CN220265064U - 一种用于半导体设备的吊装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于半导体设备的吊装装置，包括：固定座；转动部件，所述转动部件与固定座连接；吊臂，所述吊臂通过转动部件与固定座连接，所述吊臂设置为能够以所述转动部件为旋转中心转动；刹车部件，所述刹车部件包括坡体，所述坡体设置在所述固定座和所述转动部件之间，用于在不期望吊臂转动时固定所述转动部件，防止所述转动部件和所述吊臂发生不期望的转动。本实用新型的吊装装置包括刹车部件，使得吊臂在以转动部件为旋转中心的转动过程中，能够在任一期望的位置相对于固定座固定。

Description

一种用于半导体设备的吊装装置

技术领域

本实用新型涉及半导体设备部件的拆装维护技术领域，特别涉及一种用于半导体设备的吊装装置。

背景技术

在半导体领域中，半导体工艺结果和设备状态息息相关，当半导体工艺结果异常时，通常需要开腔对半导体设备进行检查；另外，在进行长时间工艺过程之后，技术人员也需要对半导体设备进行停机维护的操作。在检查和维护操作中，都需要将半导体设备的部件进行拆装，而由于半导体设备的尺寸和重量问题，一些半导体设备的部件，例如腔室盖或上灯组，在不借助外部工具的情况下，技术人员无法将其从半导体设备移出，进而无法进行下一步的检测维护工作。

因此，在实际的拆卸维护过程中，技术人员通常使用吊装装置，将设置在半导体设备的部件进行吊装移动操作，将所需部件移动到期望的位置进行检测维修，但是现有技术中在使用吊装装置对半导体设备部件进行拆装维护时仍存在以下问题：

现有技术中在使用吊装装置对半导体设备的部件进行吊装时，吊臂会随着转动部件旋转，造成安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于半导体设备的吊装装置，该吊装装置的吊臂能够在任一期望的位置相对于固定座固定，从而防止吊臂和转动部件发生不期望的转动。

为了实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

提供一种用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，包括：

固定座；

转动部件，所述转动部件与固定座连接；

吊臂，用于吊装半导体设备的部件，所述吊臂通过转动部件与固定座连接，所述吊臂设置为能够以所述转动部件为旋转中心转动；

刹车部件，所述刹车部件包括坡体，所述坡体设置在所述固定座和所述转动部件之间，用于在不期望吊臂转动时固定所述转动部件，防止所述转动部件和所述吊臂发生不期望的转动。

进一步，所述刹车部件的形状为环形，且所述刹车部件套在所述转动部件上。

进一步，所述刹车部件设置为能够沿着所述转动部件从第一位置到第二位置上下移动，当所述刹车部件位于第一位置时，所述刹车部件处于释放态，所述刹车部件的坡体与所述转动部件之间存在缝隙，所述吊臂能够以所述转动部件为旋转中心转动。

进一步，当所述刹车部件位于第二位置时，所述刹车部件处于锁紧态，所述刹车部件的坡体与所述转动部件之间不存在缝隙，所述坡体将所述转动部件相对于所述固定座锁紧，防止所述转动部件和所述吊臂发生不期望的转动。

进一步，所述刹车部件包括头部和本体部，所述头部与所述本体部连接，且所述头部和所述本体部的中心轴重合，所述坡体设置在所述刹车部件的本体部。

进一步，所述刹车部件的头部的形状为环形。

进一步，所述头部的侧表面的周向轮廓为四边形、五边形、六边形或八边形，所述侧表面设置有开孔，所述开孔用于与握杆连接。

进一步，所述刹车部件的本体部的形状为筒状，所述筒状由至少两个所述坡体围成，且每个坡体之间存在缝隙。

进一步，所述刹车部件的至少部分的的内表面和/或外表面设置了第一螺纹，所述转动部件与所述刹车部件的连接处和/或所述固定座与所述刹车部件的连接处设置了与第一螺纹配合的第二螺纹。

进一步，所述吊臂包括第一端和第二端，所述第一端与所述半导体设备的部件连接，用于将所述部件吊起，所述第二端通过所述转动部件与所述固定座连接。

进一步，所述固定座设置了至少一个凸起，所述吊臂的第二端设置了与所述凸起配合的凹槽，所述凸起与所述凹槽通过所述转动部件连接。

进一步，所述凸起的上表面和下表面设置了通孔，所述转动部件穿过所述通孔分别与所述固定座以及所述吊臂连接。

进一步，所述刹车部件设置在两个所述凸起之间。

进一步，所述吊装装置还包括可移动支架，所述可移动支架与固定座连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

本实用新型提供的吊装装置设置了刹车部件，该刹车部件能够将吊臂和转动部件相对于所述固定座固定，使吊臂和转动部件在任一期望的位置不会发生自由转动，技术人员可以根据实际需要将吊臂及部件固定在所需位置并进行下一步的维护检测工作，增强了吊装装置使用的安全性和效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：

图1为本实用新型提供的吊装装置的结构示意图；

图2为本实用新型提供的刹车部件的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的方案作进一步详细说明。根据下面说明，本实用新型的优点和特征将更清楚。需要说明的是，附图采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施方式的目的。为了使本实用新型的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。

图1示出了本实用新型提供的吊装装置200的结构示意图，该吊装装置用于在拆装维护过程中将半导体设备的部件100进行拆装移动，所述部件可以是腔室盖、上灯组、机械手等。

如图1所示，所述吊装装置200包括：固定座202、转动部件203、吊臂201和刹车部件204。其中，所述转动部件203与所述固定座202连接，而所述吊臂201通过转动部件203与固定座202连接，且所述吊臂201设置为能够以所述转动部件203为旋转中心转动，用于吊装半导体设备的部件100。

图2示出了本实用新型提供的刹车部件204的结构示意图，如图1和图2所示，所述刹车部件204包括坡体302，所述坡体302设置在所述固定座202和所述转动部件203之间，用于在不期望吊臂201转动时固定所述转动部件203，防止所述转动部件203和所述吊臂201发生不期望的转动。

可选的，所述刹车部件204的形状为环形，且所述刹车部件204套在所述转动部件203上。

所述刹车部件204设置为能够沿着所述转动部件203从第一位置到第二位置上下移动，当所述刹车部件204位于第一位置时，所述刹车部件204处于释放态，所述刹车部件的坡体302与所述转动部件203之间存在缝隙，所述吊臂201能够以所述转动部件203为旋转中心自由转动。当所述刹车部件204位于第二位置时，所述刹车部件204处于锁紧态，所述刹车部件的坡体302与所述转动部件203之间不存在缝隙，所述坡体302将所述转动部件203相对于所述固定座202锁紧，防止所述转动部件203和所述吊臂201发生不期望的转动。

可选的，所述刹车部件204包括头部2041和本体部2042，所述头部2041与所述本体部2042连接，且所述头部2041和所述本体部2042的中心轴重合，所述坡体302设置在所述刹车部件的本体部2042上。

可选的，所述刹车部件的头部2041的形状为环形。

可选的，所述头部2041的侧表面的周向轮廓为四边形、五边形、六边形或八边形，所述侧表面还设置有开孔301，所述开孔301用于与握杆连接；所述握杆用于方便技术人员通过旋转握杆来旋转所述刹车部件204。

可选的，所述刹车部件的本体部2042的形状为筒状，所述筒状至少由两个所述坡体围成，且每个坡体之间存在缝隙303。当刹车部件204从第一位置向第二位置移动时，每个坡体之间的缝隙303逐渐减小，直到所述本体部2042将所述转动部件203锁紧。

可选的，所述刹车部件204的至少部分的内表面和/或外表面设置了第一螺纹，所述转动部件203与所述刹车部件204的连接处和/或所述固定座202与所述刹车部件204的连接处也设置了与第一螺纹配合的第二螺纹。

可选的，所述吊臂201包括第一端2011和第二端2012，所述第一端2011与所述半导体设备的部件100连接，用于将所述部件100吊起，所述第二端2012与所述第一端2011相对，通过所述转动部件203与所述固定座202连接。

可选的，所述固定座202设置了至少一个凸起2021，所述吊臂的第二端设置了与所述凸起2021配合的凹槽2013，所述凸起2021与所述凹槽2013通过所述转动部件203连接。

可选的，所述凸起2021的上表面和下表面设置了通孔，所述转动部件203穿过所述通孔分别与所述固定座202以及所述吊臂201连接。

可选的，所述刹车部件204设置在两个所述凸起之间。

可选的，所述吊装装置还包括可移动支架，所述可移动支架与固定座连接，所述可移动支架的底部包括万向轮，可以带动整个吊装装置移动，方便吊装。

使用方法：转动吊臂201，将部件与吊臂的第一端2011连接，当需要锁紧所述吊臂，防止吊臂转动时，将握杆插入任一开孔301中，在平面上将握杆拉动，从而带动刹车部件以转动部件为轴转动，不停地拉动握杆，在第一螺纹和第二螺纹的配合下，刹车部件从第一位置(释放态)向下移动至第二位置(锁紧态)，由于刹车部件在向下移动的过程中，固定座的内表面会抵住坡体，由于坡体的作用，刹车部件越向下移动，两个相邻的坡体之间的缝隙303越会逐渐变小，坡体越会紧紧抱住转动部件，在到达第二位置时，转动部件已经被刹车部件紧紧锁紧，因此转动部件无法转动，那么吊臂也无法转动，实现了吊臂的锁紧。

本实用新型提供的用于半导体设备的吊装装置，所述吊装装置设置了刹车部件，该刹车部件能够将吊臂和转动部件相对于所述固定座固定，防止所述转动部件和所述吊臂发生不期望的转动。技术人员可以根据实际需要将吊臂及部件固定在任一所需位置并进行下一步的维护检测工作，增强了吊装装置使用的安全性和效率。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管本实用新型的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本实用新型的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本实用新型的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本实用新型的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims (14)

1.一种用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，包括：

固定座；

转动部件，所述转动部件与固定座连接；

吊臂，用于吊装半导体设备的部件，所述吊臂通过转动部件与固定座连接，所述吊臂设置为能够以所述转动部件为旋转中心转动；

刹车部件，所述刹车部件包括坡体，所述坡体设置在所述固定座和所述转动部件之间，用于在不期望吊臂转动时固定所述转动部件，防止所述转动部件和所述吊臂发生不期望的转动。

2.如权利要求1所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，所述刹车部件的形状为环形，且所述刹车部件套在所述转动部件上。

3.如权利要求2所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，所述刹车部件设置为能够沿着所述转动部件从第一位置到第二位置上下移动，当所述刹车部件位于第一位置时，所述刹车部件处于释放态，所述刹车部件的坡体与所述转动部件之间存在缝隙，所述吊臂能够以所述转动部件为旋转中心转动。

4.如权利要求3所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，当所述刹车部件位于第二位置时，所述刹车部件处于锁紧态，所述刹车部件的坡体与所述转动部件之间不存在缝隙，所述坡体将所述转动部件相对于所述固定座锁紧，防止所述转动部件和所述吊臂发生不期望的转动。

5.如权利要求4所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，所述刹车部件包括头部和本体部，所述头部与所述本体部连接，且所述头部和所述本体部的中心轴重合，所述坡体设置在所述刹车部件的本体部。

6.如权利要求5所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，所述刹车部件的头部的形状为环形。

7.如权利要求6所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，所述头部的侧表面的周向轮廓为四边形、五边形、六边形或八边形，所述侧表面设置有开孔，所述开孔用于与握杆连接。

8.如权利要求7所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，所述刹车部件的本体部的形状为筒状，所述筒状由至少两个所述坡体围成，且每个坡体之间存在缝隙。

9.如权利要求4所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，所述刹车部件的至少部分的内表面和/或外表面设置了第一螺纹，所述转动部件与所述刹车部件的连接处和/或所述固定座与所述刹车部件的连接处设置了与第一螺纹配合的第二螺纹。

10.如权利要求1所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，所述吊臂包括第一端和第二端，所述第一端与所述半导体设备的部件连接，用于将所述部件吊起，所述第二端通过所述转动部件与所述固定座连接。

11.如权利要求10所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，所述固定座设置了至少一个凸起，所述吊臂的第二端设置了与所述凸起配合的凹槽，所述凸起与所述凹槽通过所述转动部件连接。

12.如权利要求11所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，所述凸起的上表面和下表面设置了通孔，所述转动部件穿过所述通孔分别与所述固定座以及所述吊臂连接。

13.如权利要求12所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，所述刹车部件设置在两个所述凸起之间。

14.如权利要求1-13任一项所述的用于半导体设备的吊装装置，其特征在于，所述吊装装置还包括可移动支架，所述可移动支架与固定座连接。