CN219915399U - 晶圆检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及晶圆测试技术领域，公开了一种晶圆检测装置，包括：晶圆盒，晶圆盒内设有用于放置多个晶圆的收容空间，多个晶圆在收容空间内平行且间隔设置，晶圆盒上设有与收容空间连通的开口；取料机构，包括相连接的取料手臂和第一移动组件，第一移动组件用于驱动取料手臂移动以将晶圆盒内的任一晶圆通过开口转移至晶圆盒外；检测机构，包括相机，相机位于晶圆盒的一侧并用于采集取料手臂上晶圆的表面图像。上述晶圆检测装置可避免人工手动分片时可能导致的破片风险和污染，保障产品质量，且分片效率高。此外，能够通过检测机构对晶圆的外观进行检测，判断是否存在外观缺陷，提高设备的利用率。

Description

晶圆检测装置

技术领域

本申请涉及晶圆测试技术领域，尤其涉及一种晶圆检测装置。

背景技术

晶圆产品前期做验证需要对晶圆盒内的晶圆进行分片以及外观检测，因此可以利用同一套设备对晶圆盒内的晶圆进行分片操作或逐一进行外观检测，或者直接在晶圆分片过程中同时进行晶圆外观检测。

传统的分片方式有以下两种：第一种是利用探针台将晶圆移出晶圆盒，再放置一个新的晶圆盒，探针台把之前取出的晶圆放入新的晶圆盒，方法繁琐且耗时；第二种为人工手动将晶圆从一个晶圆盒移至另外一个晶圆盒，容易造成二次污染和破片等风险。上述两种方法操作风险大，分片效率低，无法保证产品质量。另一方面，现有的晶圆外观检测设备精度高且造价昂贵，由于晶圆上部分外观缺陷无需用高精度的设备来检验，从而导致现有的晶圆外观检测设备所涵盖的较多功能无法使用，设备利用率低，检测成本高。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提供了一种晶圆检测装置，至少解决现有技术中晶圆产品外观检测过程中，分片效率低且无法保证产品质量、设备利用率低且成本高的问题。

本申请实施例提出一种晶圆检测装置，包括：

晶圆盒，所述晶圆盒内设有用于放置多个晶圆的收容空间，多个晶圆在所述收容空间内平行且间隔设置，所述晶圆盒上设有与所述收容空间连通的开口；

取料机构，包括相连接的取料手臂和第一移动组件，所述第一移动组件用于驱动所述取料手臂移动以将所述晶圆盒内的任一晶圆通过所述开口转移至所述晶圆盒外；

检测机构，包括相机和第二移动组件，所述第二移动组件用于驱动所述相机移动至所述取料手臂的上方，所述相机位于所述晶圆盒的一侧并用于采集所述取料手臂上晶圆的表面图像。

在一实施例中，所述晶圆检测装置设于一台面上，多个所述晶圆沿垂直于所述台面的第一方向间隔设置，所述取料手臂用于将所述晶圆盒内的晶圆通过所述开口沿平行于所述台面的第二方向转移至所述晶圆盒外。

在一实施例中，所述第一移动组件包括底座、第一移动件和第二移动件，所述底座与所述晶圆盒间隔设置，所述第一移动件沿所述第二方向滑动连接于所述底座，所述第二移动件沿所述第一方向滑动连接于所述第一移动件；所述取料手臂固定连接于所述第二移动件。

在一实施例中，所述底座上设有沿所述第二方向延伸的第一丝杆，所述第一移动件包括螺纹连接于所述第一丝杆的第一滑块、固定连接于所述第一滑块的第一支架和沿所述第一方向设于所述第一支架上的第二丝杆，所述第二移动件螺纹连接于所述第二丝杆。

在一实施例中，所述底座和所述第一移动件的端部均设有手轮，所述底座上的手轮用于驱动所述第一移动件沿所述第二方向移动，所述第一移动件上的手轮用于驱动所述第二移动件沿所述第一方向移动。

在一实施例中，所述晶圆检测装置还包括位置标尺和标尺指针，所述位置标尺固定连接于所述第一移动件，所述位置标尺上设有多个沿所述第一方向依次设置的晶圆刻度；所述标尺指针设于所述第二移动件上且所述标尺指针的端部指向所述位置标尺。

在一实施例中，所述取料手臂包括连接端和取放端，所述连接端固定连接于所述第二移动件，所述取放端处开设有吸附孔，所述吸附孔用于连通真空泵。

在一实施例中，所述晶圆检测装置还包括设于所述台面上的安装架，所述第二移动组件包括第一导轨、连接件和第二导轨，沿所述第一方向，所述第一导轨和所述第二导轨分别设于所述连接件的相对两端；所述第一导轨设于所述安装架的顶部且沿所述第二方向延伸，所述连接件沿所述第二方向滑动连接于所述第一导轨，所述第二导轨可相对于所述连接件沿第三方向滑动，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向，所述相机连接于所述第二导轨且位于所述取料手臂的上方。

在一实施例中，所述检测机构还包括设于所述安装架上且电连接于所述相机的显示屏，所述显示屏用于接收并显示晶圆的表面图像。

在一实施例中，所述检测机构还包括相连接的镜筒和发光件，所述镜筒远离所述发光件的一端固定连接于所述相机。

上述晶圆检测装置包括晶圆盒、取料机构和检测机构，取料机构包括相连接的取料手臂和第一移动组件，且取料手臂可在第一移动组件的驱动下靠近或远离晶圆盒上的开口，从而能够将晶圆盒内的晶圆经由开口转移至晶圆盒外，避免人工手动分片时可能导致的破片风险和污染，保障产品质量，且分片效率高。此外，能够通过检测机构的相机采集取料手臂上晶圆的表面图像，以对晶圆的外观进行检测，判断是否存在外观缺陷，提高设备的利用率，相较于现有的高精度晶圆外观检测设备，整体成本低，从而有效解决现有技术中晶圆产品外观检测过程中，分片效率低且无法保证产品质量、设备利用率低且成本高的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例提供的晶圆检测装置的立体示意图；

图2为图1中A所示结构的局部放大图；

图3为图1所示晶圆检测装置另一角度的立体示意图；

图4为图1所示晶圆检测装置中晶圆盒的立体示意图；

图5为图1所示晶圆检测装置中取料手臂的立体示意图。

图中标记的含义为：

100、晶圆检测装置；

10、晶圆盒；11、收容空间；12、开口；13、晶圆固定件；

21、取料手臂；211、连接端；212、取放端；213、气嘴；214、吸附孔；22、第一移动组件；221、底座；2211、第一丝杆；222、第一移动件；2221、第一滑块；2222、第一支架；2223、第二丝杆；223、第二移动件；224、手轮；23、第二移动组件；231、第一导轨；2311、第二滑块；232、连接件；233、第二导轨；2331、第三滑块；2332、延伸座；

31、相机；32、显示屏；33、镜筒；34、发光件；

41、台面；42、位置标尺；43、标尺指针；44、桌面；45、安装架；

200、晶圆。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图即实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

为了说明本申请所述的技术方案，下面结合具体附图及实施例来进行说明。

本申请的实施例提出一种晶圆检测装置，用于对晶圆盒内的晶圆进行外观检测。

请参照图1、图3和图4，在本申请的一个实施例中，晶圆检测装置100包括晶圆盒10、取料机构和检测机构。

晶圆盒10内设有用于放置多个晶圆200的收容空间11，多个晶圆200在收容空间11内平行且间隔设置，晶圆盒10上设有与收容空间11连通的开口12。也即是说，收容空间11通过开口12实现与外界的连通，可以理解，盒体内的晶圆200可通过开口12被转移至外界，并可在外观检测结束后，经由开口12放回原位。

取料机构包括相连接的取料手臂21和第一移动组件22，第一移动组件22用于驱动取料手臂21移动以将晶圆盒10内的任一晶圆200通过开口12转移至晶圆盒10外。可以理解，取料手臂21可相对于晶圆盒10移动以靠近或远离开口12。

检测机构包括相机31，相机31位于晶圆盒10的一侧并用于采集取料手臂21上晶圆200的表面图像。

在本实施例中，开口12设于晶圆盒10的侧壁上，晶圆盒10的内侧壁上均凸设有晶圆固定件13，晶圆固定件13包括多个平行的沟槽，尺寸统一并用于支撑和固定晶圆200的边缘，晶圆200可卡持于沟槽中。可以理解，多个晶圆固定件13的结构及安装高度应一致，以确保多个晶圆200之间的平行且间隔分布。

进一步地，本申请中的晶圆盒10用于放置12寸晶圆，晶圆200的尺寸和晶圆盒10的尺寸相适配，能够避免晶圆200晃动或卡持过紧。可以理解，在本申请的其他实施例中，晶圆盒10的尺寸和所适配的晶圆200的尺寸也可为其他，在此不做限制。

上述晶圆检测装置100包括晶圆盒10、取料机构和检测机构，取料机构包括相连接的取料手臂21和第一移动组件22，且取料手臂21可在第一移动组件22的驱动下靠近或远离晶圆盒10上的开口12，从而能够将晶圆盒10内的晶圆200经由开口12转移至晶圆盒10外，避免人工手动分片时可能导致的破片风险和污染，保障产品质量，且分片效率高。此外，能够通过检测机构的相机31采集取料手臂21上晶圆200的表面图像，以对晶圆200的外观进行检测，判断是否存在外观缺陷，提高设备的利用率，相较于现有的高精度晶圆外观检测设备，整体成本低，从而有效解决现有技术中晶圆产品外观检测过程中，分片效率低且无法保证产品质量、设备利用率低且成本高的问题。

晶圆检测装置100的工作流程为：首先，取料手臂21在第一移动组件22的驱动下靠近晶圆盒10，并通过开口12进入收容空间11内以抓取晶圆200；然后，经由开口12将晶圆200转移至晶圆盒10外，并保证位于取料手臂21上的晶圆200与相机31相对；然后，相机31采集晶圆200的表面图像；最后，取料手臂21带动晶圆200经由开口12进入收容空间11，并将晶圆200复位；重复上述过程，直至晶圆盒10内的所有晶圆200均完成检测。

可以理解，晶圆盒10内晶圆200的检测顺序不唯一，可自上至下、或自下至上依次检测，或者间隔进行检测，但不限于此。

请参照图1和图4，在本申请的一个实施例中，晶圆检测装置100设于一台面41上，多个晶圆200沿垂直于台面41的第一方向(图示Z方向)间隔设置，取料手臂21用于将晶圆盒10内的晶圆200通过开口12沿平行于台面41的第二方向(图示X方向)转移至晶圆盒10外。其中，台面41位于水平面内，第二方向与第一方向相垂直，则取料手臂21将晶圆盒10内的晶圆200通过开口12在水平面内移动并转移至晶圆盒10外，如此，转移过程中，可避免取料手臂21和位于取料手臂21上的晶圆200碰撞其他晶圆200。

检测机构还包括第二移动组件23，第二移动组件23用于驱动相机31移动至取料手臂21的上方。如此，相机31可在第二移动组件23的驱动下位于取料手臂21的顶部，相机31的位置灵活，此时相机31位于晶圆200背离取料手臂21的一侧，可对晶圆200的上表面的任一位置进行外观的检测，保证检测的全面性。

在本实施中，请参照图1、图3和图4，第一移动组件22包括底座221、第一移动件222和第二移动件223，底座221与晶圆盒10间隔设置，第一移动件222沿第二方向滑动连接于底座221，第二移动件223沿第一方向滑动连接于第一移动件222；取料手臂21固定连接于第二移动件223。也即是说，第一移动件222沿第二方向移动以靠近或远离晶圆盒10，取料手臂21可随第二移动件223沿第一方向移动，即能够对取料手臂21沿第一方向的移动位置、以及取料手臂21沿第二方向的移动位置进行调节，从而改变取料手臂21上晶圆200的高度和取料手臂21上晶圆200沿第二方向的位置，进而改变相机31与晶圆200的相对距离，位置调节方便。

其中，底座221和第一移动件222的端部均设有手轮224，底座221上的手轮224用于驱动第一移动件222沿第二方向移动，第一移动件222上的手轮224用于驱动第二移动件223沿第一方向移动。如此，方便操作者转动手轮224以调节取料手臂21的位置，操作简单。

进一步地，底座221上设有沿第二方向延伸的第一丝杆2211，第一移动件222包括螺纹连接于第一丝杆2211的第一滑块2221、固定连接于第一滑块2221的第一支架2222和沿第一方向设于第一支架2222上的第二丝杆2223，第二移动件223螺纹连接于第二丝杆2223。

其中一个手轮224设置在第一丝杆2211的一端并用于驱动第一丝杆2211旋转，第一丝杆2211的表面上有外螺纹，跟第一滑块2221上的内螺纹匹配，第一滑块2221随着第一丝杆2211的旋转而沿第一丝杆2211的延伸方向，即沿第二方向滑动，第一支架2222通过螺丝连接或卡扣连接等固定连接于第一滑块2221，并随第一滑块2221实现沿第二方向的往复移动；另一个手轮224设置在第二丝杆2223的一端并用于驱动第二丝杆2223旋转，第二丝杆2223的表面上也有外螺纹，跟第二移动件223的内螺纹匹配，第二移动件223随着第二丝杆2223的旋转而沿第二丝杆2223的延伸方向，即沿第一方向滑动，取料手臂21通过螺丝连接或卡扣连接等固定连接于第二移动件223，并随第二移动件223实现沿第一方向的往复移动。

可以理解，在本申请的其他实施例中，手轮224也可省略，并通过驱动电机驱动第一丝杆2211或第二丝杆2223旋转，在此不做限制。

可以理解，底座221和第一移动件222的结构不唯一，在本申请的其他实施例中，底座221和第一移动件222也可为齿轮齿条、气缸等直线驱动件，在此不做限制。

可以理解，在本申请的其他实施例中，第二移动组件23也可省略。此时，相机31的位置保持不变，第一移动组件22驱动取料手臂21的移动方式也可为其他。例如，第一移动组件22还可驱动取料手臂21沿第三方向(图示Y方向)移动，第三方向垂直于第一方向和第二方向，此时取料手臂21及设于其上的晶圆200可实现三维空间内的移动，从而可调节晶圆200上任意位置与相机31的相对位置，方便相机31采集晶圆200上任一点的表面图像，但不限于此。

请参照图1和图2，在本申请的一个实施例中，晶圆检测装置100还包括位置标尺42和标尺指针43，位置标尺42固定连接于第一移动件222，位置标尺42上设有多个沿第一方向依次设置的晶圆刻度；标尺指针43设于第二移动件223上且标尺指针43的端部指向位置标尺42。

如此，可通过标尺指针43的端部所指向的位置标尺42的位置，即所指向的晶圆刻度判断第二移动件223及固定设于其上的取料手臂21所处的位置。在本实施例中，晶圆刻度与晶圆盒10内晶圆200的位置一一对应，则可推断出取料手臂21处于某一位置时所抓取的晶圆200，方便准确取放目标位置的晶圆200，避免漏检或重复检测。

在本实施例中，晶圆盒10置于一桌面44上，以抬高晶圆盒10的高度，方便取料手臂21取放晶圆200。其中，位于起点处的晶圆刻度与晶圆盒10内位于最底部的晶圆200相对应。根据实际情况，若位于起点处的晶圆刻度所处的高度与晶圆盒10内位于最底部的晶圆200所对应的高度不等时，可调节标尺指针43的位置，以保证标尺指针43的端部指向某一晶圆刻度时，取料手臂21正好可抓取对应的晶圆200。

请参照图1和图5，在本申请的一个实施例中，取料手臂21包括连接端211和取放端212，连接端211固定连接于第二移动件223，取放端212处开设有吸附孔214，吸附孔214用于连通真空泵。如此，可在真空泵的作用下，抽出取放端212与晶圆200之间的空气，并在大气压的作用下保持取料手臂21与晶圆200之间的固定连接，操作方式简单且连接关系稳定，避免污染。

具体地，连接端211通过螺纹连接实现与第二移动件223之间的固定连接；取放端212呈U型，并包括两个取放部，每个取放部上均设有吸附孔214和与吸附孔214连通的气道，进一步保证取料手臂21抓取晶圆200并进行转移过程中的稳定性。结合参考图1、图2和图5，取料手臂21还包括气嘴213，气嘴213通过气道与吸附孔214相连通，且气嘴213连接至真空开关及真空泵，可以理解，关闭真空泵即可实现取料手臂21与晶圆200的分离。

可以理解，在本申请的其他实施例中，取放端212也可为其他形状，在此不做限制。

请参照图1和图5，在本申请的一个实施例中，当晶圆200均放置于晶圆固定件13上时，沿第一方向，晶圆200与相邻晶圆200的距离大于取放端212的厚度。如此，取放端212伸入相邻晶圆200之间以进行晶圆200的取放时，避免划伤晶圆200，保证产品质量，减少损耗。

请参照图1至图3，在本申请的一个实施例中，晶圆检测装置100还包括设于台面41上的安装架45，第二移动组件23包括第一导轨231、连接件232和第二导轨233，沿第一方向，第一导轨231和第二导轨233分别设于连接件232的相对两端；第一导轨231设于安装架45的顶部且沿第二方向延伸，连接件232沿第二方向滑动连接于第一导轨231，第二导轨233可相对于连接件232沿第三方向滑动，第三方向垂直于第一方向和第二方向，相机31连接于第二导轨233且位于取料手臂21的上方。可以理解，第三方向和第二方向均位于水平面内，如此，相机31可在第二移动组件23的驱动下实现水平面内的任意移动，即相机31能够在前后左右四个方向移动，从而提高相机31位置调节的灵活性。

由于在第一移动组件22的驱动下能够对取料手臂21沿竖直方向的移动位置、以及取料手臂21沿第二方向的移动位置进行调节，再配合相机31在第二移动组件23的驱动下能够实现水平面内的任意移动，则相机31可位于晶圆200任一点位的上方，从而能够对晶圆200上各个晶粒进行外观检测，保证检测范围的完整性。

具体地，第一导轨231上也设有丝杆及设于丝杆上的第二滑块2311，丝杆表面上有外螺纹，跟第二滑块2311上的内螺纹匹配，第二滑块2311随着丝杆的旋转而沿丝杆的延伸方向，即沿第二方向滑动。连接件232的一端固定连接于第二滑块2311，且可随第二滑块2311沿第二方向往复移动。第二导轨233的结构与第一导轨231的相似，区别在于，第二导轨233的延伸方向为第三方向。此外，连接件232的两端可分别通过螺丝连接或卡扣连接等固定连接于第二滑块2311和第二导轨233上的第三滑块2331。

此外，相机31设于一延伸座2332上，延伸座2332固定连接于第二导轨233朝向晶圆盒10的一端。

请参照图1，在本申请的一个实施例中，检测机构还包括设于安装架45上且电连接于相机31的显示屏32，显示屏32用于接收并显示晶圆200的表面图像。一方面，可对晶圆200的外观检测进行实时观察；另一方面，显示屏32集成于安装架45上，可节省晶圆检测装置100的占地空间。

具体地，安装架45包括两个沿第一方向延伸的立柱、及横梁，横梁的两端分别连接于两个立柱，显示屏32设于两个立柱之间。

可以理解，在本申请的其他实施例中，显示屏32的安装位置也可为其他，例如，显示屏32可直接固定安装在台面41上，但不限于此。

请参照图1，在本申请的一个实施例中，检测机构还包括相连接的镜筒33和发光件34，镜筒33远离发光件34的一端固定连接于相机31。如此，发光件34能够提供良好的照明，以方便相机31经由镜筒33清晰地采集晶圆200任意位置的图片。

具体地，发光件34呈环形，并环设于镜筒33远离相机31的一端，避免遮挡观察范围。可以理解，在本申请的其他实施例中，发光件34的位置也可为其他，例如，发光件34可设于安装架45上，并对取料手臂21所处的空间提供照明，但不限于此。

在本申请的一个实施例中，晶圆检测装置100的工作流程为：首先，通过手轮224驱动第二移动件223沿第一方向移动，直至标尺指针43的端部指向第一晶圆刻度；然后，通过手轮224驱动第一移动件222及取料手臂21沿第二方向靠近晶圆盒10，并通过开口12进入收容空间11内以抓取晶圆200；然后，经由开口12沿第二方向将晶圆200转移至晶圆盒10外某一位置；然后，驱动连接件232及第二导轨233沿第二方向用移动，直至第二导轨233位于取料手臂21的上方；然后，驱动第二导轨233和相机31沿第三方向移动，直至相机31位于取料手臂21的上方，保证位于取料手臂21上的晶圆200与相机31相对；然后，根据实际情况，通过手轮224驱动第二移动件223沿第一方向移动，直至取料手臂21上的晶圆200与相机31之间的距离达到预设值；然后，相机31采集晶圆200的表面图像，还可根据需要，调节第二导轨233的位置以使相机31采集晶圆200不同位置的表面图像；然后，通过手轮224驱动第二移动件223沿第一方向移动，直至标尺指针43的端部重新指向第一晶圆刻度；然后，通过手轮224驱动第一移动件222及取料手臂21沿第二方向靠近晶圆盒10，并通过开口12进入收容空间11内，并将晶圆200复位；重复上述过程，直至晶圆盒10内的所有晶圆200均完成检测。

本申请提出的晶圆检测装置100可避免人工手动分片时可能导致的破片风险和污染，保障产品质量，且分片效率高。此外，能够通过检测机构的相机31采集取料手臂21上晶圆200的表面图像，以对晶圆200的外观进行检测，判断是否存在外观缺陷，提高设备的利用率，相较于现有的高精度晶圆外观检测设备，整体成本低，从而有效解决现有技术中晶圆产品外观检测过程中，分片效率低且无法保证产品质量、设备利用率低且成本高的问题。

以上所述实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：

晶圆盒，所述晶圆盒内设有用于放置多个晶圆的收容空间，多个晶圆在所述收容空间内平行且间隔设置，所述晶圆盒上设有与所述收容空间连通的开口；

取料机构，包括相连接的取料手臂和第一移动组件，所述第一移动组件用于驱动所述取料手臂移动以将所述晶圆盒内的任一晶圆通过所述开口转移至所述晶圆盒外；

检测机构，包括相机和第二移动组件，所述第二移动组件用于驱动所述相机移动至所述取料手臂的上方，所述相机位于所述晶圆盒的一侧并用于采集所述取料手臂上晶圆的表面图像。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述晶圆检测装置设于一台面上，多个所述晶圆沿垂直于所述台面的第一方向间隔设置，所述取料手臂用于将所述晶圆盒内的晶圆通过所述开口沿平行于所述台面的第二方向转移至所述晶圆盒外。

3.根据权利要求2所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述第一移动组件包括底座、第一移动件和第二移动件，所述底座与所述晶圆盒间隔设置，所述第一移动件沿所述第二方向滑动连接于所述底座，所述第二移动件沿所述第一方向滑动连接于所述第一移动件；所述取料手臂固定连接于所述第二移动件。

4.根据权利要求3所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述底座上设有沿所述第二方向延伸的第一丝杆，所述第一移动件包括螺纹连接于所述第一丝杆的第一滑块、固定连接于所述第一滑块的第一支架和沿所述第一方向设于所述第一支架上的第二丝杆，所述第二移动件螺纹连接于所述第二丝杆。

5.根据权利要求3所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述底座和所述第一移动件的端部均设有手轮，所述底座上的手轮用于驱动所述第一移动件沿所述第二方向移动，所述第一移动件上的手轮用于驱动所述第二移动件沿所述第一方向移动。

6.根据权利要求5所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述晶圆检测装置还包括位置标尺和标尺指针，所述位置标尺固定连接于所述第一移动件，所述位置标尺上设有多个沿所述第一方向依次设置的晶圆刻度；所述标尺指针设于所述第二移动件上且所述标尺指针的端部指向所述位置标尺。

7.根据权利要求3所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述取料手臂包括连接端和取放端，所述连接端固定连接于所述第二移动件，所述取放端处开设有吸附孔，所述吸附孔用于连通真空泵。

8.根据权利要求3-7中任一项所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述晶圆检测装置还包括设于所述台面上的安装架，所述第二移动组件包括第一导轨、连接件和第二导轨，沿所述第一方向，所述第一导轨和所述第二导轨分别设于所述连接件的相对两端；所述第一导轨设于所述安装架的顶部且沿所述第二方向延伸，所述连接件沿所述第二方向滑动连接于所述第一导轨，所述第二导轨可相对于所述连接件沿第三方向滑动，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向，所述相机连接于所述第二导轨且位于所述取料手臂的上方。

9.根据权利要求8所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述检测机构还包括设于所述安装架上且电连接于所述相机的显示屏，所述显示屏用于接收并显示晶圆的表面图像。

10.根据权利要求1-7中任一项所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述检测机构还包括相连接的镜筒和发光件，所述镜筒远离所述发光件的一端固定连接于所述相机。