CN2496827Y - 超高真空下运送机构 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开一种超高真空下运送机构,包括有固定壁、连杆、操作杆、波纹管,其技术要点是在固定壁内侧安装有丝杆,驱动导向管内的滑块沿导向槽作轴向运动,滑块前端安装有连杆,连杆前端是样品架,固定壁外侧安装有传动管,传动管内有传动杆,和丝杆和操作杆固定连接。本实用新型既可以采用手动,也可以采用电机驱动,滑块可以是普通螺纹与螺杆的咬合实现传动,也可以是带弹簧的双螺母结构实现无间隙螺纹传动。本实用新型实现了在超高真空下高精度、长距离样品输送。

Description

超高真空下运送机构
本实用新型涉及一种输送装置，更具体地说是一种超高真空条件下高精度、长距离的样品输送机构。
在超高真空条件下，工作元件、待处理样品或要求在真空容器内精确定位的光学元件等，若实现在真空容器内超过50cm的长距离移动，是有一定的困难的。特别是对于高精度定位的操作，其难度就更大。传统的方法是采用带有超长焊接波纹管的滑动机构，因为焊接波纹管的压缩量为波纹管总长度的40％，所以需要真空容器外有大于移动距离一倍的空间来装滑杆，同时要有长度是移动距离1.5倍的焊接波纹管，这大大增加了泄漏的可能性和制造费用，而且这种结构难以实现高精度的要求。
本实用新型的目的是提供一种超高真空下高精度、长距离运送机构。
本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的。
本实用新型所涉及的机构采用螺杆传动的方法，将转动转化为平动，从而实现工件在真空容器内的移动。由丝杆驱动导向管内的滑块沿导向管轴向滑动，带动连杆移动，从而实现样品架的移动。其动密封方式采用焊接波纹管密封，但波纹管的长度与移动的距离无关。这种机构的驱动方式可以是手动，也可以是电机驱动；其结构可根据移动的位移精度的不一样，作适当调整，即滑块可以是普通螺纹与丝杆的咬合实现传动，也可以是带弹性结构的子螺母、套螺母实现无间隙螺纹传动，同时可通过伺服电机驱动来控制移动量。对于长距离移动，采用光电计数器来记录丝杆转动的圈数，根据螺纹的螺距计算出移动件的位移。本机构的最高轴向位移精度可控制到0.01mm；机构所占空间上的距离与移动距离相当。
本实用新型适用于真空镀膜设备、真空热处理设备、超高真空下实现测量元件和控制元件的精确定位。
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型另一结构示意图。
以下结合附图，通过实施例，对本实用新型作进一步描述。
实施例：
参见图1，本实用新型有固定壁1，固定壁1的上方为大气侧，下方为真空侧，固定壁1可以是真空实验设施的侧壁，也可以是焊接或安装在真空实验设施的侧壁上。固定壁1的内侧安装有一导向管2，导向管2为椭圆形，导向管2内有一丝杆4，丝杆4和滑块3通过螺纹咬合，滑块3也呈椭圆形，滑块3的四周排布有4个滚珠7，滑块3可以沿导向管轴向作直线运动，滑块3前端固定有一连杆5，连杆5前端是样品架6，固定壁1外侧安装有传动管8，传动管8外连接有波纹管11，传动管8内安装有传动杆13，传动杆13套有轴承9，轴承9外圈固定在传动管8内。波纹管11内安装有操作杆10，传动杆13一端和丝杆4固定连接，另一端和操作杆10固定连接。波纹管11顶端安装有把手12。
实施例2：
参见图2。
本实用新型有固定壁1，固定壁1的上方为大气侧，下方为真空侧，固定壁1的内侧安装有导向管2，导向管2内有丝杆4，丝杆4和滑块通过螺母咬合，滑块由子螺母3A，套螺母3组成，子螺母3A、套螺母3均和丝杆咬合，子螺母3A和套螺母3之间有弹簧6，子螺母3A可以沿套螺母3内的导向槽作直线运动。套螺母3外有二排滚珠7，导向管2内有导向槽，套螺母3上有导向杆，子螺母3A上固定有二根连杆5，连杆5前端可以安装样品架，固定壁1的外侧安装有传动管8，传动管8外连接有波纹管，传动管8内安装有传动杆13，传动杆13外套固有轴承9，轴承9固定在固定壁上。波纹管11内安装有操作杆10，操作杆10和传动杆13为一体连接，传动杆13和丝杆4固定连接，波纹管外安装有蜗轮和蜗杆付12。蜗轮、蜗杆付通过伺服电机或步进电机驱动。

Claims (7)

1.超高真空下运送机构，包括有固定壁、连杆、操作杆、波纹管，其特征在于固定壁内侧安装有一导向管，导向管内有一丝杆，丝杆和滑块通过螺丝咬合，滑块可以沿导向管轴向作直线移动，滑块前端固定有连杆，连杆前端是样品架，固定壁外侧安装有传动管，传动管外连接有波纹管，传动管内安装有传动杆，传动杆一端和丝杆固定连接，传动杆另一端和操作杆固定连接。
2.根据权利要求1所述的超高真空下运送机构，其特征在于所述的导向管、滑块呈椭圆形状。
3.根据权利要求1所述的超高真空下运送机构，其特征在于所述的滑块上有一导向杆，和导向管内导向槽配合。
4.根据权利要求1所述的超高真空下运送机构，其特征在于所述的滑块由子螺母，套螺母组成，子螺母和套螺母之间安装有弹簧，子螺母可以沿套螺母内的导向槽作直线运动。
5.根据权利要求1所述的超高真空下运送机构，其特征在于所述的传动杆外固定有轴承，轴承外圈固定在传动管内或固定壁上。
6.根据权利要求1所述的超高真空下运送机构，其特征在于所述的波纹管顶端安装有把手或蜗轮蜗杆付。
7.根据权利要求1所述的超高真空下运送机构，其特征在于所述的连杆有二个，排布在拉杆两侧。
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