CN201404795Y - 超高真空直线导入器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及真空设备。超高真空直线驱动器,涉及导入棒,外管一端装有固定螺母,固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接,推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接,可动法兰焊接波纹管,波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒,导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内,波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接,且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。本实用新型旋套式直线驱动,安装时角度自由,波纹管密封效果好,达到放出气体少的要求,波纹管压缩和伸展配合直线驱动自由,手动控制直线驱动,位置控制精确。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空设备,特别是其配套的导入器。
背景技术
超高真空技术是新材料合成,材料的物理化学性质分析和宇宙开发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究,离不开对样品的传输和操纵,样品在传输和操纵过程中,由于真空设备要求的密封性高,操纵都需要在大气侧进行,很多情况样品需要按直线运动导入,而且在驱动时要保证真空设备与驱动导入器的密封性能,以保证真空环境,目前的直线导入装置精度有待提高,而且均是刚性部件,密封性能差。
发明内容
本实用新型的目的是克服上述不足问题,提供一种超高真空直线导入器,直线驱动顺畅、自由,密封性能优异,定位简单,密封性佳。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是:超高真空直线驱动器,涉及导入棒,外管一端装有固定螺母,固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接,推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接,可动法兰焊接波纹管,波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒,导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内,波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接,且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。
所述真空设备连接法兰中心孔内装有导入棒导向装置,导向装置为直线轴承或导向块等。
所述真空设备连接法兰由法兰板、轴套和外管连接套一体构成,轴套一端连接法兰板,另一端连接外管连接套,外管连接套端面带有波纹管连接槽。
所述可动法兰带有波纹管连接端,带有导入棒连接孔,与导入棒焊接固定,另一面为套体,套体内装有轴承与推动杆连接。
所述固定螺母端外管上套装有旋套,旋套与推动杆固定连接,外管上带有刻度。
本实用新型旋套式直线驱动,安装时角度自由,采用波纹管来实现密封,密封效果好,达到放出气体少的要求,而且波纹管压缩和伸展配合直线驱动自由,导入棒由导向装置导向,使得直线驱动顺畅,手动控制直线驱动,位置控制精确,和真空接触的部件,全部采用不锈钢和无氧铜,有利于维持超高真空,可耐高温烘烤,便于系统到达超高真空。本实用新型是实现超高真空环境中样品精确直线驱动的重要设备。
附图说明:
图1是本实用新型结构示意图。
图2是本实用新型固定法兰结构示意图。
图3是本实用新型真空设备连接法兰结构示意图。
图4是本实用新型可动法兰结构示意图。
图5是本实用新型可动法兰与导入棒连接示意图。
图中:1波纹管;2轴承;3推动杆;4固定螺母;5旋套;6可动法兰;7外管;8固定法兰;9直线轴承;10真空设备连接法兰;11导入棒;12法兰盘;13轴套;14外管连接套。
具体实施方式:
如图1所示的超高真空直线导入器,涉及导入棒,外管7一端装有固定螺母4,固定螺母与带有外螺纹的推动杆3螺纹连接,推动杆3另一端通过轴承2与可动法兰6套体连接,可动法兰6套体背面为波纹管连接端焊接波纹管1,波纹管1内侧的可动法兰焊接导入棒11,导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰10中心孔内,中心孔内装有直线轴承9,作为导入棒的导向装置,使直线运动更加顺畅,导向装置也可以采用导向块等,真空设备连接法兰10由法兰盘12、轴套13和外管连接套14一体构成,轴套一端连接法兰盘,另一端连接外管连接套,外管连接套端面带有波纹管连接槽,波纹管1另一端与真空设备连接法兰波纹管连接槽焊接,真空设备连接法兰10固定在外管7的另一端。固定螺母端外管外套装有旋套5,旋套5与推动杆3固定连接,外管上带有刻度,根据旋套的位置确定行程。
使用时,向右旋转旋套,推动杆随旋套旋转向前运动,通过可动法兰压缩波纹管,同时驱动可动法兰固定的导入棒运动,使导入棒向前推进;反之向左旋转旋套,推动杆向后运动,驱动可动法兰4向后运动,波纹管的弹力作用伸展,同时导入棒向后运动,使导入棒向后退回。
Claims (5)
1、超高真空直线导入器,涉及导入棒,其特征是:外管一端装有固定螺母,固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接,推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接,可动法兰焊接波纹管,波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒,导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内,波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接,且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。
2、根据权利要求1所述的超高真空直线导入器,其特征是:真空设备连接法兰中心孔内装有导入棒导向装置,导向装置为直线轴承或导向块。
3、根据权利要求1或2所述的超高真空直线导入器,其特征是:真空设备连接法兰由法兰盘、轴套和外管连接套一体构成,轴套一端连接法兰盘,另一端连接外管连接套,外管连接套端面带有波纹管连接槽。
4、根据权利要求1或2所述的超高真空直线导入器,其特征是:可动法兰带有波纹管连接端带有导入棒连接孔,与导入棒焊接固定,另一面为套体,套体内装有轴承与推动杆连接。
5、根据权利要求1或2所述的超高真空直线导入器,其特征是:固定螺母端外管上套装有旋套,旋套与推动杆固定连接,外管上带有刻度。
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