CN219998165U - 一种硅片缓存机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片缓存机构，包括顶板、第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板位于顶板的同一面上；第一侧板和第二侧板沿第一方向相对设置；第一侧板靠近第二侧板一侧设置有至少两个第一硅片支撑件，第二侧板靠近第一侧板一侧设置有与第一硅片支撑件相对应的第二硅片支撑件；顶板在第一侧板和第二侧板的对应位置上分别设有至少一个定位孔，定位孔沿第二方向贯通，定位孔沿第一方向延伸，每个定位孔内设有紧固件，紧固件与对应的第一侧板和第二侧板相连接；通过第一侧板和第二侧板带动紧固件在定位孔内沿第一方向移动，可以对第一侧板和第二侧板之间的间距进行调整，进而使硅片缓存机构能够适用于更多尺寸的硅片，并且方法简单易于操作。

Description

一种硅片缓存机构

技术领域

本实用新型涉及光伏技术领域，更具体地，涉及一种硅片缓存机构。

背景技术

在硅基太阳能电池的制造工艺过程中，会采用薄膜沉积工艺在电池片的表面镀膜。在电池片的镀膜过程中，首先需要通过机械手将硅片缓存库中层叠的、未镀膜的硅片插入到石墨舟中，相邻的石墨舟片会通过卡点卡住硅片。之后，将装载硅片的石墨舟放置在真空镀膜设备的真空炉内进行镀膜。镀膜工艺完成后取出石墨舟，待石墨舟冷却后，再将镀膜后的硅片从石墨舟中取出，送往下一道工序。在进料、规整和机械手取料等过程，硅片需要缓存机构进行存储，现有的硅片缓存机构无法调整侧板之间的间距，同一个缓存机构无法匹配不同尺寸的硅片。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种硅片缓存机构，能够调整侧板之间的间距，可以匹配不同尺寸的硅片。

本申请提供一种硅片缓存机构，包括：顶板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板位于所述顶板的同一面上；所述第一侧板和所述第二侧板沿第一方向相对设置；所述第一侧板靠近所述第二侧板一侧设置有至少两个第一硅片支撑件，至少两个所述第一硅片支撑件沿第二方向排列，第二方向为由所述顶板指向所述第一侧板或所述第二侧板的方向，所述第一方向和所述第二方向垂直，所述第二侧板靠近所述第一侧板一侧设置有与所述第一硅片支撑件相对应的第二硅片支撑件；

所述顶板在所述第一侧板和所述第二侧板的对应位置上分别设有至少一个定位孔，所述定位孔沿所述第二方向贯通，所述定位孔沿所述第一方向延伸，每个所述定位孔内设有紧固件，所述紧固件与对应的所述第一侧板和所述第二侧板相连接；

所述第一侧板和所述第二侧板带动所述紧固件在所述定位孔内沿所述第一方向移动。

可选的，所述紧固件为定位螺栓，所述第一侧板靠近所述顶板一侧的端面和所述第二侧板靠近所述顶板一侧的端面分别设有螺纹孔，所述螺纹孔和所述定位螺栓一一对应，所述定位螺栓包括定位头部和与所述定位头部连接的定位螺杆部；所述定位头部沿第三方向的宽度大于所述定位孔沿所述第三方向的宽度，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直；所述定位螺杆部穿过对应的所述定位孔与对应的所述螺纹孔螺纹连接，所述定位头部与所述顶板相抵接。

可选的，所述第一侧板靠近所述顶板一侧的端面和所述第二侧板靠近所述顶板一侧的端面上分别设有导向块，沿第二方向上，所述导向块在所述第一侧板或所述第二侧板所在平面的正投影与紧固件在第一侧板或第二侧板所在平面的正投影不交叠；

所述顶板靠近所述第一侧板一侧的端面上设有与每个所述导向块相对应的导向槽；所述导向槽沿所述第一方向延伸，所述导向块插入所述导向槽内，所述导向块在所述顶板的正投影位于所述导向槽在所述顶板的正投影范围内。

可选的，所述顶板沿所述第一方向延伸的端面上设有两个测量尺，两个所述测量尺分别与所述第一侧板和所述第二侧板相对应。

可选的，所述第一硅片支撑件和所述第二硅片支撑件均包括支撑杆，所述支撑杆沿第三方向排列；所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直；所述支撑杆包括圆柱，所述圆柱的外周面用于与硅片接触；或者，所述支撑杆包括棱柱，所述棱柱的侧棱用于与所述硅片接触。

可选的，当所述支撑杆包括所述圆柱，所述圆柱的外周面用于与所述硅片接触时；所述圆柱为支撑螺栓；所述第一侧板和所述第二侧板上分别设有与所述支撑螺栓相对应的安装孔，所述支撑螺栓和所述安装孔螺纹连接；所述支撑螺栓包括支撑头部和与所述支撑头部连接的支撑螺杆部；所述第一侧板上的所述支撑螺栓的所述支撑螺杆部位于所述支撑头部靠近所述第二侧板的一侧；所述第二侧板上的所述支撑螺栓的所述支撑螺杆部位于所述支撑头部靠近所述第一侧板的一侧，所述支撑螺杆部上套设有保护套。

可选的，所述安装孔为沉孔，所述支撑螺栓的支撑头部嵌入所述安装孔靠近所述支撑螺栓的支撑头部的一侧，所述支撑螺栓的支撑螺杆部和所述安装孔靠近所述支撑螺栓的支撑螺杆部的一侧螺纹连接。

可选的，相邻所述支撑杆的间距范围为10mm～15mm。

可选的，所述保护套为乳胶材质。

可选的，所述第一硅片支撑件和所述第二硅片支撑件均包括两个所述支撑杆；沿所述第三方向上，两个所述支撑杆分别位于所述第一侧板和/或所述第二侧板的两侧。

可选的，所述顶板、所述第一侧板和所述第二侧板为铝合金材质。

可选的，所述顶板设有至少一个沿所述第二方向贯通的第一通孔；

和/或，所述第一侧板和所述第二侧板分别设有至少一个沿所述第一方向贯通的第二通孔。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种硅片缓存机构，至少实现了如下的有益效果：

本实用新型提供了一种硅片缓存机构，包括：顶板、第一侧板和第二侧板，第一侧板靠近第二侧板一侧设置有至少两个第一硅片支撑件，第二侧板靠近第一侧板一侧设置有与第一硅片支撑件相对应的第二硅片支撑件；第一硅片支撑件和与其相对应第二硅片支撑件共同支撑硅片；顶板在第一侧板和第二侧板的对应位置上分别设有至少一个定位孔，通过第一侧板和第二侧板带动紧固件在定位孔内沿第一方向移动，可以对第一侧板和第二侧板之间的间距进行调整，进而使硅片缓存机构能够适用于更多尺寸的硅片，并且方法简单，易于操作。

当然，实施本实用新型的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。

通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本实用新型的实施例，并且连同其说明一起用于解释本实用新型的原理。

图1是本实用新型实施例提供的一种硅片缓存机构的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种硅片缓存机构的侧视图；

图3是图2中A-A’处的剖视图；

图4是图2中B-B’处的剖视图；

图5是图2中C-C’处的剖视图；

图6是图5中D处的放大图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

参见图1所示，图1是本实用新型实施例提供的一种硅片缓存机构的结构示意图；本实施例提供了一种硅片缓存机构，包括：顶板1、第一侧板2和第二侧板3，第一侧板2和第二侧板3位于顶板1的同一面上；第一侧板2和第二侧板3沿第一方向X相对设置；第一侧板2靠近第二侧板3一侧设置有至少两个第一硅片支撑件4，至少两个第一硅片支撑件4沿第二方向Y排列，第二方向Y为由顶板1指向第一侧板2或第二侧板3的方向，第一方向X和第二方向Y垂直，第二侧板3靠近第一侧板2一侧设置有与第一硅片支撑件4相对应的第二硅片支撑件5；

顶板1在第一侧板2和第二侧板3的对应位置上分别设有至少一个定位孔6，定位孔6沿第二方向Y贯通，定位孔6沿第一方向X延伸，每个定位孔6内设有紧固件7，紧固件7与对应的第一侧板2和第二侧板3相连接；第一侧板2和第二侧板3带动紧固件7在定位孔6内沿第一方向X移动。

具体而言，继续参见图1所示，本实施例提供了一种硅片缓存机构，包括：顶板1、第一侧板2和第二侧板3，顶板1、第一侧板2和第二侧板3均可以为矩形板，当然也可以根据实际需求设置为圆形、六边形、三角形、椭圆形，本实施例对此不作具体限定；顶板1、第一侧板2和第二侧板3可以为铝合金材质，具体可以为航空铝，航空铝硬度比较高，不容易变形，有很好的防腐效果，使用寿命比较长久，不易褪色；第一侧板2和第二侧板3位于顶板1的同一面上；第一侧板2和第二侧板3沿第一方向X相对设置；第一侧板2和第二侧板3之间形成用于容纳硅片的缓存空间；第一侧板2靠近第二侧板3一侧设置有至少两个第一硅片支撑件4，至少两个第一硅片支撑件4沿第二方向Y排列，第二方向Y为由顶板1指向第一侧板2或第二侧板3的方向，第一方向X和第二方向Y垂直，第二侧板3靠近第一侧板2一侧设置有与第一硅片支撑件4相对应的第二硅片支撑件5；第一硅片支撑件4和与其相对应第二硅片支撑件5共同支撑硅片；

顶板1在第一侧板2和第二侧板3的对应位置上分别设有至少一个定位孔6，定位孔6可以为条形孔，起到定位的作用；定位孔6沿第二方向Y贯通，定位孔6沿第一方向X延伸，每个定位孔6内设有紧固件7，紧固件7与对应的第一侧板2和第二侧板3相连接；第一侧板2和第二侧板3带动紧固件7在定位孔6内沿第一方向X移动。松动紧固件7，第一侧板2和第二侧板3在定位孔6内沿第一方向X移动，从而调整第一侧板2和第二侧板3之间的间距，之后旋紧紧固件7，对第一侧板2和第二侧板3进行固定。本实施例通过第一侧板2和第二侧板3带动紧固件7在定位孔6内沿第一方向X移动，可以对第一侧板2和第二侧板3之间的间距进行调整，进而使硅片缓存机构能够适用于更多尺寸的硅片，并且方法简单，易于操作。

通过上述实施例可知，本实施例提供的一种硅片缓存机构，至少实现了如下的有益效果：

本实施例提供了一种硅片缓存机构，包括：顶板1、第一侧板2和第二侧板3，第一侧板2靠近第二侧板3一侧设置有至少两个第一硅片支撑件4，第二侧板3靠近第一侧板2一侧设置有与第一硅片支撑件4相对应的第二硅片支撑件5；第一硅片支撑件4和与其相对应第二硅片支撑件5共同支撑硅片；顶板1在第一侧板2和第二侧板3的对应位置上分别设有至少一个定位孔6，通过第一侧板2和第二侧板3带动紧固件7在定位孔6内沿第一方向X移动，可以对第一侧板2和第二侧板3之间的间距进行调整，进而使硅片缓存机构能够适用于更多尺寸的硅片，并且方法简单，易于操作。

在一些可选的实施例中，参见图2至图3所示，图2是本实用新型实施例提供的一种硅片缓存机构的侧视图；图3是图2中A-A’处的剖视图；紧固件7为定位螺栓9，第一侧板2靠近顶板1一侧的端面和第二侧板3靠近顶板1一侧的端面分别设有螺纹孔8，螺纹孔8和定位螺栓9一一对应，定位螺栓9包括定位头部10和与定位头部10连接的定位螺杆部11；定位头部10沿第三方向Z的宽度大于定位孔6沿第三方向Z的宽度，第一方向X、第二方向Y和第三方向Z两两垂直；定位螺杆部11穿过对应的定位孔6与对应的螺纹孔8螺纹连接，定位头部10与顶板1相抵接。

具体而言，继续参见图2至图3所示，紧固件7为定位螺栓9，定位螺栓9可以为304不锈钢材质，具有良好的焊接性能、耐腐蚀性能、抛光性能和耐热性能；第一侧板2靠近顶板1一侧的端面和第二侧板3靠近顶板1一侧的端面分别设有螺纹孔8；螺纹孔8可以为一个、两个、三个、四个，本实施例对此不作具体限定；螺纹孔8和定位螺栓9一一对应，定位螺栓9包括定位头部10和与定位头部10连接的定位螺杆部11；定位头部10和定位螺杆部11可以为一体式结构；定位头部10沿第三方向Z的宽度大于定位孔6沿第三方向Z的宽度，第一方向X、第二方向Y和第三方向Z两两垂直；第一方向X和第三方向Z可以为水平方向，第三方向可以为竖直方向；定位螺杆部11穿过对应的定位孔6与对应的螺纹孔8螺纹连接，定位头部10与顶板1相抵接。定位螺栓9可以在螺纹孔8内转动，松动定位螺栓9，将第一侧板2和第二侧板3调整至适合位置，旋紧定位螺栓9，由于定位螺栓9的定位头部10沿第三方向Z的宽度大于定位孔6沿第三方向Z的宽度，顶板1被夹紧在定位头部10和第一侧板2、定位头部10和第二侧板3之间；通过定位螺栓9来对顶板1、第一侧板2和第二侧板3之间进行紧固和松动，零件易于加工，操作方式简单。

在一些可选的实施例中，参见图4所示，图4是图2中B-B’处的剖视图；第一侧板2靠近顶板1一侧的端面和第二侧板3靠近顶板1一侧的端面上分别设有导向块12，导向块12可以为长方体；沿第二方向Y上，导向块12在第一侧板2或第二侧板3所在平面的正投影与紧固件7在第一侧板2或第二侧板3所在平面的正投影不交叠；顶板1靠近第一侧板2一侧的端面上设有与每个导向块12相对应的导向槽13；导向槽13沿第一方向X延伸，导向块12插入导向槽13内，导向块12在顶板1的正投影位于导向槽13在顶板1的正投影范围内。

具体而言，继续参见图4所示，第一侧板2靠近顶板1一侧的端面和第二侧板3靠近顶板1一侧的端面上分别设有导向块12，第一侧板2和其上的导向块12可以为一体式结构，第二侧板3和其上的导向块12可以为一体式结构；沿第二方向Y上，导向块12在第一侧板2或第二侧板3所在平面的正投影与紧固件7在第一侧板2或第二侧板3所在平面的正投影不交叠；具体的，紧固件7可以为两个，导向块12可以为一个，两个紧固件7分别位于导向块12的两侧；顶板1靠近第一侧板2一侧的端面上设有与每个导向块12相对应的导向槽13；导向槽13沿第一方向X延伸，导向块12插入导向槽13内，导向块12在顶板1的正投影位于导向槽13在顶板1的正投影范围内。导向块12能够在导向槽13内沿第一方向X移动，在调整第一侧板2和第二侧板3间距时，起到导向的作用。

在一些可选的实施例中，继续参见图1所示，顶板1沿第一方向X延伸的端面上设有两个测量尺14，两个测量尺14分别与第一侧板2和第二侧板3相对应。

具体而言，继续参见图1所示，顶板1沿第一方向X延伸的端面上设有两个测量尺14，两个测量尺14分别与第一侧板2和第二侧板3相对应；在调整第一侧板2和第二侧板3间距时，测量尺14用于测量第一侧板2和第二侧板3的移动距离，从而确定第一侧板2和第二侧板3的间距，确定第一侧板2和第二侧板3之间放置硅片的尺寸。

在一些可选的实施例中，参见图5和图6所示，图5是图2中C-C’处的剖视图；图6是图5中D处的放大图；第一硅片支撑件4和第二硅片支撑件5均包括支撑杆15，支撑杆15沿第三方向Z排列；第一方向X、第二方向Y和第三方向Z两两垂直；支撑杆15包括圆柱(图上未标注)，圆柱的外周面用于与硅片接触；或者，支撑杆15包括棱柱(图上未示出)，棱柱的侧棱用于与硅片接触。

具体而言，继续参见图5和图6所示，当支撑杆15包括圆柱，圆柱的外周面用于与硅片接触时，圆柱面与平面接触，接触部分为一条直线，即硅片与圆柱为线接触；当支撑杆15包括棱柱，棱柱的侧棱用于与硅片接触时，棱柱的侧棱与硅片的下表面接触时，接触部分即为一条直线，即硅片与圆柱为线接触；具体的，棱柱可以是三棱柱、四棱柱、五棱柱或其它棱柱；棱柱通过螺钉/螺栓(图中未示出)分别与第一侧板2和第二侧板3固定连接；圆柱与硅片或者棱柱与硅片均为线接触，能够减少接触面积，受力均匀性合理，避免硅片卡堵。

在一些可选的实施例中，继续参见图5和图6所示，当支撑杆15包括圆柱，圆柱的外周面用于与硅片接触时，圆柱为支撑螺栓16；第一侧板2和第二侧板3上分别设有与支撑螺栓16相对应的安装孔17，支撑螺栓16和安装孔17螺纹连接；支撑螺栓16包括支撑头部18和与支撑头部18连接的支撑螺杆部19；第一侧板2上的支撑螺栓16的支撑螺杆部19位于支撑头部18靠近第二侧板3的一侧；第二侧板3上的支撑螺栓16的支撑螺杆部19位于支撑头部18靠近第一侧板2的一侧，支撑螺杆部19上套设有保护套20。

具体而言，继续参见图5和图6所示，当支撑杆15包括圆柱，圆柱的外周面用于与硅片接触时，圆柱为支撑螺栓16，采用螺栓拼装结构，其结构稳定且易拆装，支撑螺栓16对硅片的支撑采用线接触，减少接触面积，受力均匀；支撑螺栓16可以为304不锈钢材质，具有良好的焊接性能、耐腐蚀性能、抛光性能和耐热性能；第一侧板2和第二侧板3上分别设有与支撑螺栓16相对应的安装孔17，支撑螺栓16和安装孔17螺纹连接，利用螺纹连接将支撑螺栓16固定安装在第一侧板2和第二侧板3上；支撑螺栓16包括支撑头部18和与支撑头部18连接的支撑螺杆部19；支撑头部18和支撑螺杆部19可以为一体式结构，第一侧板2上的支撑螺栓16的支撑螺杆部19位于支撑头部18靠近第二侧板3的一侧；第二侧板3上的支撑螺栓16的支撑螺杆部19位于支撑头部18靠近第一侧板2的一侧，支撑螺杆部19上套设有保护套20；保护套20位于支撑螺杆部19远离支撑头部18的一侧；保护套20套在支撑螺杆部19外侧与硅片直接接触，能够避免对硅片造成划伤或损坏；保护套20为乳胶材质，具有良好的成膜性能，湿凝胶强力高，力学性能良好。

在一些可选的实施例中，继续参见图6所示，安装孔17为沉孔，支撑螺栓16的支撑头部18嵌入安装孔17靠近支撑螺栓16的支撑头部18的一侧，支撑螺栓16的支撑螺杆部19和安装孔17靠近支撑螺栓16的支撑螺杆部19的一侧螺纹连接。

具体而言，继续参见图6所示，安装孔17为沉孔，支撑螺栓16的支撑头部18嵌入安装孔17靠近支撑螺栓16的支撑头部18的一侧；支撑螺栓16的支撑头部18嵌入沉孔内，能够避免支撑头部18位于第一侧板2和第二侧板3的外侧，从而避免支撑头部18在工作过程中剐蹭到其他部件；支撑螺栓16的支撑螺杆部19和安装孔17靠近支撑螺栓16的支撑螺杆部19的一侧螺纹连接，通过螺纹连接将支撑螺栓16和安装孔17固定连接。

在一些可选的实施例中，继续参见图1所示，相邻支撑杆15的间距范围为10mm～15mm。

具体而言，继续参见图1所示，若相邻支撑杆15的间距小于10mm，则相邻支撑杆15的间距过小，容易导致缓存堵片，且不易取放；若相邻支撑杆15的间距大于15mm，则相邻支撑杆15的间距过大，导致硅片缓存机构能放置的硅片数量过小，浪费空间；因此，相邻支撑杆15的间距范围为10mm～15mm，既能够避免缓存堵片，易于取放，还可以大量缓存硅片；具体的，相邻支撑杆15的间距可以为10mm、12mm、14mm或15mm。

在一些可选的实施例中，继续参见图1所示，第一硅片支撑件4和第二硅片支撑件5均包括两个支撑杆15；沿第三方向Z上，两个支撑杆15分别位于第一侧板2和/或第二侧板3的两侧。

具体而言，继续参见图1所示，第一硅片支撑件4和第二硅片支撑件5均包括两个支撑杆15；沿第三方向Z上，两个支撑杆15分别位于第一侧板2和/或第二侧板3的两侧；两支撑杆15与放置其上的硅片两侧相对应，能够使硅片更加平稳的摆放，避免掉落。

在一些可选的实施例中，继续参见图1所示，顶板1设有至少一个沿第二方向Y贯通的第一通孔21；和/或，第一侧板2和第二侧板3分别设有至少一个沿第一方向X贯通的第二通孔22。

具体而言，继续参见图1所示，顶板1设有至少一个沿第二方向Y贯通的第一通孔21；和/或，第一侧板2和第二侧板3分别设有至少一个沿第一方向X贯通的第二通孔22；也就是说，顶板1设有至少一个沿第二方向Y贯通的第一通孔21，第一通孔21可以单独设置，根据实际需求第一通孔21沿第三方向Z的截面可以为矩形孔、圆形孔或三角形孔，本实施例对此不作具体限定；根据实际需求第一通孔21可以为一个、两个、三个或四个，本实施例对此不作具体限定；第一侧板2和第二侧板3分别设有至少一个沿第一方向X贯通的第二通孔22，第二通孔22也可以单独设置，根据实际需求第二通孔22沿第三方向Z的截面可以为矩形孔、圆形孔或三角形孔，本实施例对此不作具体限定；根据实际需求第二通孔22可以为一个、两个、三个或四个，本实施例对此不作具体限定；顶板1设有至少一个沿第二方向Y贯通的第一通孔21，同时第一侧板2和第二侧板3分别设有至少一个沿第一方向X贯通的第二通孔22，第一通孔21和第二通孔22可以组合设置；在顶板1上开设第一通孔21，在第一侧板2和第二侧板3开设第二通孔22可以减少顶板1、第一侧板2和第二侧板3的重量，还能够节省制作材料。

通过上述实施例可知，本实用新型提供的一种硅片缓存机构，至少实现了如下的有益效果：

本实用新型提供了一种硅片缓存机构，包括：顶板、第一侧板和第二侧板，第一侧板靠近第二侧板一侧设置有至少两个第一硅片支撑件，第二侧板靠近第一侧板一侧设置有与第一硅片支撑件相对应的第二硅片支撑件；第一硅片支撑件和与其相对应第二硅片支撑件共同支撑硅片；顶板在第一侧板和第二侧板的对应位置上分别设有至少一个定位孔，通过第一侧板和第二侧板带动紧固件在定位孔内沿第一方向移动，可以对第一侧板和第二侧板之间的间距进行调整，进而使硅片缓存机构能够适用于更多尺寸的硅片，并且方法简单，易于操作。

虽然已经通过例子对本实用新型的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本实用新型的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本实用新型的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本实用新型的范围由所附权利要求来限定。

Claims (12)

1.一种硅片缓存机构，其特征在于，包括：顶板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板位于所述顶板的同一面上；所述第一侧板和所述第二侧板沿第一方向相对设置；所述第一侧板靠近所述第二侧板一侧设置有至少两个第一硅片支撑件，至少两个所述第一硅片支撑件沿第二方向排列，所述第二方向为由所述顶板指向所述第一侧板或所述第二侧板的方向，所述第一方向和所述第二方向垂直，所述第二侧板靠近所述第一侧板一侧设置有与所述第一硅片支撑件相对应的第二硅片支撑件；

所述顶板在所述第一侧板和所述第二侧板的对应位置上分别设有至少一个定位孔，所述定位孔沿所述第二方向贯通，所述定位孔沿所述第一方向延伸，每个所述定位孔内设有紧固件，所述紧固件与对应的所述第一侧板和所述第二侧板相连接；

所述第一侧板和所述第二侧板带动所述紧固件在所述定位孔内沿所述第一方向移动。

2.根据权利要求1所述的一种硅片缓存机构，其特征在于，所述紧固件为定位螺栓，所述第一侧板靠近所述顶板一侧的端面和所述第二侧板靠近所述顶板一侧的端面分别设有螺纹孔，所述螺纹孔和所述定位螺栓一一对应，所述定位螺栓包括定位头部和与所述定位头部连接的定位螺杆部；所述定位头部沿第三方向的宽度大于所述定位孔沿所述第三方向的宽度，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直；所述定位螺杆部穿过对应的所述定位孔与对应的所述螺纹孔螺纹连接，所述定位头部与所述顶板相抵接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片缓存机构，其特征在于，所述第一侧板靠近所述顶板一侧的端面和所述第二侧板靠近所述顶板一侧的端面上分别设有导向块，沿所述第二方向上，所述导向块在所述第一侧板或所述第二侧板所在平面的正投影与所述紧固件在所述第一侧板或所述第二侧板所在平面的正投影不交叠；

所述顶板靠近所述第一侧板一侧的端面上设有与每个所述导向块相对应的导向槽；所述导向槽沿所述第一方向延伸，所述导向块插入所述导向槽内，所述导向块在所述顶板的正投影位于所述导向槽在所述顶板的正投影范围内。

4.根据权利要求1所述的一种硅片缓存机构，其特征在于，所述顶板沿所述第一方向延伸的端面上设有两个测量尺，两个所述测量尺分别与所述第一侧板和所述第二侧板相对应。

5.根据权利要求1所述的一种硅片缓存机构，其特征在于，所述第一硅片支撑件和所述第二硅片支撑件均包括支撑杆，所述支撑杆沿第三方向排列；所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直；

所述支撑杆包括圆柱，所述圆柱的外周面用于与硅片接触；或者，所述支撑杆包括棱柱，所述棱柱的侧棱用于与所述硅片接触。

6.根据权利要求5所述的一种硅片缓存机构，其特征在于，当所述支撑杆包括所述圆柱，所述圆柱的外周面用于与所述硅片接触时，所述圆柱为支撑螺栓；所述第一侧板和所述第二侧板上分别设有与所述支撑螺栓相对应的安装孔，所述支撑螺栓和所述安装孔螺纹连接；所述支撑螺栓包括支撑头部和与所述支撑头部连接的支撑螺杆部；所述第一侧板上的所述支撑螺栓的所述支撑螺杆部位于所述支撑头部靠近所述第二侧板的一侧；所述第二侧板上的所述支撑螺栓的所述支撑螺杆部位于所述支撑头部靠近所述第一侧板的一侧，所述支撑螺杆部上套设有保护套。

7.根据权利要求6所述的一种硅片缓存机构，其特征在于，所述安装孔为沉孔，所述支撑螺栓的所述支撑头部嵌入所述安装孔靠近所述支撑螺栓的所述支撑头部的一侧，所述支撑螺栓的所述支撑螺杆部和所述安装孔靠近所述支撑螺栓的所述支撑螺杆部的一侧螺纹连接。

8.根据权利要求6所述的一种硅片缓存机构，其特征在于，相邻所述支撑杆的间距范围为10mm～15mm。

9.根据权利要求6所述的一种硅片缓存机构，其特征在于，所述保护套为乳胶材质。

10.根据权利要求6所述的一种硅片缓存机构，其特征在于，所述第一硅片支撑件和所述第二硅片支撑件均包括两个所述支撑杆；沿所述第三方向上，两个所述支撑杆分别位于所述第一侧板和/或所述第二侧板的两侧。

11.根据权利要求1所述的一种硅片缓存机构，其特征在于，所述顶板、所述第一侧板和所述第二侧板为铝合金材质。

12.根据权利要求1所述的一种硅片缓存机构，其特征在于，所述顶板设有至少一个沿所述第二方向贯通的第一通孔；

和/或，所述第一侧板和所述第二侧板分别设有至少一个沿所述第一方向贯通的第二通孔。