CN219541216U - 一种基板粘尘装置及基板清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于基板清洗技术领域，具体为一种基板粘尘装置及基板清洗设备，包括上粘尘组件、下粘尘组件以及基板输送组件；上粘尘组件和下粘尘组件均包括竖直安装板、转动连接在竖直安装板上的出料滚筒、收料滚筒、第一张紧辊、第二张紧辊以及粘尘辊，粘尘纸依次经过第一张紧辊、粘尘辊、第二张紧辊后缠绕在收料滚筒上；粘尘纸背离粘尘辊的一面为粘尘面；下粘尘组件的粘尘面与上粘尘组件的粘尘面相对设置，基板输送组件输送基板进入相对的粘尘面之间，粘尘辊由粘尘驱动组件驱动转动。本实用新型实现了在基板传输过程中同时对基板的正反面进行粘尘，粘尘效率高，适用于批量基板的除尘。

Description

一种基板粘尘装置及基板清洗设备

技术领域

本实用新型属于基板清洗技术领域，具体为一种基板粘尘装置及基板清洗设备。

背景技术

半导体基板，如晶圆、面板、光罩等，其表面洁净度直接影响到制程与产品的合格率，因此在储存及制程中要不断的检查及清洁，以保持其洁净度。传统的除尘装置通过喷射气体对基板或芯片的表面进行吹扫，且无法同时对正反面进行吹扫，如：专利CN114570705A公开了一种芯片清洁除尘装置，包括箱体、支撑台、两个传送带、电机、连接杆、两个放置板和喷嘴，工作时，将芯片放置于所述传送带上，喷嘴喷出气体，对芯片顶部和侧面进行除尘，传送带将芯片至对应的放置板的下方，连接杆旋转，与芯片对应的放置板将芯片抬起，并旋转180°，芯片在重力的作用下落在传送带上，完成芯片的翻面，喷嘴持续性喷出气体，从而对芯片的底面也完成除尘。上述专利对芯片翻转之后才能对底面除尘，增加了除尘时间，产品的除尘效率下降。

因此，研发一种能同时对基板正反面进除尘的装置是亟需解决的技术问题。

实用新型内容

为解决上述背景技术中的问题，本实用新型提供一种基板粘尘装置及基板清洗设备，通过上粘尘组件、下粘尘组件以及基板输送组件实现了在基板传输过程中同时对基板的正反面粘尘，适用于批量基板除尘。

本实用新型的第一个目的是提供一种基板粘尘装置，包括上粘尘组件、下粘尘组件以及设置在上粘尘组件和下粘尘组件之间的基板输送组件，上粘尘组件与下粘尘组件的结构相同；

上粘尘组件包括竖直安装板、转动连接在竖直安装板上的出料滚筒、收料滚筒、第一张紧辊、第二张紧辊以及粘尘辊，出料滚筒和收料滚筒位于第一张紧辊和第二张紧辊的上方，粘尘辊位于第一张紧辊和第二张紧辊的下方，出料滚筒上缠绕有粘尘纸，粘尘纸依次经过第一张紧辊、粘尘辊、第二张紧辊后缠绕在收料滚筒上；

粘尘纸背离粘尘辊的一面为粘尘面；下粘尘组件的粘尘面与上粘尘组件的粘尘面相对设置，基板输送组件输送基板进入相对的粘尘面之间，粘尘辊由粘尘驱动组件驱动转动。

进一步的，竖直安装板上开设有上下延伸的条形通孔，收料滚筒的一端穿过条形通孔后转动在竖直安装板背面的活动块上；条形通孔的旁侧固定有上下延伸的滑轨，条形通孔的下方固定有第一气缸，第一气缸的伸缩端与活动块固定连接，活动块通过滑块滑动连接在滑轨上；收料滚筒的上方转动连接有压紧滚筒，压紧滚筒与收料滚筒上的粘尘纸接触设置。

进一步的，粘尘驱动组件包括固定在竖直安装板正面的第一电机，第一电机的输进一步的穿竖直安装板后与主动同步轮传动连接；

竖直安装板的背面依次转动连接有第一张紧轮、第一从动同步轮、第二张紧轮和第二从动同步轮，粘尘辊的一端贯穿竖直安装板后与第二从动同步轮连接，压紧滚筒的一端贯穿竖直安装板后与第一从动同步轮连接，主动同步轮、第一张紧轮、第一从动同步轮、第二张紧轮和第二从动同步轮上套设有同步皮带。

进一步的，出料滚筒的一端贯穿竖直安装板后与刹车机构连接，刹车机构包括与出料滚筒的一端固定连接的固定盘、与固定盘的一端面接触连接的刹车盘；

竖直安装板的背面固定有支架，支架包括与刹车盘相对设置的支板，支板上固定有向刹车盘方向延伸的螺柱，螺柱上螺纹连接有螺母，螺母与刹车盘之间设有第一弹簧。

进一步的，螺母上开设有第一凹槽，刹车盘上开设有第二凹槽，第一弹簧的一端抵接在第一凹槽内，第一弹簧的另一端抵接在第二凹槽内。

进一步的，刹车盘的外周横向固定有第一固定件，第一固定件的上方固定有第二固定件，第一固定件和第二固定件之间设有第二弹簧。

进一步的，还包括安装架，下粘尘组件固定设置在安装架上，上粘尘组件上下滑动设置在安装架上。

进一步的，安装架上固定有除静电机构，除静电机构包括除静电棒，除静电棒横跨在基板输送组件的上方。

本实用新型的第二个目的是提供一种基板清洗设备，包括上述任意一项基板粘尘装置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

(1)本实用新型的基板粘尘装置通过上粘尘组件、下粘尘组件以及基板输送组件的设置，实现了在基板输送过程中同时对基板的正反面进行粘尘，粘尘效率高，适用于批量基板粘尘。

(2)本实用新型的基板粘尘装置在收料滚筒的上方转动设置有压紧滚筒，通过压紧滚筒对收料滚筒的压紧力实现收料滚筒的转动收料，且通过第一气缸对收料滚筒施加向上的力，使压紧滚筒和收料滚筒之间的压紧力始终保持不变，同时保证收料滚筒、出料滚筒以及粘尘辊的转速相同。

(3)本实用新型的基板粘尘装置在出料滚筒的一端安装有刹车机构，刹车机构通过转动螺母使螺母朝着刹车盘的方向移动，螺母压缩第一弹簧，第一弹簧压紧刹车盘，使刹车盘对固定盘的挤压力增大，进而增大出料滚筒转动时受到的摩擦力，避免出料滚筒因惯性的作用不停歇的转动。

(4)本实用新型的基板粘尘装置通过在刹车盘外周的第一固定件和竖直安装板上的第二固定件之间设置第二弹簧，在第二弹簧弹力的作用下使出料滚筒始终在一定角度范围内转动，避免出料滚筒转动角度过大导致粘尘纸脱离第一张紧辊，粘尘纸出现松垮现象。

附图说明

为了更清楚的说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。

图1为本实用新型的基板粘尘装置的整体结构图(一)；

图2为本实用新型的基板粘尘装置的整体结构图(二)

图3为本实用新型的基板粘尘装置的上粘尘组件结构图(一)；

图4为本实用新型的基板粘尘装置的上粘尘组件结构图(二)；

图5为本实用新型的基板粘尘装置的刹车机构示意图；

其中：1-上粘尘组件，101-竖直安装板，102-出料滚筒，103-收料滚筒，104-第一张紧辊，105-第二张紧辊，106-粘尘辊，107-粘尘纸，108-条形通孔，109-活动块，110-滑轨，111-第一气缸，112-滑块，113-压紧滚筒，114-第一电机，115-主动同步轮，116-第一张紧轮，117-第一从动同步轮，118-第二张紧轮，119-第二从动同步轮，120-同步带，2-下粘尘组件，3-基板输送组件，4-刹车机构，401-固定盘，402-刹车盘，403-支架，4031-支板，404-螺柱，405-螺母，406-第一弹簧，407-第一固定件，408-第二固定件，409-第二弹簧，5-安装架，501-竖直滑轨，502-竖直滑块，503-第二气缸，504-固定块，6-除静电机构。

具体实施方式

下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通的技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。

下面结合附图1至附图5以及具体实施例详细论述本实用新型。

如图1-5所示，本实用新型提供一种基板粘尘装置，包括上粘尘组件1、下粘尘组件2以及设置在上粘尘组件1和下粘尘组件2之间的基板输送组件3，基板输送组件3将基板输送至上粘尘组件1和下粘尘组件2之间，并通过上粘尘组件1和下粘尘组件2对基板的正反面进行粘尘处理，因上粘尘组件1与下粘尘组件2的结构相同，下述仅对上粘尘组件1的具体结构进行详细描述；上粘尘组件1包括竖直安装板101、转动连接在竖直安装板101上的出料滚筒102、收料滚筒103、第一张紧辊104、第二张紧辊105以及粘尘辊106，出料滚筒102和收料滚筒103位于第一张紧辊104和第二张紧辊105的上方，粘尘辊106位于第一张紧辊104和第二张紧辊105的下方，且位于第一张紧辊104和第二张紧辊105的中间位置，出料滚筒102上缠绕有粘尘纸107，粘尘纸107依次经过第一张紧辊104、粘尘辊106、第二张紧辊105后缠绕在收料滚筒103上，第一张紧辊104和第二张紧辊105用于使粘尘纸107始终保持张紧状态；粘尘纸107上背离粘尘辊的一面为粘尘面，通过粘尘面将基板上的灰尘等杂质粘贴下去。

具体的，下粘尘组件2的粘尘面与上粘尘组件1的粘尘面相对设置，也即，下粘尘组件2与上粘尘组件1为对称式结构，需要对基板进行清洁时，通过基板输送组件3将基板输送至相对的粘尘面之间，之后由粘尘驱动组件驱动粘尘辊106转动，带动基板不断向前移动，同时粘除基板正反面上的杂质。

具体的，如图3、图4所示，竖直安装板101上开设有上下延伸的条形通孔108，收料滚筒103的一端穿过条形通孔108后通过轴承转动连接在竖直安装板101背面的活动块109上，活动块109上开设有与轴承匹配的通孔；条形通孔108的旁侧固定有上下延伸的滑轨110，条形通孔108的下方固定有第一气缸111，第一气缸111的伸缩端与活动块109固定连接，活动块109通过滑块112滑动连接在滑轨110上；收料滚筒103的上方转动连接有压紧滚筒113，压紧滚筒113与收料滚筒103上的粘尘纸挤压接触设置，压紧滚筒113转动驱动收料滚筒103持续收料，即压紧滚筒113的外表面与收料滚筒103的外表面紧密接触，通过摩擦力带动收料滚筒103转动收料。在收料的过程中，用过的粘尘纸不断的缠绕在收料滚筒103上，收料滚筒103沿条形通孔108不断向下移动，本实施例为了实现压紧滚筒113和收料滚筒103之间的摩擦力足够，通过第一气缸111的作用使压紧滚筒113和收料滚筒103之间的始终保持一定的摩擦力，从而实现增大收料滚筒103和压紧滚筒113的轴心距离同时，收料滚筒103依然能与出料滚筒102的转动速度一致，而滑块和滑轨结构的设置保证了收料滚筒103上下运动的稳定性。

具体的，粘尘驱动组件包括固定在竖直安装板101正面的第一电机114，第一电机114的输出轴贯穿竖直安装板101后与主动同步轮115传动连接；竖直安装板101的背面依次转动连接有第一张紧轮116、第一从动同步轮117、第二张紧轮118和第二从动同步轮119，粘尘辊106的一端贯穿竖直安装板101后与第二从动同步轮119连接，压紧滚筒113的一端贯穿竖直安装板101后与第一从动同步轮117连接，主动同步轮115、第一张紧轮116、第一从动同步轮117、第二张紧轮118和第二从动同步轮119上套设有同步皮带120。第一电机114启动带动主动同步轮115旋转，主动同步轮115通过同步皮带120带动第一从动同步轮117和第二从动同步轮119转动，进而带动压紧滚筒113和粘尘辊106转动，使压紧滚筒113和粘尘辊106的转动速度一致。

具体的，如图5所示，出料滚筒103的一端贯穿竖直安装板101后与刹车机构4连接，刹车机构4包括与出料滚筒113的一端固定连接的固定盘401、与固定盘401的一端面接触连接的刹车盘402；竖直安装板101的背面固定有支架403，支架403包括与刹车盘402相对设置的支板4031，支板4031上固定有向刹车盘402方向延伸的螺柱404，螺柱404上螺纹连接有螺母405，螺母405与刹车盘402之间设有第一弹簧406。刹车机构4的作用是避免出料滚筒102在惯性的作用下不受控的转动，导致粘尘纸107出料与收料速度不一致；刹车机构4的工作原理为：转动螺母405使螺母朝着刹车盘402的方向移动，螺母405压缩第一弹簧406，第一弹簧406压紧刹车盘402，使刹车盘402对固定盘401的挤压力增大，进而增大出料滚筒102转动时受到的摩擦力，避免出料滚筒102因惯性的作用不停歇的转动。

具体的，螺母405上开设有第一凹槽，刹车盘402上开设有第二凹槽，第一弹簧406的一端抵接在第一凹槽内，第一弹簧406的另一端抵接在第二凹槽内，使第一弹簧406始终稳定的位于刹车盘402和螺母405之间。

具体的，刹车盘402的外周横向固定有第一固定件407，第一固定件407的上方固定有第二固定件408，第一固定件407和第二固定件408之间设有第二弹簧409。可选的实施例中，第二弹簧409的一端固定在第二固定件408上，第二弹簧409的另一端通过钢丝扣固定在第一固定件407上，本实用新型设置第二弹簧409的目的是使出料滚筒102在一定角度范围内转动，避免转动角度过大导致粘尘纸脱离第一张紧辊104，粘尘纸107出现松垮现象。

具体的，如图2所示，还包括安装架5，下粘尘组件2固定设置在安装架5上，上粘尘组件2上下滑动设置在安装架5上。可选的实施例中，上粘尘组件1的竖直安装板的背面下部的左右两端分别固定有一个竖直滑块502，安装架5的左右两侧分别固定有一个与竖直滑块502配合滑动的竖直滑轨501，除此之外，在安装架5上还固定有一个第二气缸503，上粘尘组件1的竖直安装板上设置有一固定块504，第二气缸503的伸缩端与固定块504固定连接，当更换粘尘纸107的时候，启动第二气缸503，第二气缸503通过固定块504带动上粘尘组件1沿竖直滑轨上下移动，使上粘尘组件1与下粘尘组件2之间的间隙增大，便于在粘尘辊106上缠绕新的粘尘纸。

具体的，安装架5上固定有除静电机构6，除静电机构6包括除静电棒，除静电棒横跨在基板输送组件3的上方，在基板开始粘尘之前，先对基板除静电。

本实用新型还提供一种基板清洗设备，包括上述任意一项的基板粘尘装置。该基板清洗设备具备基板粘尘装置的所有优点，在此不再赘述。

以上借助具体实施例对本实用新型做了进一步描述，但是应该理解的是，这里具体的描述，不应理解为对本实用新型的实质和范围的限定，本领域内的普通技术人员在阅读本说明书后对上述实施例做出的各种修改，都属于本实用新型所保护的范围。

Claims (9)

1.一种基板粘尘装置，其特征在于，包括上粘尘组件、下粘尘组件以及设置在所述上粘尘组件和下粘尘组件之间的基板输送组件，所述上粘尘组件与所述下粘尘组件的结构相同；

所述上粘尘组件包括竖直安装板、转动连接在所述竖直安装板上的出料滚筒、收料滚筒、第一张紧辊、第二张紧辊以及粘尘辊，所述出料滚筒和收料滚筒位于所述第一张紧辊和第二张紧辊的上方，所述粘尘辊位于所述第一张紧辊和第二张紧辊的下方，所述出料滚筒上缠绕有粘尘纸，所述粘尘纸依次经过所述第一张紧辊、粘尘辊、第二张紧辊后缠绕在所述收料滚筒上；所述粘尘纸背离所述粘尘辊的一面为粘尘面；

所述下粘尘组件的粘尘面与上粘尘组件的粘尘面相对设置，所述基板输送组件输送基板进入相对的粘尘面之间，所述粘尘辊由粘尘驱动组件驱动转动。

2.根据权利要求1所述的基板粘尘装置，其特征在于，所述竖直安装板上开设有上下延伸的条形通孔，所述收料滚筒的一端穿过所述条形通孔后转动在所述竖直安装板背面的活动块上；所述条形通孔的旁侧固定有上下延伸的滑轨，所述条形通孔的下方固定有第一气缸，所述第一气缸的伸缩端与所述活动块固定连接，所述活动块通过滑块滑动连接在所述滑轨上；所述收料滚筒的上方转动连接有压紧滚筒，所述压紧滚筒与所述收料滚筒上的粘尘纸接触设置。

3.根据权利要求2所述的基板粘尘装置，其特征在于，所述粘尘驱动组件包括固定在所述竖直安装板正面的第一电机，所述第一电机的输出轴贯穿所述竖直安装板后与主动同步轮传动连接；

所述竖直安装板的背面依次转动连接有第一张紧轮、第一从动同步轮、第二张紧轮和第二从动同步轮，所述粘尘辊的一端贯穿所述竖直安装板后与所述第二从动同步轮连接，所述压紧滚筒的一端贯穿所述竖直安装板后与所述第一从动同步轮连接，所述主动同步轮、第一张紧轮、第一从动同步轮、第二张紧轮和第二从动同步轮上套设有同步皮带。

4.根据权利要求1所述的基板粘尘装置，其特征在于，所述出料滚筒的一端贯穿所述竖直安装板后与刹车机构连接，所述刹车机构包括与所述出料滚筒的一端固定连接的固定盘、与所述固定盘的一端面接触连接的刹车盘；

所述竖直安装板的背面固定有支架，所述支架包括与所述刹车盘相对设置的支板，所述支板上固定有向刹车盘方向延伸的螺柱，所述螺柱上螺纹连接有螺母，所述螺母与所述刹车盘之间设有第一弹簧。

5.根据权利要求4所述的基板粘尘装置，其特征在于，所述螺母上开设有第一凹槽，所述刹车盘上开设有第二凹槽，所述第一弹簧的一端抵接在所述第一凹槽内，所述第一弹簧的另一端抵接在所述第二凹槽内。

6.根据权利要求4所述的基板粘尘装置，其特征在于，所述刹车盘的外周横向固定有第一固定件，所述第一固定件的上方固定有第二固定件，所述第一固定件和第二固定件之间设有第二弹簧。

7.根据权利要求1所述的基板粘尘装置，其特征在于，还包括安装架，所述下粘尘组件固定设置在所述安装架上，所述上粘尘组件上下滑动设置在所述安装架上。

8.根据权利要求7所述的基板粘尘装置，其特征在于，所述安装架上固定有除静电机构，所述除静电机构包括除静电棒，所述除静电棒横跨在所述基板输送组件的上方。

9.一种基板清洗设备，其特征在于，包括权利要求1-8中任意一项所述的基板粘尘装置。