CN217507289U - 一种晶圆非接触式排列机 - Google Patents

Abstract

本申请属于晶圆快检技术领域，公开了一种晶圆非接触式排列机，包括固定座和固定框板，所述固定座上间隔安装有两个传送装置，所述固定框板处在两个传送装置背对固定座的一端，所述固定框板的内顶部依次安装有分别与两个传送装置相匹配的两个快检相机；所述固定座的前后两侧对称安装有两个晶圆置筒，两个所述晶圆置筒的下方均设置有固定在固定座外立面上的电动推杆，两个所述晶圆置筒内均插设并滑动安装有顶台，两个所述电动推杆的输出端分别与两个顶台固定相连。本申请可以同步实现对两个传送皮带上晶圆的排布，能同时实现两排晶圆的同步排布，对待检晶圆的排布效率大大提高，配合两个快检相机能进一步提高对晶圆的快检效率，实用可靠。

Description

一种晶圆非接触式排列机

技术领域

本申请涉及晶圆快检技术领域，更具体地说，涉及一种晶圆非接触式排列机。

背景技术

随着集成电路制造技术的不断发展，芯片特征尺寸越来越小，互连层数越来越多，晶圆直径也不断增大。晶圆的快速检测需要对晶圆进行快速的排布才能得以实现，但是当前对晶圆的排布大多依靠机械臂配合吸带部件的往复动作得以实现，其一次只能对一排晶圆进行排布，存在效率较低的问题。

实用新型内容

本申请的目的是为了解决现有技术中对晶圆的排布大多依靠机械臂配合吸带部件的往复动作得以实现，其一次只能对一排晶圆进行排布，存在效率较低的问题，而提出的一种晶圆非接触式排列机。

为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：

一种晶圆非接触式排列机，包括固定座和固定框板，所述固定座上间隔安装有两个传送装置，所述固定框板处在两个传送装置背对固定座的一端，所述固定框板的内顶部依次安装有分别与两个传送装置相匹配的两个快检相机；所述固定座的前后两侧对称安装有两个晶圆置筒，两个所述晶圆置筒的下方均设置有固定在固定座外立面上的电动推杆，两个所述晶圆置筒内均插设并滑动安装有顶台，两个所述电动推杆的输出端分别与两个顶台固定相连，所述固定座的顶部安装有与两个晶圆置筒相匹配的同步双吸机构。

进一步的，所述同步双吸机构包括间隔式转动安装在固定座内顶部的两个转轴，两个所述转轴的上端均固定套接有齿轮，两个所述齿轮之间啮合相连，两个所述转轴的下端均安装有吸带部件。

通过上述技术方案，可以同步实现对两个传送皮带上晶圆的排布，能同时实现两排晶圆的同步排布。

进一步的，所述固定座的侧面靠后方安装有电机支架，所述电机支架上安装固定有伺服电机，所述伺服电机的输出端与靠后设置的转轴的端部固定相连。

通过上述技术方案，伺服电机可给与之相连的转轴一个有规律式的正反带转效用。

进一步的，所述吸带部件包括固定套接在转轴下端部的摆块，所述摆块背对转轴轴心线的一端嵌装有吸带泵体，所述吸带泵体的底部安装有非接触式吸带盘，所述非接触式吸带盘的底部密布设置有多个抽吸头。

通过上述技术方案，吸带泵体工作带动非接触式吸带盘底侧的抽吸头对晶圆置筒上部的晶圆单片进行吸带。

进一步的，所述传送装置包括传送座体，所述传送座体的两端分别纵向转动安插有传送轴辊，两个所述传送轴辊外共同传动连接有传送皮带。

通过上述技术方案，利用传送皮带的传送性能使晶圆单片依次穿过快检相机进行快检。

进一步的，所述传送座体背对固定座的一侧安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端与其正对的传送轴辊的端部固定相连。

通过上述技术方案，给传送轴辊转动介入力确保传送皮带的稳定、有力运行。

综上所述，本申请包括以下至少一个有益技术效果：

1、可以同步实现对两个传送皮带上晶圆的排布，能同时实现两排晶圆的同步排布，对待检晶圆的排布效率大大提高，配合两个快检相机能进一步提高对晶圆的快检效率，实用可靠；

2、两个电动推杆带动两个顶台对两个晶圆置筒内的两组晶圆进行缓步地抬升，方便两个非接触式吸带盘实现对两个晶圆置筒上部晶圆的有效吸带。

附图说明

图1为本申请的三维结构示意图一；

图2为本申请的三维结构示意图二；

图3为本申请固定座上主要部件的放大图；

图4为本申请晶圆置筒、齿轮、非接触式吸带盘的连接示意图。

图中标号说明：

1、固定框板；2、快检相机；3、固定座；4、晶圆置筒；5、电动推杆；6、齿轮；7、伺服电机；8、顶台；9、转轴；10、电机支架；11、摆块；12、吸带泵体；13、非接触式吸带盘；14、传送座体；15、传送皮带；16、驱动电机。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

以下结合附图对本申请作进一步的详细说明。

实施例1：

参照图1-4，本申请实施例中的一种晶圆非接触式排列机，包括固定座3和固定框板1，固定座3上间隔安装有两个传送装置，固定框板1处在两个传送装置背对固定座3的一端，固定框板1的内顶部依次安装有分别与两个传送装置相匹配的两个快检相机2；固定座3的前后两侧对称安装有两个晶圆置筒4，两个晶圆置筒4的下方均设置有固定在固定座3外立面上的电动推杆5，两个晶圆置筒4内均插设并滑动安装有顶台8，两个电动推杆5的输出端分别与两个顶台8固定相连，固定座3的顶部安装有与两个晶圆置筒4相匹配的同步双吸机构。

同步双吸机构包括间隔式转动安装在固定座3内顶部的两个转轴9，两个转轴9的上端均固定套接有齿轮6，两个齿轮6之间啮合相连，两个转轴9的下端均安装有吸带部件；吸带部件包括固定套接在转轴9下端部的摆块11，摆块11背对转轴9轴心线的一端嵌装有吸带泵体12，吸带泵体12的底部安装有非接触式吸带盘13，非接触式吸带盘13的底部密布设置有多个抽吸头。非接触式吸带盘13转移至晶圆置筒4的正上方，吸带晶圆单片后摆块11带动非接触式吸带盘13回转至传送皮带15上方，之后吸带泵体12停机数刻促使非接触式吸带盘13下方吸带的均匀单片掉落在传送皮带15上，之后非接触式吸带盘13在此转移至晶圆置筒4的正上方进行再一次的吸带作业。

传送装置包括传送座体14，传送座体14的两端分别纵向转动安插有传送轴辊(此处的传送轴辊图中未示出，为现有技术)，两个传送轴辊外共同传动连接有传送皮带15；传送座体14背对固定座3的一侧安装有驱动电机16，驱动电机16的输出端与其正对的传送轴辊的端部固定相连。

具体详细的实施原理为：将两个晶圆置筒4内先行安置两组晶圆，之后给靠后设置的一个转轴9一个往复有规律式转动的介入力，这样两个齿轮6方向转动对两个摆块11、两个非接触式吸带盘13进行往复带转，配合两个电动推杆5上两个顶台8对两组晶圆的上顶动作，两个非接触式吸带盘13将两个晶圆置筒4上部的晶圆进行分别地吸带，然后分别转送至两个传送皮带15上；

这样可以同步实现对两个传送皮带15上晶圆的排布，能同时实现两排晶圆的同步排布，对待检晶圆的排布效率大大提高，配合两个快检相机2能进一步提高对晶圆的快检效率，实用可靠。

实施例2：

该实施例与实施例1的区别在于：固定座3的侧面靠后方安装有电机支架10，电机支架10上安装固定有伺服电机7，伺服电机7的输出端与靠后设置的转轴9的端部固定相连，伺服电机7可给与之相连的转轴9一个有规律式的正反带转效用。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆非接触式排列机，包括固定座(3)和固定框板(1)，其特征在于：所述固定座(3)上间隔安装有两个传送装置，所述固定框板(1)处在两个传送装置背对固定座(3)的一端，所述固定框板(1)的内顶部依次安装有分别与两个传送装置相匹配的两个快检相机(2)；所述固定座(3)的前后两侧对称安装有两个晶圆置筒(4)，两个所述晶圆置筒(4)的下方均设置有固定在固定座(3)外立面上的电动推杆(5)，两个所述晶圆置筒(4)内均插设并滑动安装有顶台(8)，两个所述电动推杆(5)的输出端分别与两个顶台(8)固定相连，所述固定座(3)的顶部安装有与两个晶圆置筒(4)相匹配的同步双吸机构。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆非接触式排列机，其特征在于：所述同步双吸机构包括间隔式转动安装在固定座(3)内顶部的两个转轴(9)，两个所述转轴(9)的上端均固定套接有齿轮(6)，两个所述齿轮(6)之间啮合相连，两个所述转轴(9)的下端均安装有吸带部件。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆非接触式排列机，其特征在于：所述固定座(3)的侧面靠后方安装有电机支架(10)，所述电机支架(10)上安装固定有伺服电机(7)，所述伺服电机(7)的输出端与靠后设置的转轴(9)的端部固定相连。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆非接触式排列机，其特征在于：所述吸带部件包括固定套接在转轴(9)下端部的摆块(11)，所述摆块(11)背对转轴(9)轴心线的一端嵌装有吸带泵体(12)，所述吸带泵体(12)的底部安装有非接触式吸带盘(13)，所述非接触式吸带盘(13)的底部密布设置有多个抽吸头。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆非接触式排列机，其特征在于：所述传送装置包括传送座体(14)，所述传送座体(14)的两端分别纵向转动安插有传送轴辊，两个所述传送轴辊外共同传动连接有传送皮带(15)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆非接触式排列机，其特征在于：所述传送座体(14)背对固定座(3)的一侧安装有驱动电机(16)，所述驱动电机(16)的输出端与其正对的传送轴辊的端部固定相连。

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