhalten. Als Nächstes wurde
das Dispergiermittel in den oben erwähnten Topf gegeben. Die Dispergierungsbe
handlung in der Topfmühle wurde weitere 12 Stunden bei einer konstanten Dreh
geschwindigkeit durchgeführt, um einen zweiten Schlicker zu erhalten. Als Näch
stes wurde der zweite Schlicker durch Erwärmen auf 45°C und bei einem verrin
gertem Druck von 2,0 × 10-1 atm zwecks Eliminierung des verdünnenden Lösungs
mittel einer Destillation bei verringertem Druck unterzogen, um eine Masse für eine
elektrisch leitfähige Dickschicht zu erhalten.
Als Nächstes wird nachstehend das Verfahren zur Herstellung der Probenmasse 15
für die elektrisch leitfähige Dickschicht erläutert. Die Feststoffkomponente und ein
organisches Bindemittel, das zuvor durch Mischen der organischen Harzkompo
nente und des Hauptlösungsmittels erhalten wurde, wurden zusammengemischt,
eine Stunde lang in einem Kuchenmischer gerührt, dann einer Dispergierungsbe
handlung mit drei Walzen mit einem Durchmesser von 127 mm unterzogen, um
eine Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht zu erhalten.
Als Nächstes wird nachstehend das Verfahren zur Herstellung der Probenmassen
16 bis 20 für eine elektrisch leitfähige Dickschicht erläutert. Zuerst werden die
Grundzusammensetzung und das Herstellverfahren, wie bei Probe 12 verwendet
und in Tabelle 12 gezeigt, verwendet, wobei aber die vorbestimmte Menge der in
Tabelle 2 gezeigten organischen Harzkomponente zugegeben mit der ersten Mahl
suspension vermischt wird. Das heißt, die in der Masse für die elektrisch leitfähige
Dickschicht enthaltene Menge der organischen Harzkomponente ist konstant 35,00
Masseteile. Bei der Probe 12, bei der 4,00 Masseteile der organischen Harzkom
ponente zugegeben und mit der ersten Mahlsuspension gemischt werden, werden
zum Beispiel 31,00 Masseteile der organischen Harzkomponente zugegeben und
mit dem ersten Schlicker gemischt.
Als Nächstes wurden die Probenmassen 1-15 für die elektrisch leitfähige Dick
schicht einem Siebdruck auf eine 10 µm starke ungesinterte Platte eines laminier
ten Keramikkondensators mit einer Beschichtungsstärke von 1 µm unterzogen,
dann in einem Ofen bei einer festgelegten Temperatur getrocknet, um eine un
gesinterte Platte mit einer gedruckten Elektrode zu erhalten. Sie wurde dann lami
niert, um 100 Schichten herzustellen, unter einer festgelegten Bedingung gepresst
und zu einer vorbestimmten Größe zugeschnitten, um ungesinterte laminierte Ke
ramikkondensatorchips zu erhalten. Diese wurden bei einer bestimmten Tempera
tur gebrannt, um ein gleichzeitiges Brennen der Keramik und der Innenelektroden
zu erlauben, wobei auch durch das Brennen Außenelektroden in sie gesteckt wur
den, um laminierte Keramikkondensatoren zu erhalten. Anschließend wurde die
Kurzschlussfehlerrate für diese laminierten Keramikkondensatoren untersucht.
Als Nächstes wurden jeweils 10 keramische ungesinterte Platten der Proben 1-20
mit gedruckten Massen für eine elektrisch leitfähige Dickschicht gemäß den ein
gangs erwähnten Verfahren hergestellt. Die Anzahl der hervorstehenden Teile an
jeder Elektrodenoberfläche wurde untersucht, um die durchschnittliche Anzahl her
vorstehender Teile zu ermitteln, und es wurde die Oberflächenrauheit unter Ver
wendung eines Tastschnitt-Oberflächenrauheitsmessgeräts gemessen. Sie werden
in Tabelle 3 zusammengefasst gezeigt. Die Anzahl der hervorstehenden Abschnitte
wurde hier unter Verwendung eines Metallmikroskops für solche mit einer Größe
von 20 µm oder mehr gezählt.
Wie aus Tabelle 3 ersichtlich ist, waren Probe 3, bei der Stearinsäure als fettsäure
artiges Dispergiermittel in einer Menge von 0,50 Masseteilen zugegeben wurde,
Probe 4, bei der Stearinsäure in einer Menge von 3,00 Masseteilen zugegeben
wurde, Probe 7, bei der Maleinanhydrid-Polyethylencopolymer als anionisches Dis
pergiermittel in einer Menge von 0,50 Masseteilen zugegeben wurde, Probe 8, bei
der das Copolymer in einer Menge von 3,00 Masseteilen zugegeben wurde, Probe
11, bei der ein modifiziertes Polyacrylat als anionisches Dispergiermittel in einer
Menge von 0,50 Masseteilen zugegeben wurde, und Probe 12, bei der das Po
lyacrylat in einer Menge von 3,00 Masseteilen zugegeben wurde, allesamt ausge
zeichnet, wobei sie eine Oberflächenrauheit innerhalb eines zulässigen Bereichs
von 1,9-2,6 µm, mit einer nur kleinen durchschnittlichen Anzahl an hervorstehen
den Teilen an der Oberfläche der Elektrode aufwiesen und eine niedrige Kurz
schlussfehlerrate von 4% oder weniger zeigten.
Im Vergleich erwiesen sich alle der Proben 1, 2, 5, 6, 9, 10 und 13, bei denen die
Mengen des zuzugebenden Dispergiermittels entweder zu groß oder zu gering wa
ren, als minderwertig mit vielen hervorstehenden Teilen an der Oberfläche der
Elektrode und mit einer hohen Kurzschlussfehlerrate von 64-100%.
Weiterhin wiesen sowohl die Probe 14, bei der eine herkömmliche Dispergierungs
behandlung in einer Topfmühle durchgeführt wurde, als auch die Probe 15, bei der
die Dispergierungsbehandlung in einem Kuchenmischer ohne Verwendung eines
Dispergierungsmittels durchgeführt wurde, große durchschnittliche Mengen hervor
stehender Teile auf und die Kurzschlusshäufigkeitsraten lagen bei 100% bzw. 52%
und zeigten somit Ergebnisse, die schlechter als die der Proben 3, 4, 7, 8, 11 und
12 waren, bei welchen eine geeignete Menge an Dispergiermittel in einer erfin
dungsgemäßen Dispergierbehandlung verwendet wurde.
Die Proben 16, 17 und 18, bei denen die Mengen der der ersten Mahlsuspension
zugegebenen organischen Harzkomponente gleich oder kleiner als ein Drittel der
Gesamtmenge der in der Masse für die elektrisch leitfähige Dickschicht enthaltenen
organischen Harzkomponente sind, waren ausgezeichnet, wobei sie eine Oberflä
chenrauheit innerhalb eines zulässigen Bereichs von 1,8-1,9 µm, mit einer nur
kleinen durchschnittlichen Anzahl an hervorstehenden Teilen an der Oberfläche der
Elektrode aufwiesen und eine niedrige Kurzschlussfehlerrate von 0-2% zeigten.
Die Ergebnisse sind im Wesentlichen gleich denen der Probe 12, bei der die orga
nische Harzkomponente nicht der ersten Mahlsuspension zugegeben wird.
Im Vergleich erwiesen sich die Proben 19 und 20, bei denen die Mengen der der
ersten Mahlsuspension zugegebenen organischen Harzkomponente über einem
Drittel der Gesamtmenge der in der Masse für die elektrisch leitfähige Dickschicht
enthaltenen Gesamtmenge der organischen Harzkomponente liegen, als minder
wertig, wobei sie eine Oberflächenrauheit innerhalb eines Bereichs von 6,5-9,4
µm, welcher nicht zulässig ist, aufwiesen und viele hervorstehende Teile an der
Oberfläche der Elektrode und eine hohe Kurzschlussfehlerrate von 85-95% besa
ßen.
Die oben erwähnten Beispiele sind Fälle, bei denen die Massen für die elektrisch
leitfähige Dickschicht Massen für Siebdruck zur Bildung einer Innenelektrode eines
laminierten Keramikkondensators sind. Es wird jedoch festgestellt, dass die vorlie
gende Erfindung nicht hierauf beschränkt ist und dass der gleiche Effekt beispiels
weise erzielt werden kann, wenn sie auf verschiedene zur Bildung einer Elektrode
eines Elektronikteils, wie zum Beispiel einer laminierten Keramikplatte, verwendete
Massen angewendet wird.
Wie vorstehend gezeigt ist das erfindungsgemäße Verfahren ein Verfahren zur
Herstellung einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht unter Verwendung
einer Feststoffkomponente, eines verdünnenden Lösungsmittels, eines Dispergier
mittels, einer organischen Harzkomponente und eines Hauptlösungsmittels, da
durch gekennzeichnet, dass der Siedepunkt des verdünnenden Lösungsmittels um
100°C oder mehr unter dem des Hauptlösungsmittels liegt und dass das verdün
nende Lösungsmittel mit der organischen Harzkomponente und dem Hauptlö
sungsmittel kompatibel ist, wobei das Verfahren einen ersten Dispergierungsschritt
zum Erhalt eines ersten Schlickers durch Dispergierungsbehandlung einer durch
Mischen der Feststoffkomponente, des verdünnenden Lösungsmittels und des Dis
pergiermittels hergestellten ersten Mahlsuspension, einen zweiten Dispergierungs
schritt zum Erhalt eines zweiten Schlickers durch Dispergierungsbehandlung einer
durch Mischen des ersten Schlickers mit der organischen Harzkomponente und
dem Hauptlösungsmittel hergestellten zweiten Mahlsuspension sowie einen Schritt
zur Eliminierung des verdünnenden Lösungsmittels aus dem zweiten Schlicker
umfasst, um eine Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht zu erhalten, die
keine nicht dispergierten Partikel einer Feststoffkomponente in der Masse aufweist
und die eine ausgezeichnete Dispergierbarkeit besitzt, selbst wenn die Feststoff
komponente der Masse für die elektrisch leitfähige Dickschicht ein Pulver mit einer
durchschnittlichen Primärpartikelgröße von 1,0 µm oder weniger enthält. Somit
lässt sich eine Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht, bei der das Fest
stoffkomponentenpulver aufgrund einer ausreichenden Adsorption eines Disper
giermittels an der Oberfläche des Feststoffkomponentenpulvers gleichmäßig dis
pergiert wird, erhalten, selbst bei der Herstellung einer Masse für eine elektrisch
leitfähige Dickschicht mit einer relativ hohen Viskosität wie zum Beispiel beim Sieb
druck. Eine durch Drucken einer Masse für eine erfindungsgemäße elektrisch leit
fähige Dickschicht erhaltene überzogene Schicht auf einer keramischen ungesin
terten Platte oder einer keramischen Tafel gefolgt von Trocknen weist verglichen
mit einer unter Verwendung einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht,
die durch Dispergierung mit den herkömmlichen drei Walzen hergestellt wurde, ge
bildeten und getrockneten überzogenen Schicht ebenfalls eine ausgezeichnete
Oberflächenglattheit mit wenigen nicht dispergierten Partikeln eines Feststoffkom
ponentenpulvers auf.
Durch Bilden einer Innenelektrode unter Verwendung einer Masse für eine elek
trisch leitfähige Dickschicht, die durch das erfindungsgemäße Verfahren zur Her
stellung einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht erhalten wurde, lässt
sich ein laminiertes keramisches Elektronikteil mit einer geringen Kurzschlussfeh
lerrate erhalten, selbst wenn die Masse für die elektrisch leitfähige Dickschicht ein
Feststoffkomponentenpulver mit einer durchschnittlichen Partikelgröße von 1,0 µm
oder weniger enthält.
Zwar wurde die Erfindung insbesondere unter Bezug auf ihre bevorzugten Ausfüh
rungen aufgezeigt und beschrieben, dennoch ist es für einen Fachmann ersichtlich,
dass das Vorstehende sowie andere Änderungen der Form und der Einzelheiten
vorgenommen werden können, ohne von der Wesensart der Erfindung abzuwei
chen.
Claims (16)
1. Verfahren zur Herstellung einer Masse für eine elektrisch leitfähige Dick
schicht unter Verwendung einer Feststoffkomponente, eines verdünnenden
Lösungsmittels, eines Dispergiermittels, einer organischen Harzkomponente
und eines Hauptlösungsmittels,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Siedepunkt des besagten verdünnenden Lösungsmittels um 100°C oder mehr unter dem des besagten Hauptlösungsmittels liegt und das besagte ver dünnende Lösungsmittel mit der besagten organischen Harzkomponente und dem besagten Hauptlösungsmittel kompatibel ist;
wobei das Verfahren Folgendes umfasst:
der Siedepunkt des besagten verdünnenden Lösungsmittels um 100°C oder mehr unter dem des besagten Hauptlösungsmittels liegt und das besagte ver dünnende Lösungsmittel mit der besagten organischen Harzkomponente und dem besagten Hauptlösungsmittel kompatibel ist;
wobei das Verfahren Folgendes umfasst:
- - einen ersten Dispergierungsschritt zum Erhalt eines ersten Schlickers durch Dispergierungsbehandlung einer durch Mischen der besagten Feststoffkomponente, des besagten verdünnten Lösungsmittels und des besagten Dispergiermittels hergestellten ersten Mahlsuspension;
- - einen zweiten Dispergierungsschritt zum Erhalt eines zweiten Schlickers durch Dispergierungsbehandlung einer durch Mischen des besagten er sten Schlickers mit der besagten organischen Harzkomponente und dem besagten Hauptlösungsmittel hergestellten zweiten Mahlsuspension und
- - einen Schritt zur Eliminierung des besagten verdünnenden Lösungsmit tels aus dem besagten zweiten Schlicker.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die besagte erste
Mahlsuspension weiterhin das Hauptlösungsmittel umfasst.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die besagte erste
Mahlsuspension weiterhin die besagte organische Harzkomponente umfasst,
die Menge der in der besagten ersten Mahlsuspension enthaltenen besagten
organischen Harzkomponente kleiner oder gleich einem Drittel der Gesamt
menge der in der besagten Masse für die elektrisch leitfähige Dickschicht ent
haltenen besagten organischen Harzkomponente ist.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt zur
Eliminierung des besagten verdünnenden Lösungsmittels ein Eindampf-
Eliminierungsschritt unter Verwendung mindestens eines der Verfahren des
Erwärmens und des Abpumpens ist.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das besagte Dis
pergiermittel eine Fettsäure ist.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die besagte Fett
säure entweder Stearinsäure, Ölsäure oder ein Metallsalz derselben ist.
7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die besagte Fett
säure in einer Menge von 0,05-5,0 Masseteilen der besagten Masse für eine
elektrisch leitfähige Dickschicht zugegeben wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das besagte Dis
pergiermittel ein anionisches Dispergiermittel ist.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das besagte
anionische Dispergiermittel ein Polymer mit einem Gewichtsmittel-
Molekulargewicht von 5.000 oder höher ist.
10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das besagte
anionische Dispergiermittel ein Monomer mit mindestens einem aus der
Gruppe bestehend aus einer Carbonsäure, einer Sulfonsäure, einer Phos
phatsäure und einem Neutralsalz derselben gewählten Bestandteil umfasst.
11. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das besagte
anionische Dispergiermittel der Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht
in einer Menge von 0,05 bis 10,0 Masseteilen zugegeben wird.
12. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass besagte die Fest
stoffkomponente mindestens ein Metallpulver enthält.
13. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die besagte Fest
stoffkomponente mindestens ein Pulver mit einer durchschnittlichen Primär
partikelgröße von 1,0 µm oder weniger enthält.
14. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die besagte Mas
se für eine elektrisch leitfähige Dickschicht eine Masse für Siebdruck ist.
15. Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht, die mittels des Verfahrens
nach Anspruch 1 erhalten wurde.
16. Laminiertes keramisches Elektronikteil, dadurch gekennzeichnet, dass eine
Innenelektrode durch Verwenden einer durch das Herstellverfahren von An
spruch 1 erhaltenen Masse für eine elektrisch leitfähige Dickschicht gebildet
wird.
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