CN219634192U - 一种多线多工位碳化硅切割装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及碳化硅技术领域，且公开了一种多线多工位碳化硅切割装置，包括工作台，所述工作台后端外壁上固定安装有支撑板，所述支撑板上端固定安装有液压升降杆，所述液压升降杆上端与活动座固定连接，所述活动座内部开设有滑槽，所述活动座上端开设有两组移动槽，所述滑槽内部设置有调节装置，所述调节装置包括有伸缩架、移动块、螺纹杆、驱动电机及支撑块，所述伸缩架的右端与活动座固定连接。该多线多工位碳化硅切割装置，通过设置有调节装置，改变对碳化硅切割的距离，使得每组碳化硅切割均匀，提高切割效果，通过设置有限位装置，提高连接座和切割刀在对碳化硅切割时的稳定性，提高切割的质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅切割技术领域，具体为一种多线多工位碳化硅切割装置。
背景技术
随着半导体技术和光电技术的快速发展，碳化硅晶片的需求量逐年增大。碳化硅晶片主要制造工艺流程为：晶体生长、切割(切片)、研磨、抛光。其中，切割工序是碳化硅晶片制造加工中的关键工序之一。切割加工质量的好坏，直接影响后续工序加工的质量。
目前在对碳化硅进行切割时，通过采用多线进行切割，提高切割的工作效率，但是采用多线切割时，一次性只能剪裁一道工序，并不能对一个碳化硅晶片的多个地方进行剪裁，造成了剪裁速度慢，影响了生产速度和工作效率；鉴于此，我们提出了一种多线多工位碳化硅切割装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种多线多工位碳化硅切割装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多线多工位碳化硅切割装置，包括工作台，所述工作台后端外壁上固定安装有支撑板，所述支撑板上端固定安装有液压升降杆，所述液压升降杆上端与活动座固定连接，所述活动座内部开设有滑槽，所述活动座上端开设有两组移动槽，所述滑槽内部设置有调节装置，所述调节装置包括：
伸缩架，所述伸缩架的右端与活动座固定连接；
移动块，所述移动块设置为凹型，所述移动块的下端贯穿活动座并与伸缩架的上端左侧固定连接；
螺纹杆，所述螺纹杆贯穿移动块并与移动块螺纹连接，所述螺纹杆的右端与驱动电机固定连接，所述驱动电机的下端固定安装在活动座上端；
支撑块，所述支撑块下端与活动座固定连接，所述支撑块的右端与螺纹杆转动连接。
优选的，所述工作台上端中部固定安装有切割台。
优选的，所述伸缩架下端固定安装有多组连接座，所述连接座的前端外壁上固定安装有限位装置。
优选的，所述限位装置包括限位杆、紧固螺栓及按压块，所述限位杆固定安装在连接座的前端外壁上，所述限位杆上贯穿有紧固螺栓并与紧固螺栓螺纹连接，所述紧固螺栓靠近活动座的一端固定安装有按压块，提高连接座带动切割刀切割时的稳定性。
优选的，所述连接座下端固定安装有切割刀。
优选的，所述工作台上端固定安装有多组隔离板，对多个碳化硅晶体实现阻隔分离，方便进行多线切割，提高切割效率。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种多线多工位碳化硅切割装置，具备以下有益效果：
1、该多线多工位碳化硅切割装置，通过设置有调节装置，当需要对碳化硅切割时，设置有多组连接座和切割刀，实现对碳化硅多个地方进行剪裁，提高生产速度和工作效率，同时启动驱动电机后，使螺纹杆进行转动，并带动移动块在移动槽内移动，使移动块对伸缩架进行挤压和拉伸操作，同时伸缩架在受到拉伸和挤压时，带动下端的多组连接座进行移动，并对多组连接座之间的间隙进行调节，改变对碳化硅切割的距离，使得每组碳化硅切割均匀，提高切割效果。
2、该多线多工位碳化硅切割装置，通过设置有限位装置，对紧固螺栓进行转动，使紧固螺栓带动按压块向活动座的方向移动，并与活动座接触抵紧，提高连接座和切割刀在对碳化硅切割时的稳定性，提高切割的质量。
附图说明
图1为本实用新型整体的结构示意图；
图2为本实用新型正面的结构示意图；
图3为本实用新型俯视的结构示意图；
图4为本实用新型图1中A部分放大的结构示意图。
图中：1、工作台；101、支撑板；102、液压升降杆；2、活动座；201、滑槽；202、移动槽；3、调节装置；301、伸缩架；302、移动块；303、螺纹杆；304、驱动电机；305、支撑块；4、切割台；5、连接座；6、限位装置；601、限位杆；602、紧固螺栓；603、按压块；7、切割刀；8、隔离板。
具体实施方式
如图1-图4所示，本实用新型提供一种技术方案：一种多线多工位碳化硅切割装置，包括工作台1，工作台1后端外壁上固定安装有支撑板101，支撑板101上端固定安装有液压升降杆102，液压升降杆102上端与活动座2固定连接，活动座2内部开设有滑槽201，活动座2上端开设有两组移动槽202，滑槽201内部设置有调节装置3，调节装置3包括伸缩架301，伸缩架301的右端与活动座2固定连接，伸缩架301的上端左侧固定安装有移动块302，移动块302设置为凹型，移动块302上贯穿有螺纹杆303并与螺纹杆303螺纹连接，螺纹杆303的右端与驱动电机304固定连接，驱动电机304的下端固定安装在活动座2上端，螺纹杆303的左端与支撑块305转动连接，支撑块305下端与活动座2固定连接。
具体而言，本实用新型技术方案的调节装置3包括有伸缩架301、移动块302、螺纹杆303、驱动电机304及支撑块305，通过驱动电机304带动螺纹杆303进行转动，在螺纹杆303外壁上的移动块302进行往复滑动，并对伸缩架301进行收缩和扩张，调节下端的连接座5和切割刀7之间的距离，改变对碳化硅切割的距离，使得每组碳化硅切割均匀，提高切割效果。
在本实用新型的一实施方式中，连接座5固定安装在伸缩架301中部铰接的下端，当伸缩架301在进行收缩或扩张时，带动多组连接座5之间的距离进行调节，驱动电机304可以带动螺纹杆303进行往复转动，切割刀7可以为设置为激光切割，方便对碳化硅进行切割操作，按压块603为防滑橡胶材质。
请继续参阅图1-图4，工作台1上端中部固定安装有切割台4，伸缩架301下端固定安装有多组连接座5，连接座5的前端外壁上固定安装有限位装置6，限位装置6包括限位杆601、紧固螺栓602及按压块603，限位杆601固定安装在连接座5的前端外壁上，限位杆601上贯穿有紧固螺栓602并与紧固螺栓602螺纹连接，紧固螺栓602靠近活动座2的一端固定安装有按压块603，连接座5下端固定安装有切割刀7，工作台1上端固定安装有多组隔离板8，通过多组隔离板8可以对多组碳化硅进行分离，方便进行多工位切割。
为了防止连接座5固定安装在伸缩架301中部铰接的位置，在对碳化硅切割时，可能造成伸缩架301出现不稳的情况，导致对碳化硅切割出现歪斜，在连接座5的前端外壁上固定安装有限位装置6，使按压块603与活动座2相互抵紧，提高连接座5支撑的稳定性。
工作时(或使用时)，通过对碳化硅放置在切割台4上，通过使用隔离板8对多组碳化硅进行分离，实现多线切割，启动驱动电机304，使螺纹杆303进行转动，并带动移动块302在移动槽202内移动，使移动块302对伸缩架301进行挤压和拉伸操作，同时伸缩架301在受到拉伸和挤压时，带动下端的多组连接座5进行移动，并对多组连接座5和切割刀7之间的间隙进行调节，改变对碳化硅切割的距离，使得每组碳化硅切割均匀，提高切割效果，对紧固螺栓602向活动座2的方向转动，使按压块603与活动座2抵紧，提高连接座5和切割刀7在切割时的稳定性，通过液压升降杆102带动活动座2向下移动，对碳化硅进行切割即可。
上文一般性的对本实用新型做了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之做一些修改或改进，这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此，在不脱离本实用新型思想精神的修改或改进，均在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种多线多工位碳化硅切割装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)后端外壁上固定安装有支撑板(101)，所述支撑板(101)上端固定安装有液压升降杆(102)，所述液压升降杆(102)上端与活动座(2)固定连接，所述活动座(2)内部开设有滑槽(201)，所述活动座(2)上端开设有两组移动槽(202)，所述滑槽(201)内部设置有调节装置(3)，所述调节装置(3)包括：
伸缩架(301)，所述伸缩架(301)的右端与活动座(2)固定连接；
移动块(302)，所述移动块(302)设置为凹型，所述移动块(302)的下端贯穿活动座(2)并与伸缩架(301)的上端左侧固定连接；
螺纹杆(303)，所述螺纹杆(303)贯穿移动块(302)并与移动块(302)螺纹连接，所述螺纹杆(303)的右端与驱动电机(304)固定连接，所述驱动电机(304)的下端固定安装在活动座(2)上端；
支撑块(305)，所述支撑块(305)下端与活动座(2)固定连接，所述支撑块(305)的右端与螺纹杆(303)转动连接。
2.根据权利要求1所述的一种多线多工位碳化硅切割装置，其特征在于：所述工作台(1)上端中部固定安装有切割台(4)。
3.根据权利要求1所述的一种多线多工位碳化硅切割装置，其特征在于：所述伸缩架(301)下端固定安装有多组连接座(5)，所述连接座(5)的前端外壁上固定安装有限位装置(6)。
4.根据权利要求3所述的一种多线多工位碳化硅切割装置，其特征在于：所述限位装置(6)包括限位杆(601)、紧固螺栓(602)及按压块(603)，所述限位杆(601)固定安装在连接座(5)的前端外壁上，所述限位杆(601)上贯穿有紧固螺栓(602)并与紧固螺栓(602)螺纹连接，所述紧固螺栓(602)靠近活动座(2)的一端固定安装有按压块(603)。
5.根据权利要求4所述的一种多线多工位碳化硅切割装置，其特征在于：所述连接座(5)下端固定安装有切割刀(7)。
6.根据权利要求1所述的一种多线多工位碳化硅切割装置，其特征在于：所述工作台(1)上端固定安装有多组隔离板(8)。
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