CN220097698U - 一种加工设备运输线 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体加工领域，尤其是一种加工设备运输线，针对现有的存在对半导体及其固定加工设备的转移效果不够好的问题，现提出如下方案，其包括多个传动带，多个所述传动带用于实现半导体加工设备的移动运输；转移机构，所述转移机构设置于多个传动带之间，所述转移机构用于实现将一个传动带上的半导体加工设备移动至另一个传动带上，所述转移机构包括安装支架和顶板，所述顶板安装于安装支架的顶部，所述顶板的下方设置有固定支架，本实用新型中，可对固定有半导体的设备进行转移，能够在转移时完成方向与高度的调节，可使半导体能够移动至其它角度不同或高度不同的传送带上，有利于半导体的传输与后续的加工，可提高半导体的加工效率。

Description

一种加工设备运输线

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种加工设备运输线。

背景技术

半导体在加工的过程中，为避免半导体在转移运输中受到损伤，需要将其放置于相应的设备中进行固定。而在半导体的生产流程中，常需要根据半导体的制作需求将其运送至不同的加工区域，因此在半导体的生产加工运输线中，还存在以下问题：

在对半导体进行转移中，常需要对其所使用的固定加工设备进行同步转移，现有技术中有时需要将半导体转移至不同高度的传送带上，对设备的转移效果不够好，工作效率不够高。

针对上述问题，本实用新型文件提出了一种加工设备运输线。

实用新型内容

本实用新型提供了一种加工设备运输线，解决了现有技术中存在对半导体及其固定加工设备的转移效果不够好的缺点。

本实用新型提供了如下技术方案：

一种加工设备运输线，包括：

多个传动带，多个所述传动带用于实现半导体加工设备的移动运输，有利于半导体的加工；

转移机构，所述转移机构设置于多个传动带之间，所述转移机构用于实现将一个传动带上的半导体加工设备移动至另一个传动带上，所述转移机构包括安装支架和顶板，所述顶板安装于安装支架的顶部，所述顶板的下方设置有固定支架，所述固定支架通过连杆与安装支架固定连接；

驱动组件，所述驱动组件用于实现对移动至转移机构上的半导体加工设备进行驱动，使其向另一个传动带上移动；

升降组件，所述升降组件用于实现驱动组件的高度调节；

转向组件，所述转向组件用于实现驱动组件的转向，使其能够改变半导体设备的传输方向。

在一种可能的设计中，所述驱动组件包括转盘，所述转盘贯穿顶板，所述转盘的顶部开设有多个凹槽，凹槽内部分别转动连接有多个从动轮和多个主动轮，多个所述主动轮均通过同一个转轴固定连接，所述转轴的一端固定连接有第一同步轮，所述转盘的底部固定安装有多个支撑杆，多个所述支撑杆的底部固定连接有同一个支撑板，所述支撑板的顶部固定安装有第三电机，所述第三电机的输出轴通过转轴固定连接有第二同步轮，所述第二同步轮和第一同步轮之间通过同步带传动连接，所述同步带贯穿转盘。

在一种可能的设计中，所述升降组件包括转动安装于固定支架的两侧内壁的蜗杆，所述蜗杆的一端贯穿固定支架的一侧，所述固定支架的一侧固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴与蜗杆的一端固定连接，所述蜗杆啮合有蜗轮，所述蜗轮的圆心处固定贯穿有圆筒，且蜗轮转动连接在固定支架内，所述圆筒的内壁设有螺纹，所述圆筒的内壁螺纹连接有带螺纹圆管，所述带螺纹圆管的内部转动贯穿有转杆，所述转杆的顶端与支撑板固定连接，所述转杆的底端转动安装有底板。

在一种可能的设计中，所述转向组件包括固定安装于底板顶部的第二电机，所述第二电机的输出轴固定安装有第二伞齿轮，所述第二伞齿轮啮合有第一伞齿轮，所述第一伞齿轮固定安装于转杆外壁。

在一种可能的设计中，所述带螺纹圆管的底端固定安装有限位环。

在一种可能的设计中，所述固定支架的底部固定安装有导杆，所述导杆的底端贯穿底板。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本实用新型。

本实用新型中，可对固定有半导体的设备进行转移，可使其在不同的传送带件移动，方便半导体的后续加工，使用时，可将固定有半导体的加工设备放置于传动带上进行传输，当加工设备移动至转移机构上时，启动第三电机，第三电机会通过第二同步轮和第一同步轮带动多个主动轮进行转动，同时在多个从动轮的辅助下，可将加工设备移动至另一个传动带上，方便将半导体运输至下一加工区域进行加工；

本实用新型中，可对转移机构进行方向的调节，能够进一步提高对半导体的转移效果，方便使用，当需要改变固定有半导体的加工设备的传输方向时，只需要在加工设备位于转移机构上时，启动第二电机，第二电机会通过第二伞齿轮、第一伞齿轮带动转杆进行转动，此时转杆会带动顶部的驱动组件改变方向，当主动轮的传输方向指向合适的方位时，即可关闭第二电机，并打开第三电机驱动设备移动至相应的传动带上；

本实用新型中，可对转移机构进行高度调节，方便将半导体移动至不同高度的传送带上，有利于半导体的传输与后续的加工，方便使用，当需要将固定有半导体的加工设备移动至高度不同的传动带上时，可在加工设备位于转移机构上时，启动第一电机，此时第一电机会带动蜗杆进行转动，蜗杆会和蜗轮进行啮合，带动蜗轮和其内部的圆筒进行转动，此时带螺纹圆管和转杆会沿着圆筒进行升降，并带动顶部的驱动组件与底部的转向组件进行同步移动，可完成加工设备高度的改变，当移动到合适的高度后，按照上述操作，并选择性地对加工设备进行角度的调节，最后完成加工设备的转移；

本实用新型中，可对固定有半导体的设备进行转移，能够在转移时完成方向与高度的调节，可使半导体能够移动至其它角度不同或高度不同的传送带上，有利于半导体的传输与后续的加工，可提高半导体的加工效率。

附图说明

图1为本实用新型实施例所提供的一种加工设备运输线的整体三维结构示意图；

图2为本实用新型实施例所提供的一种加工设备运输线的转移机构三维结构示意图；

图3为本实用新型实施例所提供的一种加工设备运输线的转移机构侧视结构示意图；

图4为本实用新型实施例所提供的一种加工设备运输线的升降与转向组件放大结构示意图；

图5为本实用新型实施例所提供的一种加工设备运输线的驱动组件放大结构示意图。

附图标记：

1、转移机构；2、传动带；3、安装支架；4、顶板；5、固定支架；6、蜗杆；7、第一电机；8、蜗轮；9、圆筒；10、带螺纹圆管；11、限位环；12、转杆；13、底板；14、第一伞齿轮；15、第二伞齿轮；16、第二电机；17、支撑板；18、支撑杆；19、转盘；20、从动轮；21、主动轮；22、第一同步轮；23、第二同步轮；24、第三电机。

具体实施方式

下面结合本实用新型实施例中的附图对本实用新型实施例进行描述。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语、“连接”、“安装”应做广义理解，例如，“连接”可以是可拆卸地连接，也可以是不可拆卸地连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接。此外“连通”可以是直接连通，也可以通过中间媒介间接连通。其中，“固定”是指彼此连接且连接后的相对位置关系不变。本实用新型实施例中所提到的方位用语，例如，“内”、“外”、“顶”、“底”等，仅是参考附图的方向，因此，使用的方位用语是为了更好、更清楚地说明及理解本实用新型实施例，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。

本实用新型实施例中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本实用新型实施例中，“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

在本说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本实用新型的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。

实施例1

参照图1-5，一种加工设备运输线，包括：

多个传动带2，多个传动带2用于实现半导体加工设备的移动运输，有利于半导体的加工；

转移机构1，转移机构1设置于多个传动带2之间，转移机构1用于实现将一个传动带2上的半导体加工设备移动至另一个传动带2上，转移机构1包括安装支架3和顶板4，顶板4安装于安装支架3的顶部，顶板4的下方设置有固定支架5，固定支架5通过连杆与安装支架3固定连接；

驱动组件，驱动组件用于实现对移动至转移机构1上的半导体加工设备进行驱动，使其向另一个传动带2上移动；

升降组件，升降组件用于实现驱动组件的高度调节；

转向组件，转向组件用于实现驱动组件的转向，使其能够改变半导体设备的传输方向。

上述技术方案可对固定有半导体的加工设备进行转移，且该装置可对放置于顶部的设备进行水平方向的转动与垂直高度的调节，可方便将装置移动到不同位置的传送带上，有利于半导体的加工，可提高工作效率。

参照图4，本实施例中，升降组件包括转动安装于固定支架5的两侧内壁的蜗杆6，蜗杆6的一端贯穿固定支架5的一侧，固定支架5的一侧固定安装有第一电机7，第一电机7的输出轴与蜗杆6的一端固定连接，蜗杆6啮合有蜗轮8，蜗轮8的圆心处固定贯穿有圆筒9，且蜗轮8转动连接在固定支架5内，圆筒9的内壁设有螺纹，圆筒9的内壁螺纹连接有带螺纹圆管10，带螺纹圆管10的内部转动贯穿有转杆12，转杆12的顶端与支撑板17固定连接，转杆12的底端转动安装有底板13。

上述技术方案可实现转盘19高度的调节，从而实现对放置于其顶部的半导体固定加工设备进行高度调节，方便其移动至其它传送带上。

参照图4，本实施例中，转向组件包括固定安装于底板13顶部的第二电机16，第二电机16的输出轴固定安装有第二伞齿轮15，第二伞齿轮15啮合有第一伞齿轮14，第一伞齿轮14固定安装于转杆12外壁。

上述技术方案可带动顶部的转盘19进行转动，实现对放置于其顶部的半导体固定加工设备的转向。

实施例2

参照图1-5，一种加工设备运输线，包括：

多个传动带2，多个传动带2用于实现半导体加工设备的移动运输，有利于半导体的加工；

转移机构1，转移机构1设置于多个传动带2之间，转移机构1用于实现将一个传动带2上的半导体加工设备移动至另一个传动带2上，转移机构1包括安装支架3和顶板4，顶板4安装于安装支架3的顶部，顶板4的下方设置有固定支架5，固定支架5通过连杆与安装支架3固定连接；

驱动组件，驱动组件用于实现对移动至转移机构1上的半导体加工设备进行驱动，使其向另一个传动带2上移动；

升降组件，升降组件用于实现驱动组件的高度调节；

转向组件，转向组件用于实现驱动组件的转向，使其能够改变半导体设备的传输方向。

上述技术方案可对固定有半导体的加工设备进行转移，且该装置可对放置于顶部的设备进行水平方向的转动与垂直高度的调节，可方便将装置移动到不同位置的传送带上，有利于半导体的加工，可提高工作效率。

参照图5，本实施例中，驱动组件包括转盘19，转盘19贯穿顶板4，转盘19的顶部开设有多个凹槽，凹槽内部分别转动连接有多个从动轮20和多个主动轮21，多个主动轮21均通过同一个转轴固定连接，转轴的一端固定连接有第一同步轮22，转盘19的底部固定安装有多个支撑杆18，多个支撑杆18的底部固定连接有同一个支撑板17，支撑板17的顶部固定安装有第三电机24，第三电机24的输出轴通过转轴固定连接有第二同步轮23，第二同步轮23和第一同步轮22之间通过同步带传动连接，同步带贯穿转盘19。

上述技术方案可对移动至转移机构1顶部的半导体固定加工设备进行推动，方便其进行转移。

参照图4，本实施例中，升降组件包括转动安装于固定支架5的两侧内壁的蜗杆6，蜗杆6的一端贯穿固定支架5的一侧，固定支架5的一侧固定安装有第一电机7，第一电机7的输出轴与蜗杆6的一端固定连接，蜗杆6啮合有蜗轮8，蜗轮8的圆心处固定贯穿有圆筒9，且蜗轮8转动连接在固定支架5内，圆筒9的内壁设有螺纹，圆筒9的内壁螺纹连接有带螺纹圆管10，带螺纹圆管10的内部转动贯穿有转杆12，转杆12的顶端与支撑板17固定连接，转杆12的底端转动安装有底板13。

上述技术方案可实现转盘19高度的调节，从而实现对放置于其顶部的半导体固定加工设备进行高度调节，方便其移动至其它传送带上。

参照图4，本实施例中，转向组件包括固定安装于底板13顶部的第二电机16，第二电机16的输出轴固定安装有第二伞齿轮15，第二伞齿轮15啮合有第一伞齿轮14，第一伞齿轮14固定安装于转杆12外壁。

上述技术方案可带动顶部的转盘19进行转动，实现对放置于其顶部的半导体固定加工设备的转向。

参照图4，本实施例中，带螺纹圆管10的底端固定安装有限位环11。

上述技术方案可避免装置上升过多导致带螺纹圆管10脱离圆筒9。

参照图3，本实施例中，固定支架5的底部固定安装有导杆，导杆的底端贯穿底板13。

上述技术方案可避免在装置进行转向时，底板13产生同步转动，从而导致装置的转向调节效果不佳。

然而，如本领域技术人员所熟知的，第一电机7、第二电机16和第三电机24的工作原理和接线方法是司空见惯的，其均属于常规手段或者公知常识，在此就不再赘述，本领域技术人员可以根据其需要或者便利进行任意的选配。

本技术方案的工作原理及使用流程为：使用时，可将固定有半导体的加工设备放置于传动带2上进行传输，当加工设备移动至转移机构1上时，启动第三电机24，第三电机24会通过第二同步轮23和第一同步轮22带动多个主动轮21进行转动，同时在多个从动轮20的辅助下，可将加工设备移动至另一个传动带2上，方便将半导体运输至下一加工区域进行加工；当需要改变固定有半导体的加工设备的传输方向时，只需要在加工设备位于转移机构1上时，启动第二电机16，第二电机16会通过第二伞齿轮15、第一伞齿轮14带动转杆12进行转动，此时转杆12会带动顶部的驱动组件改变方向，当主动轮21的传输方向指向合适的方位时，即可关闭第二电机16，并打开第三电机24驱动设备移动至相应的传动带2上；当需要将固定有半导体的加工设备移动至高度不同的传动带2上时，可在加工设备位于转移机构1上时，启动第一电机7，此时第一电机7会带动蜗杆6进行转动，蜗杆6会和蜗轮8进行啮合，带动蜗轮8和其内部的圆筒9进行转动，此时带螺纹圆管10和转杆12会沿着圆筒9进行升降，并带动顶部的驱动组件与底部的转向组件进行同步移动，可完成加工设备高度的改变，当移动到合适的高度后，按照上述操作，并选择性地对加工设备进行角度的调节，最后完成加工设备的转移。

以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内；在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种加工设备运输线，其特征在于，包括：

多个传动带(2)，多个所述传动带(2)用于实现半导体加工设备的移动运输，有利于半导体的加工；

转移机构(1)，所述转移机构(1)设置于多个传动带(2)之间，所述转移机构(1)用于实现将一个传动带(2)上的半导体加工设备移动至另一个传动带(2)上，所述转移机构(1)包括安装支架(3)和顶板(4)，所述顶板(4)安装于安装支架(3)的顶部，所述顶板(4)的下方设置有固定支架(5)，所述固定支架(5)通过连杆与安装支架(3)固定连接；

驱动组件，所述驱动组件用于实现对移动至转移机构(1)上的半导体加工设备进行驱动，使其向另一个传动带(2)上移动；

升降组件，所述升降组件用于实现驱动组件的高度调节；

转向组件，所述转向组件用于实现驱动组件的转向，使其能够改变半导体设备的传输方向。

2.根据权利要求1所述的一种加工设备运输线，其特征在于，所述驱动组件包括转盘(19)，所述转盘(19)贯穿顶板(4)，所述转盘(19)的顶部开设有多个凹槽，凹槽内部分别转动连接有多个从动轮(20)和多个主动轮(21)，多个所述主动轮(21)均通过同一个转轴固定连接，所述转轴的一端固定连接有第一同步轮(22)，所述转盘(19)的底部固定安装有多个支撑杆(18)，多个所述支撑杆(18)的底部固定连接有同一个支撑板(17)，所述支撑板(17)的顶部固定安装有第三电机(24)，所述第三电机(24)的输出轴通过转轴固定连接有第二同步轮(23)，所述第二同步轮(23)和第一同步轮(22)之间通过同步带传动连接，所述同步带贯穿转盘(19)。

3.根据权利要求1所述的一种加工设备运输线，其特征在于，所述升降组件包括转动安装于固定支架(5)的两侧内壁的蜗杆(6)，所述蜗杆(6)的一端贯穿固定支架(5)的一侧，所述固定支架(5)的一侧固定安装有第一电机(7)，所述第一电机(7)的输出轴与蜗杆(6)的一端固定连接，所述蜗杆(6)啮合有蜗轮(8)，所述蜗轮(8)的圆心处固定贯穿有圆筒(9)，且蜗轮(8)转动连接在固定支架(5)内，所述圆筒(9)的内壁设有螺纹，所述圆筒(9)的内壁螺纹连接有带螺纹圆管(10)，所述带螺纹圆管(10)的内部转动贯穿有转杆(12)，所述转杆(12)的顶端与支撑板(17)固定连接，所述转杆(12)的底端转动安装有底板(13)。

4.根据权利要求1所述的一种加工设备运输线，其特征在于，所述转向组件包括固定安装于底板(13)顶部的第二电机(16)，所述第二电机(16)的输出轴固定安装有第二伞齿轮(15)，所述第二伞齿轮(15)啮合有第一伞齿轮(14)，所述第一伞齿轮(14)固定安装于转杆(12)外壁。

5.根据权利要求3所述的一种加工设备运输线，其特征在于，所述带螺纹圆管(10)的底端固定安装有限位环(11)。

6.根据权利要求1所述的一种加工设备运输线，其特征在于，所述固定支架(5)的底部固定安装有导杆，所述导杆的底端贯穿底板(13)。