CN216955760U - 晶棒检测辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及检测设备领域，公开了一种晶棒检测辅助装置，包括安装支架、第一支撑件和第二支撑件，所述安装支架用于固定设置晶棒，且所述安装支架围绕第一轴线可转动地安装于所述第一支撑件，所述第一支撑件围绕第二轴线可转动地安装于所述第二支撑件，所述第一轴线垂直于所述第二轴线。通过上述技术方案，设置安装支架用于固定设置晶棒，通过驱动安装支架围绕第一轴线转动，以及驱动第一支撑件围绕第二轴线转动以调整晶棒的位置，从而替代手持转动晶棒的方式，提升了检测的效率，并能够避免晶棒在转动过程中由于摩擦而受损。

Description

晶棒检测辅助装置

技术领域

本实用新型涉及检测设备领域，具体地涉及一种晶棒检测辅助装置。

背景技术

蓝宝石晶棒是一种用于生产蓝宝石基板的圆柱形三氧化二铝晶体，多应用于航天、军工、半导体照明和电子产品精密仪器等领域。

蓝宝石晶棒滚磨成型之后需要进行品检，目前的品检工序是采用人工借助激光笔进行目检的方式，即检测人员一只手握持并转动晶棒，另一只手握持激光笔照射晶棒，然后目测晶棒是否具有缺陷。但是，当晶棒的直径尺寸较大时，检测人员难以对晶棒进行握持，会造成检测效率降低；当晶棒的长度尺寸较大时，检测人员由于难以握持并抬起晶棒，通常会将晶棒的非握持端搭放在工作平台上以完成检测，但是这种方式在对晶棒进行转动的过程中，工作平台会造成晶棒产生崩边和划痕，导致晶棒损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的采用人工目检的方式对尺寸较大的晶棒进行检测时，会产生效率降低或晶棒受损的问题，提供一种晶棒检测辅助装置。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种晶棒检测辅助装置，包括安装支架、第一支撑件和第二支撑件，所述安装支架用于固定设置晶棒，且所述安装支架围绕第一轴线可转动地安装于所述第一支撑件，所述第一支撑件围绕第二轴线可转动地安装于所述第二支撑件，所述第一轴线垂直于所述第二轴线。

可选地，所述安装支架上设有用于夹持晶棒的夹持机构，所述夹持机构包括至少两个夹持件。

可选地，所述夹持件具有与所述晶棒的周向轮廓适配的圆弧形的夹持面；和/或

所述夹持件用于夹持晶棒的夹持面设有垫片，所述垫片由弹性材料或纤维材料制成。

可选地，所述安装支架为管状框架结构，所述安装支架内部设有沿其轴向方向设置的至少两组所述夹持机构。

可选地，所述夹持件能够沿径向方向朝向或远离所述安装支架的中心轴线移动。

可选地，所述夹持件通过径向延伸的螺栓螺接于所述安装支架。

可选地，所述第一支撑件和所述第二支撑件为环状结构，所述安装支架通过沿所述第一支撑件的其中一条直径延伸的第一转轴可转动地安装于所述第一支撑件，所述第一支撑件通过沿所述第二支撑件的其中一条直径延伸的第二转轴可转动地安装于所述第二支撑件。

可选地，所述晶棒检测辅助装置还包括底座，所述第二支撑件围绕第三轴线可转动地安装于所述底座，所述第三轴线垂直于所述第二轴线。

可选地，所述第二支撑件通过沿其径向设置的第三转轴可转动地安装于所述底座。

可选地，所述安装支架和所述第一支撑件其中至少一者与用于连接两者的第一转轴可拆卸地相连，所述第一支撑件和所述第二支撑件其中至少一者与用于连接两者的第二转轴可拆卸地相连，所述第二支撑件和所述底座其中至少一者与用于连接两者的第三转轴可拆卸地相连。

通过上述技术方案，设置安装支架用于固定设置晶棒，通过驱动安装支架围绕第一轴线转动，以及驱动第一支撑件围绕第二轴线转动以调整晶棒的位置，从而替代手持转动晶棒的方式，提升了检测的效率，并能够避免晶棒在转动过程中由于摩擦而受损。

附图说明

图1是本实用新型中晶棒检测辅助装置的一种实施方式的结构示意图；

图2是图1中晶棒检测辅助装置的使用状态示意图。

附图标记说明

1.安装支架；2.第一支撑件；3.第二支撑件；4.晶棒；5.夹持件；6.第一转轴；7.第二转轴；8.底座；9.第三转轴；10.紧固螺栓。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

本实用新型提供一种晶棒检测辅助装置，包括安装支架1、第一支撑件2和第二支撑件3，所述安装支架1用于固定设置晶棒4，且所述安装支架1围绕第一轴线可转动地安装于所述第一支撑件2，所述第一支撑件2围绕第二轴线可转动地安装于所述第二支撑件3，所述第一轴线垂直于所述第二轴线，此时第二支撑件3作为基准，晶棒4能够相对第二支撑件3进行二自由度转动。

通过上述技术方案，设置安装支架1用于固定设置晶棒4，通过驱动安装支架4围绕第一轴线转动，以及驱动第一支撑件2围绕第二轴线转动以调整晶棒4的位置，从而替代手持转动晶棒4的方式，提升了检测的效率，并能够避免晶棒4在转动过程中由于摩擦而受损。

进一步的，为了能够将晶棒4固定设置在安装支架1上，避免晶棒4脱落，如图1所示的实施方式中，所述安装支架1上设有用于夹持晶棒4的夹持机构，所述夹持机构包括至少两个夹持件5，两个夹持件5沿晶棒的周向设置在夹持机构上。当然，在其他实施方式中，也可以不设置夹持机构，此时，在安装支架1的内周壁上设置垫圈或者沿晶棒的周向设置的多个垫片，通过垫圈或多个垫片将晶棒4进行夹持固定。

如图1所示的实施方式中，所述夹持件5具有与所述晶棒4的周向轮廓适配的圆弧形的夹持面，以避免晶棒4滑动。当然，在其他实施方式中，也可以在夹持件5用于夹持晶棒4的夹持面设置垫片，所述垫片由弹性材料或纤维材料制成，也能够避免晶棒4滑动，同时垫片还可以避免夹持晶棒4时对其产生划痕。当然，在其他实施方式中，也可以同时设置圆弧形的夹持面和垫片。

如图1所示的实施方式中，所述安装支架1为管状框架结构，即安装支架1具有镂空，以能够对晶棒4进行观察检测，所述安装支架1内部设有沿其轴向方向设置的至少两组所述夹持机构，管状框架结构可以为圆管状也可以为方管状。当然，在其他实施方式中，安装支架1也可以为环形支架，其仅设置一组夹持机构。

进一步的，为了实现夹持件5对晶棒4的夹持和释放操作，如图1所示的实施方式中，所述夹持件5能够沿径向方向朝向或远离所述安装支架1的中心轴线移动。当然，在其他实施方式中，夹持件5也可以固定安装在安装支架1上，并设有垫片，此时晶棒4通过插拔的方式进行安装和拆卸。

如图1所示的实施方式中，所述夹持件5通过径向延伸的螺栓螺接于所述安装支架1，通过转动螺栓实现对夹持件5位置的调整。当然，在其他实施方式中，也可以通过气压或液压伸缩装置驱动夹持件5进行移动。

如图1所示的实施方式中，所述第一支撑件2和所述第二支撑件3为环状结构，其可以为圆形环，也可以为矩形环，所述安装支架1通过沿所述第一支撑件2的其中一条直径延伸的第一转轴6可转动地安装于所述第一支撑件2，所述第一支撑件2通过沿所述第二支撑件3的其中一条直径延伸的第二转轴7可转动地安装于所述第二支撑件3，第一转轴6和第二转轴7可以分别设置为两个，也可以仅设置一个第一转轴6和第二转轴7。当然，在其他实施方式中，也可以不设置第一转轴6和第二转轴7，而是在第一支撑件2和第二支撑件3的内周壁分别设置沿其周向的环形滑槽，安装支架1的外周壁通过滑块与第一支撑件2的环形滑槽滑动相连，使安装支架1能够沿第一支撑件2的周向滑动以实现围绕第一轴线转动，第一支撑件2的外周壁通过滑块与第二支撑件3的环形滑槽滑动相连，使第一支撑件2能够沿第二支撑件3的周向滑动以实现围绕第二轴线转动。

进一步的，为了增加晶棒4转动的维度，使晶棒4实现360°无死角的检测，进一步提升检测的效率，如图1所示的实施方式中，所述晶棒检测辅助装置还包括底座8，所述第二支撑件3围绕第三轴线可转动地安装于所述底座8，所述第三轴线垂直于所述第二轴线，此时，底座8作为基准，晶棒4能够相对底座8进行三自由度转动。当然，在其他实施方式中，也可以不设置底座8，或者将底座8与第二支撑件3固定相连。

如图1所示的实施方式中，所述第二支撑件3通过沿其径向设置的第三转轴9可转动地安装于所述底座8。当然，在其他实施方式中，也可以不设置第三转轴9而采用轴承实现转动相连，同理的第一转轴6和第二转轴7也可以通过轴承替代。

为了便于对晶棒检测辅助装置进行拆卸和维护，所述安装支架1和所述第一支撑件2其中至少一者与用于连接两者的第一转轴6可拆卸地相连，所述第一支撑件2和所述第二支撑件3其中至少一者与用于连接两者的第二转轴7可拆卸地相连，所述第二支撑件3和所述底座8其中至少一者与用于连接两者的第三转轴9可拆卸地相连，如图1所示的实施方式中，分别设置对应的紧固螺栓10将第一转轴6与第一支撑件2可拆卸的连接，将第二转轴7与第二支撑件3可拆卸的连接，以及将第三转轴9与底座8可拆卸的连接。当然，在其他实施方式中，第一转轴6、第二转轴7和第三转轴9也可以不可拆卸的固定安装。

以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于此。在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，包括各个具体技术特征以任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。但这些简单变型和组合同样应当视为本实用新型所公开的内容，均属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种晶棒检测辅助装置，其特征在于，包括安装支架(1)、第一支撑件(2)和第二支撑件(3)，所述安装支架(1)用于固定设置晶棒(4)，且所述安装支架(1)围绕第一轴线可转动地安装于所述第一支撑件(2)，所述第一支撑件(2)围绕第二轴线可转动地安装于所述第二支撑件(3)，所述第一轴线垂直于所述第二轴线。

2.根据权利要求1所述的晶棒检测辅助装置，其特征在于，所述安装支架(1)上设有用于夹持晶棒(4)的夹持机构，所述夹持机构包括至少两个夹持件(5)。

3.根据权利要求2所述的晶棒检测辅助装置，其特征在于，所述夹持件(5)具有与所述晶棒(4)的周向轮廓适配的圆弧形的夹持面；和/或

所述夹持件(5)用于夹持晶棒(4)的夹持面设有垫片，所述垫片由弹性材料或纤维材料制成。

4.根据权利要求2所述的晶棒检测辅助装置，其特征在于，所述安装支架(1)为管状框架结构，所述安装支架(1)内部设有沿其轴向方向设置的至少两组所述夹持机构。

5.根据权利要求2所述的晶棒检测辅助装置，其特征在于，所述夹持件(5)能够沿径向方向朝向或远离所述安装支架(1)的中心轴线移动。

6.根据权利要求5所述的晶棒检测辅助装置，其特征在于，所述夹持件(5)通过径向延伸的螺栓螺接于所述安装支架(1)。

7.根据权利要求1所述的晶棒检测辅助装置，其特征在于，所述第一支撑件(2)和所述第二支撑件(3)为环状结构，所述安装支架(1)通过沿所述第一支撑件(2)的其中一条直径延伸的第一转轴(6)可转动地安装于所述第一支撑件(2)，所述第一支撑件(2)通过沿所述第二支撑件(3)的其中一条直径延伸的第二转轴(7)可转动地安装于所述第二支撑件(3)。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的晶棒检测辅助装置，其特征在于，所述晶棒检测辅助装置还包括底座(8)，所述第二支撑件(3)围绕第三轴线可转动地安装于所述底座(8)，所述第三轴线垂直于所述第二轴线。

9.根据权利要求8所述的晶棒检测辅助装置，其特征在于，所述第二支撑件(3)通过沿其径向设置的第三转轴(9)可转动地安装于所述底座(8)。

10.根据权利要求8所述的晶棒检测辅助装置，其特征在于，所述安装支架(1)和所述第一支撑件(2)其中至少一者与用于连接两者的第一转轴(6)可拆卸地相连，所述第一支撑件(2)和所述第二支撑件(3)其中至少一者与用于连接两者的第二转轴(7)可拆卸地相连，所述第二支撑件(3)和所述底座(8)其中至少一者与用于连接两者的第三转轴(9)可拆卸地相连。

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