CN220575464U - 一种硅环表面高精倾斜度的加工设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，包括加工台，所述加工台上设置有固定调节机构，所述加工台上设置有除尘机构，所述固定调节机构包括固定安装于加工台顶部的加工罩，所述加工台的底部固定安装有抱闸电机，所述抱闸电机的输出轴固定安装有加工座，所述加工座的底部固定安装有数量为两个的限位块，所述加工座的内部固定安装有固定块，所述固定块的两侧均固定安装有限位杆。该硅环表面高精倾斜度的加工设备，通过设置的固定调节机构，在对硅环进行加工打磨时，通过加工台上各结构之间的相互配合，可对硅环进行旋转固定，配合打磨组件可实现对硅环的全方位旋转打磨，提升对硅环的打磨质量，提升打磨效率。

Description

一种硅环表面高精倾斜度的加工设备

技术领域

本实用新型涉及半导体器件加工技术领域，具体为一种硅环表面高精倾斜度的加工设备。

背景技术

硅环是集成电路制造过程中的一种辅助材料，主要用在离子注入工序用于支撑和固定硅片，硅是一种非金属元素，作为仅次于氧的最丰富的元素存在于地壳中，主要以熔点很高的氧化物和硅酸盐的形式存在，在对硅环表面进行加工时需要用到打磨设备对硅环进行加工。

请参阅申请号为202110926138.4的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备及其加工方法，在该申请中提出“目前硅坏加工工艺为外径研磨、外径倒角、双面研磨、加工中心做A面内径和定位孔、加工中心做B面卡槽、腐蚀、卡槽研磨、卡槽抛光、双面抛光、清洗，部分硅环需要对内径加工:硅环研磨采用车床用砂轮研磨，硅环倒角采用倒角盆手动倒角，这种方法加丅出来的硅环内外径倾斜度难以控制，倒角的一致性很差，同时倒角后会有很多小崩边，影响硅环的使用寿命，使用名种设备加工，缺乏专用千环形产品的加工设备，加工效率低，而且现有的硅环加工过程中会产生飞灰逸散到空气中，污染环境”本申请针对该技术问题提出另外一种技术方案来解决该技术问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，具备固定、调节、除尘等优点，解决了硅环研磨采用车床用砂轮研磨，硅环倒角采用倒角盆手动倒角，这种方法加丅出来的硅环内外径倾斜度难以控制，倒角的一致性很差，同时倒角后会有很多小崩边，影响硅环的使用寿命，使用名种设备加工，缺乏专用千环形产品的加工设备，加工效率低，而且现有的硅环加工过程中会产生飞灰逸散到空气中，污染环境的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，包括加工台，所述加工台上设置有固定调节机构，所述加工台上设置有除尘机构；

所述固定调节机构包括固定安装于加工台顶部的加工罩，所述加工台的底部固定安装有抱闸电机，所述抱闸电机的输出轴固定安装有加工座，所述加工座的底部固定安装有数量为两个的限位块，所述加工座的内部固定安装有固定块，所述固定块的两侧均固定安装有限位杆，所述固定块的内部转动连接有丝杆，所述丝杆的外侧螺纹连接有数量为两个的活动块，两个所述活动块相对的一侧均固定安装有定位块，所述加工罩的顶部活动连接有移动座，所述移动座的底部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定安装有打磨组件。

进一步，所述加工台的底部开设有转动孔，所述抱闸电机的输出轴通过转动孔与加工座固定连接。

进一步，所述加工台的顶部开设有圆形槽，所述限位块通过圆形槽与加工台活动连接。

进一步，所述丝杆的外侧开设有两段相反方向的螺纹槽，两个所述活动块的内部开设有与螺纹槽方向相对应的螺纹孔，所述活动块通过螺纹孔在丝杆上进行相对或相背移动。

进一步，所述加工座的顶部开设有第一活动槽，所述活动块通过第一活动槽延伸至加工座的顶部。

进一步，所述加工罩的顶部开设有第二活动槽，所述移动座通过第二活动槽与加工罩活动连接。

进一步，所述除尘机构包括固定安装于加工罩两侧内壁上的固定杆，两个所述固定杆相对的一侧均固定安装有集尘罩，所述加工罩的背面固定安装有集尘箱，所述集尘箱的内顶壁上固定安装有与集尘罩固定连接的连接软管，所述连接软管的底部固定安装有出尘罩，所述集尘箱的内部活动连接有集尘布袋，所述集尘箱的内部固定安装有防护架，所述集尘箱的内底壁上固定安装有抽气泵。

进一步，所述加工罩的背面开设有密封孔，所述连接软管通过密封孔延伸至加工罩的外侧与集尘箱固定连接。

进一步，所述集尘箱的背面开设有密封门，且密封门上设置有把手。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

1、该硅环表面高精倾斜度的加工设备，通过设置的固定调节机构，在对硅环进行加工打磨时，通过加工台上各结构之间的相互配合，可对硅环进行旋转固定，配合打磨组件可实现对硅环的全方位旋转打磨，提升对硅环的打磨质量，提升打磨效率。

2、该硅环表面高精倾斜度的加工设备，通过设置的除尘机构，在硅环进行打磨时，通过加工台上各结构之间的相互配合，可将打磨产生的粉尘通过连接软管收集至集尘箱内部的集尘布袋中进行收集，避免粉尘四处飞散被工作人员吸入体内，影响身体健康，从而有助于提升硅环加工装置的安全性与实用性。

附图说明

图1为本实用新型结构正视剖视示意图；

图2为本实用新型结构正视示意图；

图3为本实用新型结构背面局部剖视示意图；

图4为本实用新型结构后视示意图。

图中：1、加工台；2、加工罩；3、抱闸电机；4、加工座；5、限位块；6、固定块；7、限位杆；8、丝杆；9、活动块；10、定位块；11、移动座；12、电动推杆；13、打磨组件；14、固定杆；15、集尘罩；16、连接软管；17、集尘箱；18、出尘罩；19、集尘布袋；20、防护架；21、抽气泵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实施例中的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，包括加工台1，加工台1上设置有固定调节机构，加工台1上设置有除尘机构。

实施例一：请参阅图1和图2，固定调节机构包括固定安装于加工台1顶部的加工罩2，加工台1的底部固定安装有抱闸电机3，抱闸电机3的输出轴固定安装有加工座4，加工台1的底部开设有转动孔，抱闸电机3的输出轴通过转动孔与加工座4固定连接，方便抱闸电机3通过转动孔带动加工座4转动。

其中，加工座4的底部固定安装有数量为两个的限位块5，加工台1的顶部开设有圆形槽，限位块5通过圆形槽与加工台1活动连接，方便通过限位块5和圆形槽对加工座4进行限位，并使加工座4在加工台1上稳定转动，加工座4的内部固定安装有固定块6，固定块6的两侧均固定安装有限位杆7，固定块6的内部转动连接有丝杆8。

其中，丝杆8的外侧螺纹连接有数量为两个的活动块9，丝杆8的外侧开设有两段相反方向的螺纹槽，两个活动块9的内部开设有与螺纹槽方向相对应的螺纹孔，活动块9通过螺纹孔在丝杆8上进行相对或相背移动，两个活动块9相对的一侧均固定安装有定位块10，加工座4的顶部开设有第一活动槽，活动块9通过第一活动槽延伸至加工座4的顶部，方便活动块9通过第一活动槽在加工座4上带着定位块10对硅环进行固定，便于加工。

其中，加工罩2的顶部活动连接有移动座11，移动座11的底部固定安装有电动推杆12，电动推杆12的输出端固定安装有打磨组件13，打磨组件13包括固定架和打磨电机与打磨辊，通过固定架将打磨电机固定住，然后打磨电机带动打磨辊对硅环进行打磨，加工罩2的顶部开设有第二活动槽，移动座11通过第二活动槽与加工罩2活动连接，方便移动座11通过第二活动槽在加工罩2上带动打磨组件13移动，从而对硅环进行打磨加工。

需要说明的是，该硅环表面高精倾斜度的加工设备，通过设置的固定调节机构，在对硅环进行加工打磨时，通过加工台1上各结构之间的相互配合，可对硅环进行旋转固定，配合打磨组件13可实现对硅环的全方位旋转打磨，提升对硅环的打磨质量，提升打磨效率。

具体的，该硅环表面高精倾斜度的加工设备，在使用时，首先打开加工罩2正面的活动门，根据硅环的尺寸大小转动丝杆8使丝杆8外侧的活动块9进行相背移动，然后将硅环放置在定位块10之间，转动丝杆8使两个活动块9相对移动将硅环固定住，然后根据启动电动推杆12带动打磨组件13下降至硅环处，根据使用需求对加工罩2顶部的移动座11位置进行调整，使的打磨组件13能够对硅环进行多方位打磨，与此同时启动抱闸电机3带动加工座4转动起来，边转动边对硅环打磨，从而提升对硅环的打磨效率。

实施例二：请参阅图3和图4，除尘机构包括固定安装于加工罩2两侧内壁上的固定杆14，两个固定杆14相对的一侧均固定安装有集尘罩15，加工罩2的背面固定安装有集尘箱17，集尘箱17的内顶壁上固定安装有与集尘罩15固定连接的连接软管16，加工罩2的背面开设有密封孔，连接软管16通过密封孔延伸至加工罩2的外侧与集尘箱17固定连接，方便通过连接软管16通过密封孔将加工罩2内部的粉尘抽至集尘箱17内部。

其中，连接软管16的底部固定安装有出尘罩18，集尘箱17的内部活动连接有集尘布袋19，集尘箱17的背面开设有密封门，且密封门上设置有把手，方便通过把手打开密封门对集尘箱17内部的集尘布袋19进行清洁更换，提升对粉尘的收集效果，集尘箱17的内部固定安装有防护架20，集尘箱17的内底壁上固定安装有抽气泵21，方便通过抽气泵21将加工罩2内部的粉尘抽取至集尘箱17内部。

需要说明的是，该硅环表面高精倾斜度的加工设备，通过设置的除尘机构，在硅环进行打磨时，通过加工台1上各结构之间的相互配合，可将打磨产生的粉尘通过连接软管16收集至集尘箱17内部的集尘布袋19中进行收集，避免粉尘四处飞散被工作人员吸入体内，影响身体健康，从而有助于提升硅环加工装置的安全性与实用性。

具体的，该硅环表面高精倾斜度的加工设备，在对硅环进行打磨时，启动抽气泵21，通过固定杆14上的集尘罩15与连接软管16将对硅环打磨产生的粉尘吸入至集尘箱17内部，并通过出尘罩18进入集尘布袋19的内部，在加工完成后通过打开集尘箱17背面的密封门对集尘布袋19进行清理与更换，保证集尘布袋19的集尘效果，避免粉尘被工作人员吸入影响身体健康。

上述实施例的工作原理为：

(1)该硅环表面高精倾斜度的加工设备，在使用时，首先打开加工罩2正面的活动门，根据硅环的尺寸大小转动丝杆8使丝杆8外侧的活动块9进行相背移动，然后将硅环放置在定位块10之间，转动丝杆8使两个活动块9相对移动将硅环固定住，然后根据启动电动推杆12带动打磨组件13下降至硅环处，根据使用需求对加工罩2顶部的移动座11位置进行调整，使的打磨组件13能够对硅环进行多方位打磨，与此同时启动抱闸电机3带动加工座4转动起来，边转动边对硅环打磨，从而提升对硅环的打磨效率。

(2)该硅环表面高精倾斜度的加工设备，在对硅环进行打磨时，启动抽气泵21，通过固定杆14上的集尘罩15与连接软管16将对硅环打磨产生的粉尘吸入至集尘箱17内部，并通过出尘罩18进入集尘布袋19的内部，在加工完成后通过打开集尘箱17背面的密封门对集尘布袋19进行清理与更换，保证集尘布袋19的集尘效果，避免粉尘被工作人员吸入影响身体健康。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，包括加工台(1)，其特征在于：所述加工台(1)上设置有固定调节机构，所述加工台(1)上设置有除尘机构；

所述固定调节机构包括固定安装于加工台(1)顶部的加工罩(2)，所述加工台(1)的底部固定安装有抱闸电机(3)，所述抱闸电机(3)的输出轴固定安装有加工座(4)，所述加工座(4)的底部固定安装有数量为两个的限位块(5)，所述加工座(4)的内部固定安装有固定块(6)，所述固定块(6)的两侧均固定安装有限位杆(7)，所述固定块(6)的内部转动连接有丝杆(8)，所述丝杆(8)的外侧螺纹连接有数量为两个的活动块(9)，两个所述活动块(9)相对的一侧均固定安装有定位块(10)，所述加工罩(2)的顶部活动连接有移动座(11)，所述移动座(11)的底部固定安装有电动推杆(12)，所述电动推杆(12)的输出端固定安装有打磨组件(13)。

2.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述加工台(1)的底部开设有转动孔，所述抱闸电机(3)的输出轴通过转动孔与加工座(4)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述加工台(1)的顶部开设有圆形槽，所述限位块(5)通过圆形槽与加工台(1)活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述丝杆(8)的外侧开设有两段相反方向的螺纹槽，两个所述活动块(9)的内部开设有与螺纹槽方向相对应的螺纹孔，所述活动块(9)通过螺纹孔在丝杆(8)上进行相对或相背移动。

5.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述加工座(4)的顶部开设有第一活动槽，所述活动块(9)通过第一活动槽延伸至加工座(4)的顶部。

6.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述加工罩(2)的顶部开设有第二活动槽，所述移动座(11)通过第二活动槽与加工罩(2)活动连接。

7.根据权利要求1所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述除尘机构包括固定安装于加工罩(2)两侧内壁上的固定杆(14)，两个所述固定杆(14)相对的一侧均固定安装有集尘罩(15)，所述加工罩(2)的背面固定安装有集尘箱(17)，所述集尘箱(17)的内顶壁上固定安装有与集尘罩(15)固定连接的连接软管(16)，所述连接软管(16)的底部固定安装有出尘罩(18)，所述集尘箱(17)的内部活动连接有集尘布袋(19)，所述集尘箱(17)的内部固定安装有防护架(20)，所述集尘箱(17)的内底壁上固定安装有抽气泵(21)。

8.根据权利要求7所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述加工罩(2)的背面开设有密封孔，所述连接软管(16)通过密封孔延伸至加工罩(2)的外侧与集尘箱(17)固定连接。

9.根据权利要求7所述的一种硅环表面高精倾斜度的加工设备，其特征在于：所述集尘箱(17)的背面开设有密封门，且密封门上设置有把手。