CN221088556U - 一种半导体用石英环快速抛光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体用石英环快速抛光装置，涉及抛光装置技术领域。包括底座，所述底座顶部的两端中间固定连接有支架，所述支架的顶部设置有抛光组件。本实用新型通过启动自锁电机带动转轴转动，转轴带动第一带轮转动，第一带轮借助传动带带动第二带轮、单向轴承、往复丝杆转动的同时，往复丝杆带动升降板沿着升降口进行上移，同步的，升降板带动抛光座上的半导体用石英环借助连接板沿着滑杆进行同步上移，当升降板、连接板上升至抛光位置时，控制自锁电机反向旋转，此时单向轴承停止带动往复丝杆转动，并利用转轴带动抛光板转动完成对抛光座上的半导体用石英环的抛光作业，耗能设备较少，降低了装置的使用成本。

Description

一种半导体用石英环快速抛光装置

技术领域

本实用新型涉及抛光装置技术领域，具体为一种半导体用石英环快速抛光装置。

背景技术

半导体用石英环快速抛光装置是一种用于半导体制造中的石英环表面抛光的设备，其主要用途是在半导体加工过程中对石英环进行表面抛光，以提高石英环的表面质量和光洁度。现有的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置(公开号：CN216098223U)在使用中至少暴露出以下缺陷：

由于该装置在使用时，需要借助花键气缸、主轴减速电机、花键减速电机等多个耗能设备，提高了装置的使用成本。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种半导体用石英环快速抛光装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种半导体用石英环快速抛光装置，包括底座，所述底座顶部的两端中间固定连接有支架，所述支架的顶部设置有抛光组件，所述支架两端的底部开设有升降口，所述支架两端的顶部开设有安装口，所述抛光组件包括自锁电机，所述自锁电机和支架的顶部中心相固定，所述自锁电机的输出端贯穿支架且固定连接有转轴，所述转轴的底部固定连接有抛光板，所述转轴外壁的顶部固定连接有第一带轮，所述安装口的内部设置有第二带轮，所述第一带轮、第二带轮之间传动连接有传动带，所述第二带轮的内部固定连接有单向轴承，所述单向轴承的内部固定连接有往复丝杆，所述往复丝杆的外壁设置有升降组件。

优选的，所述往复丝杆的底部贯穿支架且和底座转动连接，所述往复丝杆设置在升降口的内部。

优选的，所述升降组件包括升降板，所述升降板和往复丝杆的外壁螺纹连接，所述升降板设置在升降口的内部且和升降口滑动连接。

优选的，所述升降板的第一端固定连接有抛光座，所述抛光座设置在抛光板的底部。

优选的，所述抛光座的第一端固定连接有连接板，所述连接板的第一端贯穿且滑动连接有滑杆。

优选的，所述滑杆设置在升降口的内部，所述滑杆的顶部和支架相固定，所述滑杆的底部和底座相固定。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型通过启动自锁电机带动转轴转动，转轴带动第一带轮转动，第一带轮借助传动带带动第二带轮、单向轴承、往复丝杆转动的同时，往复丝杆带动升降板沿着升降口进行上移，同步的，升降板带动抛光座上的半导体用石英环借助连接板沿着滑杆进行同步上移，当升降板、连接板上升至抛光位置时，控制自锁电机反向旋转，此时单向轴承停止带动往复丝杆转动，并利用转轴带动抛光板转动完成对抛光座上的半导体用石英环的抛光作业，耗能设备较少，降低了装置的使用成本。

附图说明

图1为本实用新型的左视图；

图2为本实用新型的部分仰视图；

图3为本实用新型的抛光组件仰视图；

图4为本实用新型的升降组件轴视图。

图中：1、底座；2、支架；3、抛光组件；301、自锁电机；302、转轴；303、抛光板；304、第一带轮；305、第二带轮；306、传动带；307、单向轴承；308、往复丝杆；4、升降组件；401、升降板；402、抛光座；403、连接板；404、滑杆；5、升降口；6、安装口。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在对半导体用石英环进行抛光的过程中，需要使用到抛光装置，本实用新型提供的一种半导体用石英环快速抛光装置，专门用于半导体用石英环的抛光作业。

实施例

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：

一种半导体用石英环快速抛光装置，包括底座1，底座1顶部的两端中间固定连接有支架2，支架2的顶部设置有抛光组件3，支架2两端的底部开设有升降口5，支架2两端的顶部开设有安装口6，抛光组件3包括自锁电机301，自锁电机301和支架2的顶部中心相固定，自锁电机301的输出端贯穿支架2且固定连接有转轴302，转轴302的底部固定连接有抛光板303，转轴302外壁的顶部固定连接有第一带轮304，安装口6的内部设置有第二带轮305，第一带轮304、第二带轮305之间传动连接有传动带306，第二带轮305的内部固定连接有单向轴承307，单向轴承307的内部固定连接有往复丝杆308，往复丝杆308的外壁设置有升降组件4，往复丝杆308的底部贯穿支架2且和底座1转动连接，往复丝杆308设置在升降口5的内部。

本实施例中，当需要对半导体用石英环进行抛光时，通过启动自锁电机301带动转轴302转动，转轴302带动抛光板303完成对半导体用石英环的抛光作业。

其中参考图4可知，在本申请中，升降组件4包括升降板401，升降板401和往复丝杆308的外壁螺纹连接，升降板401设置在升降口5的内部且和升降口5滑动连接，升降板401的第一端固定连接有抛光座402，抛光座402设置在抛光板303的底部，抛光座402的第一端固定连接有连接板403，连接板403的第一端贯穿且滑动连接有滑杆404，滑杆404设置在升降口5的内部，滑杆404的顶部和支架2相固定，滑杆404的底部和底座1相固定。

本实施例中，当需要对半导体用石英环进行升降时，通过转轴302带动第一带轮304转动，第一带轮304借助传动带306带动第二带轮305转动，第二带轮305带动单向轴承307转动，单向轴承307带动往复丝杆308转动的同时，往复丝杆308带动升降板401沿着升降口5进行上移，同步的，升降板401带动抛光座402上的半导体用石英环借助连接板403沿着滑杆404进行同步上移。

需要说明的是，本实用新型作为一种半导体用石英环快速抛光装置，在使用时，首先将待抛光的半导体用石英环放置到抛光座402的内部，然后启动自锁电机301带动转轴302转动，转轴302带动第一带轮304转动，第一带轮304借助传动带306带动第二带轮305转动，第二带轮305带动单向轴承307转动，单向轴承307带动往复丝杆308转动的同时，往复丝杆308带动升降板401沿着升降口5进行上移，同步的，升降板401带动抛光座402上的半导体用石英环借助连接板403沿着滑杆404进行同步上移，当升降板401、连接板403上升至接触抛光板303的抛光位置时，控制自锁电机301反向旋转，此时单向轴承307停止带动往复丝杆308转动，并利用转轴302带动抛光板303转动完成对抛光座402上的半导体用石英环的抛光作业(其中，需要强调的是，单向轴承307是一种特殊类型的轴承，也被称为单向离合器。它具有在一个方向上传递力的功能，而在反方向上则能够自由旋转，不会传递力或阻尼)。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种半导体用石英环快速抛光装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部的两端中间固定连接有支架(2)，所述支架(2)的顶部设置有抛光组件(3)，所述支架(2)两端的底部开设有升降口(5)，所述支架(2)两端的顶部开设有安装口(6)，所述抛光组件(3)包括自锁电机(301)，所述自锁电机(301)和支架(2)的顶部中心相固定，所述自锁电机(301)的输出端贯穿支架(2)且固定连接有转轴(302)，所述转轴(302)的底部固定连接有抛光板(303)，所述转轴(302)外壁的顶部固定连接有第一带轮(304)，所述安装口(6)的内部设置有第二带轮(305)，所述第一带轮(304)、第二带轮(305)之间传动连接有传动带(306)，所述第二带轮(305)的内部固定连接有单向轴承(307)，所述单向轴承(307)的内部固定连接有往复丝杆(308)，所述往复丝杆(308)的外壁设置有升降组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体用石英环快速抛光装置，其特征在于：所述往复丝杆(308)的底部贯穿支架(2)且和底座(1)转动连接，所述往复丝杆(308)设置在升降口(5)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体用石英环快速抛光装置，其特征在于：所述升降组件(4)包括升降板(401)，所述升降板(401)和往复丝杆(308)的外壁螺纹连接，所述升降板(401)设置在升降口(5)的内部且和升降口(5)滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体用石英环快速抛光装置，其特征在于：所述升降板(401)的第一端固定连接有抛光座(402)，所述抛光座(402)设置在抛光板(303)的底部。

5.根据权利要求4所述的一种半导体用石英环快速抛光装置，其特征在于：所述抛光座(402)的第一端固定连接有连接板(403)，所述连接板(403)的第一端贯穿且滑动连接有滑杆(404)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体用石英环快速抛光装置，其特征在于：所述滑杆(404)设置在升降口(5)的内部，所述滑杆(404)的顶部和支架(2)相固定，所述滑杆(404)的底部和底座(1)相固定。