CN219730550U - 一种多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，包括原料缓冲罐、粗分塔、脱轻塔、脱重塔、反歧化后分离塔以及反歧化反应器；原料缓冲罐、粗分塔、脱轻塔、脱重塔通过管线依次连接；粗分塔的侧面通过管道连接至脱轻塔，脱轻塔的下塔釜通过管线连接至脱重塔，脱重塔的上塔顶通过管线采出合格三氯氢硅产品；各塔通过采出管线一同连接至反歧化后分离塔；反歧化后分离塔的塔顶和塔釜分别通过采出管线连接至反歧化反应器，反歧化后分离塔的侧面通过采出管线重新连接至原料缓冲罐；反歧化反应器通过采出管线返回反歧化后分离塔。本发明能够实现精馏系统的闭路循环，实现物料回收利用；稳定三氯氢硅品质，满足电子级多晶硅生产的需求。
Description
技术领域
本实用新型属于多晶硅生产领域，具体涉及一种多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统。
背景技术
三氯氢硅精馏是多晶硅生产工艺的核心技术之一，三氯氢硅提纯的程度直接影响最终产品多晶硅的纯度，而多晶硅的纯度又影响到下游太阳能电池的发电效果。多晶硅生产的原料硅粉、氢气、氯化氢以及各道工序在化学反应中产生的中间产物含有影响多晶硅质量的磷、硼以及金属杂质等。
现有电子级多晶硅生产大部分采用改良西门子法，均采用四级或五级精馏塔串联的精馏系统,且三氯氢硅产品采出率不高，部分氯硅烷原料不能完全回收利用。通常无法达到满足电子级多晶硅生产的需求，同时能耗较高、物料利用率低等问题。
目前大多数的多晶硅生产企业所采用的精馏提纯多为多塔精馏，通常采用5级精馏工艺，流程为：粗分塔→脱轻塔→脱重塔→脱轻塔→脱重塔。此工艺存在问题如下：①多级精馏设备投资较大；②各精馏塔分离效果不好，易造成塔切除较大，产品采出率低、能耗高，还易造成产品不合格；③物料高，回收利用率低；④受原料杂质的影响，产品品质不稳定。
实用新型内容
实用新型目的：本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，实现同产能的设备投资减少20％以上，有效降低生产能耗；实现精馏系统的闭路循环，实现物料回收利用；稳定三氯氢硅品质，满足电子级多晶硅生产的需求。
为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：
一种多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，包括原料缓冲罐、粗分塔、脱轻塔、脱重塔、反歧化后分离塔以及反歧化反应器；所述原料缓冲罐粗分塔、脱轻塔、脱重塔通过管线依次连接；
所述粗分塔的塔侧通过管道连接至脱轻塔，所述脱轻塔的下塔釜通过管线连接至脱重塔，所述脱重塔的上塔顶通过管线采出合格三氯氢硅产品；
所述粗分塔的塔顶和塔釜、所述脱轻塔的上塔顶、以及脱重塔的下塔釜，分别通过采出管线一同连接至反歧化后分离塔；所述反歧化后分离塔的塔顶和塔釜分别通过采出管线连接至反歧化反应器，反歧化后分离塔的塔侧通过采出管线重新连接至原料缓冲罐；所述反歧化反应器通过采出管线返回反歧化后分离塔，将反应产生的混合气体重新进行分离。
进一步地，所述反歧化后分离塔和反歧化反应器之间设有混合器；所述反歧化后分离塔的塔顶和塔釜分别通过采出管线连接至混合器，经混合后再送入反歧化反应器内。
进一步地，所述混合器的进料侧，还连接有四氯化硅补料管。
进一步地，该系统还包括反歧化后分离塔进料缓冲罐；所述反歧化后分离塔进料缓冲罐设置在反歧化后分离塔前端，用于缓存粗分塔、脱轻塔、脱重塔内采出的含杂物料；粗分塔的塔顶和塔釜、所述脱轻塔的上塔顶、以及脱重塔的下塔釜，分别通过采出管线一同连接至反歧化后分离塔进料缓冲罐内经缓存后再送入反歧化后分离塔；所述反歧化反应器通过采出管线连接至反歧化后分离塔进料缓冲罐。
进一步地，所述原料缓冲罐与粗分塔之间设有原料吸附塔；所述反歧化后分离塔进料缓冲罐的进料侧前端设有回收料吸附塔；所述粗分塔的塔顶和塔釜、所述脱轻塔的上塔顶、以及脱重塔的下塔釜，分别通过采出管线一同连接至回收料吸附塔内。通过原料吸附塔、回收料吸附塔去除原料中大部分磷、硼以及金属杂质。
具体地，所述粗分塔的塔顶设有粗分塔塔顶回流管，所述粗分塔塔顶回流管上设有冷凝器以及粗分塔塔顶采出管；所述粗分塔的下塔釜设有粗分塔塔釜回流管，所述粗分塔塔釜回流管上设有再沸器以及粗分塔塔釜采出管；所述粗分塔的塔侧设有粗分塔塔中侧线采出管，通过粗分塔塔中侧线采出管连接至脱轻塔。
具体地，所述的脱轻塔包括依次串联的脱轻塔上塔和脱轻塔下塔；所述脱轻塔上塔的塔顶设有脱轻塔上塔顶回流管；所述脱轻塔上塔顶回流管上设有冷凝器以及脱轻塔上塔顶采出管；所述脱轻塔上塔的底部通过脱轻塔上塔底部采出管连接至脱轻塔下塔；
所述脱轻塔下塔的塔顶设有脱轻塔下塔顶气相管，通过脱轻塔下塔顶气相管重新连接至脱轻塔上塔；所述脱轻塔下塔的底部设有脱轻塔下塔釜回流管，所述脱轻塔下塔釜回流管上设有再沸器以及脱轻塔下塔釜采出管，通过脱轻塔下塔釜采出管连接至脱重塔。
具体地，所述的脱重塔包括依次串联的脱重塔下塔和脱重塔上塔；所述脱重塔下塔的塔顶设有脱重塔下塔顶气相管，通过脱重塔下塔顶气相管连接至脱重塔上塔；所述脱重塔下塔底部设有脱重塔下塔釜回流管，所述脱重塔下塔釜回流管上设有再沸器以及脱重塔下塔釜采出管；
所述脱重塔上塔的塔顶设有脱重塔上塔顶回流管，所述脱重塔上塔顶回流管上设有冷凝器以及脱重塔上塔顶采出管，通过脱重塔上塔顶采出管采出合格三氯氢硅产品；所述脱重塔上塔的底部设有脱重塔上塔釜底部采出管，通过脱重塔上塔釜底部采出管重新连接至脱重塔下塔。
具体地，所述反歧化后分离塔的塔顶设有反歧化后分离塔塔顶回流管，所述反歧化后分离塔塔顶回流管上设有冷凝器以及反歧化后分离塔塔顶采出管；所述反歧化后分离塔的下塔釜设有反歧化后分离塔塔釜回流管，所述反歧化后分离塔塔釜回流管上设有再沸器以及反歧化后分离塔塔釜采出管；所述反歧化后分离塔的塔侧设有反歧化后分离塔塔中侧线采出管，通过反歧化后分离塔塔中侧线采出管重新连接至原料缓冲罐；所述反歧化后分离塔塔顶采出管和反歧化后分离塔塔釜采出管一同连接至混合器。
具体地，所述反歧化反应器的底部设有反歧化反应器采出管，通过反歧化反应器采出管重新连接至反歧化后分离塔进料缓冲罐。
有益效果：
(1)本实用新型利用吸附+精馏耦合的结合，通过两级吸附除杂和高效耦合精馏，有效解决多晶硅生产中精馏工艺水平，产品三氯氢硅满足电子级多晶硅生产的需求，且生产能耗、物耗实现大幅降低。
(2)本实用新型各精馏塔切除料经过二级吸附除杂后，通过反歧化系统回收利用，反歧化反应后生产的三氯氢硅补充到氯硅烷原料中，二氯二氢硅及四氯化硅得到回收利用，实现物料全部循环。
(3)本实用新型用于三氯氢硅精馏提纯的装置，包括原料吸附塔、粗分塔(隔板塔)、脱轻塔(串塔)、脱重塔(串塔)、回收吸附塔、反歧化反应器、反歧化后分离塔(隔板塔)等关键设备构成，在保证精馏质量下又可以将各种沸点的组分区别开来实现资源的有效利用。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做更进一步的具体说明，本实用新型的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。
图1是该多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统的整体结构示意图。
其中，各附图标记分别代表：
10原料缓冲罐；101氯硅烷原料引管；102氯硅烷原料输送管；20原料吸附塔；30粗分塔；301粗分塔塔顶回流管；302粗分塔塔釜回流管；303粗分塔塔中侧线采出管；304粗分塔塔顶采出管；305粗分塔塔釜采出管；40脱轻塔上塔；401脱轻塔上塔顶回流管；402脱轻塔上塔底部采出管；403脱轻塔上塔顶采出管；50脱轻塔下塔；501脱轻塔下塔顶气相管；502脱轻塔下塔釜回流管；503脱轻塔下塔釜采出管；60脱重塔下塔；601脱重塔下塔顶气相管；602脱重塔下塔釜回流管；603脱重塔下塔釜采出管；70脱重塔上塔；701脱重塔上塔顶回流管；702脱重塔上塔釜底部采出管；703脱重塔上塔顶采出管；80回收料吸附塔；90反歧化后分离塔进料缓冲罐；100反歧化后分离塔；1001反歧化后分离塔塔顶回流管；1002反歧化后分离塔塔釜回流管；1003反歧化后分离塔塔中侧线采出管；1004反歧化后分离塔塔顶采出管；1005反歧化后分离塔塔釜采出管；110混合器；1101四氯化硅补料管；120反歧化反应器；1201反歧化反应器采出管。
DCS为二氯二氢硅；TCS为三氯氢硅(液相)；STC为四氯化硅；LI为轻杂(lightimpurity)；HI为重杂(heavy impurity)。
具体实施方式
根据下述实施例，可以更好地理解本实用新型。
如图1所示，该多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，包括原料缓冲罐10、原料吸附塔20、粗分塔30、脱轻塔、脱重塔、反歧化后分离塔进料缓冲罐90、反歧化后分离塔100、混合器110以及反歧化反应器120；所述原料缓冲罐10、原料吸附塔20、粗分塔30、脱轻塔、脱重塔通过管线依次连接。
粗分塔30的塔侧通过管道连接至脱轻塔，将侧线采出的较纯三氯氢硅(TCS)送入脱轻塔进一步脱轻杂(LI)。脱轻塔的下塔釜通过管线连接至脱重塔进行进一步脱重杂(HI)。脱重塔的上塔顶通过管线采出合格三氯氢硅产品。
粗分塔30的塔顶和塔釜、所述脱轻塔的上塔顶、以及脱重塔的下塔釜，分别通过采出管线一同连接至反歧化后分离塔进料缓冲罐90，将切出的原料杂质进行全部回收。
反歧化后分离塔进料缓冲罐90和反歧化后分离塔100通过管道依次连接；所述反歧化后分离塔100的塔顶和塔釜分别通过采出管线连接至混合器110，塔顶采出二氯二氢硅(DCS)，塔釜采出四氯化硅(STC)。反歧化后分离塔100的塔侧通过采出管线重新连接至原料缓冲罐10，将采出的三氯氢硅(TCS)重新作为原料进行精馏除杂。混合器110、反歧化反应器120通过管道依次连接，反歧化反应器120内主要发生SiH2Cl2+SiCl4→SiHCl3这一反应，通过采出管线重新连接至反歧化后分离塔进料缓冲罐90，将反应产生的三氯氢硅(TCS)，以及未反应的二氯二氢硅(DCS)和四氯化硅(STC)，重新返回进行分离。
原料氯硅烷中二氯二氢硅含量比四氯化硅含量高，反歧化反应为确保二氯二氢硅完全消耗。因此混合器110的进料侧，还连接有四氯化硅补料管1101，通过补入足够的四氯化硅(STC)，让二氯二氢硅(DCS)尽量反应完全。
粗分塔30为隔板塔，塔顶设有粗分塔塔顶回流管301，所述粗分塔塔顶回流管301上设有冷凝器以及粗分塔塔顶采出管304，通过设置回流比，将塔顶轻杂(LI)和二氯二氢硅(DCS)采出。粗分塔塔顶回流管301位于冷凝器前段为气相管，位于冷凝器后段为液相管，通过冷凝器将粗分塔塔顶出来的气相冷凝为液相，液相一部分循环进入粗分塔30，另一部分从粗分塔塔顶采出管304采出。粗分塔30的下塔釜设有粗分塔塔釜回流管302，所述粗分塔塔釜回流管302上设有再沸器以及粗分塔塔釜采出管305，将塔釜重杂(HI)和四氯化硅(STC)采出。粗分塔塔釜回流管302位于再沸器的前段为液相管，位于再沸器的后段为气相管，通过再沸器将粗分塔塔釜出来的液相一部分送入再沸器气化后重新返回粗分塔30，另一部分液相从粗分塔塔釜采出管305采出。粗分塔30的塔侧设有粗分塔塔中侧线采出管303采出较纯的三氯氢硅(TCS)，通过粗分塔塔中侧线采出管303连接至脱轻塔。
脱轻塔为串塔，包括依次串联的脱轻塔上塔40和脱轻塔下塔50；所述脱轻塔上塔40的塔顶设有脱轻塔上塔顶回流管401；所述脱轻塔上塔顶回流管401上设有冷凝器以及脱轻塔上塔顶采出管403，通过设置回流比，将塔顶轻杂(LI)和混合其中的二氯二氢硅(DCS)采出。脱轻塔上塔顶回流管401位于冷凝器前段为气相管，位于冷凝器后段为液相管，通过冷凝器将塔顶出来的气相冷凝为液相，液相一部分循环进入脱轻塔上塔40，另一部分从脱轻塔上塔顶采出管403采出。脱轻塔上塔40的底部通过脱轻塔上塔底部采出管402连接至脱轻塔下塔50。
脱轻塔下塔50的塔顶设有脱轻塔下塔顶气相管501，通过脱轻塔下塔顶气相管501重新连接至脱轻塔上塔40；所述脱轻塔下塔50的底部设有脱轻塔下塔釜回流管502，所述脱轻塔下塔釜回流管502上设有再沸器以及脱轻塔下塔釜采出管503，通过脱轻塔下塔釜采出管503连接至脱重塔进一步脱重。脱轻塔下塔釜回流管502位于再沸器的前段为液相管，位于再沸器的后段为气相管，通过再沸器将脱轻塔下塔釜出来的液相一部分送入再沸器气化后重新返回脱轻塔下塔50，另一部分液相从脱轻塔下塔釜采出管503采出送入脱重塔。
脱重塔同样为串塔，包括依次串联的脱重塔下塔60和脱重塔上塔70；所述脱重塔下塔60的塔顶设有脱重塔下塔顶气相管601，通过脱重塔下塔顶气相管601连接至脱重塔上塔70；所述脱重塔下塔60底部设有脱重塔下塔釜回流管602，所述脱重塔下塔釜回流管602上设有再沸器以及脱重塔下塔釜采出管603，将塔釜重杂(HI)和混合其中的四氯化硅(STC)采出。
脱重塔上塔70的塔顶设有脱重塔上塔顶回流管701，所述脱重塔上塔顶回流管701上设有冷凝器以及脱重塔上塔顶采出管703，通过脱重塔上塔顶采出管703采出合格三氯氢硅产品；所述脱重塔上塔70的底部设有脱重塔上塔釜底部采出管702，通过脱重塔上塔釜底部采出管702重新连接至脱重塔下塔60。
反歧化后分离塔进料缓冲罐90的进料侧前端设有回收料吸附塔80，其与原料吸附塔20作用相同，用于去除原料中的磷、硼以及金属杂质。粗分塔30的塔顶和塔釜、所述脱轻塔的上塔顶、以及脱重塔的下塔釜，分别通过采出管线一同连接至回收料吸附塔80内。
反歧化后分离塔100的塔顶设有反歧化后分离塔塔顶回流管1001，所述反歧化后分离塔塔顶回流管1001上设有冷凝器以及反歧化后分离塔塔顶采出管1004，通过设置回流比，将二氯二氢硅(DCS)采出。反歧化后分离塔100的下塔釜设有反歧化后分离塔塔釜回流管1002，所述反歧化后分离塔塔釜回流管1002上设有再沸器以及反歧化后分离塔塔釜采出管1005，将四氯化硅(STC)采出。反歧化后分离塔100的塔侧设有反歧化后分离塔塔中侧线采出管1003用于采出三氯氢硅(TCS)，通过反歧化后分离塔塔中侧线采出管1003重新连接至原料缓冲罐10。反歧化后分离塔塔顶采出管1004和反歧化后分离塔塔釜采出管1005一同连接至混合器110，将采出的二氯二氢硅(DCS)和四氯化硅(STC)进行混合后送入反歧化反应器120内进行反应，反应式：SiH2Cl2+SiCl4→SiHCl3。
反歧化反应器120的底部设有反歧化反应器采出管1201，通过反歧化反应器采出管1201重新连接至反歧化后分离塔进料缓冲罐90，将反应产生的三氯氢硅(TCS)，以及未反应的二氯二氢硅(DCS)和四氯化硅(STC)，重新返回进行分离。
本实用新型多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂工艺流程主要为：
上游原料氯硅烷通过氯硅烷原料引管101送入原料缓冲罐10内，然后经氯硅烷原料输送管102首先经过原料吸附塔20，去除原料氯硅烷中大部分磷、硼以及金属杂质。进入粗分塔30(隔板塔)，粗分塔30可同时从塔顶切除二氯二氢硅及轻杂，从塔釜切除四氯化硅及重杂，从塔中侧线采出99.99％的三氯氢硅，达到了传统多晶硅合成料精馏流程中前两级塔的脱轻和脱重功能，侧线采出的三氯氢硅中硼、磷含量均能＜10ppbw。侧线采出的三氯氢硅进入脱轻塔(串塔)，脱轻塔上塔40主要切除轻杂，脱轻塔下塔50采出料进入脱重塔(串塔)，脱重塔下塔60主要切除一些重杂。脱重塔上塔70采出合格三氯氢硅产品。
各塔切除全部回收，经回收料吸附塔80回收吸附塔进行除杂处理，处理后的氯硅烷(含二氯氢硅、三氯氢硅、四氯化硅)经反歧化进料缓冲罐90后送至反歧化后分离塔100(隔板塔)进行组分分离。反歧化后分离塔100塔顶采出二氯二氢硅，反歧化后分离塔100塔釜采用四氯化硅全部回收利用，一定配比的二氯二氢硅及四氯化硅经过混合器110后，在反歧化反应器120内进行反歧化反应(反应式：SiH2Cl2+SiCl4→SiHCl3)，生成三氯氢硅，此部分三氯氢硅供精馏三氯氢硅原料使用，因二氯二氢硅(DCS)配比较大，必要时需通过四氯化硅补料管1101另外补充新鲜四氯化硅STC，使得二氯二氢硅(DCS)尽量反应完全，生成三氯氢硅(TCS)。反歧化反应在催化剂床层中进行，STC/DCS的反应配比在3-5之间，反应温度一般控制在40-50℃之间，反应压力控制约为0.2Mpa。
本实用新型中，上游原料氯硅烷为二氯二氢硅SiH2Cl2、三氯氢硅SiHCl3、四氯化硅SiCl4以及杂质的混合物。氯硅烷原料组分相对质量含量：DCS～3％，TCS～96％，STC～1％，生产过程中各组分会略有波动。硼、磷杂质等杂质为BCl3、PCl3、BCl5、PH3、B2H6、甲基二氯硅烷、二甲基一氯硅烷等其他金属杂质。脱轻塔、脱重塔为串塔，分上下塔，该塔再沸器、冷凝器只有一个，其附属设备均为单塔的配备量，上下塔通过一个气相管和一个回流管相连，实现能量传递。采用该除杂工艺及系统，能够实现同产能的设备投资减少20％以上，有效降低生产能耗；实现精馏系统的闭路循环，实现物料回收利用；稳定三氯氢硅品质，满足电子级多晶硅生产的需求。
实施例1
三氯氢硅原料以50t/h的流量经进料泵送至粗分塔，通过检测进料杂质、过程杂质及产品杂质含量，从数据及实际生产过程中，三氯氢硅产品杂质含量满足电子级多晶硅生产要求，具体数据见表1过程氯硅烷杂质检测数据。
表1过程氯硅烷杂质检测数据
实施例2
二氯二氢硅(DCS)和四氯化硅(STC)以反应质量比1:3的比例，反应温度压力为0.2Mpa，反应温度为45℃，以5t/h的流量进入反歧化反应器进行反应，检测过程运行数据。通过数据检测，DCS转化率能达到90％以上，有效解决了DCS的循环利用，见表2反歧化反应器出料组分数据。
表2反歧化反应器出料组分数据
本实用新型提供了一种多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂工艺及系统的思路及方法，具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。
Claims (10)
1.一种多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，其特征在于，包括原料缓冲罐(10)、粗分塔(30)、脱轻塔、脱重塔、反歧化后分离塔(100)以及反歧化反应器(120)；所述原料缓冲罐(10)、粗分塔(30)、脱轻塔、脱重塔通过管线依次连接；
所述粗分塔(30)的塔侧通过管道连接至脱轻塔，所述脱轻塔的下塔釜通过管线连接至脱重塔，所述脱重塔的上塔顶通过管线采出合格三氯氢硅产品；
所述粗分塔(30)的塔顶和塔釜、所述脱轻塔的上塔顶、以及脱重塔的下塔釜，分别通过采出管线一同连接至反歧化后分离塔(100)；所述反歧化后分离塔(100)的塔顶和塔釜分别通过采出管线连接至反歧化反应器(120)；反歧化后分离塔(100)的侧面通过采出管线重新连接至原料缓冲罐(10)；所述反歧化反应器(120)通过采出管线返回反歧化后分离塔(100)。
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，其特征在于，所述反歧化后分离塔(100)和反歧化反应器(120)之间设有混合器(110)；所述反歧化后分离塔(100)的塔顶和塔釜分别通过采出管线连接至混合器(110)，经混合后再送入反歧化反应器(120)内。
3.根据权利要求2所述的多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，其特征在于，所述混合器(110)的进料侧，还连接有四氯化硅补料管(1101)。
4.根据权利要求1所述的多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，其特征在于，还包括反歧化后分离塔进料缓冲罐(90)；所述反歧化后分离塔进料缓冲罐(90)设置在反歧化后分离塔(100)前端；粗分塔(30)的塔顶和塔釜、所述脱轻塔的上塔顶、以及脱重塔的下塔釜，分别通过采出管线一同连接至反歧化后分离塔进料缓冲罐(90)内经缓存后再送入反歧化后分离塔(100)；所述反歧化反应器(120)通过采出管线连接至反歧化后分离塔进料缓冲罐(90)。
5.根据权利要求4所述的多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，其特征在于，所述原料缓冲罐(10)与粗分塔(30)之间设有原料吸附塔(20)；所述反歧化后分离塔进料缓冲罐(90)的进料侧前端设有回收料吸附塔(80)；所述粗分塔(30)的塔顶和塔釜、所述脱轻塔的上塔顶、以及脱重塔的下塔釜，分别通过采出管线一同连接至回收料吸附塔(80)内。
6.根据权利要求1所述的多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，其特征在于，所述粗分塔(30)的塔顶设有粗分塔塔顶回流管(301)，所述粗分塔塔顶回流管(301)上设有冷凝器以及粗分塔塔顶采出管(304)；所述粗分塔(30)的下塔釜设有粗分塔塔釜回流管(302)，所述粗分塔塔釜回流管(302)上设有再沸器以及粗分塔塔釜采出管(305)；所述粗分塔(30)的塔侧设有粗分塔塔中侧线采出管(303)，通过粗分塔塔中侧线采出管(303)连接至脱轻塔。
7.根据权利要求1所述的多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，其特征在于，所述的脱轻塔包括依次串联的脱轻塔上塔(40)和脱轻塔下塔(50)；所述脱轻塔上塔(40)的塔顶设有脱轻塔上塔顶回流管(401)；所述脱轻塔上塔顶回流管(401)上设有冷凝器以及脱轻塔上塔顶采出管(403)；所述脱轻塔上塔(40)的底部通过脱轻塔上塔底部采出管(402)连接至脱轻塔下塔(50)；
所述脱轻塔下塔(50)的塔顶设有脱轻塔下塔顶气相管(501)，通过脱轻塔下塔顶气相管(501)重新连接至脱轻塔上塔(40)；所述脱轻塔下塔(50)的底部设有脱轻塔下塔釜回流管(502)，所述脱轻塔下塔釜回流管(502)上设有再沸器以及脱轻塔下塔釜采出管(503)，通过脱轻塔下塔釜采出管(503)连接至脱重塔。
8.根据权利要求1所述的多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，其特征在于，所述的脱重塔包括依次串联的脱重塔下塔(60)和脱重塔上塔(70)；所述脱重塔下塔(60)的塔顶设有脱重塔下塔顶气相管(601)，通过脱重塔下塔顶气相管(601)连接至脱重塔上塔(70)；所述脱重塔下塔(60)底部设有脱重塔下塔釜回流管(602)，所述脱重塔下塔釜回流管(602)上设有再沸器以及脱重塔下塔釜采出管(603)；
所述脱重塔上塔(70)的塔顶设有脱重塔上塔顶回流管(701)，所述脱重塔上塔顶回流管(701)上设有冷凝器以及脱重塔上塔顶采出管(703)，通过脱重塔上塔顶采出管(703)采出合格三氯氢硅产品；所述脱重塔上塔(70)的底部设有脱重塔上塔釜底部采出管(702)，通过脱重塔上塔釜底部采出管(702)重新连接至脱重塔下塔(60)。
9.根据权利要求2所述的多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，其特征在于，所述反歧化后分离塔(100)的塔顶设有反歧化后分离塔塔顶回流管(1001)，所述反歧化后分离塔塔顶回流管(1001)上设有冷凝器以及反歧化后分离塔塔顶采出管(1004)；所述反歧化后分离塔(100)的下塔釜设有反歧化后分离塔塔釜回流管(1002)，所述反歧化后分离塔塔釜回流管(1002)上设有再沸器以及反歧化后分离塔塔釜采出管(1005)；所述反歧化后分离塔(100)的塔侧设有反歧化后分离塔塔中侧线采出管(1003)，通过反歧化后分离塔塔中侧线采出管(1003)重新连接至原料缓冲罐(10)；所述反歧化后分离塔塔顶采出管(1004)和反歧化后分离塔塔釜采出管(1005)一同连接至混合器(110)。
10.根据权利要求4所述的多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂系统，其特征在于，所述反歧化反应器(120)的底部设有反歧化反应器采出管(1201)，通过反歧化反应器采出管(1201)重新连接至反歧化后分离塔进料缓冲罐(90)。
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| CN116534864A (zh) * | 2023-05-22 | 2023-08-04 | 新疆协鑫新能源材料科技有限公司 | 一种多晶硅生产中氯硅烷精馏除杂工艺及系统 |
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