DD224415A1

DD224415A1 - Vorrichtung zum anheben eines objektes an eine referenzebene

Info

Publication number: DD224415A1
Application number: DD25735183A
Authority: DD
Inventors: Werner Wilhelm
Original assignee: Zeiss Jena Veb Carl
Priority date: 1983-12-01
Filing date: 1983-12-01
Publication date: 1985-07-03

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Anheben eines Objektes an eine Referenzebene und findet in optischen Geraeten Anwendung wo Objekte zur Kontrolle und/oder Bearbeiten im Durchlicht an eine Referenzebene angehoben werden muessen und in dieser Referenzebene zeitweilig auf Anschlaegen exakt fixiert werden muessen. Das Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer im Aufbau einfachen, funktionssicheren und in der Herstellung kostenguenstigen und wenig materialintensiven Vorrichtung, wobei die Anschlaege, welche die Referenzebene verkoerpern, eine hohe Standzeit besitzen. Die Erfindung besteht darin, dass das Objekt auf drehbar gelagerten Hebeln aufliegt und ueber mechanische Koppelglieder mit unabhaengig voneinander arbeitenden Hubsystemen an die Referenzebene angehoben wird. Fig. 1

Description

Titel der Erfindung;

Vorrichtung zum Anheben eines Objektes an eine Referenzebene

Anwendungsgebiet der Erfindung; - Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Anheben eines 5 Objektes an eine Referenzebene und findet in optischen Geräten Anwendung, wo Objekte zur Kontrolle und/oder zum Bearbeiten im Durchlicht an eine Referenzebene angehoben werden müssen und in dieser Referenzebene zeitweilig auf Anschlägen exakt fixiert werden müssen.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen; Es sind Lösungen bekannt, bei denen das Objekt exakt in eine Referenzebene gebracht werden kann ohne daß eine ebene Fläche des Objektes auf Referenzanschlägen fixiert werden muß. Die Realisierung derartiger Lösungen erfolgt mittels Parallelhubtischen, deren Tischebene hochgenau parallel zu der Referenzebene eingerichtet ist, bzv/. bei denen die ebene Fläche des Objektes, v/elches auf dem Tisch gebracht wird, parallel zur Referenzebene angeordnet wird. Das Anheben der ebenen Fläche des Objektes an die Referenzebene erfolgt mittels eines oder mehrerer Hubsysteme, die mittels eines oder mehrereHubsysterne, die mittels hochgenauer Führungen eine geradlinige Bewegung des Hubtisches einschließlich des Objektes bewirken. Die ebene Fläche des Objektes befindet sich dann in der Referenzebene, wenn der durch Meßsysteme ermittelte Sollwert der Hubbewegung

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erreicht ist, nachteilig bei diesen Lösungen ist der hohe konstruktive und fertigungstechnische Aufwand-für die Realisierung der hochgenauen Führungen eines Parallelhubtisches, sowie die Fehler_}die durch die Verkörperung 5. der Referenzebene mittels der Meßsysteme entstehen·

Bei einer weiteren bekannten Lösung befinden sich auf einer Platte fest mit ihr verbundene Auflagen, auf denen das Objekt, welches-an die Referenzebene gehoben und angelegt werden soll, aufliegt. Desweiteren sind Hubsysteme so angeordnet, daß ihre gedachte Verbindungslinie annähernd durch den Schwerpunkt des zu hebenden Objekts verläuft. Die Hubsysteme heben beim Anlegevorgang die Platte einschließlich des Objektes an. Der Hubvorgang ist dann abgeschlossen, wenn die ebene Fläche des Objektes in der Referenzebene liegt, die durch Anschläge vorgegeben ist. Eine nach diesem Wirkungsprinzip arbeitende Vorrichtung arbeitet unsicher, wenn der Hubvorgang nicht synchron abläuft. In diesem Falle kommt das Objekt .zuerst an den dem vorauseilenden Hubsystem am nächsten gelegenen Anschlag zum Anliegen. Dieser Anschlag wird weitaus stärker beansprucht als die übrigen, was nachteilig zu einer Deformation führen kann· Eine einmal eingetretene Schräglage ist bei diesem Y/irkprinzip selbständig nicht zu korrigieren, da die auftretenden Reibkräfte dieser Korrektur entgegenwirken.

Ziel der Erfindung:

Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer im Aufbau einfachen, funktionssicheren und in der Herstellung kostengünstigen und wenig materialintensiven Vorrichtung, die das exakte Anheben eines Objektes an eine Referenzebene ermöglicht.

Darlegung des Wesens der Erfindung;

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Anheben eines Objektes an eine Referenzebene zu entwickeln, die mit geringem konstruktiven Aufwand ein ge-

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naues Anlegen der ebenen Fläche eines Objektes an eine durch Anschläge verkörperte Referenzebene gestattet, wobei die Anschläge eine hohe Standzeit besitzen. Dabei sollen . Kontroll- oder Bearbeitungsvorgänge am Objekt im Durchlicht durchgeführt werden können.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß bei einer Vorrichtung zum Anheben eines Objektes an eine Referenzebene, bei der durch in einer Koordinate wirkende Hubsysteme die ebene Fläche eines transparenten Objektes im Durchlicht an Anschläge zu liegen kommt, welche in der Referenzebene angeordnet sind, feste Auflagen für das Objekt vorgesehen sind, die sich an den Enden von mindestens einem in einer Achse drehbar gelagerten zweiseitigen Hebel befinden. Desweiteren sollen an der Drehachse des Hebels über mechanische Koppelglieder senkrecht zur Referenzebene und unabhängig voneinander arbeitende Hubsysteme eingreifen, und die Hebel, Koppelglieder und Hubsysteme sollen außerhalb des Durchlichtstrahlenganges angeordnet sein.

Ausführungsbeispiel:

In der Zeichnung Figur 1 ist eine zweckmäßige Form der Realisierung dar Erfindung dargestellt.

Ein transparentes Objekt 1 , dessen ebene Fläche 2 an eine Referenzebene 3 angehoben werden soll, befindet sich auf den Auflagen 4, 5, 6, und _ 7 , die an den Enden zweier zweiseitiger Hebel 8 und 9 angebracht sind. Die Hebel 8 und 9 sind mittig in den Lagern 10 und 11 mit einer Trägerplatte 12 gekoppelt, an der zwei Hubsysteme 13 und 14 eingreifen.

Zum Anheben des Objektes 1 an die durch die Anschläge 15, 16, 17 und 18 verkörperte Referenzebene 3 arbeiten die Hubsysteme 13 und 14 senkrecht zur Referenzebene 3 , und bewirken ein Anheben der Trägerplatte 12 und der mit ihr verbundenen Hebel 8, 9 solange bis die ebene Fläche 2 an den Abschlägen 15, 16, 17 und zu liegen kommt. Die Bewegung der Hubsysteme 13, 14

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braucht dabei nicht synchron zu verlaufen, denn kommt, das Objekt 1 an einem der Anschläge 15, 16, 17 oder 18 zuerst zur Anlage, dann wird an den Hebeln 8, 9 über die lager 10 und 11 eine Kippbewegung eingeleitet, Der bewußte Anschlag braucht in diesem Falle nur die geringen Kippmomente aufnehmen, so daß die Gefahr der Deformation der Anschläge nicht besteht. Ein weiterer Vorteil ist durch dieses Prinzip dadurch gegeben, daß grund-. sätzlich alle vier Auflagen 4, 5, 6 und 7 während jeden" Hubvorganges an der Rückseite des Gegenstandes zum Anliegen kommen, ohne daß besondere Ebenheitsforderungen an die Auflagefläche 19 des Objektes 1 gestellt werden müssen. '

Die Vorrichtung ist konstruktiv so ausgelegt, daß ein möglichst großer Bereich des Objektes einer Betrachtung im Durchlicht zugänglich ist.

Claims

Patentanspruch:

Vorrichtung zum Anheben eines Objektes an eine Referenzebene, bei der durch in einer Koordinate wirkende Hubsysteme die ebene Fläche eines transparenten Objektes
im Durchlicht an Anschläge zu liegen kommtj welche in der Referen.zebene angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet,
daß feste Auflagen für das Objekt vorgesehen sind, die siüh an den Enden von mindestens einem in einer Achse drehbar gelagerten zweiseitigen Hebel befinden, daß an der Drehachse über mechanische Koppelglieder senkrecht zur Referenzebene und unabhängig voneinander arbeitende Hubsysteme eingreifen, und daß die Hebel, Koppelglieder und Hubsysteme außerhalb des Durchlichtstrahlenganges angeordnet sind.

- Hierzu 1 Blatt Zeichnung -

WG/Pud/Pch

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