CN220548108U - 一种用于安装化学机械抛光头的辅助装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种用于安装化学机械抛光头的辅助装置，其包括支撑件和夹持件；所述支撑件包括支撑主体和支撑部，所述支撑部包括支撑块和支撑柱，所述支撑主体可以分别以所述支撑块和支撑柱为支点转动，以带动所述夹持件上下移动；所述夹持件安装于所述支撑主体的一端，用于夹持所述化学机械抛光头。采用本申请的辅助装置来安装化学机械抛光头，利用支撑部为支点，支撑主体作为杠杆，可以实现在有限空间内化学机械抛光头的安装机械化以及减轻化学机械抛光头安装的负担，减少对工作人员的限制，提高安装定位的准确性。

Description

一种用于安装化学机械抛光头的辅助装置

技术领域

本申请涉及晶片加工技术领域，具体地，涉及一种用于安装化学机械抛光头的辅助装置。

背景技术

化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing，CMP)技术是半导体器件制造工艺中的一种技术，用来对正在加工的晶圆或其它衬底材料进行平坦化处理。其工作的基本原理是将待抛光工件在一定的压力及抛光液的存在下，相对于抛光垫作旋转运动，借助磨粒的机械磨削及化学氧化剂的腐蚀作用来完成对工作表面的材料去除，并获得光洁表面。CMP技术与传统的纯机械抛光相比可以有效避免晶圆表面损伤，与纯化学抛光相比，其抛光速度快、表面平整度和抛光一致性较好。但是CMP技术存在的问题在于：化学机械抛光装置中抛光头的安装受空间限制，目前主要采用手动方式安装抛光头。虽然手动安装抛光头不需要第三方工具，但是，手动安装容易出现安装位置定位不当、安装不准确的问题；此外，由于抛光头自身重量的原因，手动安装抛光头时需要较大的力气，力气小的人员容易安装失败，且手指容易受伤，对操作人员个体体质有限制。

发明内容

本申请的目的是提供一种用于安装化学机械抛光头的辅助装置，根据上述辅助装置，提高了化学机械研磨机台的抛光头在受限空间内的安装准确性及操作便宜性。

为了实现上述目的，本申请采用以下技术方案：

一种用于安装化学机械抛光头的辅助装置，包括支撑件和夹持件；所述支撑件包括支撑主体和支撑部，所述支撑部包括支撑块和支撑柱，所述支撑主体可以分别以所述支撑块和支撑柱为支点转动，以带动所述夹持件上下移动；所述夹持件安装在所述支撑主体的一端，用于夹持所述化学机械抛光头。

在一些实施方式中，所述支撑块设置在所述支撑主体的第一位置处，所述支撑柱设置在所述支撑主体的第二位置处。

在一些实施方式中，所述支撑柱从所述支撑主体向外延伸的长度大于所述支撑块从所述支撑主体向外延伸的长度。

在一些实施方式中，所述支撑柱转动安装于所述支撑主体上。

在一些实施方式中，所述支撑主体上设置有可以收纳所述支撑柱的凹槽。

在一些实施方式中，所述支撑块与所述支撑柱位于所述支撑主体的相同一侧。

在一些实施方式中，所述支撑块与所述支撑柱位于所述支撑主体的相反一侧。

在一些实施方式中，所述支撑主体为实心或空心长杆。

在一些实施方式中，所述夹持件包括两夹持臂，所述两夹持臂可以相对靠近或远离。

在一些实施方式中，所述两夹持臂之间设置有使所述两夹持臂相对靠近的弹性件

与现有技术相比，本申请的有益效果：

本申请提供了一种用于安装化学机械抛光头的辅助装置，其包括支撑件和夹持件；支撑件包括支撑主体和支撑部，支撑部包括支撑部和支撑块，支撑主体可以分别以支撑块和支撑柱为支点转动，以带动所述夹持件上下移动；夹持件用于夹持所述化学机械抛光头。采用本申请的辅助装置来安装化学机械抛光头，利用支撑部为支点，支撑主体作为杠杆，可以实现在有限空间内化学机械抛光头的安装机械化以及减轻化学机械抛光头安装的负担，减少对工作人员的限制，提高安装定位的准确性。此外，本申请在支撑件上设置了至少一个支撑部，可以将支撑部设置为不同尺寸，以满足不同尺寸化学机械抛光头的安装。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了本申请一个实施例用于安装化学机械抛光头的辅助装置的轴侧图；

图2示出了本申请一个实施例用于安装化学机械抛光头的辅助装置的主视图；

图3示出了本申请一个实施例用于安装8寸化学机械抛光头的辅助装置的使用示意图；

图4示出了本申请一个实施例用于安装12寸化学机械抛光头辅助装置的使用示意图；

图5示出了8寸化学机械抛光头的结构示意图；

图6示出了12寸化学机械抛光头的结构示意图。

附图标记说明：

1、支撑主体；2、支撑块；3、支撑柱；4、两夹持臂；5、8寸化学机械抛光头；6、12寸化学机械抛光头；7、凹槽。

具体实施方式

下面结合附图对本申请具体实施方式的技术方案作进一步详细说明，这些实施方式仅用于说明本申请，而非对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面结合附图对本申请的一种用于安装化学机械抛光头的辅助装置进行详细说明。

图1至图4示出了本申请一个实施例中的用于安装化学机械抛光头的辅助装置的结构示意图。如图1至图4所示，本申请实施例中用于安装化学机械抛光头的辅助装置包括支撑件和安装在支撑件一端的夹持件。前述支撑件包括至少一个支撑部，使支撑件主体可以以前述支撑部为支点转动，以带动夹持件上下移动。在一个应用场景中，当本申请的装置作为安装化学机械抛光头的辅助装置使用时，可以将支撑件安装在基底上，按照化学机械抛光头的安装位置布置支撑部的位置，在具体操作时，工作人员将夹持件夹住化学机械抛光头，接着可以利用杠杆原理，以支撑部为转动中心或支点，向下压远离安装夹持件的支撑件的一端，使夹持件带动化学机械抛光头向上移动，使其与其他装置中的部件例如法兰吸合，以实现化学机械抛光头的安装。

在一个实施例中，如图1至图4所示，前述支撑件可以包括支撑主体1，支撑部例如可以包括支撑块2和/或支撑柱3，支撑块2、支撑柱3安装在支撑主体1上。具体地，支撑块2安装在距离夹持件具有一定距离的第一位置，支撑柱3安装在距离夹持件具有一定距离的第二位置。在一个具体的实施例中，该支撑主体1可以是一根具有一定机械强度的长杆，支撑块2固定安装在该支撑主体1的第一位置处，该第一位置可以根据实际使用场景设定，以能够实现作为转动中心，利用杠杆原理实现将化学机械抛光头在上下方向上抬升为准。在另一个具体的实施例中，为了实现化学机械抛光头在距离基底不同高度时的安装，可以将支撑柱3在高度方向的尺寸比支撑块2更长。也就是说，支撑柱3从支撑主体1向外延伸的长度大于支撑块2从支撑主体1向外延伸的长度支撑柱3可以固定安装在支撑主体1的第二位置，该第二位置以能够作为转动中心使支撑主体1通过夹持件抬升化学机械抛光头为准。在又一个实施例中，前述支撑主体1中可以设置与支撑柱3尺寸相匹配的凹槽7，将支撑柱3转动安装于支撑主体1的第二位置处，当无需使用支撑柱3时，可以将支撑柱3收纳入前述支撑主体1的凹槽7内，以减小本申请辅助装置的占地面积，方便收纳。在一个实施例中，前述支撑块2和支撑柱3可以设置在支撑主体1的相同一侧，也可以设置在相反的一侧。该设置位置可以根据具体的使用场景进行设置。

在一个应用场景中，如图5、图6所示，化学机械抛光头常用尺寸包括8寸和12寸两种规格。其中，8寸化学机械抛光头5由于尺寸相对较小，重量较轻，可以将本申请的辅助装置中的支撑柱3展开支撑在桌面或其他支撑面上，将夹持件夹住8寸化学机械抛光头5的底盘外周，工作人员可以通过向下按压远离夹持件的支撑主体1的一端，以将8寸化学机械抛光头5抬升。12寸化学机械抛光头6由于其自身尺寸较大，重量较大，可以将本申请的辅助装置中的支撑块2支撑在研磨机台上，将夹持件夹住12寸化学机械抛光头6的颈部，工作人员向下按压远离夹持件的支撑主体1的一端，使支撑主体1以支撑块2为中心转动，方向如图4中箭头所示，以将12寸化学机械抛光头6抬升。

在一个实施例中，如图1至图4所示，本申请的辅助装置中夹持件可以是两夹持臂4。两夹持臂4固定安装在支撑主体1的一端，用于夹持化学机械抛光头。两夹持臂4可以以支撑主体1安装位置为轴心发生转动，以使两夹持臂4的相对靠拢或远离。两夹持臂4与支撑主体1之间的连接保持一定的松紧度，以便调整二者之间的距离以及保持夹持过程中的相对稳定，也可在二者之间设置例如拉簧等弹性件以提供一定的夹持力。将夹持件设置为两夹持臂4，还可以实现根据被夹持物品的尺寸调整两夹持臂4的相对距离，增加本申请辅助装置的通用性，以实现对不同尺寸物品的夹持。当两夹持臂4靠近时，固定加紧化学机械抛光头。工作人员可以手握支撑主体1的远离夹持件的一端移动该化学机械抛光头，当该化学机械抛光头移动至设定位置处时，两夹持臂4远离以松开该化学机械抛光头，实现化学机械抛光头的定位。

以上所述仅是本申请的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种用于安装化学机械抛光头的辅助装置，其特征在于，包括支撑件和夹持件；

所述支撑件包括支撑主体和支撑部，所述支撑部包括支撑块和支撑柱，所述支撑主体可以分别以所述支撑块和支撑柱为支点转动，以带动所述夹持件上下移动；

所述夹持件安装在所述支撑主体的一端，用于夹持所述化学机械抛光头。

2.如权利要求1所述的辅助装置，其特征在于，所述支撑块设置在所述支撑主体的第一位置处，所述支撑柱设置在所述支撑主体的第二位置处。

3.如权利要求2所述的辅助装置，其特征在于，所述支撑柱从所述支撑主体向外延伸的长度大于所述支撑块从所述支撑主体向外延伸的长度。

4.如权利要求2所述的辅助装置，其特征在于，所述支撑柱转动安装于所述支撑主体上。

5.如权利要求4所述的辅助装置，其特征在于，所述支撑主体上设置有可以收纳所述支撑柱的凹槽。

6.如权利要求2所述的辅助装置，其特征在于，所述支撑块与所述支撑柱位于所述支撑主体的相同一侧。

7.如权利要求2所述的辅助装置，其特征在于，所述支撑块与所述支撑柱位于所述支撑主体的相反一侧。

8.如权利要求1所述的辅助装置，其特征在于，所述支撑主体为实心或空心长杆。

9.如权利要求1所述的辅助装置，其特征在于，所述夹持件包括两夹持臂，所述两夹持臂可以相对靠近或远离。

10.如权利要求9所述的辅助装置，其特征在于，所述两夹持臂之间设置有使所述两夹持臂相对靠近的弹性件。