CN220077822U - 一种晶圆片检测设备进片机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆片检测设备进片机构，包括安装座和晶圆片放置架，所述晶圆片放置架的表面分别开设有与晶圆片相适配的圆槽和供托板通过的凹槽，安装座的上端分别固定安装有晶圆片检测座、晶圆片检测仪和定位座，安装座的上端转动安装有连接轴，连接轴的上端分别固定安装有第一安装框和第二安装框，第一安装框和第二安装框的内壁均设置有送料组件，送料组件由第一气动伸缩杆、滑板、托板和气动吸盘构成，安装座的内部设置有可驱使连接轴转动的驱动组件。本实用新型采用双工位可持续的对晶圆片进行上料、检测和收料，从而解决了传统设备在输送和转运晶圆片时行程较长，且复位行程也较长，影响检测效率的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆片检测技术领域，尤其涉及一种晶圆片检测设备进片机构。
背景技术
中国专利公告号CN211957616U公开了一种晶圆片检测设备进片机构，包括CCD检测设备、底座、旋转机构、上料机构和移动机构、所述底座设置在地面上，所述CCD检测设备分别设置在底座顶部和上料机构的顶部，所述旋转机构设置在底座的顶部，所述上料机构设置在旋转机构的顶部，所述移动机构设置在底座的顶部，所述移动机构与上料机构和旋转机构呈水平并齐状设置在底座顶部，以解决现有技术中的晶圆片进片机构在实际应用时可能造成晶圆片在进行上料时所产生的磨损或者损伤，以及晶圆片在进行上料时可能发生的形变，导致晶圆片受损无法使用的情况。
但该装置在使用时存在以下缺陷：由于该装置只设置一个托架，在输送和转运晶圆片时行程较长，且复位行程也较长，从而影响其检测效率。为此，我们提出一种可快速输送晶圆片的晶圆片检测设备进片机构。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆片检测设备进片机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种晶圆片检测设备进片机构，包括安装座和晶圆片放置架，所述安装座的上端分别固定安装有晶圆片检测座、晶圆片检测仪和定位座，安装座的上端转动安装有连接轴，连接轴的上端分别固定安装有第一安装框和第二安装框，第一安装框和第二安装框的内壁均设置有送料组件，送料组件由第一气动伸缩杆、滑板、托板和气动吸盘构成，安装座的内部设置有可驱使连接轴转动的驱动组件。
优选地，所述晶圆片放置架的形状设置为半圆形，且晶圆片放置架的表面分别开设有与晶圆片相适配的圆槽和供托板通过的凹槽。
优选地，所述滑板和第一气动伸缩杆的数量均为两个，两个滑板分别与第一安装框和第二安装框的内壁滑动连接，两个第一气动伸缩杆分别与第一安装框和第二安装框的内壁固定连接，滑板的一端与第一气动伸缩杆的伸缩端固定连接，滑板的另一端与托板的一侧固定连接，气动吸盘固定安装在托板的上表面。
优选地，所述驱动组件包括固定安装在安装座内壁的第二气动伸缩杆，第二气动伸缩杆的伸缩端固定安装有电机，电机的输出端与连接轴的下端固定连接。
优选地，所述晶圆片放置架的下端固定安装有限位块，定位座的上端开设有与限位块相适配的限位槽。
优选地，所述定位座的数量为两个，晶圆片检测座和两个定位座呈圆周阵列设置在安装座的上端，第一安装框和第二安装框之间的夹角为120度。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点：
1、本实用新型通过设置第一安装框和第二安装框，当第一安装框上的送料组件将晶圆片放置架上的晶圆片取出后，接着利用驱动组件将第一安装框转动至晶圆片检测座位置，并利用送料组件将晶圆片放入晶圆片检测座上，当检测完毕后，继续转动连接轴120度，此时第一安装框7处于另一个晶圆片放置架的位置，从而可利用送料组件将检测完毕的晶圆片放入另一个晶圆片放置架内进行存放，同时第二安装框处于未检测的晶圆片放置架位置，利用第二安装框上的送料组件可继续在晶圆片放置架内取料，该装置采用双工位可持续的对晶圆片进行上料、检测和收料，从而解决了传统设备在输送和转运晶圆片时行程较长，且复位行程也较长，影响检测效率的问题。
2、本实用新型通过设置限位块，当限位块插入限位槽后，此时可快速的对晶圆片放置架进行定位，避免了晶圆片放置架摆放位置偏差造成撞机的问题。
附图说明
图1为实用新型提出的立体结构示意图；
图2为实用新型提出的安装座正剖结构示意图；
图3为实用新型提出的第一安装框正剖结构示意图；
图4为实用新型提出的晶圆片放置架立体结构示意图；
图5为实用新型提出的晶圆片放置架侧剖结构示意图。
图中：1安装座、2晶圆片放置架、3晶圆片检测座、4晶圆片检测仪、5定位座、6连接轴、7第一安装框、8第二安装框、9第一气动伸缩杆、10滑板、11托板、12气动吸盘、13圆槽、14凹槽、15第二气动伸缩杆、16电机、17限位块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1-5，一种晶圆片检测设备进片机构，包括安装座1和晶圆片放置架2，安装座1的上端分别固定安装有晶圆片检测座3、晶圆片检测仪4和定位座5，晶圆片检测座3的上端设置有凸起，安装座1的上端转动安装有连接轴6，连接轴6的上端分别固定安装有第一安装框7和第二安装框8，定位座5的数量为两个，晶圆片检测座3和两个定位座5呈圆周阵列设置在安装座1的上端，第一安装框7和第二安装框8之间的夹角为120度。
第一安装框7和第二安装框8的内壁均设置有送料组件，送料组件由第一气动伸缩杆9、滑板10、托板11和气动吸盘12构成，滑板10和第一气动伸缩杆9的数量均为两个，两个滑板10分别与第一安装框7和第二安装框8的内壁滑动连接，两个第一气动伸缩杆9分别与第一安装框7和第二安装框8的内壁固定连接。
滑板10的一端与第一气动伸缩杆9的伸缩端固定连接，滑板10的另一端与托板11的一侧固定连接，气动吸盘12固定安装在托板11的上表面，驱动第一气动伸缩杆9可带动两个滑板10分别在第一安装框7和第二安装框8的内壁滑动，从而可驱使托板11移动。
安装座1的内部设置有可驱使连接轴6转动的驱动组件，驱动组件包括固定安装在安装座1内壁的第二气动伸缩杆15，第二气动伸缩杆15的伸缩端固定安装有电机16，电机16的输出端与连接轴6的下端固定连接，驱动电机16转动可带动连接轴6旋转，从而可带动第一安装框7和第二安装框8转动，同时，驱动第二气动伸缩杆15伸缩可调节第一安装框7和第二安装框8的高度。
晶圆片放置架2的形状设置为半圆形，且晶圆片放置架2的表面分别开设有与晶圆片相适配的圆槽13和供托板11通过的凹槽14，利用圆槽13可将晶圆片进行放置，晶圆片放置架2的下端固定安装有限位块17，定位座5的上端开设有与限位块17相适配的限位槽，当限位块17插入限位槽后，此时可快速的对晶圆片放置架2进行定位，避免了晶圆片放置架2摆放位置偏差造成撞机的问题。
当第一安装框7处于晶圆片放置架2处时，此时驱动第一气动伸缩杆9带动第一安装框7上的托板11移动至晶圆片放置架2内部的凹槽14内，接着驱动第二气动伸缩杆15上升带动第一安装框7和第二安装框8上升，此时处于第一安装框7上托板11上方的气动吸盘12会将圆槽13内的晶圆片吸附，之后第一气动伸缩杆9复位，从而可将晶圆片从晶圆片放置架2内取出，同时配合第二气动伸缩杆15伸缩可调节第一安装框7和第二安装框8的高度，从而可对处于晶圆片放置架2内不同高度的晶圆片进行取放。
当第一安装框7上的送料组件将晶圆片放置架2上的晶圆片取出后，接着驱动电机16带动连接轴6旋转，从而可将第一安装框7转动至晶圆片检测座3位置，利用送料组件将晶圆片放入晶圆片检测座3正上方，之后利用第二气动伸缩杆15收缩带动第一安装框7下降，从而可将晶圆片放入晶圆片检测座3上的凸起处进行支撑，之后送料组件上的托板11可从凸起中的间隙穿过并复位，当检测完毕后，继续转动连接轴6一百二十度，此时第一安装框7处于另一个晶圆片放置架2的位置，从而可利用送料组件将检测完毕的晶圆片放入另一个晶圆片放置架2内进行存放，同时第二安装框8处于未检测的晶圆片放置架2位置，利用第二安装框8上的送料组件可继续在晶圆片放置架2内取料，该装置采用双工位可持续的对晶圆片进行上料、检测和收料，从而解决了传统设备在输送和转运晶圆片时行程较长，且复位行程也较长，影响检测效率的问题。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种晶圆片检测设备进片机构，包括安装座(1)和晶圆片放置架(2)，其特征在于：所述安装座(1)的上端分别固定安装有晶圆片检测座(3)、晶圆片检测仪(4)和定位座(5)，安装座(1)的上端转动安装有连接轴(6)，连接轴(6)的上端分别固定安装有第一安装框(7)和第二安装框(8)，第一安装框(7)和第二安装框(8)的内壁均设置有送料组件，送料组件由第一气动伸缩杆(9)、滑板(10)、托板(11)和气动吸盘(12)构成，安装座(1)的内部设置有可驱使连接轴(6)转动的驱动组件。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片检测设备进片机构，其特征在于：所述晶圆片放置架(2)的形状设置为半圆形，且晶圆片放置架(2)的表面分别开设有与晶圆片相适配的圆槽(13)和供托板(11)通过的凹槽(14)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆片检测设备进片机构，其特征在于：所述滑板(10)和第一气动伸缩杆(9)的数量均为两个，两个滑板(10)分别与第一安装框(7)和第二安装框(8)的内壁滑动连接，两个第一气动伸缩杆(9)分别与第一安装框(7)和第二安装框(8)的内壁固定连接，滑板(10)的一端与第一气动伸缩杆(9)的伸缩端固定连接，滑板(10)的另一端与托板(11)的一侧固定连接，气动吸盘(12)固定安装在托板(11)的上表面。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆片检测设备进片机构，其特征在于：所述驱动组件包括固定安装在安装座(1)内壁的第二气动伸缩杆(15)，第二气动伸缩杆(15)的伸缩端固定安装有电机(16)，电机(16)的输出端与连接轴(6)的下端固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆片检测设备进片机构，其特征在于：所述晶圆片放置架(2)的下端固定安装有限位块(17)，定位座(5)的上端开设有与限位块(17)相适配的限位槽。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆片检测设备进片机构，其特征在于：所述定位座(5)的数量为两个，晶圆片检测座(3)和两个定位座(5)呈圆周阵列设置在安装座(1)的上端，第一安装框(7)和第二安装框(8)之间的夹角为120度。
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2023
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