DD147781A3 - Vorrichtung zum bestrahlen mittels elektronen - Google Patents

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DD147781A3
DD147781A3 DD79215173A DD21517379A DD147781A3 DD 147781 A3 DD147781 A3 DD 147781A3 DD 79215173 A DD79215173 A DD 79215173A DD 21517379 A DD21517379 A DD 21517379A DD 147781 A3 DD147781 A3 DD 147781A3
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DD
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drum
irradiation
electrons
irradiated
transport system
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Application number
DD79215173A
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German (de)
English (en)
Inventor
Wasilii A Gluchich
Michail P Swinin
Michail T Fedodow
Wladimir P Schirokow
Konstantin D Pismannik
Alexander I Schtschegoljew
Adolf Heger
Rudolf Hanke
Helmar Paessler
Original Assignee
Wasilii A Gluchich
Michail P Swinin
Michail T Fedodow
Shirokov Vladimir P
Konstantin D Pismannik
Alexander I Schtschegoljew
Adolf Heger
Rudolf Hanke
Helmar Paessler
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2037—Exposure with X-ray radiation or corpuscular radiation, through a mask with a pattern opaque to that radiation
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K5/00—Irradiation devices
    • G21K5/02—Irradiation devices having no beam-forming means
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
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DD79215173A 1978-09-07 1979-08-24 Vorrichtung zum bestrahlen mittels elektronen DD147781A3 (de)

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SU812151A1 (ru) 1984-03-30
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FI69939C (fi) 1986-05-26
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US4286166A (en) 1981-08-25
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