CZ304596B6 - Způsob vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech, určené k lepení čipů, a nanášecí zařízení pro provádění tohoto způsobu - Google Patents

Způsob vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech, určené k lepení čipů, a nanášecí zařízení pro provádění tohoto způsobu Download PDF

Info

Publication number
CZ304596B6
CZ304596B6 CZ2012-940A CZ2012940A CZ304596B6 CZ 304596 B6 CZ304596 B6 CZ 304596B6 CZ 2012940 A CZ2012940 A CZ 2012940A CZ 304596 B6 CZ304596 B6 CZ 304596B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
glass
glass paste
pressure vessel
chips
making
Prior art date
Application number
CZ2012-940A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ2012940A3 (cs
Inventor
Michal Řezníček
Jaroslav Jankovský
Martin Buršík
Original Assignee
Vysoké Učení Technické V Brně
Meas Cz, S. R. O.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vysoké Učení Technické V Brně, Meas Cz, S. R. O. filed Critical Vysoké Učení Technické V Brně
Priority to CZ2012-940A priority Critical patent/CZ304596B6/cs
Priority to EP13466038.0A priority patent/EP2746235B1/en
Publication of CZ2012940A3 publication Critical patent/CZ2012940A3/cs
Publication of CZ304596B6 publication Critical patent/CZ304596B6/cs

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/006Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with materials of composite character
    • C03C17/007Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with materials of composite character containing a dispersed phase, e.g. particles, fibres or flakes, in a continuous phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/40Coatings comprising at least one inhomogeneous layer
    • C03C2217/43Coatings comprising at least one inhomogeneous layer consisting of a dispersed phase in a continuous phase
    • C03C2217/44Coatings comprising at least one inhomogeneous layer consisting of a dispersed phase in a continuous phase characterized by the composition of the continuous phase
    • C03C2217/45Inorganic continuous phases
    • C03C2217/452Glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/40Coatings comprising at least one inhomogeneous layer
    • C03C2217/43Coatings comprising at least one inhomogeneous layer consisting of a dispersed phase in a continuous phase
    • C03C2217/46Coatings comprising at least one inhomogeneous layer consisting of a dispersed phase in a continuous phase characterized by the dispersed phase
    • C03C2217/47Coatings comprising at least one inhomogeneous layer consisting of a dispersed phase in a continuous phase characterized by the dispersed phase consisting of a specific material
    • C03C2217/475Inorganic materials
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/40Coatings comprising at least one inhomogeneous layer
    • C03C2217/43Coatings comprising at least one inhomogeneous layer consisting of a dispersed phase in a continuous phase
    • C03C2217/46Coatings comprising at least one inhomogeneous layer consisting of a dispersed phase in a continuous phase characterized by the dispersed phase
    • C03C2217/48Coatings comprising at least one inhomogeneous layer consisting of a dispersed phase in a continuous phase characterized by the dispersed phase having a specific function
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/70Properties of coatings
    • C03C2217/77Coatings having a rough surface
    • C03C2217/775Coatings having a rough surface to provide anti-slip characteristics

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Joining Of Glass To Other Materials (AREA)

Abstract

Způsob vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech, určené k lepení čipů (3), kde na povrch skleněného testovacího substrátu (1) se nanese alespoň jedna vrstva skleněné pasty, načež se bezprostředně po nanesení poslední vrstvy skleněné pasty, dříve než skleněná pasta zaschne, povrch skleněné pasty popráší jemným prachem z teplotně odolného materiálu pomocí nanášecího zařízení, načež se skleněný testovací substrát (1) vysuší a pak vypálí při teplotě 450 až 650 .degree.C po dobu 5 až 20 min, načež se povrch skleněného testovacího substrátu (1) opláchne vodou anebo ofoukne proudem vzduchu. Skleněná pasta se výhodně nanese sítotiskem do tvaru pražců (2).

Description

Způsob vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech, určené k lepení čipů, a nanášecí zařízení pro provádění tohoto způsobu
Oblast techniky
Vynález se týká způsobu vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech, určené k lepení čipů pro zkoušky praní a čištění od pájecích tavidel v elektronice, a nanášecího zařízení pro provádění tohoto způsobu.
Dosavadní stav techniky
Při osazování a pájení desek v mikroelektronické výrobě jsou na desky nanášena tavidla. Po zapájení je třeba tyto zbytky tavidel z povrchu desky odstranit například pomocí praní a čištění.
Čištění probíhá ostřikem za zvýšené teploty 50 až 80 °C, a to jednak v deionizované vodě, jednak v organických rozpouštědlech, jako jsou izopropylalkohol, aceton, benzín apod. a jejich směsích, a ve speciálně ktomu účelu pořízených kapalinách emulzního typu, jako například kapalina s obchodním označením Cestron.
K vyhodnocení účinnosti pracího a čisticího procesu se užívají mimo jiné testovací desky opatřené na povrchu keramickými čipy, které se ve známé míře znečistí tavidlem známého složení, projdou čisticím zařízením a čisticím cyklem současně s osazenými deskami plošných spojů a slouží k vyhodnocení účinnosti pracího procesu, který proběhl na výrobních deskách plošných spojů.
Jakje patrné z obr. 1 je při osazování testovacích desek čipy na povrch této desky nejprve nanesena vrstva skleněné pasty, zajišťující umístění čipů v matici v přesném odstupu od povrchu testovací desky, tj. skleněného substrátu. Taje nanesena např. do tvaru „pražců“ v podobně paralelních přerušovaných linií, viz obr. 1. Na tyto pražce jsou poté pomocí lepidla osazeny čipy.
Jelikož se však čipy dosud lepily přímo na zmíněnou skleněnou pastu, docházelo při praní vlivem hladkého povrchu pasty k nedostatečné adhesi a k odtržení čipů.
Jiným způsobem je naleptání povrchu skla kyselinou fluorovodíkovou. Tento způsob však rovněž navede k optimálnímu výsledku, neboť dochází k zmatnění skelného testovacího substrátu. Zmatnění skla navíc omezuje možnost optického vyhodnocení výsledků.
Cílem vynálezu je tedy představit takový způsob vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech a takové nanášecí zařízení pro provádění tohoto způsobu, který by při lepení zvýšil přilnavost čipů k testovacímu substrátu, aniž by došlo ke znehodnocení povrchu skla, a umožnil tak opakovanou možnost jimi prováděných zkoušek praní a čištění ve výrobním procesu.
Podstata vynálezu
Výše zmíněné nedostatky odstraňuje do značné míry způsob vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech, určené k lepení čipů, jehož podstata spočívá v tom, že na povrch skleněného testovacího substrátu se nanese alespoň jedna vrstva skleněné pasty, načež se bezprostředně po nanesení poslední vrstvy skleněné pasty, dříve než skleněná pasta zaschne, povrch skleněné pasty popráší jemným prachem z teplotně odolného materiálu, pomocí nanášecího zařízení, načež se skleněný testovací substrát vysuší a pak vypálí při teplotě 450 až 650 °C po dobu 5 až 20 min, načež se povrch skleněného testovacího substrátu opláchne vodou anebo ofoukne proudem vzduchu.
-1 CZ 304596 B6
Ve výhodném provedení se skleněná pasta na povrch skleněného testovacího substrátu nanese sítotiskem do tvaru pražců.
Ve výhodném provedení je prachem z teplotně odolného materiálu diamantový prach nebo pomletý SiC nebo A12O3.
Předmětem vynálezu je rovněž nanášecí zařízení pro poprášení povrchu skleněné pasty jemným prachem z teplotně odolného materiálu, spočívající v tom, že obsahuje tlakovou nádob utvořenou dnem, pláštěm a víkem, a dále obsahuje přívod stlačeného vzduchu zaústěný přes plášť do tlakové nádoby a dýzu vyústěnou přes plášť z tlakové nádoby, přičemž vzdálenost osy přívodu stlačeného vzduchu od dna tlakové nádoby je menší, než vzdálenost osy dýzy od dna tlakové nádoby.
Přehled obrázků na výkrese
Vynález bude dále přiblížen pomocí výkresu, kde obr. 1 představuje povrch skleněného substrátu s nanesenou skleněnou pastou ve tvaru pražců a obr. 2 představuje nanášecí zařízení pro poprášení povrchu skleněné pasty jemným prachem z teplotně odolného materiálu.
Příklady provedení vynálezu
Aby během opakovaných zkoušek praní a čištění skleněných testovacích substrátů nedocházelo k opadávání k nim připevněných čipů, je nutné povrch skleněného testovacího substrátu opatřit mezivrstvou, která povrchovou vrstvu skleněné pasty zdrsní. To je prováděno podle způsobu vytváření mezivrstvy podle vynálezu, který je následující;
V první fázi se na povrch skleněného substrátu J_ sítotiskem nanese skleněná pasta ve tvaru pražců 2 určená pro nalepení čipů 3, viz obr. 1. Tato fáze může být vícekrát opakovaná. Bezprostředně po posledním tisku, dříve než skleněná pasta zaschne, se povrch horního tisku skleněné pasty popráší jemným prachem z teplotně odolného materiálu. Prach může být na povrch substrátu nasypán nebo tlakovým vzduchem nastřelen. K takovémuto nastřelení prachu na povrch skleněné pasty slouží například nanášecí zařízení 4 podle vynálezu, zobrazené na obr. 2, o kterém bude pojednáno níže. Následně se provede vysoušení a vypálení, a to při teplotě 450 až 650 °C po dobu 5 až 20 min, nevýhodněji po dobu 10 min. Tím se prášek zachytí v povrchu skleněné pasty a vytvoří tak adhesní matnou mezivrstvu vhodnou pro lepení. Po vychladnutí se nezakotvené brusivo opláchne vodou nebo ofoukne proudem vzduchu. Nesmí se mechanicky stírat, aby nedošlo k zmatnění skla a tím k znemožnění následných optických operací. Na takto zdrsněnou skelnou pastu je poté nanášeno lepidlo, jehož prostřednictvím jsou k povrchu substrátu připevňovány čipy.
Jak už bylo zmíněno výše, k nastřelení prachu je možno použít nanášecí zařízení 4 podle vynálezu, představené na obr. 2. Nanášecí zařízení 4 sestává z tlakové nádoby 5 připojené na přívod tlakového vzduchu, tvořené dnem 6, pláštěm 7 a víkem 8, v níž je uložen prášek 9 z tepelně odolného materiálu. Nanášecí zařízení 4 dále sestává z přívodu 10 stlačeného vzduchu, zaústěného přes plášť 7 do tlakové nádoby 5, a dýzy 11 vystupující přes plášť 7 z tlakové nádoby 5.
Osa přívodu 10 a osa dýzy 11 nejsou souosé. Jejich rozdíl je definován rozdílovou výškou H mezi jednotlivými osami. Vzdálenost osy přívodu W od dna 6 tlakové nádoby 5 je menší než vzdálenost osy dýzy 1T od dna 6 tlakové nádoby 5. Vzduch vstupující přívodem 10 do tlakové nádoby 5 tak naráží na protější stěnu pláště 7 tlakové nádoby 5, rozvíří se, snadněji promíchá s práškem 9 a vytvoří tzv. směsnou substanci. Tak je pak přes dýzu Tl nanášena na skleněnou pastu.
-2CZ 304596 B6
Prášek 9 je výhodně o zrnitosti 5 až 150 pm. Může jim být například diamantový prach, pomletý SiC, AI2O3 a podobně.
Na základě takto vytvořené mezivrstvy mají přilepené čipy k tímto opatřenému povrchu mnohem vyšší přilnavost, což zabraňuje jejich opadávání a umožňuje tak opakovanou možnost jejich použití pro zkoušky praní a čištění s následným vyhodnocením.

Claims (4)

PATENTOVÉ NÁROKY
1. Způsob vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech, určené k lepení čipů, vyznačující se tím, že na povrch skleněného testovacího substrátu (1) se nanese alespoň jedna vrstva skleněné pasty, načež se bezprostředně po nanesení poslední vrstvy skleněné pasty, dříve než skleněná pasta zaschne, povrch skleněné pasty popráší jemným prachem z teplotně odolného materiálu pomocí nanášecího zařízení, načež se skleněný testovací substrát (1) vysuší a pak vypálí při teplotě 450 až 650 °C po dobu 5 až 20 min, načež se povrch skleněného testovacího substrátu (1) opláchne vodou anebo ofoukne proudem vzduchu.
2. Způsob vytváření mezivrstvy podle nároku 1, vyznačující se tím, že skleněná pasta se na povrch skleněného testovacího substrátu (1) nanese sítotiskem do tvaru pražců (2).
3. Způsob vytváření mezivrstvy podle nároku 1 nebo 2, vyznačující se tím, že prachem z teplotně odolného materiálu je diamantový prach nebo pomletý SiC nebo AI2O3.
4. Nanášecí zařízení pro poprášení povrchu skleněné pasty jemným prachem z teplotně odolného materiálu podle nároku 1, vyznačující se tím, že obsahuje tlakovou nádobu (5) tvořenou dnem (6), pláštěm (7) a víkem (8), a dále obsahuje přívod (10) stlačeného vzduchu zaústěný přes plášť (7) do tlakové nádoby (5) a dýzu (11) vyústěnou přes plášť (7) z tlakové nádoby (5), přičemž vzdálenost osy přívodu (10) stlačeného vzduchu od dna (6) tlakové nádoby (5) je menší než vzdálenost osy dýzy (11) od dna (6) tlakové nádoby (5).
CZ2012-940A 2012-12-20 2012-12-20 Způsob vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech, určené k lepení čipů, a nanášecí zařízení pro provádění tohoto způsobu CZ304596B6 (cs)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2012-940A CZ304596B6 (cs) 2012-12-20 2012-12-20 Způsob vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech, určené k lepení čipů, a nanášecí zařízení pro provádění tohoto způsobu
EP13466038.0A EP2746235B1 (en) 2012-12-20 2013-12-18 Method of creating interlayer on glass testing substrate intended for sticking chips, and applying device for carrying out of the method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2012-940A CZ304596B6 (cs) 2012-12-20 2012-12-20 Způsob vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech, určené k lepení čipů, a nanášecí zařízení pro provádění tohoto způsobu

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2012940A3 CZ2012940A3 (cs) 2014-07-23
CZ304596B6 true CZ304596B6 (cs) 2014-07-23

Family

ID=50030039

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2012-940A CZ304596B6 (cs) 2012-12-20 2012-12-20 Způsob vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech, určené k lepení čipů, a nanášecí zařízení pro provádění tohoto způsobu

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP2746235B1 (cs)
CZ (1) CZ304596B6 (cs)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6277480B1 (en) * 1999-05-03 2001-08-21 Guardian Industries Corporation Coated article including a DLC inclusive layer(s) and a layer(s) deposited using siloxane gas, and corresponding method
US20040067363A1 (en) * 2002-10-04 2004-04-08 Bienkiewicz Joseph M. Hydrophilic DLC on substrate with oxygen and/or hot water treatment
US20050178652A1 (en) * 2003-12-15 2005-08-18 Guardian Industries Corp Scratch resistant coated glass article including carbide layer(s) resistant to fluoride-based etchant(s)
EP1697268A1 (fr) * 2003-12-19 2006-09-06 Saint-Gobain Glass France Procede de fabrication de motifs electroconducteurs sur un substrat transparent et substrat obtenu
EP1985594A1 (de) * 2007-04-25 2008-10-29 ESK Ceramics GmbH & Co.KG Formkörper mit einer dauerhaften siliciumnitridhaltigen Hartbeschichtung, Verfahren zu dessen Herstellung und dessen Verwendung
CZ303655B6 (cs) * 2010-04-16 2013-01-30 Skutchanová@Zuzana Zpusob výroby brousicího povrchu skleneného kosmetického prípravku

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4906596A (en) * 1987-11-25 1990-03-06 E. I. Du Pont De Nemours & Co. Die attach adhesive composition
CN1682360B (zh) * 2002-09-27 2010-05-12 株式会社日立国际电气 热处理装置、半导体装置的制造方法及衬底的制造方法
US6810929B1 (en) * 2003-06-12 2004-11-02 Ppg Industries Ohio, Inc. Transportable container for fluidizable material and method
WO2010036383A1 (en) * 2008-09-29 2010-04-01 Rockwell Collins, Inc. Applications and methods for alkali silicate glass

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6277480B1 (en) * 1999-05-03 2001-08-21 Guardian Industries Corporation Coated article including a DLC inclusive layer(s) and a layer(s) deposited using siloxane gas, and corresponding method
US20040067363A1 (en) * 2002-10-04 2004-04-08 Bienkiewicz Joseph M. Hydrophilic DLC on substrate with oxygen and/or hot water treatment
US20050178652A1 (en) * 2003-12-15 2005-08-18 Guardian Industries Corp Scratch resistant coated glass article including carbide layer(s) resistant to fluoride-based etchant(s)
EP1697268A1 (fr) * 2003-12-19 2006-09-06 Saint-Gobain Glass France Procede de fabrication de motifs electroconducteurs sur un substrat transparent et substrat obtenu
EP1985594A1 (de) * 2007-04-25 2008-10-29 ESK Ceramics GmbH & Co.KG Formkörper mit einer dauerhaften siliciumnitridhaltigen Hartbeschichtung, Verfahren zu dessen Herstellung und dessen Verwendung
CZ303655B6 (cs) * 2010-04-16 2013-01-30 Skutchanová@Zuzana Zpusob výroby brousicího povrchu skleneného kosmetického prípravku

Also Published As

Publication number Publication date
EP2746235A2 (en) 2014-06-25
CZ2012940A3 (cs) 2014-07-23
EP2746235B1 (en) 2017-05-17
EP2746235A3 (en) 2016-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009540551A (ja) 粉末層を基板上に配置する方法並びに少なくとも1つの粉末層を基板上に有する層構造体
JP6656282B2 (ja) 基板構造を製造する方法、基板構造、電子部品を基板構造と結合する方法、および電子部品
RU2597253C2 (ru) Способ обеспечения отражающего покрытия для подложки для светоизлучающего устройства
KR100958554B1 (ko) 땜납 프리코트 방법 및 전자기기용 워크
JPH10280165A (ja) 金属被膜の形成方法
CN107079587B (zh) 用于施加焊膏焊剂的方法和装置
US5746367A (en) Method and apparatus to wick solder from conductive surfaces
CZ304596B6 (cs) Způsob vytváření mezivrstvy na skleněných testovacích substrátech, určené k lepení čipů, a nanášecí zařízení pro provádění tohoto způsobu
CN106571419B (zh) 一种闪光灯的制作方法
JP6682059B2 (ja) 塗布方法
CN111180312B (zh) 一种适用于集成电路的回流焊清洗方法
CZ25052U1 (cs) Zařízení k nanášení mezivrstvy na skleněné testovací substráty určené k lepení čipů
CN107516705B (zh) 一种基于ncsp封装技术的新型制作工艺
CN105002014A (zh) 清洗液、清洗设备以及安装基板的清洗方法
CN104078550A (zh) 采用丝网印刷工艺进行固晶的led封装方法
KR101673578B1 (ko) 고휘도 패턴 도장방법
JP4185821B2 (ja) 配線基板におけるはんだコーティング方法
JP2006295186A (ja) 無テープのダイアタッチ方式による集積回路パッケージプロセス
JPWO2020069294A5 (cs)
JP2022526423A (ja) 電子部品及び電子部品の実装方法
JP7071050B2 (ja) 電子部品実装システム及び電子部品実装方法
JP2007229607A5 (cs)
Wright et al. Metal coated polymer spheres for compliant fine pitch ball grid arrays
CN108431288A (zh) 在真空涂覆工艺中利用范德华力夹持盖板基材的方法和设备
CN107808888A (zh) 一种高效型cmos图像传感器的封装工艺