CN219965636U - 一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机 - Google Patents
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 68
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims abstract description 20
- 238000012216 screening Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 101
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 31
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 28
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 231100000956 nontoxicity Toxicity 0.000 description 1
- 239000005022 packaging material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型提供了一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,包括:检测装置,包括倾斜设置的检测滑台,所述检测滑台上方朝着倾斜向下方向依次设置尺寸上限检测单元和尺寸下限检测单元;第一不良品放置盒,设于所述检测滑台下方,低于尺寸规格的陶瓷片由检测滑台滑落至第一不良品放置盒;真空吸盘机械手,设于所述检测滑台侧方,第二不良品放置盒,设于所述真空吸盘机械手侧方,高于尺寸规格的陶瓷片由所述真空吸盘机械手吸附至所述第二不良品放置盒;合格品放置盒,设于所述真空吸盘机械手侧方,符合尺寸规格的陶瓷片由所述真空吸盘机械手吸附至所述第二不良品放置盒。本实用新型能精确控制陶瓷片的尺寸规格,防止人员操作失误导致不良品流出。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,应用于陶瓷片筛选领域。
背景技术
氮化铝陶瓷片是一种综合性能优良的新型陶瓷材料,具有优良的热传导性,可靠的电绝缘性,低的介电常数和介电损耗,无毒以及与硅相匹配的热膨胀系数等一系列优良特性,被认为是新一代高集成度半导体基片和电子器件的理想封装材料。氮化铝陶瓷片需要精确控制其厚度,以达到陶瓷片的性能最优化。
现有的筛选陶瓷片的方法为通过游标卡尺陶瓷片的厚度,这种方法不仅检测效率低下,需要较高的人力成本,而且由于人工检测,可能导致厚度超规格的不良品流入市场,影响商品质量,还有一种检测方法是通过,测厚仪进行检测,将陶瓷片放置于测厚仪检测台上进行检测,系统能够自动读取厚度值,此种方法虽然能保证检测精度,但是一次检测单片陶瓷片方式,依然效率低下,因此,本实用新型针对上述问题设计了一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机。
实用新型内容
本实用新型提供了一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,可以有效解决上述问题。
本实用新型是这样实现的:
一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,包括:
检测装置,包括倾斜设置的检测滑台,所述检测滑台上方朝着倾斜向下方向依次设置尺寸上限检测单元和尺寸下限检测单元;
第一不良品放置盒,设于所述检测滑台下方,低于尺寸规格的陶瓷片由检测滑台滑落至第一不良品放置盒;
真空吸盘机械手,设于所述检测滑台侧方,用于吸附陶瓷片至第二不良品放置盒和合格品放置盒。
作为进一步改进的,所述第二不良品放置盒设于所述真空吸盘机械手侧方,高于尺寸规格的陶瓷片由所述真空吸盘机械手吸附至所述第二不良品放置盒;所述合格品放置盒设于所述真空吸盘机械手侧方,符合尺寸规格的陶瓷片由所述真空吸盘机械手吸附至所述第二不良品放置盒。
作为进一步改进的,所述检测滑台的倾斜角度A为10~30°。
作为进一步改进的,所述尺寸上限检测单元和尺寸下限检测单元均包括固定于所述检测滑台上方的U型架,所述U型架一端设置竖直方向的滑轨,所述U型架连接固定件,所述固定件设置与所述滑轨相配合的滑槽,所述滑槽可滑动连接所述滑轨,所述固定件连接检测挡板。
作为进一步改进的,所述尺寸上限检测单元的检测挡板与所述检测滑台的距离等于陶瓷片的厚度上限值,所述尺寸下限检测单元的检测挡板与所述检测滑台的距离等于陶瓷片的厚度下限值。
作为进一步改进的,所述真空吸盘机械手包括四轴机械手本体,所述四轴机械手本体设置真空吸盘,所述真空吸盘连接吸盘组件。
作为进一步改进的,所述吸盘组件包括连接口,所述连接口连接凸台,所述凸台的横截底面与水平面具有夹角B,所述凸台底面设置若干个吸盘接口。
作为进一步改进的,所述凸台的横截底面与水平面的夹角B等于检测滑台的倾斜角度A。
本实用新型的有益效果是:
(1)所述检测装置包括倾斜设置的检测滑台,所述检测滑台上方朝着倾斜向下方向依次设置尺寸上限检测单元和尺寸下限检测单元,将部分氮化铝陶瓷片由所述倾斜设置的检测滑台自由滑落,尺寸规格超上限的陶瓷片由尺寸上限检测单元拦截,符合尺寸规格的陶瓷片由尺寸下限检测单元拦截,尺寸规格超下限的陶瓷片自由滑落至第一不良品放置盒;通过设置检测装置的方式进行陶瓷片尺寸规格的检测,不仅一次能够检测多个陶瓷片,而且能精确控制陶瓷片的尺寸规格,防止人员操作失误导致不良品流出。
(2)真空吸盘机械手设于所述检测滑台侧方,用于吸附陶瓷片至指定区域;通过设置真空吸盘机械手提高陶瓷片分拣的速度,提高陶瓷片检测速率。
(3)在所述真空吸盘上设置吸盘组件,所述吸盘组件包括连接口,所述连接口连接凸台,所述凸台的横截底面与水平面具有夹角B,所述凸台底面设置若干个吸盘接口,所述凸台的横截底面与水平面的夹角B等于检测滑台的倾斜角度A。设置与所述检测滑台适配的吸盘组件,不仅能一次性吸附多个陶瓷片,而且贴合滑台,防止吸附落空,提高吸附效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案,下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本实用新型实施例提供的结构示意图。
图2是本实用新型实施例提供的倾斜角度A结构示意图。
图3是本实用新型实施例提供的检测装置结构示意图。
图4是本实用新型实施例提供的真空吸盘机械手结构示意图。
图5是本实用新型实施例提供的真空吸盘结构示意图。
图6-7是本实用新型实施例提供的吸盘组件结构示意图。
图中:
10、检测装置;11、检测滑台;12、尺寸上限检测单元;121、U型架;122、滑轨;123、固定件;124、滑槽;125、检测挡板;126、固定调节旋钮;13、尺寸下限检测单元;20、第一不良品放置盒;30、真空吸盘机械手;31、四轴机械手本体;311、底座;312、转动臂;313、机械手壳体;314、导管;32、真空吸盘;321、移动杆;322、吸盘口;33、吸盘组件;331、连接口;332、凸台;333、吸盘接口;40、第二不良品放置盒;50合格品放置盒。
具体实施方式
为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施方式中的附图,对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式,而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本实用新型保护的范围。因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
参照图1-4所示,一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,包括:检测装置10,所述检测装置10包括倾斜设置的检测滑台11,所述检测滑台11与水平面的倾斜角度A为10~30°。在本实施例中,所述检测滑台11与水平面的倾斜角度A为25°,此时,陶瓷片能够朝着所述检测滑台11倾斜方向滑动,所述检测滑台11的滑道距离为400mm,所述检测滑台11的宽度为120mm,一次可以横向放置4片陶瓷片,相对于人工使用游标卡尺或者测厚仪检测陶瓷片的厚度,提高了效率。所述检测滑台11上方朝着倾斜向下方向依次设置尺寸上限检测单元12和尺寸下限检测单元13。所述尺寸上限检测单元12和尺寸下限检测单元13均包括固定于所述检测滑台11上方的U型架121,所述U型架121倒置设于所述检测滑台11上方,所述U型架121的两只支撑脚设于所述检测滑台11两侧,所述尺寸下限检测单元13的U型架121支撑脚高度小于所述尺寸上限检测单元12的U型架121支撑脚高度,所述U型架121一端设置竖直方向的滑轨122,所述U型架121连接固定件123,所述固定件123设置与所述滑轨122相配合的滑槽124,所述滑槽124可滑动连接所述滑轨122,所述固定件123连接检测挡板125,所述固定件123侧面设置固定调节旋钮126,用于调节固定所述检测挡板125的高度,所述滑轨122的滑动行程为50mm,可满足不同尺寸规格的陶瓷片检测。第一不良品放置盒20,设于所述检测滑台11下方,低于尺寸规格的陶瓷片由检测滑台11滑落至第一不良品放置盒20。所述尺寸上限检测单元12的检测挡板125与所述检测滑台11的距离等于陶瓷片的厚度上限值,所述尺寸下限检测单元13的检测挡板125与所述检测滑台11的距离等于陶瓷片的厚度下限值。将部分氮化铝陶瓷片由所述倾斜设置的检测滑台11自由滑落,尺寸规格超上限的陶瓷片由尺寸上限检测单元12拦截,符合尺寸规格的陶瓷片由尺寸下限检测单元13拦截,尺寸规格超下限的陶瓷片自由滑落至第一不良品放置盒20;通过设置检测装置10的方式进行陶瓷片尺寸规格的检测,不仅一次能够检测多个陶瓷片,而且能精确控制陶瓷片的尺寸规格,防止人员操作失误导致不良品流出。
参照图4-5所示,进一步包括真空吸盘机械手30,设于所述检测滑台11侧方,本实用新型使用的是四轴机械手臂,对于陶瓷片的吸附抓取使用四轴机械手臂已经足以满足自由度的需求了,在其他实施例中,也可以使用六轴机械手臂,所述真空吸盘机械手30用于吸附陶瓷片至指定区域。所述真空吸盘机械手30包括四轴机械手本体31,所述四轴机械手本体31设置真空吸盘32。所述四轴机械手本体31包括底座311,所述底座311通过第一电机驱动转动臂312,所述转动臂312另一端连接机械手壳体313,所述底座311设置导管314连接所述机械手壳体313;所述导管314连接真空泵进行吸真空操作,所述真空吸盘32包括中空的移动杆321和设置于所述移动杆321上的吸盘口322,所述机械手壳体313设置与所述移动杆321适配的腔体,所述移动杆321可滑动连接所述腔体,所述移动杆在所述真空吸盘机械手30的控制下可上下移动,通过吸盘口322吸附陶瓷片。一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机还包括第二不良品放置盒40,设于所述真空吸盘机械手30侧方,高于尺寸规格的陶瓷片由所述真空吸盘机械手30吸附至所述第二不良品放置盒40。合格品放置盒50,设于所述真空吸盘机械手30侧方,符合尺寸规格的陶瓷片由所述真空吸盘机械手30吸附至所述第二不良品放置盒40。通过设置真空吸盘机械手30提高陶瓷片分拣的速度,提高陶瓷片检测速率。
参照图6-7所示,所述真空吸盘32连接吸盘组件33,所述吸盘组件33包括连接口331,所述吸盘口322连接所述连接口331,所述连接口331连接凸台332,所述凸台332的横截底面与水平面具有夹角B,所述凸台332底面设置若干个吸盘接口333。所述凸台332的横截底面与水平面的夹角B等于检测滑台11的倾斜角度A。在本实施例中所述凸台332的横截底面与水平面的夹角B为25°。如果所述凸台332的横截底面与水平面的夹角B不等于检测滑台11的倾斜角度A,例如所述凸台332的横截底面与水平面的夹角B小于检测滑台11的倾斜角度A,将会导致后方的吸盘接口333无法触碰到陶瓷片,即无法吸附至陶瓷片,将会影响吸盘接口333的吸附效率。设置与所述检测滑台11适配的吸盘组件33,不仅能一次性吸附多个陶瓷片,而且贴合滑台,防止吸附落空,提高吸附效率。
以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,其特征在于,包括:
检测装置(10),包括倾斜设置的检测滑台(11),所述检测滑台(11)上方朝着倾斜向下方向依次设置尺寸上限检测单元(12)和尺寸下限检测单元(13);
第一不良品放置盒(20),设于所述检测滑台(11)下方,低于尺寸规格的陶瓷片由检测滑台(11)滑落至第一不良品放置盒(20);
真空吸盘机械手(30),设于所述检测滑台(11)侧方,用于吸附陶瓷片至第二不良品放置盒(40)或合格品放置盒(50)。
2.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,其特征在于,所述第二不良品放置盒(40)设于所述真空吸盘机械手(30)侧方,高于尺寸规格的陶瓷片由所述真空吸盘机械手(30)吸附至所述第二不良品放置盒(40),所述合格品放置盒(50)设于所述真空吸盘机械手(30)侧方,符合尺寸规格的陶瓷片由所述真空吸盘机械手(30)吸附至所述第二不良品放置盒(40)。
3.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,其特征在于,所述检测滑台(11)的倾斜角度A为10~30°。
4.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,其特征在于,所述尺寸上限检测单元(12)和尺寸下限检测单元(13)均包括固定于所述检测滑台(11)上方的U型架(121),所述U型架(121)一端设置竖直方向的滑轨(122),所述U型架(121)连接固定件(123),所述固定件(123)设置与所述滑轨(122)适配的滑槽(124),所述滑槽(124)可滑动连接所述滑轨(122),所述固定件(123)连接检测挡板(125)。
5.根据权利要求4所述的一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,其特征在于,所述尺寸上限检测单元(12)的检测挡板(125)与所述检测滑台(11)的距离等于陶瓷片的厚度上限值,所述尺寸下限检测单元(13)的检测挡板(125)与所述检测滑台(11)的距离等于陶瓷片的厚度下限值。
6.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,其特征在于,所述真空吸盘机械手(30)包括四轴机械手本体(31),所述四轴机械手本体(31)设置真空吸盘(32),所述真空吸盘(32)连接吸盘组件(33)。
7.根据权利要求6所述的一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,其特征在于,所述吸盘组件(33)包括连接口(331),所述连接口(331)连接凸台(332),所述凸台(332)的横截底面与水平面具有夹角B,所述凸台(332)底面设置若干个吸盘接口(333)。
8.根据权利要求7所述的一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机,其特征在于,所述凸台(332)的横截底面与水平面的夹角B等于检测滑台(11)的倾斜角度A。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202320557088.1U CN219965636U (zh) | 2023-03-21 | 2023-03-21 | 一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202320557088.1U CN219965636U (zh) | 2023-03-21 | 2023-03-21 | 一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN219965636U true CN219965636U (zh) | 2023-11-07 |
Family
ID=88582961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202320557088.1U Active CN219965636U (zh) | 2023-03-21 | 2023-03-21 | 一种氮化铝陶瓷片厚度筛选机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN219965636U (zh) |
-
2023
- 2023-03-21 CN CN202320557088.1U patent/CN219965636U/zh active Active
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: A thickness screening machine for aluminum nitride ceramic sheets Granted publication date: 20231107 Pledgee: Bank of China Limited Xiamen Xiang'an sub branch Pledgor: XIAMEN JUCI TECHNOLOGY CO.,LTD. Registration number: Y2024980009099 |
|
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