CZ299939B6

CZ299939B6 - Sklokeramická hmota a keramické teleso

Info

Publication number: CZ299939B6
Application number: CZ20030910A
Authority: CZ
Inventors: Arno Schiller@Wolfgang; Gemeinert@Marion; Fritz@Ulrich; Eberstein@Markus; Preu@Gabriele; Wersing@Wolfram; Dernovsek@Oliver; Modes@Christina
Original assignee: W.C. Heraeus Gmbh
Priority date: 2000-09-01
Filing date: 2001-08-31
Publication date: 2008-12-29
Also published as: TWI243806B; NO20030881D0; NO20030881L; CN1662463A; HUP0300879A3; MXPA03001714A; US20040014585A1; EP1315680B1; KR20030040432A; EP1315680A1; DE50104773D1; PT1315680E; CA2419569A1; ES2234879T3; HUP0300879A2; CA2419569C; US7030050B2; DE10043196A1; ATE284370T1; CN100369843C

Abstract

Sklokeramická hmota je provedena s alespon jednouoxidovou keramikou, která obsahuje baryum, titan a alespon jeden kov vzácných zemin Rek, s alespon jedním skleneným materiálem, který obsahuje alespon jeden oxid boru, alespon jeden oxid kremíku a alespon jeden oxid alespon jednoho dvojmocného kovu Me.sup.2+.n. a alespon jeden oxid bismutu. Podíl oxidu olova a/nebo podíl oxidu kadmia ve sklokeramické hmote a/nebo v oxidové keramice a/nebo ve skleneném materiálu ciní maximálne 0,1 %. Keramické teleso obsahuje tuto sklokeramickou hmotu.

Description

(57) Anotace:

Sklokeramická hmota je provedena s alespoň jednou oxidovou keramikou, která obsahuje baryum, titan a alespoň jeden kov vzácných zemin Rek, s alespoň jedním skleněným materiálem, který obsahuje alespoň jeden oxid boru, alespoň jeden oxid křemíku a alespoň jeden oxid alespoň jednoho dvojmocného kovu Me²⁺ a alespoň jeden oxid bismutu. Podíl oxidu olova a/nebo podíl oxidu kadmia ve sklokeramtcké hmotě a/nebo v oxidové keramice a/nebo ve skleněném materiálu činí maximálně 0,1 %. Keramické těleso obsahuje tuto sklokeramickou hmotu.

s

5.12 4. 11 3, 11 2. 12

Sklokeramická hmota a keramické téleso

Oblast techniky

Vynález se týká sklokeramické hmoty s alespoň jednou oxidovou keramikou, která obsahuje baryum, titan a alespoň jeden kov vzácných zemin Rek, s alespoň jedním skleněným materiálem, který obsahuje alespoň jeden oxid boru, alespoň jeden oxid křemíku a alespoň jeden oxid alespoň jednoho dvojmocného kovu Me²⁺ a alespoň jeden oxid bismutu. Vynález se dále týká keramickéio ho tělesa.

A

Dosavadní stav techniky

Sklokeramická hmota uvedeného druhuje známa z patentového dokumentu US 5 264 404. Oxidová keramika této známé sklokeramické hmoty se vyrobí z oxidu bamatého (BaO), oxidu titaničitého (TiO₂), trojmocného oxidu kovu vzácných zemin (Rek₂O₃) a připadne oxidu bismutitého (Bi₂O₃). Kovem vzácných zemin je například neodym. Skleněný materiál této sklokeramické hmoty je tvořen oxidem boritým (B₂O₃), oxidem křemičitým (SiO₂) a oxidem zinečnatým (ZnO).

Podíl oxidové keramiky ve sklokeramické hmotě činí například 90 % a podíl skleněného materiálu v tomto případě činí 10%.

Ke zhutnění sklokeramické hmoty dochází při slinovací teplotě rovné asi 950 °C. Takto se sklokeramická hmota hodí pro použití v rámci technologie LTCC (low temperature cofíred ceramics).

Tato technologie LTCC je například popsána v: D.L.Wilcox a kol.. Proč. 1997 ISAM, Phitadelphia, str. 17 až 23. Technologie LTCC je keramická vícevrstvá technika, při které se pasivní elektrická součástka integruje v objemu keramického vícevrstvého tělesa. Takovou pasivní elektrickou součástkou je například elektrické vedení, cívka, indukční člen nebo kondenzátor. Uvedené integrace se například dosáhne tím, že se kovová struktura odpovídající součástce natiskne na jednu nebo více keramických syrových fólií a takto potištěné syrové fólie se naskládají na sebe a získaný svazek syrových fólií se slinuje. Vzhledem k tomu, že se používají keramické syrové fólie z nízkou teplotou slinutí sklokeramické hmoty, mohou být ve svazku s keramickými syrovými fóliemi slinovány i nízko tající, elektricky velmi dobře vodivé elementární kovy Me°, jakými jsou například stříbro nebo měď. Přitom je funkční schopnost součástek integrovaných pomocí technologie LTCC výrazně závislá na dielektrických materiálových vlastnostech použité sklokeramiky. Jednou takovou materiálovou vlastností je například permitívita (ε_Γ), kvalita (Q) a teplotní průběh frekvence (Tkf).

U známých sklokeramíckých hmot je skleněný podíl poměrně nízký, takže se zhutnění sklokera40 mické hmoty děje reaktivním slinováním v kapalné fázi. V průběhu slinování se ze skleněného materiálu stane kapalná skleněná fáze (skleněná taven i na). Při vyšších teplotách se oxidová keramika rozpouští v této skleněné tavenině až do okamžiku, kdy se dosáhne koncentrace odpovídající nasycenému stavu, kdy dochází k opětovnému vylučování oxidové keramiky z roztoku. V průběhu rozpouštění a opětovného vylučování z roztoku oxidové keramiky se může měnit složení oxidové keramiky a tím i složení skleněné fáze, popřípadě skleněného materiálu. Při ochlazení může kromě toho dojít ke kiystalizaci ze skleněné taveniny. Takto například zůstane určitý podíl oxidové keramiky po ochlazení ve skleněné fázi. Když se při zhutnění změní složení oxidové keramiky a skleněného materiálu, je obtížné zachovat materiálové vlastnosti sklokeramické hmoty a v důsledku toho zajistit funkčnost součástky integrované technologii LTCC.

Úkolem vynálezu je poskytnout sklokeramickou hmotu s oxidovou keramikou, jejíž složení zůstane v podstatě stejné během slinování.

-1CZ 299939 B6

Podstata vynálezu

Tento úkol splňuje sklokeramická hmota s alespoň jednou oxidovou keramikou, která obsahuje baryum, titan a alespoň jeden kov vzácných zemin Rek, s alespoň jedním skleněným materiálem, který obsahuje alespoň jeden oxid boru, alespoň jeden oxid křemíku a i alespoň jeden oxid alespoň jednoho dvojmocnébo kovu Me²⁺ a alespoň jeden oxid bismutu, podle vynálezu, jehož podstatou je, že podíl oxidu olova a/nebo podíl oxidu kadmia ve sklokeramické hmotě a/nebo v oxidové keramice a/nebo ve skleněném materiálu činí maximálně 0,1 %.

to

Sklokeramickou hmotou je. sklokeramická kompozice bez ohledu na její stav. Tato sklokeramická hmota může být ve formě keramického syrového tělesa. U takového syrového tělesa, například tvořeného syrovou fólií, mohou být prášek oxidové keramiky a prásek skleněného materiálu vzájemně spojeny pomocí organického pojivá. Rovněž je myslitelné, že se sklokeramická hmota nachází ve formě práškové směsi oxidové keramiky a skleněného materiálu. Kromě toho může být sklokeramická hmota také ve formě slinutého keramické tělesa. Tak například může být sklokeramickou hmotou tvořeno keramické vícevrstvé těleso vyrobené sl inovacím procesem. Toto keramické vícevrstvé těleso může být podrobeno dalšímu slinovacímu procesu.

Uvedená oxidová keramika může existovat jako jediná fáze. Může však také sestávat z více fází. Takto je například myslitelné, že oxidová keramika je tvořena z jednotlivých fází majících vždy odlišné složení. Taková oxidová keramika je potom směsí různých oxidových keramik. Rovněž je myslitelné, že jedna nebo více sloučenin oxidové keramiky je na oxidovou keramiku převedena teprve v průběhu slinovacího procesu.

Rovněž skleněný materiál může být tvořen pouze jedinou fází. Touto fází je například skleněná tavenina tvořená oxidem boritým, oxidem křemičitým, oxidem zinečnatým a oxidem bismutitým. Také je myslitelné, že skleněný materiál je tvořen více fázemi. Takto například skleněný materiál sestává z práškové směsi uvedených oxidů. Z oxidů se potom během slinovacího procesu vytvoří společná skleněná tavenina. Rovněž je myslitelné, že skleněný materiál je tvořen produktem kiystalizace skleněné taveniny. To znamená, že skleněný materiál například po slinování není tvořen jen skleněnou taveninou, nýbrž je také v krystalické formě.

Základní myšlenka vynálezu spočívá v tom, že se ve skleněném materiálu použije oxid bismutu, zejména oxid bismutitý. Výhoda toho spočívá v tom, že takto může být dosaženo snížení teploty měknutí T_SOň skleněného materiálu. Čím nižší je teplota přechodu do skelného stavu, tím hlouběji leží sl inovací teplota, popřípadě teplota zhutňovacího výpalu odpovídající sklokeramické hmoty. Při teplotě zhutňovacího výpalu může být v kratším čase dosaženo téměř úplného zhutnění sklokeramické hmoty.

Přitom oxid bismutitý obzvláště příznivě ovlivňuje rozpouštění a opětovné vyloučení oxidové keramiky ve skleněné tavenině v průběhu slinovacího procesu (například snížením teploty zhutňovacího výpalu). Přitom nedochází téměř k žádnému odlučování jednotlivých složek oxidové keramiky. Složení oxidové keramiky se takto nemění nebo se mění jen nepatrně a může být takto velmi dobře předen nastaveno.

Je známo, že bismut, který se nachází v oxidové keramice, reaguje při zvýšené teplotě s elementárním stříbrem. Při použití oxidové keramiky obsahující bismut v rámci technologie LTCC za použití stříbra jako elektricky vodivého materiálu může dojít k nežádoucí reakci nepříznivě ovliv50 ňující funkčnost, součástky, která má být vyrobena. Když je oxid bismutitý přítomen ve skleněném materiálu, snižuje se teplota zhutňujícího výpalu. Slinování může být takto provedeno při nižší teplotě. Tím je také potlačena reakce mezi bismutem, popřípadě oxidem bismutitým a elementárním stříbrem. Když k tomu ještě přistupuje poměrně nízký obsah skleněného podílu, je přítomno poměrně málo bismutu, takže vlastně nedochází výraznější reakci mezi bismutem a stříbrem.

-2CZ 299939 B6

V rámci specifické formy provedení vynálezu má oxidová keramika formální složení BaRek2Ti₄0i2· Oxidová keramika tohoto složení je označována jako mikrovlnná keramika, poněvadž její materiálové vlastnosti (permitivita, kvalita Q a hodnota Tkf) jsou obzvláště vhodné pro použití v mikrovlnné technice.

Obzvláště skleněný materiál obsahuje alespoň jeden oxid alespoň jednoho kovu vzácných zemin Reg. Kov vzácných zemin Reg se například vyskytuje jako troj mocný oxid Reg2C>3. Pomocí oxidu kovu vzácných zemin Reg může být permitivita skleněného materiálu, která přispívá k permítivitě celkové sklokeramické hmoty, přizpůsobena permitivitě oxidové keramiky. Tím je dosažitelná sklokeramická hmota, která má permitivitu rovnou 20 až 80 nebo ještě vyšší.

Obzvláště se kov vzácných zemin Rek nebo/a kov vzácných zemin Reg zvolí ze skupiny lanthanu nebo/a neodymu nebo/a samaria. Myslitelné jsou také další lanthanoidy nebo aktinoidy. Kovy . vzácných zemin Rek a Reg mohou být identické, i když může také jit o rozdílné kovy vzácných zemin.

V rámci specifické formy provedení způsobu podle vynálezu obsahuje oxidová keramika dvojmocný kov Me²⁺. Tento dvoj mocný kov Me²⁺ se zejména zvolí ze skupiny obsahující beryllium, hořčík, vápník, stroncium, baryum, měď nebo/a zinek. Tento dvoj mocný kov Me²⁺ se může vyskytovat jako vlastní oxidová fáze. Obzvláště tvoří dvojmocný kov Me²⁺ dotující složku oxidové keramiky. V oxidové keramice tento dvojmocný kov Me²⁺ způsobuje podstatné snížení teploty slinutí oxidové keramiky. K tomu ještě přistupuje skutečnost, že pomocí uvedeného prvku mohou být řízeny dielektrické materiálové vlastnosti oxidové keramiky. Takto je například oxidová keramika mající složení 24-BaRek2Ti40i2 dotována zinkem. Dvojmocný kov Me²⁺ může stejně jako oxid bismutu způsobit potlačení odlučování jednotlivých složek oxidové keramiky v průběhu slino vací ho procesu. Ukázalo se, že je obzvláště příznivé, když se oxidová keramika dotuje dvojmocným prvkem Me²⁺, který se také vyskytuje ve skleněném materiálu. Zvláště je zde třeba jako dvojmocný kov Me²⁺ zmínit zinek. Zinek má obzvláště příznivý vliv na reaktivní slinování v tekuté fázi a přitom se vyskytující proces rozpouštění a opětovného vylučování oxidové keramiky.

V rámci další formy provedení obsahuje skleněný materiál vedle oxidu křemíku jako čtyřmocného kovu alespoň jeden oxid alespoň jednoho dalšího čtyřmocného kovu Me⁴⁺. Vedle oxidu kře35 mičitého obsahuje skleněný materiál alespoň jeden další Oxid čtyřmocného kovu. Tento další čtyřmocný kov Me⁴⁺je zejména zvolen ze skupiny zahrnující germanium nebo/a cín nebo/a titan nebo/a zirkonium. Vedle oxidu křemičitého podporují tyto oxidy čtyřmocných kovů sklovitost skleněného materiálu. To znamená, že pomocí těchto oxidů, jakož i ostatně pomocí oxidů výše uvedených dvoumocných kovů Me²⁺ se reguluje viskozitně-teplotní charakteristika skleněného materiálu. Například lze takto nastavit teplotu měknutí T_SOft skleněného materiálu. Rovněž může být takto ovlivněna krystalizace skleněného materiálu.

V rámci další specifické formy provedení vynálezu se skládá 100 obj.% sklokeramické hmoty z keramického podílu oxidové keramiky, který je zvolen z rozmezí 70 až 95 obj.%, a skleněného podílu skleněného materiálu, který je zvolen z rozmezí 30 až 5 obj.%. Když je sklokeramická hmota podrobena slinování, dochází k výše uvedenému reaktivnímu slinování v kapalné fázi. Při obzvláště příznivém chování při rozpouštění a opětovné vylučování oxidové keramiky, jak je tomu zejména tehdy, kdy je dvojmocný kov přítomen jak v oxidové keramice, tak i ve skleněném materiálu, je možné připustit i obsah skleněného materiálu nižší než 5 obj.%.

Oxidová keramika nebo/a skleněný materiál jsou zejména ve formě prášku se střední velikostí částic (hodnota D₅₀) pohybující se v rozmezí od 0,1 do 1,5 mikrometru. Tato střední velikost částic bývá také označována jako poloviční hodnota velikosti částic. Pro zachování velmi nízkého skleněného podílu bez omezení týkajícího se chování při rozpouštění a opětovném vylučování

-3CZ 299939 B6 oxidové keramiky jsou obzvláště výhodné prášky s udanou velikostí částic. Tyto prášky poskytují veliký reaktivní povrch nezbytný pro reaktivní slinování v kapalné fázi.

Obvykle se za účelem snížení teploty slinování a zvýšení permitivity sklokeramického materiálu přidává ke skleněnému materiálu oxid olovnatý (PbO), V rámci vynálezu činí podíl oxidu olovnatého nebo/a podíl oxidu kademnatého ve sklokeramické hmotě nebo/a oxidové keramice nebo/a skleněném materiálu nejvýše 0,1 %, zejména nejvýše 1 ppm. Výhodně je z ekologického hlediska podíl oxidu olovnatého a oxidu kademnatého téměř nulový, V rámci vynálezu je toho dosaženo bez podstatného omezení materiálových vlastností sklokeramické hmoty.

V rámci další specifické formy provedení sklokeramické hmoty činí teplota zhutňovacího výpalu nejvýše 950 °C a zejména nejvýše 910 nebo 890 °C. Zejména je přitom dostupná sklokeramická hmota s permitivitou, která se pohybuje v rozmezí 20 až 80, s kvalitou Q, která se pohybuje v rozmezí 800 až 5000, a s hodnotou Tkf, která se pohybuje v rozmezí -20 až +20 ppm/K. Ski οι 5 keramická hmota s těmito materiálovými vlastnostmi je obzvláště vhodná pro použití v mikrovlnné technice.

V rámci druhého předmětu vynálezu vynález poskytuje keramické těleso z výše popsané sklokeramické hmoty. Toto keramické těleso obzvláště obsahuje alespoň jeden elementární kov Me°, který je zvolen ze skupiny zahrnující zlato nebo/a stříbro nebo/a měď. Výhodnějé uvedeným keramickým tělesem keramické vícevrstvé těleso. K výrobě keramického tělesa se použije výše popsaná sklokeramická hmota. Při použití skleněného materiálu obsahujícího bismut může zhutňovací slinování sklokeramické hmoty probíhat již při teplotách nižších než 890 °C. Při žíhacím procesu v přítomnosti elementárního stříbra nedochází k rušivé ínterdifuzí. Obzvláště může být tímto způsobem vyrobeno keramické těleso ve formě keramického vícevrstvého tělesa. Uvedená sklokeramická hmota se zejména použije v keramických syrových fóliích v rámci technologie LTCC. Tím jsou pro technologii LTCC k dispozici sklokeramické hmoty, které mají znamenité materiálové vlastnosti pro výrobu mikrovlnných součástek,

Vynález poskytuje následující výhody:

Složení oxidové keramiky zůstává v průběhu slinování sklokeramické hmoty v podstatě konstantní. V důsledku toho je možné předem definovaně nastavit materiálové vlastnosti sklokeramické hmoty.

Je možné dosáhnout téměř úplného zhutnění (zhutňovací slinování) sklokeramické hmoty při teplotě nižší než 910 °C a dokonce při teplotě nižší než 890 °C.

Vhodnými (oxidovými) přísadami k oxidové keramice a ke skleněnému materiálu je možné cíle40 ně a téměř libovolně nastavit chování sklokeramické hmoty při slinování a mechanické vlastnosti sklokeramické hmoty. Takto mohou být při zachování nízké teploty zhutňovacího výpalu nastaveny v širokém intervalu například permitivita, kvalita Q a hodnota Tkf

Zhutňovací slinování je možné provést bez použití oxidu olovnatého nebo/a oxidu kademnatého.

V následující části popisu bude vynález popsán pomocí jeho konkrétního příkladu provedení a k němu náležejícího obrázku.

Přehled obrázku na výkrese

Připojený obr. 1 znázorňuje ve schematickém řezu nerespektujícím zcela věrně měřítko keramické těleso tvořené vícevrstvým uspořádáním sklokeramické hmoty podle vynálezu.

-4CZ 299939 B6

Příklady provedení vynálezu

V rámci příkladného provedení vynálezu je sklokeramická hmota 11 tvořena práškem oxidové 5 keramiky a práškem skleněného materiálu. Uvedená oxidová keramika má formální složení

BaRek2Ti40i2. Kovem vzácných zemin je v daném případě neodym. Tato oxidová keramika je dotována dvojmocným kovem Me²⁺, kterým je v daném případě zinek. Za účelem výroby oxidové keramiky se smísí odpovídající množství oxidu bamatého, oxidu titaničitého a oxidu neodymitého s asi jedním hmotnostním procentem oxidu zineěnatého, směs se kalcinuje, popřípadě io slinuje a potom se rozemele na odpovídající prášek.

Skleněný materiál obsahuje bor, bísmut, křemík a zinek. Tento skleněný materiál má následující složení:

27.5 mol.% oxidu boritého,

34,8 mol.% oxidu bismutitého,

32.5 mol.% oxidu zinečnatého a 6 mol.% oxidu křemičitého.

100 obj.% sklokeramické hmoty se skládá z 90 obj.% keramického materiálu a 10 obj.% skleně20 ného materiálu. Keramický materiál a skleněný materiál mají hodnotu D50 rovnou 0,8 mikrometru. Teplota zhutňovacího výpalu uvedené keramické hmoty činí 900 °C. Permitivita sklokeramické hmoty, činí 64, její kvalita Q činí 820 a její hodnota Tkf činí 4 ppm/K.

Sklokeramická hmota JJ s takto nastavenými vlastnostmi se potom použije pro integrování 25 pasivní elektrické součástky 6 a 7 do objemu keramického vícevrstvého tělesa 1 pomocí technologie LTCC. Tímto způsobem vyrobené keramické vícevrstvé těleso obsahuje keramické vrstvy 3 a 4, které jsou získány z keramických,syrových fólií obsahujících sklokeramickou hmotu JJ.

Keramické vrstvy 2 a 5 jsou vytvořeny z další sklokeramické hmoty 12, která je odlišná od sklokeramické hmoty JJ. Elektricky dobře vodivým materiálem, ze kterého jsou vytvořeny elektro30 nické součástky, je elementární kov Me°, kterým je v daném případě stříbro. *

Claims

35 PATENTOVÉ NÁROKY

1. Sklokeramická hmota s alespoň jednou oxidovou keramikou, která obsahuje baryum, titan a alespoň jeden kov vzácných zemin Rek, s alespoň jedním skleněným materiálem, který obsahuje

40 alespoň jeden oxid boru, alespoň jeden oxid křemíku, alespoň jeden oxid alespoň jednoho dvojmocného kovu Me²⁺, a alespoň jeden oxid bismutu, vyznačující se tím, že podíl oxidu olova a/nebo podíl oxidu kadmia ve sklokeramické hmotě a/nebo v oxidové keramice a/nebo ve skleněném materiálu činí maximálně 0,1 %.

45
2. Sklokeramická hmota podle nároku 1, vyznačující se tím, že oxidová keramika' má formální složení BaRek2TÍ40i₂.
3. Sklokeramická hmota podle nároku lnebo 2, vyznačující se t í m , že skleněný materiál obsahuje alespoň jeden oxid alespoň jednoho kovu vzácných zemin Reg.
4. Sklokeramická hmota podle některého z nároků l až 3,vyznačující se tím, že kov vzácných zemin Rek a/nebo kov vzácných zemin Reg je zvolen ze skupiny zahrnující lanthan a/nebo neodym a/nebo samarium.

-5CZ 299939 B6
5. Sklokeramická hmota podle některého z nároků 1 až 4, v y z n a č u j í c í se t í m, že oxidová keramika obsahuje dvojmocný kov Me²⁺.
6. Sklokeramická hmota podle některého z nároků laž 5, vyznačující se tím, že

5 dvojmocný kov Me²⁺ je zvolen ze skupiny zahrnující berylium, hořčík, vápník, stroncium, baryum, měď a/nebo zinek.
7. Sklokeramická hmota podle některého z nároků 1 až6, vy znač u j ící se t í m , že skleněný materiál vedle oxidu křemíku obsahuje jako čtyřmocný kov alespoň jeden oxid alespoň io jednoho dalšího čtyřmocného kovu Me⁴⁺,
8. Sklokeramická hmota podle nároku 7, v y z n a č u j í c í se t í m , že další čtyřmocný kov Me⁴⁺ je zvolen ze skupiny zahrnující germanium a/nebo cín a/nebo titan a/nebo zirkonium.

15
9. Sklokeramická hmota podle některého z nároků 1 až 8, v y z n a č u j í c í se tí m , že

100 % obj. sklokeramické hmoty sestává z podílu oxidové keramiky, který je zvolen z rozmezí 70 až 95 % obj., a z podílu skleněného materiálu, který je zvolen z rozmezí 30 až 5 % obj.
10. Sklokeramická hmota podle některého z nároků laž9, vyznačující se tím, že

20 oxidová keramika a/nebo skleněný materiál jsou ve formě prášku, který má střední velikost částic, která je zvolena z rozmezí 0,1 až 1,5 pm.
11. Sklokeramická hmota podle některého z nároků 1 až 10, v y z n a č u j í c í se tím, že podíl oxidu olova a/nebo oxidu kadmia je nejvýše rovný 1 ppm.
12. Sklokeramická hmota podle některého z nároků 1 až 11, vy z n ac uj íc í se tím, že teplota zhutňovacího výpalu činí nejvýše 950 °C, zejména nejvýše 890 °C.
13. Sklokeramická hmota podle nároku 12, v y z n a č u j í c í se t í m , že má permitivitu,

30 která je zvolena z rozmezí 20 až 80, kvalitu Q, která je zvolena z rozmezí 800 až 5000, a hodnotu

Tkf, která je zvolena z rozmezí -20 až +20 ppm/K,
14. Keramické těleso, vyznačující se tím, že obsahuje sklokeramickou hmotu podle některého z nároků 1 až 13,
15. Keramické těleso podle nároku 14, vyznačující se tím, že obsahuje alespoň jeden elementární kov Me°, který je zvolen ze skupiny zahrnující zlato a/nebo stříbro a/nebo měď.
16. Keramické těleso podle nároku 14 nebo 15, vyznačující se tím,že keramickým

40 tělesem je keramické vícevrstvé těleso.