CN220490871U - 一种一体化硅棒检测设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种一体化硅棒检测设备，属于硅棒检测技术领域，包括输送线与两个主体框架，所述输送线上连接有两个硅棒工装，两个所述硅棒工装上均设有硅棒且其底端设有顶升机构，两个所述主体框架分别位于所述硅棒两侧且其顶端均固定有工作台面，两个所述工作台面上均设有少子寿命检测机构与电阻检测机构，两个所述少子寿命检测机构与两个所述电阻检测机构为交叉设置；使用该设备，能够同时对硅棒进行电阻检测与少子寿命检测，检测效率高，避免增加企业成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅棒检测技术领域，特别涉及一种一体化硅棒检测设备。
背景技术
单晶硅棒，是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的单晶硅产品，用于制造单晶硅片，随着光伏行业硅片尺寸改动变大，产能需求增加，对硅片质量要求越来越高，人力需求却来越大，在单晶硅棒加完成后，需对机加工后的单晶硅棒进行勺子寿命与电阻的检测。
现有的硅棒在进行勺子寿命与电阻的检测时需要两个独立的设备来进行检测，整个检测过程中会存在搬运时间久导致检测效率较低，而且还增加了企业成本，因此亟需设计一种一体化硅棒检测设备来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种一体化硅棒检测设备，以解决现有的硅棒在进行勺子寿命与电阻的检测时需要两个独立的设备来进行检测会导致检测效率较低以及企业成本增加的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种一体化硅棒检测设备，包括输送线与两个主体框架，所述输送线上连接有两个硅棒工装，两个所述硅棒工装上均设有硅棒且其底端设有顶升机构，两个所述主体框架分别位于所述硅棒两侧且其顶端均固定有工作台面，两个所述工作台面上均设有少子寿命检测机构与电阻检测机构，两个所述少子寿命检测机构与两个所述电阻检测机构为交叉设置。
可选的，所述少子寿命检测机构包括少子寿命检测仪、少子寿命检测仪显示器、第一前后移动模组、上下移动模组与左右移动模组，所述第一前后移动模组上连接有第一限位板并固定有第一连接板，所述第一限位板上安装有第一距离传感器并通过第一弹簧连接有少子寿命探头，所述少子寿命探头上通过若干根第一导向柱连接有第一探头保护盖，所述上下移动模组底端固定有第二连接板；
其中，所述第一前后移动模组包括第一伺服电机与第一丝杆，所述第一伺服电机输出端与所述第一丝杆一端连接且所述第一丝杆与限位板螺纹连接，所述上下移动模组包括第二伺服电机与第二丝杆，所述第二伺服电机输出端与所述第二丝杆一端连接且所述第二丝杆与所述第一连接板螺纹连接，所述左右移动模组包括所述第三伺服电机与第三丝杆，所述第三伺服电机输出端与所述第三丝杆一端连接且所述第三丝杆与所述第二连接板螺纹连接；
所述少子寿命检测仪显示器和所述少子寿命探头均与所述少子寿命检测仪电连接。
可选的，所述电阻检测机构包括电阻检测仪、第二前后移动模组与固定座，所述第二前后移动模组上设有固定板并固定于所述固定座上，所述固定板上安装有第二距离传感器且其底端固定有连接杆与第二限位板，所述第二限位板侧面安装有电阻探头，所述电阻探头外表面通过第二导向柱连接有第二探头保护盖，所述第二探头保护盖还与所述固定板通过若干根第二弹簧连接，所述电阻检测仪与所述电阻探头电连接；
所述第二前后移动模组包括第四伺服电机与第四丝杆，所述第四伺服电机输出端与所述第四丝杆一端连接且所述第四丝杆与所述连接杆螺纹连接。
可选的，所述顶升机构包括固定于所述输送线上的主体固定支架与阻挡器固定板，所述主体固定支架上安装有升降气缸，其活塞杆连接有工装托板，所述工装托板两侧均固定有两个导向定位板，所述阻挡器固定板上安装有到位阻挡器。
在本实用新型提供的一种一体化硅棒检测设备中，包括输送线与两个主体框架，所述输送线上连接有两个硅棒工装，两个所述硅棒工装上均设有硅棒且其底端设有顶升机构，两个所述主体框架分别位于所述硅棒两侧且其顶端均固定有工作台面，两个所述工作台面上均设有少子寿命检测机构与电阻检测机构，两个所述少子寿命检测机构与两个所述电阻检测机构为交叉设置；使用该设备，能够同时对硅棒进行电阻检测与少子寿命检测，检测效率高，避免增加企业成本。
附图说明
图1是本实用新型提供的一体化硅棒检测设备结构示意图；
图2是本实用新型提供的一体化硅棒检测设备部分正视图；
图3是本实用新型提供的一体化硅棒检测设备部分后视图；
图4是本实用新型提供的少子寿命检测机构结构示意图；
图5是本实用新型提供的电阻检测机构结构示意图；
图6是本实用新型提供的顶升机构结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
本实用新型提供了一种一体化硅棒检测设备，其结构如图1～5所示，包括输送线1与两个主体框架7，所述输送线1上连接有两个硅棒工装2，两个所述硅棒工装2上均设有硅棒3且其底端设有顶升机构4，两个所述主体框架7分别位于所述硅棒3两侧且其顶端均固定有工作台面8，两个所述工作台面8上均设有少子寿命检测机构5与电阻检测机构6，两个所述少子寿命检测机构5与两个所述电阻检测机构6为交叉设置。使用所述一体化硅棒检测设备，能够同时对硅棒进行电阻检测与少子寿命检测，检测效率高，避免增加企业成本。
具体的，所述少子寿命检测机构5包括少子寿命检测仪501、少子寿命检测仪显示器502、第一前后移动模组503、上下移动模组504与左右移动模组505，所述第一前后移动模组503上连接有第一限位板510并固定有第一连接板，所述第一限位板510上安装有第一距离传感器10并通过第一弹簧509连接有少子寿命探头508，所述少子寿命探头508上通过若干根第一导向柱512连接有第一探头保护盖511，所述上下移动模组504底端固定有第二连接板506；通过所述第一前后移动模组503、所述上下移动模组504以及所述左右移动模组505来对所述少子寿命探头508进行360°移动使其检测所述硅棒3时更加全面。
其中，所述第一前后移动模组503包括第一伺服电机与第一丝杆，所述第一伺服电机输出端与所述第一丝杆一端连接且所述第一丝杆与限位板510螺纹连接，所述上下移动模组504包括第二伺服电机与第二丝杆，所述第二伺服电机输出端与所述第二丝杆一端连接且所述第二丝杆与所述第一连接板507螺纹连接，所述左右移动模组505包括所述第三伺服电机与第三丝杆，所述第三伺服电机输出端与所述第三丝杆一端连接且所述第三丝杆与所述第二连接板506螺纹连接；
所述少子寿命检测仪显示器502和所述少子寿命探头508均与所述少子寿命检测仪501电连接。
具体的，所述电阻检测机构6包括电阻检测仪601、第二前后移动模组603与固定座606，所述第二前后移动模组603上设有固定板604并固定于所述固定座606上，所述固定板604上安装有第二距离传感器11且其底端固定有连接杆605与第二限位板609，所述第二限位板609侧面安装有电阻探头602，所述电阻探头602外表面通过第二导向柱608连接有第二探头保护盖607，所述第二探头保护盖607还与所述固定板604通过若干根第二弹簧610连接，所述电阻检测仪601与所述电阻探头602电连接；
所述第二前后移动模组603包括第四伺服电机与第四丝杆，所述第四伺服电机输出端与所述第四丝杆一端连接且所述第四丝杆与所述连接杆605螺纹连接，通过所述第二前后移动模组603驱动所述连接杆605带动所述电阻探头602前后移动来对所述硅棒3进行电阻检测。
具体的，所述顶升机构4包括固定于所述输送线1上的主体固定支架403与阻挡器固定板406，其结构如图6所示，所述主体固定支架403上安装有升降气缸401，其活塞杆连接有工装托板402，所述工装托板402两侧均固定有两个导向定位板404，所述阻挡器固定板406上安装有到位阻挡器407，通过所述升降气缸401活塞杆驱动所述工装托板402带动所述硅棒工装2以及所述硅棒3向上移动来进行检测。
本实用新型的工作原理如下：当所述硅棒工装2在所述输送线1的运输下到达两个所述主体框架7之间时，首先启动所述升降气缸401，其活塞杆带动所述工装托板402、所述硅棒工装2以及所述硅棒3向上移动，并且在所述到位阻挡器407的作用下，所述硅棒3移动至所述少子寿命检测机构5与所述电阻检测机构6之间，接着通过所述第一前后移动模组503、所述上下移动模组504与所述左右移动模组505将所述少子寿命探头508移动至所述硅棒3一端，再通过所述第二前后移动模组603的作用下将所述电阻探头602移动至所述硅棒3另一端来进行检测，检测结果分别传输至所述少子寿命检测仪501和所述电阻检测仪601上，所述少子寿命检测仪501再将少子寿命检测结果传输至所述少子寿命检测仪显示器502上进行显示；当检测完成后，所述少子寿命探头508与所述电阻探头602退回至初始位置，所述升降气缸401活塞杆带动所述工装托板402、所述硅棒工装2以及所述硅棒3向下移动，接着在所述输送线1的运输下进入下一工位，最后继续重复上述步骤来对所述硅棒3另一端进行少子寿命与电阻的检测，检测效率高，避免增加企业成本。
其中，所述第一伺服电机、所述第一丝杆、所述第二伺服电机、所述第二丝杆、所述第三伺服电机、所述第三丝杆、所述第四伺服电机与所述第四丝杆图中均未示出。
上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
Claims (4)
1.一种一体化硅棒检测设备，包括输送线(1)与两个主体框架(7)，其特征在于，所述输送线(1)上连接有两个硅棒工装(2)，两个所述硅棒工装(2)上均设有硅棒(3)且其底端设有顶升机构(4)，两个所述主体框架(7)分别位于所述硅棒(3)两侧且其顶端均固定有工作台面(8)，两个所述工作台面(8)上均设有少子寿命检测机构(5)与电阻检测机构(6)，两个所述少子寿命检测机构(5)与两个所述电阻检测机构(6)为交叉设置。
2.如权利要求1所述的一体化硅棒检测设备，其特征在于，所述少子寿命检测机构(5)包括少子寿命检测仪(501)、少子寿命检测仪显示器(502)、第一前后移动模组(503)、上下移动模组(504)与左右移动模组(505)，所述第一前后移动模组(503)上连接有第一限位板(510)并固定有第一连接板，所述第一限位板(510)上安装有第一距离传感器(10)并通过第一弹簧(509)连接有少子寿命探头(508)，所述少子寿命探头(508)上通过若干根第一导向柱(512)连接有第一探头保护盖(511)，所述上下移动模组(504)底端固定有第二连接板(506)；
其中，所述第一前后移动模组(503)包括第一伺服电机与第一丝杆，所述第一伺服电机输出端与所述第一丝杆一端连接且所述第一丝杆与限位板(510)螺纹连接，所述上下移动模组(504)包括第二伺服电机与第二丝杆，所述第二伺服电机输出端与所述第二丝杆一端连接且所述第二丝杆与所述第一连接板(507)螺纹连接，所述左右移动模组(505)包括第三伺服电机与第三丝杆，所述第三伺服电机输出端与所述第三丝杆一端连接且所述第三丝杆与所述第二连接板(506)螺纹连接；
所述少子寿命检测仪显示器(502)和所述少子寿命探头(508)均与所述少子寿命检测仪(501)电连接。
3.如权利要求1所述的一体化硅棒检测设备，其特征在于，所述电阻检测机构(6)包括电阻检测仪(601)、第二前后移动模组(603)与固定座(606)，所述第二前后移动模组(603)上设有固定板(604)并固定于所述固定座(606)上，所述固定板(604)上安装有第二距离传感器(11)且其底端固定有连接杆(605)与第二限位板(609)，所述第二限位板(609)侧面安装有电阻探头(602)，所述电阻探头(602)外表面通过第二导向柱(608)连接有第二探头保护盖(607)，所述第二探头保护盖(607)还与所述固定板(604)通过若干根第二弹簧(610)连接，所述电阻检测仪(601)与所述电阻探头(602)电连接；
所述第二前后移动模组(603)包括第四伺服电机与第四丝杆，所述第四伺服电机输出端与所述第四丝杆一端连接且所述第四丝杆与所述连接杆(605)螺纹连接。
4.如权利要求1所述的一体化硅棒检测设备，其特征在于，所述顶升机构(4)包括固定于所述输送线(1)上的主体固定支架(403)与阻挡器固定板(406)，所述主体固定支架(403)上安装有升降气缸(401)，其活塞杆连接有工装托板(402)，所述工装托板(402)两侧均固定有两个导向定位板(404)，所述阻挡器固定板(406)上安装有到位阻挡器(407)。
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