CN219859378U - 一种用于掩膜版的下料搬运夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于掩膜版的下料搬运夹具，包括一纵向柱杆和两横向柱杆，纵向柱杆与掩膜版长度方向平行，横向柱杆与掩膜版宽度方向平行；纵向柱杆的两端分别固接有纵向卡爪，两横向柱杆的两端分别固接有横向卡爪，纵向卡爪和横向卡爪均包括握柄、与握柄转动连接的爪柄和与爪柄一端连接的卡爪，卡爪上设置有容纳掩膜版的版槽，爪柄上远离卡爪的端部连接有弹性件，弹性件设置在握柄的末端，爪柄在弹性件的推动下转动，带动卡爪旋转至呈竖直状态，夹紧掩膜版边沿；本实用新型的用于掩膜版的下料搬运夹具，通过夹具实现对需要下料搬运的掩膜版进行夹取，避免人工下料搬运时，人手部接触到掩膜版边缘而产生污染的问题。

Description

一种用于掩膜版的下料搬运夹具

技术领域

本实用新型属于掩膜版加工用辅助设备领域，更具体的说涉及一种用于掩膜版的下料搬运夹具。

背景技术

掩膜版也称光罩或MASK，是一种用于微电子制造过程中的图形转移工具或膜版，通过曝光、显影以及蚀刻等工序，在玻璃铬版上制作需要的微观图形，主要应用于微电子平版印刷。制作掩膜版所使用的原材料为铬版，尤其是一种硬面掩膜版材料，即掩膜版基版，它是在平整的、高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射沉积上铬-氧化铬薄膜而形成铬膜基版，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂(又称光刻胶)制成铬版原料。掩膜基版经过光刻区(包含曝光工序)、后处理区(包含显影、蚀刻和脱膜工序)、检修区(测量和修补工序)，最终制成满足出货质量的产品交付客户。

由于掩膜版属于高精度的产品，以及Mask大小包含多种尺寸，目前国内外几乎没有能运用于全尺寸的自动打包机器，多数均为人工手动下料、搬运。而人工手动下料手部直接接触掩膜版，这样会有很大机率造成版材的边缘污染，对于下游客户的使用造成不良影响，影响掩膜版的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于掩膜版的下料搬运夹具，通过夹具实现对需要下料搬运的掩膜版进行夹取，避免人工下料搬运时，人手部接触到掩膜版边缘而产生污染的问题。

本实用新型技术方案一种用于掩膜版的下料搬运夹具，包括一纵向柱杆和相对设置的两横向柱杆，两所述横向柱杆均与所述纵向柱杆焊接连接，两横向柱杆之间还焊接有两横向副杆，所述纵向柱杆与待搬运掩膜版长度方向平行且位于掩膜版宽度方向的中线位置，所述横向柱杆与待搬运掩膜版宽度方向平行且以掩膜版长度方向的中线轴对称；

所述纵向柱杆的两端分别固接有纵向卡爪，两所述横向柱杆的两端分别固接有横向卡爪，所述纵向卡爪和横向卡爪均包括握柄、与所述握柄转动连接的爪柄和与所述爪柄一端连接的卡爪，所述卡爪上设置有容纳掩膜版的版槽，所述爪柄上远离卡爪的端部连接有弹性件，所述弹性件设置在握柄的末端，所述爪柄在所述弹性件的推动下转动，带动卡爪旋转至呈竖直状态，夹紧掩膜版边沿。

优选地，所述握柄的前端与纵向柱杆或横向柱杆可拆卸连接，握柄的末端与弹性件固定连接；

所述握柄靠近前端的两侧面上分别设置有安装板，两安装板平行且爪柄和卡爪均置于两所述安装板之间；所述安装板上穿过有第一连接轴和第二连接轴，所述第二连接轴置于所述第一连接轴下方，所述爪柄前端通过所述第一连接轴与所述安装板转动连接，所述卡爪顶端通过第二连接轴与所述安装板转动连接，所述爪柄前端与所述卡爪顶端之间连接有曲柄组件，所述爪柄通过所述曲柄组件带动所述卡爪旋转实现对掩膜版夹紧和放开。

优选地，所述曲柄组件包括固接在所述爪柄前端的第一连接板、与所述第一连接板远离所述爪柄端转动连接的第二连接板和固接在所述卡爪顶端的第三连接板，所述第三连接板上设置有长圆孔，所述长圆孔内穿过有第三连接轴，所述第三连接轴穿过所述第二连接板远离第一连接板端并固接，所述第一连接板远离爪柄端穿过有第四连接轴，所述第二连接板与所述第四连接轴转动连接。

优选地，所述版槽设置在所述卡爪的内侧面上；所述版槽的上下侧面均向外倾斜，形成一扩口槽，所述扩口槽的下侧面的内边沿向下凹陷2°-5°。

优选地，所述弹性件为螺旋弹簧，所述螺旋弹簧两端分别与握柄和爪柄固接。

本实用新型技术方案一种用于掩膜版的下料搬运夹具的有益效果是：

1、通过采用本夹具实现对待搬运掩膜版进行夹取、搬运，避免在搬运中操作人员手部接触到掩膜版，在掩膜版上留下指印，造成掩膜版污染的问题。

2、通过一纵向柱杆和两横向柱杆的设置，使得在掩膜版的长度边沿上具有两夹爪夹紧，确保掩膜版保持平衡。

3、本方案中，爪柄在弹性件自身复位力的推动下转动，带动卡爪旋转至呈竖直状态，夹紧掩膜版边沿，即在手部不握爪柄时，卡爪即可对掩膜版进行夹紧，这样一方面便于控制夹爪对掩膜版夹紧的力度，避免手动握紧夹紧操作对掩膜版施加的力过大，造成掩膜版损坏，同时也便于操作人员在搬运途中换人或换手搬运，使得搬运操作更加灵活方便。

附图说明

图1为本实用新型技术方案一种用于掩膜版的下料搬运夹具的俯视图。

图2为本实用新型技术方案一种用于掩膜版的下料搬运夹具的主视图。

图3为本技术方案一种用于掩膜版的下料搬运夹具在搬运夹具时状态图。

图4为图2中A处放大图。

图5为图3中B处放大图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型技术方案，现结合具体实施例和说明书附图对本实用新型技术方案做进一步的说明。

本实用新型技术方案一种用于掩膜版的下料搬运夹具，包括一纵向柱杆1和相对设置的两横向柱杆2，两横向柱杆2均与纵向柱杆1焊接连接。两横向柱杆2之间还焊接有两横向副杆3。纵向柱杆1与待搬运掩膜版100长度方向(图1中的L边方向)平行且位于掩膜版宽度方向的中线位置。横向柱杆2与待搬运掩膜版宽度方向(图1中W边方向)平行且以掩膜版长度方向的中线轴对称。纵向柱杆1、两横向柱杆2和两横向副杆3均采用方钢，结构简单，重量较轻，承重能力好。

本方案中，纵向柱杆1的两端分别固接有纵向卡爪5，两横向柱杆2的两端分别固接有横向卡爪4。纵向卡爪和横向卡爪结构一致，均包括握柄11、与握柄11转动连接的爪柄12和与爪柄12一端连接的卡爪13。卡爪13上设置有容纳掩膜版100的版槽131，爪柄12上远离卡爪13的端部连接有弹性件23，弹性件23设置在握柄11的末端。爪柄12在弹性件23的推动下转动，带动卡爪13旋转至呈竖直状态，夹紧掩膜版边沿。

基于上述技术方案，弹性件23被压缩在爪柄12和握柄11之间，在不握紧爪柄12时，弹性件23的弹性复位力推动爪柄12向下转动，爪柄12转动带动卡爪13向内转动(即向本夹具的中心侧转动)，此时若在夹爪内侧具有掩膜版，则卡爪13实现对掩膜版夹紧。在掩膜版的夹紧中，不需要手动操作施力夹紧，便于在搬运过程中暂时性停歇或更换操作人员，在人员互换过程中不影响掩膜版的夹紧，改变现有技术中大部分夹具通过手动按压夹紧且在夹紧过程中手部不能放松的问题，本方案中的夹紧方式，使得搬运操作更加简单可靠，搬运工作强度低。且本方案中夹紧操作，使得在对掩膜版的夹紧中，通过弹性件施加夹紧力，夹紧力自动调节，不会造成掩膜版的损伤。

本方案中，握柄11的前端与纵向柱杆或横向柱杆可拆卸连接，握柄11的末端与弹性件23固定连接，纵向卡爪5或横向卡爪均是通过握柄固定的纵向柱杆或横向柱杆上的，且不可调节，纵向柱杆或横向柱杆尺寸依据掩膜版的尺寸设定，在半圆不同尺寸或型号的掩膜版时，将纵向卡爪5或横向卡爪安装在焊接连接为一整体的不同尺寸的纵向柱杆或横向柱杆上，这样就实现了一套纵向卡爪5或横向卡爪能够搬运更多型号的掩膜版，节省成本，且适应性强。

本方案中，握柄11靠近前端的两侧面上分别设置有安装板14，两安装板14平行且爪柄12和卡爪13均置于两安装板14之间。安装板14上穿过有第一连接轴15和第二连接轴16，第二连接轴16置于第一连接轴15下方，爪柄12前端通过第一连接轴15与安装板14转动连接，卡爪13顶端通过第二连接轴16与安装板14转动连接。爪柄12前端与卡爪13端之间连接有曲柄组件，爪柄12通过曲柄组件带动卡爪13旋转实现对掩膜版100夹紧和放开。通过曲柄组件实现爪柄和卡爪的连接和传动，连接可靠，转动简单。

曲柄组件包括固接在爪柄12前端的第一连接板17、与第一连接板17远离爪柄12端转动连接的第二连接板18和固接在卡爪13顶端的第三连接板19。第三连接板19上设置有长圆孔20，长圆孔20内穿过有第三连接轴21，第三连接轴21穿过第二连接板18远离第一连接板17端并固接，第一连接板17远离爪柄12端穿过有第四连接轴22，第二连接板18与第四连接轴22转动连接。

基于上段技术方案，爪柄12末端被握紧，弹性件被压缩，爪柄12末端绕第一连接轴15向上转动，爪柄前端绕第一连接轴15向下转动，即第一连接板17向下转动，与第一连接板17转动连接的第二连接板18上的第三连接轴21在长圆孔20内滑动，推动第三连接板19向前转动，即卡爪13顶端绕第二连接轴16向内转动，所以卡爪13底端绕第二连接轴16向外转动，即卡爪13上的版槽131做远离掩膜版的转动，即实现对掩膜版的放下。相反的，手部撤离爪柄，爪柄12被放松，爪柄末端在弹性件作用下绕第一连接轴15向下转动，爪柄前端的第一连接板13第一连接轴15向上转动，此时与第一连接板13转动连接的第二连接板18和连接在第二连接板18上的第三连接轴21被向上拉动，同时第三连接轴21在长圆孔20内滑动，长圆孔20呈倾斜状设置，长圆孔20轴线由高端至低端向内倾斜，此时第三连接轴21在长圆孔20内滑动时，即推动第三连接板19绕第二连接轴16向后转动，即卡爪13绕第二连接轴16向内转动，即实现对掩膜版的夹紧。

本方案中，版槽131设置在卡爪的内侧面上；版槽的上下侧面均向外倾斜，形成一扩口槽，扩口槽的设置，便于版槽13对掩膜版对接，避免与掩膜版干涉。扩口槽的下侧面的内边沿1311向下凹陷2°-5°，实现对掩膜版的边沿进行避让，避免版槽的下侧面和版槽的内侧面对掩膜版边沿造成磕碰而损伤掩膜版。

本方案中，弹性件23为螺旋弹簧，螺旋弹簧两端分别与握柄和爪柄固接，采用螺旋弹簧，结构简单，便于安装，弹力大，对掩膜版夹紧力大，夹紧可靠。

本实用新型技术方案一种用于掩膜版的下料搬运夹具，在搬运掩膜版时，至少需要4位操作人员同时进行操作，在掩膜版的各边外侧至少各站立一位操作人员。下面以4为操作人员为例进行说明：4位操作人员将本夹具抬起至待搬运的掩膜版上方，掩膜版两宽边(图1中W边)的操作人员握住爪柄12，打开卡爪13，掩膜版两长边(图1中L边)的操作人员两只手分别握住两爪柄12，打开卡爪13，此时，本夹具上6个卡爪均被打开，4名操作人员同时动作，缓慢向下移动本夹具，使得夹具上的6个卡爪上的版槽13对准掩膜版边沿，然后手部缓慢放开爪柄，使得卡爪夹取掩膜版，然后手部仅仅握住握柄，缓慢抬起本夹具和本夹具夹取的掩膜版，4位操作人员同时行走移动，将掩膜版搬运至指定位置，然后缓慢的将掩膜版放置在指定位置，最后4人同时握住爪柄12，使得卡爪撤离掩膜版，然后4位操作人员同时抬起本夹具，将本夹具撤离掩膜版上方，即完成了整个掩膜版的搬运动作。在掩膜版的搬运过程中，不需要握住爪柄12，不需要向卡爪施力，在搬运过程中，可以通过更换操作人员来降低搬运劳动强度。

本实用新型技术方案在上面结合实施例及附图对实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性改进，或未经改进将实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种用于掩膜版的下料搬运夹具，其特征在于，包括一纵向柱杆和相对设置的两横向柱杆，两所述横向柱杆均与所述纵向柱杆焊接连接，两横向柱杆之间还焊接有两横向副杆，所述纵向柱杆与待搬运掩膜版长度方向平行且位于掩膜版宽度方向的中线位置，所述横向柱杆与待搬运掩膜版宽度方向平行且以掩膜版长度方向的中线轴对称；

所述纵向柱杆的两端分别固接有纵向卡爪，两所述横向柱杆的两端分别固接有横向卡爪，所述纵向卡爪和横向卡爪均包括握柄、与所述握柄转动连接的爪柄和与所述爪柄一端连接的卡爪，所述卡爪上设置有容纳掩膜版的版槽，所述爪柄上远离卡爪的端部连接有弹性件，所述弹性件设置在握柄的末端，所述爪柄在所述弹性件的推动下转动，带动卡爪旋转至呈竖直状态，夹紧掩膜版边沿。

2.根据权利要求1所述的用于掩膜版的下料搬运夹具，其特征在于，所述握柄的前端与纵向柱杆或横向柱杆可拆卸连接，握柄的末端与弹性件固定连接；

所述握柄靠近前端的两侧面上分别设置有安装板，两安装板平行且爪柄和卡爪均置于两所述安装板之间；所述安装板上穿过有第一连接轴和第二连接轴，所述第二连接轴置于所述第一连接轴下方，所述爪柄前端通过所述第一连接轴与所述安装板转动连接，所述卡爪顶端通过第二连接轴与所述安装板转动连接，所述爪柄前端与所述卡爪顶端之间连接有曲柄组件，所述爪柄通过所述曲柄组件带动所述卡爪旋转实现对掩膜版夹紧和放开。

3.根据权利要求2所述的用于掩膜版的下料搬运夹具，其特征在于，所述曲柄组件包括固接在所述爪柄前端的第一连接板、与所述第一连接板远离所述爪柄端转动连接的第二连接板和固接在所述卡爪顶端的第三连接板，所述第三连接板上设置有长圆孔，所述长圆孔内穿过有第三连接轴，所述第三连接轴穿过所述第二连接板远离第一连接板端并固接，所述第一连接板远离爪柄端穿过有第四连接轴，所述第二连接板与所述第四连接轴转动连接。

4.根据权利要求1所述的用于掩膜版的下料搬运夹具，其特征在于，所述版槽设置在所述卡爪的内侧面上；所述版槽的上下侧面均向外倾斜，形成一扩口槽，所述扩口槽的下侧面的内边沿向下凹陷2°-5°。

5.根据权利要求1所述的用于掩膜版的下料搬运夹具，其特征在于，所述弹性件为螺旋弹簧，所述螺旋弹簧两端分别与握柄和爪柄固接。