DE10019257A1 - Glimmentladungsquelle für die Elementanalytik - Google Patents
Glimmentladungsquelle für die ElementanalytikInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Glimmentladungsquelle für die Elementanalyse an festen Werkstoffproben, die mit Gleichspannung oder mit gepulster Gleichspannung oder mit HF-Spannung betrieben werden kann. DOLLAR A Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Glimmentladungslampe für die Elementanalyse an festen Werkstoffproben, bei der zwischen der Werkstoffprobe (4) und einer Anode (1) mittels einer angeschlossenen elektrischen Spannungsquelle (6) eine Glimmentladung (7) erzeugt wird, so zu gestalten, dass der Blindstrom minimiert und der über das Kühlwasser fließende Strom nicht mehr gemessen wird. DOLLAR A Die Aufgabe ist erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass an oder in der Anode (1) oder den mit der Anode elektrisch verbundenen Bauteilen ein Stromwandlerbauelement (9) zur Erfassung des von der Glimmentladung (7) zur Spannungsquelle (6) fließenden Stromes angeordnet ist. DOLLAR A Die Glimmentladungsquelle kann für die optische Glimmentladungs-Spektroskopie (GD-OES) oder die Glimmentladungs-Massenspektroskopie (GD-MS) oder die Sekundär-Neutralteilchen-Massenspektroskopie (SNMS) angewandt werden.
Description
Die Erfindung betrifft eine Glimmentladungsquelle (GD) für die
Elementanalyse an festen Werkstoffproben mittels optischer
Glimmentladungs-Spektroskopie (GD-OES) oder Glimmentladungs-
Massenspektroskopie (GD-MS) oder Sekundär-Neutralteilchen-
Massenspektroskopie (SNMS). Die erfindungsgemäße
Glimmentladungsquelle kann mit Gleichspannung oder mit
gepulster Gleichspannung oder mit HF-Spannung betrieben werden.
Bei den bekannten Glimmentladungsquellen wird auf der
Werkstoffprobe zwischen dieser und einer Anode mittels einer
angeschlossenen elektrischen Spannungsquelle eine
Glimmentladung erzeugt und diese spektrometrisch ausgewertet
(EP 0 636 877; DE 41 00 980; V. Hoffmann; H.-J. Uhlemann;
F. Präßler; K. Wetzig; Fresenius J. Anal. Chem. (1996) 355: 826-
830).
Bei den mit Gleichspannung betriebenen Glimmentladungsquellen
(DC-GD) wird der Strom in der Regel in der Spannungsquelle
gemessen. Bei Anwendung der mit einer HF-Spannung betriebenen
Glimmentladungsquellen (RF-GD) wird die zur Quelle oder zum
Anpassungsnetzwerk laufende und von der Quelle reflektierte
Leistung gemessen oder es werden der hochfrequente Strom mit
einem Durchführungsstromwandler und die hochfrequente Spannung
gemessen.
Die bekannte Strommessung hat den Nachteil, dass der
Plasmastrom IPl von einem großen Blindstrom Ibl = Ibl an + 1bl ka
überlagert wird. Da außerdem in die bekannten
Glimmentladungsquellen eine Wasserkühlung integriert ist,
fließt auf Grund der endlichen Leitfähigkeit des Wassers ein
Teil des Stromes Iwi wa gegen Masse. Dadurch wird von den
Meßvorrichtungen in nachteiliger Weise auch der über die
Wasserkühling abfließende Strom miterfasst und so der für die
Spektroskopie allein maßgebende Plasmastrom IPl verfälscht.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine
Glimmentladungsquelle für die Elementanalyse an festen
Werkstoffproben, bei der zwischen der Werkstoffprobe und einer
Anode mittels einer angeschlossenen elektrischen
Spannungsquelle eine Glimmentladung erzeugt wird, so zu
gestalten, dass der Blindstrom Ibl minimiert und der über das
Kühlwasser fließende Strom Iwi wa nicht mit gemessen wird.
Die Aufgabe ist erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass an oder in
der Anode oder den mit der Anode elektrisch verbundenen
Bauteilen ein Stromwandlerbauelement zur Erfassung des von der
Glimmentladung zur Spannungsquelle fließenden Stromes
angeordnet ist.
Gemäß zweckmäßiger Ausgestaltungen der Erfindung kann das
Stromwandlerbauelement eine Induktionsspule oder eine Hallsonde
sein. Das Stromwandlerbauelement kann auch ein ohmscher
Widerstand sein, der in den Stutzen der Anode eingefügt und mit
einem Strommesser verbunden ist.
Im Falle der Anwendung einer HF-Spannungsquelle ist das
Stromwandlerbauelement vorteilhaft mit einer HF-Abschirmung
umgeben.
Die erfindungsgemäße Glimmentladungsquelle zeichnet sich
gegenüber den bekannten Quellen dadurch aus, dass die
Strommessung in die Quelle integriert ist, da der im Bereich
der auf Generatormasse liegende Anode fließende Strom in ein
Messsignal umgewandelt wird. Dadurch wird nur der in die
Glimmentladung beziehungsweise das Plasma eingespeiste Strom
gemessen und so für unterschiedliche Werkstoffproben
reproduzierbare Bedingungen gewährleistet und damit die
Qualität der spektrometrischen Ergebnisse wesentlich
verbessert.
Nachstehend ist die Erfindung näher erläutert. In den
zugehörigen Zeichnungen zeigen:
Fig. 1: das Funktionsschema einer mit HF betriebenen
herkömmlichen Glimmentladungsquelle in
Schnittdarstellung,
Fig. 2: eine erfindungsgemäße mit HF betriebene
Glimmentladungsquelle in Schnittdarstellung mit einer
integrierten Induktionsspule,
Fig. 3: eine erfindungsgemäße mit Gleichspannung betriebene
Glimmentladungsquelle in Schnittdarstellung mit einem
integrierten ohmschen Widerstand.
Die in Fig. 1 dargestellte herkömmliche Glimmentladungsquelle
für die GD-OES ist mit und einer Anode 1 und zwei
Kathodenplatten 2; 3 aufgebaut, wobei zwischen den
Kathodenplatten 2; 3 eine zu untersuchende Werkstoffprobe 4
eingespannt ist. Die Kathodenplatten 2; 3 sind mit Kühlkanälen
ausgestattet, durch die Wasser als Kühlmittel strömt. Die
Anode 1 weist einen Anodenstutzen 5 auf, der unter Bildung
eines Zwischenraums über der Werkstoffprobe 4 mündet.
An die Anode 1 und Kathodenplatten 2; 3 ist ein HF-
Spannungsquelle 6 angeschlossen. Dadurch wird zwischen der
Werkstoffprobe 4 und dem Ende des Anodenstutzen 5 eine
Glimmentladung 6 aufrechterhalten, mit der die Werkstoffprobe 4
an ihrer Oberfläche mittels Sputtern abgetragen wird. Die
Glimmentladung, in der die von der Werkstoffprobe 4
gesputterten chemischen Elemente eingetragen werden, wird dann
mittels OES analysiert.
Bei dieser Glimmentladungsquelle erfolgt die Strommessung in
bekannter Weise in der Zuleitung 8 in mittels
eines Stromwandlers, verbunden mit der bereits aufgezeigten
Verfälschung des Messwertes durch den mitgemessenen Blindstrom
Ibl und den über das Kühlwasser abfließenden Strom Iwi wa.
Das in Fig. 2 dargestellte Ausführungsbeispiel einer
erfindungsgemäßen Glimmentladungsquelle unterscheidet sich von
der herkömmlichen Quelle dadurch, dass um den Anodenstutzen 5
eine Induktionsspule 9 angeordnet ist. Die Induktionsspule 9
ist mit einer HF-Abschirmung 10 umgeben. Mit der
Induktionsspule 7 wird so in angestrebter Weise nur der von der
Glimmentladung an der Oberfläche des Anodenstutzens 5 zur
Spannungsquelle 6 fließende HF-Strom induktiv erfasst.
Bei diesem Ausführungsbeispiel, das eine von einer
Gleichspanungsquelle 11 gespeiste erfindungsgemäße
Glimmentladungsquelle betrifft, ist in den Anodenstutzen 5 ein
ohmscher Widerstand 12 eingefügt. Dieser ist mit einem
Strommesser verbunden. Auch bei dieser Glimmentladungsquelle
wird nur der von der Glimmentladung zur Spannungsquelle
fließende Strom erfasst.
Claims (5)
1. Glimmentladungsquelle für die Elementanalyse an festen
Werkstoffproben mittels optischer Glimmentladungs-
Spektroskopie (GD-OES) oder Glimmentladungs-
Massenspektroskopie (GD-MS) oder Sekundär-Neutralteilchen-
Massenspektroskopie (SNMS), wobei auf der Werkstoffprobe
zwischen dieser und einer Anode mittels einer angeschlossenen
elektrischen Spannungsquelle eine Glimmentladung erzeugt und
diese spektrometrisch ausgewertet wird, dadurch gekennzeichnet,
dass an oder in der Anode (1) oder den mit der Anode elektrisch
verbundenen Bauteilen ein Stromwandlerbauelement zur Erfassung
des von der Glimmentladung (7) zur Spannungsquelle (6; 11)
fließenden Stromes angeordnet ist.
2. Ionenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
das Stromwandlerbauelement eine Induktionsspule (9) ist.
3. Ionenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
das Stromwandlerbauelement eine Hallsonde ist.
4. Ionenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
das Stromwandlerbauelement ein ohmscher Widerstand (12) ist,
der in den Stutzen (5) der Anode (1) eingefügt und mit einem
Strommesser verbunden ist.
5. Ionenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im
Falle der Anwendung einer HF-Spannungsquelle (6) das
Stromwandlerbauelement mit einer HF-Abschirmung (10) umgeben
ist.
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