CN219608974U - 一种晶圆测试台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆测试台，包括工作台、设置在工作台上沿着X轴方向水平移动的放置台以及安装在工作台上位于放置台上方的龙门支架，龙门支架上设置有沿着Y轴方向水平移动的滑动安装块，检测设置通过气缸连接在滑动安装块上，放置台上以平行于X轴方向的轴线为对称轴对称设置有两个夹角侧撑块，两个夹角侧撑块的延长线形成V型部，工作台位于V型部的开口一侧通过弹簧连接有平行于Y轴方向设置的挡板，挡板的底面位于放置台的表面以上，挡板能限位导向放置台上放置的晶圆的移动，两个夹角侧撑块之间所成V型部对应的放置台上设置有吸气孔，若干吸气孔通过抽气管连接着抽气机，本实用新型从整体上提高了对晶圆的定位检测效率。

Description

一种晶圆测试台

技术领域

本实用新型涉及测试台装置技术领域，具体涉及一种晶圆测试台。

背景技术

晶圆是指硅半导体芯片的基本材料，可以将晶圆理解成芯片的集中体。在进行晶圆测试的过程中，需要利用细长的探针与芯片上的接点接触，测试芯片的电气特性，不合格的芯片会被标上记号，在后续的晶圆切割过程，就带有不合格标记的芯片淘汰，尽可能降低制造成本。

为了避免晶圆测试的过程中发生偏移，会采用夹持装置实现对晶圆的定位，如专利申请号为：202022890336.3，专利名称为“一种晶圆测试台”的专利，其采用放置在晶圆两侧的压装总成在相向运动的过程中实现对晶圆的居中，并且利用压板实现对定位后晶圆的顶端夹持。上述测试台存在以下缺陷：

晶圆在定位的过程中，由于压装总成与晶圆采用刚性接触，如果把握不好夹持力度，容易造成晶圆的破损；此外，采用压板接触压紧晶圆方式，不仅容易对晶圆表面造成损伤，而且压板的压持部位的晶圆表面点位难以被测试，影响了晶圆的测试精度和定位测试效率。

实用新型内容

为此，本实用新型提供一种晶圆测试台，以解决现有技术中的上述缺陷。

一种晶圆测试台，包括工作台、设置在所述工作台上沿着X轴方向水平移动的放置台以及安装在所述工作台上位于所述放置台上方的龙门支架，所述龙门支架上设置有沿着Y轴方向水平移动的滑动安装块，检测设置通过气缸连接在所述滑动安装块上，所述放置台上以平行于X轴方向的轴线为对称轴对称设置有两个夹角侧撑块，两个所述夹角侧撑块的延长线形成V型部，工作台位于所述V型部的开口一侧通过弹簧连接有平行于Y轴方向设置的挡板，所述挡板的底面位于所述放置台的表面以上，挡板能限位导向所述放置台上放置的晶圆的移动，所述两个所述夹角侧撑块之间所成V型部对应的放置台上设置有吸气孔，若干所述吸气孔通过抽气管连接着抽气机。

优选的，所述工作台上设置有第一导向轨，所述放置台一侧的连接块沿着所述第一导向轨滑动，并且所述连接块通过丝杠螺母套装在平行于X轴方向设置的第一丝杠上，所述第一丝杠通过第一电机驱动旋转。

优选的，所述龙门支架上设置有为所述滑动安装块提供滑动导向的第二导向轨，所述滑动安装块通过丝杠螺母套装在平行于Y轴方向设置的第二丝杠上，所述第二丝杠通过第二电机驱动旋转。

优选的，所述检测设置包括安装在所述滑动安装块下方的探针卡以及可拆卸的安装在所述探针卡上的探针，所述气缸连接在所述探针卡上。

优选的，还包括设置在所述夹角侧撑块内侧的压力感应器以及连接所述压力感应器的控制器，所述控制器还连接所述第一电机、第二电机以及抽气机。

优选的，所述放置台采用光面不锈钢材质。

本实用新型具有如下优点：

本实用新型装置通过在移动设置的放置台的表面设两个对称构成V型部的夹角侧撑块配合挡板实现对放置台上晶圆的定位，并且利用抽气机将定位后的晶圆牢固的吸附在放置台避免晶圆随意移动，可减少固定晶圆过程中对晶圆表面可能产生的损伤，通过控制定位后的晶圆沿着X轴方向移动以及检测设置沿着Y轴方向移动，可实现检测设置对晶圆表面各个点位的检测，从整体上提高了对晶圆的定位检测效率。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的局部结构示意图；

图3为本实用新型的检测设置的安装结构示意图；

图4为本实用新型的局部剖面结构示意图。

图中：

1-工作台；2-放置台；201-连接块；3-龙门支架；4-滑动安装块；5-夹角侧撑块；6-弹簧；7-挡板；8-检测设置；801-探针卡；802-探针；9-吸气孔；10-晶圆；11-抽气管；12-抽气机；13-第一导向轨；14-第一丝杠；15-第一电机；16-第二导向轨；17-第二丝杠；18-第二电机；19-压力感应器；20-控制器；21-气缸。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1至图4所示，本实用新型提供了一种晶圆测试台，包括工作台1、设置在所述工作台1上沿着X轴方向水平移动的放置台2以及安装在所述工作台1上位于所述放置台2上方的龙门支架3。具体的：

所述放置台2采用光面不锈钢材质，可以减少待检测晶圆10与放置台2表面之间的磨损。

所述工作台1上设置有第一导向轨13，所述放置台2一侧的连接块201沿着所述第一导向轨13滑动，并且所述连接块201通过丝杠螺母(图中未示出)套装在平行于X轴方向设置的第一丝杠14上，所述第一丝杠14通过第一电机15驱动旋转。

所述龙门支架3上设置有沿着Y轴方向水平移动的滑动安装块4。具体的：

所述龙门支架3上设置有为所述滑动安装块4提供滑动导向的第二导向轨16，所述滑动安装块4通过丝杠螺母(图中未示出)套装在平行于Y轴方向设置的第二丝杠17上，所述第二丝杠17通过第二电机18驱动旋转。

检测设置8通过气缸21连接在所述滑动安装块4上。具体的：所述检测设置8包括安装在所述滑动安装块4下方的探针卡801以及可拆卸的安装在所述探针卡801上的探针802，便于对探针802进行更换。所述气缸21连接在所述探针卡801上。气缸21驱动探针卡801上的探针802竖直升降。

所述放置台2上以平行于X轴方向的轴线为对称轴对称设置有两个夹角侧撑块5，两个所述夹角侧撑块5的延长线形成V型部。本实用新型装置还包括设置在所述夹角侧撑块5内侧的压力感应器19以及连接所述压力感应器19的控制器20，所述控制器20还连接所述第一电机15、第二电机18以及抽气机12。

工作台1位于所述V型部的开口一侧通过弹簧6连接有平行于Y轴方向设置的挡板7，弹簧6为晶圆10接触挡板7提供缓冲。所述挡板7的底面位于所述放置台2的表面以上，挡板7能限位导向所述放置台2上放置的晶圆10的移动，所述两个所述夹角侧撑块5之间所成V型部对应的放置台2上设置有吸气孔9，若干所述吸气孔9通过抽气管11连接着抽气机12。

本实用新型装置的工作原理是：

初始状态下，使放置台2位于远离挡板7的一侧，并且将晶圆10放置在放置台2上两个夹角侧撑块5所形成的V型部部位。

之后，启动第一电机15，第一电机15驱动第一丝杠14旋转，套装在第一丝杠14上的被第一导向轨13限位导向的连接块201所在的放置台2朝着挡板7的一侧移动，当放置台2上的晶圆10侧壁接触挡板7时，晶圆10的另一侧会在两个夹角侧撑块5的限位导向作用下实现居中定位，即晶圆10的两侧壁与夹角侧撑块5均相切。

两个夹角侧撑块5表面的压力感应器19均感应到来自晶圆10的压力后，由控制器20控制第一电机15停止工作，并且启动抽气机12，抽气机12通过抽气管11连接的吸气孔9将定位后的晶圆10吸附在放置台2的表面。避免晶圆10随意移动。

接着，控制器20通过控制第一电机15实现晶圆10在X轴方向的移动，通过控制第二电机18，使第二电机18驱动第二丝杠17上套装的被第二导向轨16限位导向的滑动安装块4在Y轴方向水平移动，可实现其上连接的检测设置8对晶圆10表面各个点位的检测。

本实用新型装置通过在移动设置的放置台2的表面设两个对称构成V型部的夹角侧撑块5配合挡板7实现对放置台2上晶圆10的定位，并且利用抽气机12将定位后的晶圆10牢固的吸附在放置台2避免晶圆随意移动，可减少固定晶圆10过程中对晶圆表面可能产生的损伤，通过控制定位后的晶圆沿着X轴方向移动以及检测设置8沿着Y轴方向移动，可实现检测设置8对晶圆10表面各个点位的检测，从整体上提高了对晶圆10的定位检测效率。

虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本实用新型作了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本实用新型精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本实用新型要求保护的范围。

Claims (6)

1.一种晶圆测试台，其特征在于：包括工作台(1)、设置在所述工作台(1)上沿着X轴方向水平移动的放置台(2)以及安装在所述工作台(1)上位于所述放置台(2)上方的龙门支架(3)，所述龙门支架(3)上设置有沿着Y轴方向水平移动的滑动安装块(4)，检测设置(8)通过气缸(21)连接在所述滑动安装块(4)上，所述放置台(2)上以平行于X轴方向的轴线为对称轴对称设置有两个夹角侧撑块(5)，两个所述夹角侧撑块(5)的延长线形成V型部，工作台(1)位于所述V型部的开口一侧通过弹簧(6)连接有平行于Y轴方向设置的挡板(7)，所述挡板(7)的底面位于所述放置台(2)的表面以上，挡板(7)能限位导向所述放置台(2)上放置的晶圆(10)的移动，所述两个所述夹角侧撑块(5)之间所成V型部对应的放置台(2)上设置有吸气孔(9)，若干所述吸气孔(9)通过抽气管(11)连接着抽气机(12)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试台，其特征在于：所述工作台(1)上设置有第一导向轨(13)，所述放置台(2)一侧的连接块(201)沿着所述第一导向轨(13)滑动，并且所述连接块(201)通过丝杠螺母套装在平行于X轴方向设置的第一丝杠(14)上，所述第一丝杠(14)通过第一电机(15)驱动旋转。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆测试台，其特征在于：所述龙门支架(3)上设置有为所述滑动安装块(4)提供滑动导向的第二导向轨(16)，所述滑动安装块(4)通过丝杠螺母套装在平行于Y轴方向设置的第二丝杠(17)上，所述第二丝杠(17)通过第二电机(18)驱动旋转。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆测试台，其特征在于：所述检测设置(8)包括安装在所述滑动安装块(4)下方的探针卡(801)以及可拆卸的安装在所述探针卡(801)上的探针(802)，所述气缸(21)连接在所述探针卡(801)上。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆测试台，其特征在于：还包括设置在所述夹角侧撑块(5)内侧的压力感应器(19)以及连接所述压力感应器(19)的控制器(20)，所述控制器(20)还连接所述第一电机(15)、第二电机(18)以及抽气机(12)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆测试台，其特征在于：所述放置台(2)采用光面不锈钢材质。