CN201354835Y - Z轴中空直线驱动器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及真空设备。Z轴中空直线驱动器，上法兰与下法兰焊接波纹管，上法兰一体连接外管，外管滑动套装内管，内管底部固定连接下法兰。本实用新型Z轴中空直线驱动器是实现超高真空环境中样品精确直线驱动和外部信号导入超高真空的重要手段。采用焊接波纹管及上下法兰来实现真空密封，达到放出气体少的要求，法兰与内管、外管连接并由其驱动直线运动，运动顺畅，螺纹连接驱动直线驱动位置控制精确，中空构造可向超高真空中导入各种要素，比如电流和气体等，法兰采用金属刀口法兰，适合超高真空密封，与真空连接部件采用金属部件，可耐高温烘烤。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空设备，特别是真空设备驱动器。
背景技术
超高真空技术是新材料合成，材料的物理化学性质分析和宇宙开发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究，离不开对样品的传输和操纵，将外部信号导入真空环境中，密封性能要求严格，同时要保证驱动顺畅自如，目前的真空驱动设备难以同时满足要求。
发明内容
本实用新型的目的是克服上述不足问题，提供一种Z轴中空直线驱动器，结构简单，运行顺畅，且密封性能佳。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：Z轴中空直线驱动器，上法兰与下法兰焊接波纹管，上法兰一体连接外管，外管滑动套装内管，内管底部固定连接下法兰。
所述外管和内管之间装有导向装置，导向装置为直线轴承或导向块等。
所述上下法兰之间装有导向杆。
所述内管端头固定装有螺母，外管端头装有轴承座，轴承座内装有轴承，轴承内圈固定安装螺杆，螺杆与螺母螺纹连接。
所述螺杆端头固定装有旋钮。
本实用新型Z轴中空直线驱动器是实现超高真空环境中样品精确直线驱动和外部信号导入超高真空的重要手段。采用焊接波纹管及上下法兰来实现真空密封，达到放出气体少的要求，法兰与内管、外管连接并由其驱动直线运动，运动顺畅，螺纹连接驱动直线驱动位置控制精确，中空构造可向超高真空中导入各种要素，比如电流和气体等，法兰采用金属刀口法兰，适合超高真空密封，与真空连接部件采用金属部件，可耐高温烘烤。
附图说明
图1为本实用新型外观结构示意图。
图2为本实用新型结构示意图。
图中：1旋钮；2外管；3上法兰；4内管；5导向杆；6下法兰；7波纹管；8螺杆；9螺母；10导向装置；11螺钉。
具体实施方式
如图1、2所示的Z轴中空直线驱动器，上法兰3和下法兰6均为金属刀口法兰，上法兰与下法兰焊接波纹管7，上法兰一体连接外管2，外管滑动套装内管4，外管和内管之间装有导向装置10，导向装置为直线轴承或导向块等，内管端头通过螺钉11固定装有螺母9，外管端头装有轴承座，轴承座内装有轴承12，轴承内圈固定安装螺杆8，螺杆与螺母螺纹连接，螺杆端头装有旋钮1，旋钮置于外管端头外，旋转旋钮，螺杆旋转，驱动外管做直线运动，内管底部固定连接下法兰，上法兰与下法兰之间装有导向杆5。
使用时下部法兰盘和超高真空腔体连接，上部法兰盘和各种导入要素连接。转动旋钮，使得螺杆旋转，螺杆的旋转驱动外管相对内管直线运动，直线轴承的运动顺畅，波纹管受驱动压缩或伸展，使得安装在上部法兰盘上的各种导入要素直线运动。
Claims (6)
1、Z轴中空直线驱动器，其特征是：上法兰与下法兰焊接波纹管，上法兰一体连接外管，外管滑动套装内管，内管底部固定连接下法兰。
2、根据权利要求1所述的Z轴中空直线驱动器，其特征是：外管和内管之间装有导向装置。
3、根据权利要求2所述的Z轴中空直线驱动器，其特征是：导向装置为直线轴承或导向块。
4、根据权利要求1-3任一所述的Z轴中空直线驱动器，其特征是：上法兰和下法兰之间装有导向杆。
5、根据权利要求1-3任一所述的Z轴中空直线驱动器，其特征是：内管端头固定装有螺母，外管端头装有轴承座，轴承座内装有轴承，轴承内圈固定安装螺杆，螺杆与螺母螺纹连接。
6、根据权利要求5所述的Z轴中空直线驱动器，其特征是：螺杆端头固定装有旋钮。
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| CNU2009200110345U CN201354835Y (zh) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | Z轴中空直线驱动器 |
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| CNU2009200110345U CN201354835Y (zh) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | Z轴中空直线驱动器 |
Publications (1)
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| CN201354835Y true CN201354835Y (zh) | 2009-12-02 |
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| CNU2009200110345U Expired - Fee Related CN201354835Y (zh) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | Z轴中空直线驱动器 |
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| CN (1) | CN201354835Y (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102464278A (zh) * | 2010-10-29 | 2012-05-23 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种直线驱动装置及应用该装置的半导体处理设备 |
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2009
- 2009-02-27 CN CNU2009200110345U patent/CN201354835Y/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20091202 Termination date: 20180227 |