CN212505052U - 一种实现自动翻面的行星样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开了一种实现自动翻面的行星样品台，其技术方案要点是包括支架，支架内设置有加热区域，加热区域包括中心转轴和若干个加热部，中心转轴两端分别开设有U型槽，将基片放置在加热部上，通过加热盘对基片进行加热，并且通过第一升降组件可以调整加热区域与加热盘之间的距离，进而控制加热温度，通过第二升降组件带动旋转轴的上下移动，使得U型块与U型槽相嵌或脱离，在旋转组件的带动下，使得中心转轴的转动，无需将电机设置在加热区域，即可实现加热部的周向移动，并且通过翻转机构，可以实现加热区域的翻转，使得对基片的加热更加的均匀，又避免了对于基片双面镀膜情况下，需要停止镀膜的问题。

Description

一种实现自动翻面的行星样品台

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，更具体的说是涉及一种实现自动翻面的行星样品台。

背景技术

镀膜设备中，薄膜均匀性取决于蒸发源的蒸发特性、基片的几何形状、基片与蒸发源的相对位置等因素。常采用基片和蒸发源相对运动的原理，基片旋转是最实用化的获得均匀薄膜的方法，但对于基片双面镀膜，如果采用先停止镀膜，然后更换所镀的表面的方法，会改变蒸发源的温度，并且需要人工对基片进行翻面，翻面后可能会改变与原先的固定位置，导致再次镀膜时，基片镀膜的时的状态被改变，因此很难保证基片两个表面膜层的均匀性和对称性。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种实现自动翻面的行星样品台，用于克服现有技术中的上述缺陷。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种实现自动翻面的行星样品台，包括支架，所述支架内设置有加热区域，所述加热区域包括中心转轴和若干个加热部，所述中心转轴两端分别开设有U型槽，所述支架顶部开设有通孔，所述通孔内固定连接有外升降管，所述外升降管朝向所述加热区域的一端固定连接有加热盘，所述外升降管内上下滑动连接有内升降管，所述内升降管向下延伸出所述外升降管，并且固定连接有加热盘，用以对基片加热，所述加热盘上开设有圆孔，所述圆孔与所述内升降管连通，所述内升降管内转动连接有旋转轴，所述旋转轴靠近所述加热盘的一端设置有缓冲部，所述缓冲部包括驱动头，所述驱动头底部固定连接有U型块，所述U型块与所述U型槽相适配，所述外升降管外侧设置有台架，所述台架上设置有第一升降组件，所述第一升降组件用以带动所述外升降管升降，所述第一升降组件包括第一升降板，所述第一升降板与所述外升降管远离所述加热盘的一端固定连接，所述第一升降板上设置有第二升降组件，所述第二升降组件用以带动所述旋转轴升降，所述第二升降组件包括第二升降板，所述第二升降板上设置有旋转组件，所述旋转组件用以带动所述旋转轴转动，以使所述加热部移动，所述台架上设置有翻转组件，以使所述加热区域翻转。

作为本实用新型的进一步改进，所述加热部绕所述中心转轴圆周运动。

作为本实用新型的进一步改进，所述加热部包括第一齿环，所述中心转轴上固定连接有第一齿轮，所述第一齿环均与所述第一齿轮外圈啮合，所述加热区域还包括两个固定环、旋转块和第二齿环，所述支架相对的两侧分别转动连接有所述旋转块，所述固定环固定连接在两个所述旋转块之间，所述第二齿环固定连接在两个所述固定环之间，所述第一齿环外圈均与所述第二齿环内圈啮合，所述中心转轴与所述固定环转动连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一升降板与所述台架之间固定连接有第一波纹管，所述第一升降板与所述第二升降板之间固定连接有第二波纹管，所述外升降管位于所述第一波纹管内，所述第一波纹管与所述第二波纹管之间连通，所述旋转轴向上延伸出所述第二波纹管。

作为本实用新型的进一步改进，所述旋转组件包括旋转电机，所述第二升降板上固定连接有空心轴磁流体密封装置，所述空心轴磁流体密封装置顶部固定连接有安装板，所述旋转电机固定连接在所述安装板上，所述旋转轴向上延伸出所述安装板，所述旋转轴与所述旋转电机输出轴之间设置有皮带传动机构。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一升降组件包括第一平板和第一升降电机，所述第一平板与所述台架之间固定连接有两根第一竖杆，所述第一平板与所述台架之间转动连接有第一螺纹杆，所述第一升降板与所述第一竖杆滑动连接，并与所述第一螺纹杆螺纹连接，所述第一升降电机固定连接在所述台架上，所述台架上设置有齿轮组，所述第一升降电机通过所述齿轮组带动所述第一螺纹杆转动。

作为本实用新型的进一步改进，所述齿轮组包括传动齿轮和框架，所述第一升降电机输出轴上固定连接有传动齿轮，所述框架与所述台架之间转动连接有动力杆，所述动力杆上固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮与所述传动齿轮啮合，所述第一螺纹杆上固定连接有第三齿轮，所述第二齿轮与所述第三齿轮啮合。

作为本实用新型的进一步改进，所述第二升降组件包括第二升降电机，所述第二升降板上方设置有第二平板，所述第二平板与所述第一升降板之间固定连接有两根第二竖杆，所述第二平板上转动连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆向下延伸贯穿所述第一升降板，并与所述第二升降板转动连接，所述第二升降板与所述第二竖杆滑动连接，并与所述第二螺纹杆螺纹连接，所述第二升降电机固定连接在所述第一升降板上，所述第二升降电机输出端固定连接有第四齿轮，所述第二螺纹杆上固定连接有第五齿轮，所述第四齿轮与所述第五齿轮啮合。

作为本实用新型的进一步改进，所述翻转组件包括设置在所述台架上方的法兰，所述法兰与所述台架之间固定连接有固定管，所述固定管向下延伸贯穿所述台架，所述固定管内设置有轴套，所述法兰上固定连接有实心轴磁流体密封装置，所述轴套与所述实心轴磁流体密封装置的轴一端固定连接，所述实心轴磁流体密封装置的轴另一端固定连接有连接齿轮，所述法兰上固定连接有翻转电机，所述翻转电机输出轴固定连接有动力齿轮，所述动力齿轮与所述连接齿轮啮合，所述轴套外侧开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述轴套内上下滑动连接有驱动轴，所述驱动轴与所述滑块固定连接，所述驱动轴向下延伸出所述轴套，所述驱动轴延伸出所述轴套的一端固定连接有第一锥齿轮，所述支架上转动连接有传动杆，所述传动杆的一端固定连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合，所述传动杆的另一端固定连接有第三锥齿轮，其中一个所述旋转块上固定连接有第四锥齿轮，所述支架上转动连接有连接杆，所述连接杆的两端分别固定连接有第五锥齿轮，所述第四锥齿轮与其中一个所述第五锥齿轮啮合，另一个所述第五锥齿轮与所述第三锥齿轮啮合。

作为本实用新型的进一步改进，所述缓冲部包括开设在所述驱动头外侧面的定位槽，所述定位槽内滑动连接有定位块，所述定位块与所述旋转轴固定连接，所述旋转轴与所述U型块之间固定连接有压缩弹簧。

本实用新型的有益效果：本实用新型将基片放置在加热部上，通过加热盘对基片进行加热，并且通过第一升降组件可以调整加热区域与加热盘之间的距离，进而控制加热温度，通过第二升降组件带动旋转轴的上下移动，使得U型块与U型槽相嵌或脱离，在旋转组件的带动下，使得中心转轴的转动，无需将电机设置在加热区域，即可实现加热部的周向移动，并且通过翻转机构，可以实现加热区域的翻转，使得对基片的加热更加的均匀，便于电线的排布和设置，克服了在实现加热部绕中心转轴转动，并翻面两个功能时，需要将带动中心转轴转动的电机设置在加热区域的问题，又避免了对于基片双面镀膜情况下，需要停止镀膜的问题。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是本实用新型另一个角度的立体结构示意图；

图3是本实用新型的剖视图；

图4是本实用新型的主视图；

图5是本实用新型中第一升降电机处的内部结构示意图；

图6是本实用新型图3中A处的放大结构示意图；

图7是本实用新型加热盘处的仰视图；

图8是本实用新型图3中B处的放大结构示意图；

图9是本实用新型图3中C处的放大结构示意图。

附图标记：1、支架；11、加热区域；111、固定环；112、旋转块；113、第二齿环；12、中心转轴；121、U型槽；122、第一齿轮；13、加热部；131、第一齿环；14、通孔；15、第一波纹管；16、第二波纹管；2、外升降管；21、内升降管；22、旋转轴；23、台架；3、加热盘；31、圆孔；4、缓冲部；41、驱动头；42、U型块；43、定位槽；44、定位块；45、压缩弹簧；5、第一升降组件；51、第一升降板；52、第一升降电机；53、第一竖杆；54、第一螺纹杆；55、齿轮组；551、传动齿轮；552、框架；553、动力杆；554、第二齿轮；555、第三齿轮；56、第一平板；6、第二升降组件；61、第二升降板；62、第二升降电机；63、第二平板；64、第二竖杆；65、第二螺纹杆；66、第四齿轮；67、第五齿轮；7、旋转组件；71、旋转电机；72、空心轴磁流体密封装置；73、安装板；74、皮带传动机构；8、翻转组件；81、法兰；82、固定管；83、轴套；831、滑槽；832、滑块；84、实心轴磁流体密封装置；85、连接齿轮；86、翻转电机；87、动力齿轮；88、驱动轴；89、第一锥齿轮；90、第二锥齿轮；91、第三锥齿轮；92、传动杆；93、第四锥齿轮；94、连接杆；95、第五锥齿轮。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。

参照图1至图9所示，本实施例的一种实现自动翻面的行星样品台，包括支架1，支架1内设置有加热区域11，加热区域11包括中心转轴12和若干个加热部13，将基片放置在加热部13上，中心转轴12两端分别开设有U型槽121，支架1顶部开设有通孔14，通孔14内固定连接有外升降管2，外升降管2内上下滑动连接有内升降管21，内升降管21向下延伸出外升降管2，并且固定连接有加热盘3，用以对基片加热，加热盘3上开设有圆孔31，圆孔31与内升降管21连通，以使旋转轴22能够伸出加热盘3，内升降管21内转动连接有旋转轴22，旋转轴22靠近加热盘3的一端设置有缓冲部4，缓冲部4使得当U型块42与U型槽121相接触时，起到一个缓冲的作用，防止U型块42与U型槽121相抵时的力过大，导致U型块42或者U型槽121损坏，缓冲部4包括驱动头41，驱动头41底部固定连接有U型块42，U型块42与U型槽121相适配，外升降管2外侧设置有台架23，台架23上设置有第一升降组件5，第一升降组件5用以带动外升降管2升降，外升降管2移动，使得台架23移动，改变了加热盘3与加热区域11之间的距离，第一升降组件5包括第一升降板51，第一升降板51的设置，使得在第一升降板51升降的过程中，第二升降组件6随着第一升降板51的升降而升降，避免了第一升降组件5与第二升降组件6和旋转组件7之间的脱离，第一升降板51与外升降管2远离加热盘3的一端固定连接，第一升降板51上设置有第二升降组件6，第二升降组件6用以带动旋转轴22升降，旋转轴22向下移动，以使U型块42与嵌入U型槽121内，第二升降组件6包括第二升降板61，第二升降板61的设置，使得第二升降板61在升降的过程中，旋转组件7会随着第二升降板61的升降而升降，以使旋转组件7能随时带动旋转轴22的转动，不会与旋转轴22脱离，第二升降板61上设置有旋转组件7，旋转组件7用以带动旋转轴22转动，以使加热部13移动，加热部13移动以使基片移动，基片绕着旋转轴22转动，使得基片受热均匀，保证基片层膜的均匀性，台架23上设置有翻转组件8，以使加热区域11翻转，翻转组件8可以改变加热盘3对基片加热的面，并且通过翻转组件8对加热区域11的翻转，在整个翻转过程中，基片在加热部13上的位置没有发生改变，从而确保了基片被加热后，两个表面膜层的均匀性和对称性。

参照图1、图2和图3所示，加热部13绕中心转轴12圆周运动。使得基片绕中心转轴12圆周运动。加热部13包括第一齿环131，中心转轴12上固定连接有第一齿轮122，第一齿环131均与第一齿轮122外圈啮合，加热区域11还包括两个固定环111、旋转块112和第二齿环113，支架1相对的两侧分别转动连接有旋转块112，固定环111固定连接在两个旋转块112之间，第二齿环113固定连接在两个固定环111之间，第一齿环131外圈均与第二齿环113内圈啮合，中心转轴12与固定环111转动连接，当U型块42嵌入U型槽121内后，旋转组件7带动旋转轴22转动，使得中心转轴12转动和第一齿轮122转动，第一齿轮122转动以使第一齿环131自转的同时，绕着中心转轴12转动，使得基片在加热部13上的固定位置未发生改变，并且使得基片受热均匀，使得基片层膜更加均匀。

参照图1、图2、图3和图4所示，第一升降板51与台架23之间固定连接有第一波纹管15，第一升降板51与第二升降板61之间固定连接有第二波纹管16，外升降管2位于第一波纹管15内，第一波纹管15与第二波纹管16之间连通，旋转轴22向上延伸出第二波纹管16。第一波纹管15和第二波纹管16的设置，可以保护第一波纹管15和第二波纹管16内的零部件。

参照图1、图2、图3和图4所示，旋转组件7包括旋转电机71，第二升降板61上固定连接有空心轴磁流体密封装置72，空心轴磁流体密封装置72与旋转轴22转动连接，磁流体密封装置的功能是把旋转运动传递到密封容器内，常用于真空密封，空心轴磁流体密封装置72顶部固定连接有安装板73，安装板73的设置便于固定旋转电机71，旋转电机71固定连接在安装板73上，旋转轴22向上延伸出安装板73，旋转轴22与旋转电机71输出轴之间设置有皮带传动机构74，皮带传动机构74包括两个皮带轮，旋转轴22和旋转电机71输出轴上各安装一个皮带轮，两个皮带轮之间传动连接有皮带，旋转组件7在随着旋转轴22上下移动的过程中，旋转组件7始终与旋转轴22连接，不会发生脱离情况，从而能够实现翻转组件8对基片进行翻面后，U型块42与U型槽121相抵后，旋转组件7仍能够带动中心转轴12转动。。

参照图1、图2、图3、图4和图5所示，第一升降组件5包括第一平板56和第一升降电机52，第一平板56上设置有弧形槽，便于第二升降板61的升降，防止第二升降板61与第一平板56发生碰撞，第一平板56与台架23之间固定连接有两根第一竖杆53，第一平板56与台架23之间转动连接有第一螺纹杆54，第一升降板51与第一竖杆53滑动连接，并与第一螺纹杆54螺纹连接，第一升降电机52固定连接在台架23上，台架23上设置有齿轮组55，齿轮组55的设置，为了减速，第一升降电机52通过齿轮组55带动第一螺纹杆54转动。齿轮组55包括传动齿轮551和框架552，第一升降电机52输出轴上固定连接有传动齿轮551，框架552与台架23之间转动连接有动力杆553，动力杆553上固定连接有第二齿轮554，第二齿轮554与传动齿轮551啮合，第一螺纹杆54上固定连接有第三齿轮555，第二齿轮554与第三齿轮555啮合，第一升降电机52通过传动齿轮551带动第二齿轮554转动，第二齿轮554通过第三齿轮555带动第一螺纹杆54的转动，使得第一升降板51升降，第一升降板51的升降带动外升降管2移动，并带动支架1移动，通过支架1的移动，来改变加热盘3与加热区域11之间的距离，使得加热区域11与翻转组件8之间的相对位置未发生改变，使得不管加热盘3的位置是否改变，翻转组件8均能带动基片翻面。

参照图1、图2、图3和图4所示，第二升降组件6包括第二升降电机62，第二升降板61上方设置有第二平板63，第二平板63与第一升降板51之间固定连接有两根第二竖杆64，第二平板63上转动连接有第二螺纹杆65，第二螺纹杆65向下延伸贯穿第一升降板51，并与第二升降板61转动连接，第二升降板61与第二竖杆64滑动连接，并与第二螺纹杆65螺纹连接，第二升降电机62固定连接在第一升降板51上，第二升降电机62输出端固定连接有第四齿轮66，第二螺纹杆65上固定连接有第五齿轮67，第四齿轮66与第五齿轮67啮合，第二升降电机62启动，带动第四齿轮66转动，第四齿轮66通过第五齿轮67带动第二螺纹杆65转动，使得第二升降板61升降，在第二升降板61升降的过程中，旋转组件7同时被带动升降，从而使得旋转轴22上下移动，旋转轴22上下移动的过程中，第二升降组件6和旋转组件7跟随着进行升降，从而能够实现U型块42通过两个U型槽121，均能使得中心转轴12的转动和停止转动。

参照图1、图2、图3、图4、图8和图9所示，翻转组件8包括设置在台架23上方的法兰81，法兰81与台架23之间固定连接有固定管82，固定管82向下延伸贯穿台架23，固定管82内设置有轴套83，法兰81上固定连接有实心轴磁流体密封装置84，轴套83与实心轴磁流体密封装置84的轴一端固定连接，实心轴磁流体密封装置84的轴另一端固定连接有连接齿轮85，法兰81上固定连接有翻转电机86，翻转电机86输出轴固定连接有动力齿轮87，动力齿轮87与连接齿轮85啮合，轴套83外侧开设有滑槽831，滑槽831内滑动连接有滑块832，滑槽831和滑块832的设置，使得当支架1进行上下移动的过程中，驱动轴88能在轴套83里上下滑动，轴套83内上下滑动连接有驱动轴88，驱动轴88与滑块832固定连接，驱动轴88向下延伸出轴套83，驱动轴88延伸出轴套83的一端固定连接有第一锥齿轮89，支架1上转动连接有传动杆92，传动杆92的一端固定连接有第二锥齿轮90，第二锥齿轮90与第一锥齿轮89啮合，传动杆92的另一端固定连接有第三锥齿轮91，其中一个旋转块112上固定连接有第四锥齿轮93，支架1上转动连接有连接杆94，连接杆94的两端分别固定连接有第五锥齿轮95，第四锥齿轮93与其中一个第五锥齿轮95啮合，另一个第五锥齿轮95与第三锥齿轮91啮合，翻转电机86启动带动动力齿轮87转动，动力齿轮87通过连接齿轮85带动实心轴磁流体密封装置84上的轴转动，使得轴套83转动，从而带动第一锥齿轮89转动，第一锥齿轮89通过第二锥齿轮90带动传动杆92转动，使得第三锥齿轮91转动，第三锥齿轮91通过第五锥齿轮95带动连接杆94转动，使得第四锥齿轮93转动，进而使旋转块112转动，对加热区域11进行翻转，使得翻转组件8能够在不改变基片在加热部13上的固定位置的前提上，对基片进行反面。

参照图6所示，缓冲部4包括开设在驱动头41外侧面的定位槽43，定位槽43内滑动连接有定位块44，定位块44与旋转轴22固定连接，旋转轴22与U型块42之间固定连接有压缩弹簧45，当U型块42嵌入U型槽121内后，U型块42与U型槽121相抵，使得压缩弹簧45被压缩，压缩弹簧45起到缓冲作用，防止U型块42和U型槽121挤压损坏，若不设置压缩弹簧45，使得在U型块42下降的过程中，U型块42下移的距离过大时，U型块42会将带动中心转轴12移动，造成中心转轴12的损坏。

工作原理：将基片设置在第一齿环131上，第一升降电机52通过传动齿轮551带动第二齿轮554转动，第二齿轮554通过第三齿轮555带动第一螺纹杆54的转动，使得第一升降板51升降，第一升降板51的升降带动外升降管2移动，并带动支架1移动，使得直接带动第一齿环131移动，调整第一齿环131与加热盘3之间的距离，第二升降电机62启动，带动第四齿轮66转动，第四齿轮66通过第五齿轮67带动第二螺纹杆65转动，使得第二升降板61升降，在第二升降板61升降的过程中，旋转组件7同时被带动升降，从而使得旋转轴22上下移动，当旋转轴22向下移动时，U型块42嵌入U型槽121内，此时旋转电机71通过皮带传动机构74带动旋转轴22转动，使得中心转轴12和第一齿轮122转动，第一齿轮122、第一齿环131和第二齿环113之间形成行星齿轮组55，使得基片在第一齿环131的带动下，自身转动，并围绕中心转轴12转动，在基片的一个面加热后，对另一个面进行加热，此时旋转轴22向上移动，U型块42与U型槽121脱离，然后翻转电机86启动带动动力齿轮87转动，动力齿轮87通过连接齿轮85带动实心轴磁流体密封装置84上的轴转动，使得轴套83转动，从而带动第一锥齿轮89转动，第一锥齿轮89通过第二锥齿轮90带动传动杆92转动，使得第三锥齿轮91转动，第三锥齿轮91通过第五锥齿轮95带动连接杆94转动，使得第四锥齿轮93转动，进而使旋转块112转动，对第二齿环113和固定环111进行翻转，使得第一齿环131翻转，然后旋转轴22再次向下移动，使得U型块42嵌入U型槽121内，再次带动中心转轴12转动。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种实现自动翻面的行星样品台，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)内设置有加热区域(11)，所述加热区域(11)包括中心转轴(12)和若干个加热部(13)，所述中心转轴(12)两端分别开设有U型槽(121)，所述支架(1)顶部开设有通孔(14)，所述通孔(14)内固定连接有外升降管(2)，所述外升降管(2)内上下滑动连接有内升降管(21)，所述内升降管(21)向下延伸出所述外升降管(2)，并且固定连接有加热盘(3)，用以对基片加热，所述加热盘(3)上开设有圆孔(31)，所述圆孔(31)与所述内升降管(21)连通，所述内升降管(21)内转动连接有旋转轴(22)，所述旋转轴(22)靠近所述加热盘(3)的一端设置有缓冲部(4)，所述缓冲部(4)包括驱动头(41)，所述驱动头(41)底部固定连接有U型块(42)，所述U型块(42)与所述U型槽(121)相适配，所述外升降管(2)外侧设置有台架(23)，所述台架(23)上设置有第一升降组件(5)，所述第一升降组件(5)用以带动所述外升降管(2)升降，所述第一升降组件(5)包括第一升降板(51)，所述第一升降板(51)与所述外升降管(2)远离所述加热盘(3)的一端固定连接，所述升降板上设置有第二升降组件(6)，所述第二升降组件(6)用以带动所述旋转轴(22)升降，所述第二升降组件(6)包括第二升降板(61)，所述第二升降板(61)上设置有旋转组件(7)，所述旋转组件(7)用以带动所述旋转轴(22)转动，以使所述加热部(13)移动，所述台架(23)上设置有翻转组件(8)，以使所述加热区域(11)翻转。

2.根据权利要求1所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述加热部(13)绕所述中心转轴(12)圆周运动。

3.根据权利要求2所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述加热部(13)包括第一齿环(131)，所述中心转轴(12)上固定连接有第一齿轮(122)，所述第一齿环(131)均与所述第一齿轮(122)外圈啮合，所述加热区域(11) 还包括两个固定环(111)、旋转块(112)和第二齿环(113)，所述支架(1)相对的两侧分别转动连接有所述旋转块(112)，所述固定环(111)固定连接在两个所述旋转块(112)之间，所述第二齿环(113)固定连接在两个所述固定环(111)之间，所述第一齿环(131)外圈均与所述第二齿环(113)内圈啮合，所述中心转轴(12)与所述固定环(111)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述第一升降板(51)与所述台架(23)之间固定连接有第一波纹管(15)，所述第一升降板(51)与所述第二升降板(61)之间固定连接有第二波纹管(16)，所述外升降管(2)位于所述第一波纹管(15)内，所述第一波纹管(15)与所述第二波纹管(16)之间连通，所述旋转轴(22)向上延伸出所述第二波纹管(16)。

5.根据权利要求4所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述旋转组件(7)包括旋转电机(71)，所述第二升降板(61)上固定连接有空心轴磁流体密封装置(72)，所述空心轴磁流体密封装置(72)顶部固定连接有安装板(73)，所述旋转电机(71)固定连接在所述安装板(73)上，所述旋转轴(22)向上延伸出所述安装板(73)，所述旋转轴(22)与所述旋转电机(71)输出轴之间设置有皮带传动机构(74)。

6.根据权利要求3所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述第一升降组件(5)包括第一平板(56)和第一升降电机(52)，所述第一平板(56)与所述台架(23)之间固定连接有两根第一竖杆(53)，所述第一平板(56)与所述台架(23)之间转动连接有第一螺纹杆(54)，所述第一升降板(51)与所述第一竖杆(53)滑动连接，并与所述第一螺纹杆(54)螺纹连接，所述第一升降电机(52)固定连接在所述台架(23)上，所述台架(23)上设置有齿轮组(55)，所述第一升降电机(52)通过所述齿轮组(55)带动所述第一螺纹杆(54)转动。

7.根据权利要求6所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述齿轮组(55)包括传动齿轮(551)和框架(552)，所述第一升降电机(52)输出轴上固定连接有传动齿轮(551)，所述框架(552)与所述台架(23)之间转动连接有动力杆(553)，所述动力杆(553)上固定连接有第二齿轮(554)，所述第二齿轮(554)与所述传动齿轮(551)啮合，所述第一螺纹杆(54)上固定连接有第三齿轮(555)，所述第二齿轮(554)与所述第三齿轮(555)啮合。

8.根据权利要求7所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述第二升降组件(6)包括第二升降电机(62)，所述第二升降板(61)上方设置有第二平板(63)，所述第二平板(63)与所述第一升降板(51)之间固定连接有两根第二竖杆(64)，所述第二平板(63)上转动连接有第二螺纹杆(65)，所述第二螺纹杆(65)向下延伸贯穿所述第一升降板(51)，并与所述第二升降板(61)转动连接，所述第二升降板(61)与所述第二竖杆(64)滑动连接，并与所述第二螺纹杆(65)螺纹连接，所述第二升降电机(62)固定连接在所述第一升降板(51)上，所述第二升降电机(62)输出端固定连接有第四齿轮(66)，所述第二螺纹杆(65)上固定连接有第五齿轮(67)，所述第四齿轮(66)与所述第五齿轮(67)啮合。

9.根据权利要求8所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述翻转组件(8)包括设置在所述台架(23)上方的法兰(81)，所述法兰(81)与所述台架(23)之间固定连接有固定管(82)，所述固定管(82)向下延伸贯穿所述台架(23)，所述固定管(82)内设置有轴套(83)，所述法兰(81)上固定连接有实心轴磁流体密封装置(84)，所述轴套(83)与所述实心轴磁流体密封装置(84)的轴一端固定连接，所述实心轴磁流体密封装置(84)的轴另一端固定连接有连接齿轮(85)，所述法兰(81)上固定连接有翻转电机(86)，所述翻转电机(86)输出轴固定连接有动力齿轮(87)，所述动力齿轮(87)与所述连接齿轮(85)啮合，所述轴套(83)外侧开设有滑槽(831)，所述滑槽(831)内滑动连接有滑块(832)，所述轴套(83)内上下滑动连接有驱动轴(88)，所述驱动轴(88)与所述滑块(832)固定连接，所述驱动轴(88)向下延伸出所述轴套(83)，所述驱动轴(88)延伸出所述轴套(83)的一端固定连接有第一锥齿轮(89)，所述支架(1)上转动连接有传动杆(92)，所述传动杆(92)的一端固定连接有第二锥齿轮(90)，所述第二锥齿轮(90)与所述第一锥齿轮(89)啮合，所述传动杆(92)的另一端固定连接有第三锥齿轮(91)，其中一个所述旋转块(112)上固定连接有第四锥齿轮(93)，所述支架(1)上转动连接有连接杆(94)，所述连接杆(94)的两端分别固定连接有第五锥齿轮(95)，所述第四锥齿轮(93)与其中一个所述第五锥齿轮(95)啮合，另一个所述第五锥齿轮(95)与所述第三锥齿轮(91)啮合。

10.根据权利要求1所述的一种实现自动翻面的行星样品台，其特征在于：所述缓冲部(4)包括开设在所述驱动头(41)外侧面的定位槽(43)，所述定位槽(43)内滑动连接有定位块(44)，所述定位块(44)与所述旋转轴(22)固定连接，所述旋转轴(22)与所述U型块(42)之间固定连接有压缩弹簧(45)。

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