CN221115618U - 一款晶圆自动输送机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一款晶圆自动输送机构，包括底座，所述底座连接输送装置，所述底座连接张紧装置，所述底座连接检测装置，所述检测装置包括固定架、移动板和红外传感器；所述输送装置包括固定板、转动电机、第一滚柱、第三滚柱和第二滚柱，所述第二滚柱、第一滚柱以及第三滚柱连接皮带。本实用新型通过转动电机使皮带转动，实现晶圆的输送，通过使用两个皮带减小晶圆与皮带的接触面积，减小了晶圆与皮带的摩擦造成的影响，通过红外传感器检测晶圆开启转动电机进行输送，实现全自动化输送，大大节省了时间，减少了人力的消耗，避免了破片，还通过气压缸调节皮带的松紧程度，且通过弹簧使第三滚柱有缓冲作用，避免了皮带过紧导致皮带断裂。

Description

一款晶圆自动输送机构

技术领域

本实用新型主要涉及晶圆输送技术领域，具体涉及一款晶圆自动输送机构。

背景技术

晶圆片，是指先将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片成为晶圆片。晶圆片可以用来加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆片在生产线上需要经过数百条工序。因此，在两处工序相交的地方，常常需要将晶圆片的位置进行转移；

目前，在生产中，将晶圆片从一处工序转移到另一处工序中时，大多采用人工戴上专门的防磨损手套，一片一片转移，该种方法耗费人力，耗时较长，且效率低下，并且容易破片。

实用新型内容

本实用新型主要提供了一款晶圆自动输送机构用以解决上述背景技术中提出的技术问题。

本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：一款晶圆自动输送机构，包括底座，所述底座顶部连接输送装置，所述底座顶部连接张紧装置，所述底座顶部一侧连接检测装置，所述检测装置包括连接于所述底座顶部一侧的固定架，连接于所述固定架一侧的移动板和连接于所述移动板底部一侧的红外传感器；

所述输送装置包括连接于所述底座顶部两侧的固定板，连接于所述固定板一侧的转动电机，连接于所述转动电机驱动端的第一滚柱，转动连接于所述固定板底部的第三滚柱和转动连接于所述固定板一侧的第二滚柱，所述第二滚柱、第一滚柱以及第三滚柱两侧外壁连接皮带。

进一步的，所述输送装置还包括转动连接于所述固定板两侧的第四滚柱，两个所述固定板之间设有连接杆。

进一步的，所述固定板顶部一侧设有硅胶挡块。

进一步的，所述第一滚柱、第二滚柱、第三滚柱以及第四滚柱两侧设有现有限位槽，所述限位槽连接皮带。

进一步的，所述固定架顶部设有楔形加强筋。

进一步的，所述张紧装置包括连接于所述底座顶部的气压缸，连接于所述气压缸顶部的伸缩件和套设连接于所述伸缩件外壁的弹簧，所述伸缩件顶部连接套筒，所述套筒套设连接第三滚柱。

进一步的，所述第三滚柱两侧设有滑块；

所述固定板设有滑槽，所述滑槽的槽体与滑块滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

其一，本实用新型通过转动电机带动第一滚柱转动，从而使皮带转动，进而带动第二滚柱、第三滚柱以及第四滚柱转动，实现晶圆的输送，通过使用两个皮带使之间部分悬空，能够减小晶圆与皮带的接触面积，从而减小了由于晶圆与皮带的摩擦造成的影响，并且通过红外传感器检测晶圆是否放置，从而是否开启转动电机进行输送，实现全自动化输送，大大节省了时间，减少了人力的消耗，避免了破片的可能，且提高了工作效率；

其二，本实用新型通过气压缸调节皮带的松紧程度，且通过弹簧使第三滚柱有缓冲作用，避免了皮带过紧导致皮带断裂。

以下将结合附图与具体的实施例对本实用新型进行详细的解释说明。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为图1中A处放大图；

图3为本实用新型输送装置的剖视图；

图4为本实用新型部分装置的结构示意图。

图中：10、底座；20、输送装置；21、固定板；211、连接杆；212、滑槽；213、硅胶挡块；22、转动电机；23、第一滚柱；24、第二滚柱；25、第四滚柱；26、第三滚柱；261、滑块；27、皮带；28、限位槽；30、检测装置；31、移动板；32、红外传感器；33、固定架；34、楔形加强筋；40、张紧装置；41、气压缸；42、伸缩件；43、弹簧；44、套筒。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更加全面的描述，附图中给出了本实用新型的若干实施例，但是本实用新型可以通过不同的形式来实现，并不限于文本所描述的实施例，相反的，提供这些实施例是为了使对本实用新型公开的内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上也可以存在居中的元件，当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件，本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同，本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型，本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

实施例，请参照附图1-4，一款晶圆自动输送机构，包括底座10，所述底座10顶部连接输送装置20，所述底座10顶部连接张紧装置40，所述底座10顶部一侧连接检测装置30，所述检测装置30包括连接于所述底座10顶部一侧的固定架33，连接于所述固定架33一侧的移动板31和连接于所述移动板31底部一侧的红外传感器32；

所述输送装置20包括连接于所述底座10顶部两侧的固定板21，连接于所述固定板21一侧的转动电机22，连接于所述转动电机22驱动端的第一滚柱23，转动连接于所述固定板21底部的第三滚柱26和转动连接于所述固定板21一侧的第二滚柱24，所述第二滚柱24、第一滚柱23以及第三滚柱26两侧外壁连接皮带27。

需要说明的是，在实施例中，所述转动电机22带动第一滚柱23转动，从而带动所述皮带27转动，进而带动所述第二滚柱24以及第三滚柱26转动，实现输送效果，且两个所述皮带27能够减小与晶圆的接触面积；

进一步的，所述红外传感器32用于检测是否有晶圆放置于皮带27上，若检测有晶圆，则自动启动所述转动电机22开始转动。

实施例，请参照附图3，所述输送装置20还包括转动连接于所述固定板21两侧的第四滚柱25，两个所述固定板21之间设有连接杆211。

需要说明的是，在实施例中，所述连接杆211用于加强固定板21之间的连接，所述第四滚柱25用于提高皮带27的张紧程度。

实施例，请参照附图3，所述固定板21顶部一侧设有硅胶挡块213。

需要说明的是，在实施例中，所述硅胶挡块213用于挡住输送的晶圆，防止夹取不及时导致晶圆掉落。

实施例，请参照附图3，所述第一滚柱23、第二滚柱24、第三滚柱26以及第四滚柱25两侧设有现有限位槽28，所述限位槽28连接皮带27。

需要说明的是，在实施例中，所述限位槽28能够限制皮带27的位置，避免所述皮带27在转动过程中偏移位置。

实施例，请参照附图4，所述固定架33顶部设有楔形加强筋34。

需要说明的是，在实施例中，所述楔形加强筋34能够加强固定架33的承重能力。

实施例，请参照附图3-4，所述张紧装置40包括连接于所述底座10顶部的气压缸41，连接于所述气压缸41顶部的伸缩件42和套设连接于所述伸缩件42外壁的弹簧43，所述伸缩件42顶部连接套筒44，所述套筒44套设连接第三滚柱26。

需要说明的是，在实施例中，所述弹簧43能够使第三滚柱26有缓冲能力，避免所述皮带27过紧导致皮带27断裂，所述气压缸41带动第三滚柱26移动，从而调节所述皮带27的松紧程度。

实施例，请参照附图2-3，所述第三滚柱26两侧设有滑块261；

所述固定板21设有滑槽212，所述滑槽212的槽体与滑块261滑动连接。

需要说明的是，在实施例中，所述滑槽212能够限制滑块261移动的范围。

本实用新型的具体操作方式如下：

本实用新型首先通过气压缸41移动第三滚柱26，从而调节皮带27的松紧程度，然后将晶圆放置于传送带上，红外传感器32检测到有晶圆在皮带27上，则自动启动转动电机22开始转动，转动电机22带动第一滚柱23转动，从而带动皮带27转动，进而带动第二滚柱24、第三滚柱26以及第四滚柱25转动，实现输送效果，且两个皮带27能够减小与晶圆的接触面积，当红外传感器32在一定时间内未检测到晶圆，则转动电机22停止转动。

上述结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的这种非实质改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其他场合的，均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一款晶圆自动输送机构，包括底座(10)，其特征在于：所述底座(10)顶部连接输送装置(20)，所述底座(10)顶部连接张紧装置(40)，所述底座(10)顶部一侧连接检测装置(30)，所述检测装置(30)包括连接于所述底座(10)顶部一侧的固定架(33)，连接于所述固定架(33)一侧的移动板(31)和连接于所述移动板(31)底部一侧的红外传感器(32)；

所述输送装置(20)包括连接于所述底座(10)顶部两侧的固定板(21)，连接于所述固定板(21)一侧的转动电机(22)，连接于所述转动电机(22)驱动端的第一滚柱(23)，转动连接于所述固定板(21)底部的第三滚柱(26)和转动连接于所述固定板(21)一侧的第二滚柱(24)，所述第二滚柱(24)、第一滚柱(23)以及第三滚柱(26)两侧外壁连接皮带(27)。

2.根据权利要求1所述的一款晶圆自动输送机构，其特征在于：所述输送装置(20)还包括转动连接于所述固定板(21)两侧的第四滚柱(25)，两个所述固定板(21)之间设有连接杆(211)。

3.根据权利要求1所述的一款晶圆自动输送机构，其特征在于：所述固定板(21)顶部一侧设有硅胶挡块(213)。

4.根据权利要求2所述的一款晶圆自动输送机构，其特征在于：所述第一滚柱(23)、第二滚柱(24)、第三滚柱(26)以及第四滚柱(25)两侧设有现有限位槽(28)，所述限位槽(28)连接皮带(27)。

5.根据权利要求1所述的一款晶圆自动输送机构，其特征在于：所述固定架(33)顶部设有楔形加强筋(34)。

6.根据权利要求4所述的一款晶圆自动输送机构，其特征在于：所述张紧装置(40)包括连接于所述底座(10)顶部的气压缸(41)，连接于所述气压缸(41)顶部的伸缩件(42)和套设连接于所述伸缩件(42)外壁的弹簧(43)，所述伸缩件(42)顶部连接套筒(44)，所述套筒(44)套设连接第三滚柱(26)。

7.根据权利要求2所述的一款晶圆自动输送机构，其特征在于：所述第三滚柱(26)两侧设有滑块(261)；

所述固定板(21)设有滑槽(212)，所述滑槽(212)的槽体与滑块(261)滑动连接。