CN219338166U - 一种半导体自动上下料车 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种半导体自动上下料车，属于多线切割设备相关技术领域，自动上下料车包括：翻转机构，所述翻转机构连接所述料座；升降机构，所述升降机构和所述翻转机构连接，且所述升降机构提供所述翻转机构上下移动的动力；以及推拉机构，所述推拉机构设置在所述翻转机构上，且所述推拉机构带动晶棒移动，完成晶棒的自动上下料；达到晶棒上下料方便的技术效果。

Description

一种半导体自动上下料车

技术领域

本实用新型涉及多线切割设备相关技术领域，尤其涉及一种半导体自动上下料车。

背景技术

目前蓝宝石切片机设备在上棒和下片操作过程中存在一些问题。晶棒和料座整体约为45KG，重量较重且没有扶手方便搬运，粘棒完成后放到设备上切割这个过程需要人工搬运，两个人协同搬运才可搬运至设备上，浪费人力。同时，人工搬运过程中会存在人为安全和财产损失，晶棒较重如果人工搬运过程中滑落会有砸伤的风险，对操作工存在严重的安全隐患。

现有技术中，晶棒在上棒和下片过程中人工操作没有防护措施会磕伤晶棒，造成一定的财产损失。目前下片过程是人工手动掰片，然后人工插片去脱胶清洗。为了配合切片后的自动脱胶工序，需要晶棒切割完后整体运输至自动脱胶机上，需要一种方便运输的搬运装置。

所以，现有技术的技术问题在于：晶棒上下料不方便。

发明内容

本申请实施例提供一种半导体自动上下料车，解决了现有技术中晶棒上下料不方便的技术问题；达到晶棒上下料方便的技术效果。

本申请实施例提供一种半导体自动上下料车，作用于带晶棒的料座，自动上下料车包括：翻转机构，所述翻转机构连接所述料座；升降机构，所述升降机构和所述翻转机构连接，且所述升降机构提供所述翻转机构上下移动的动力；以及推拉机构，所述推拉机构设置在所述翻转机构上，且所述推拉机构带动晶棒移动，完成晶棒的自动上下料。

作为优选，所述自动上下料车还包括：连接架，所述连接架和所述升降机构连接，所述连接架用于支撑升降机构，同时连接架可以任意移动。

作为优选，所述翻转机构包括：连接板，所述连接板和所述料座连接，且所述连接板和所述推拉机构连接；翻转电机，所述翻转电机提供翻转机构的动力，所述翻转电机连接所述连接板；以及安装座，所述安装座和所述翻转电机连接，且所述安装座安装在所述升降机构上。

作为优选，所述翻转机构还包括：定位块，所述定位块设置在所述连接板上，所述定位块使得自动上下料车便于和外置的切割设备连接。

作为优选，所述推拉机构包括：连接件，所述连接件可连接一料座；限定组件，所述限定组件设置在所述连接板上，且所述限定组件具有一限定空间，通过所述限定空间可限定一料座的运动轨迹；以及拉动组件，所述拉动组件连接所述料座，且所述拉动组件可动，通过所述拉动组件使得所述料座沿限定空间向外运动。

作为优选，所述连接件包括：连接夹具，所述连接夹具和所述料座连接；推拉滑块，所述推拉滑块和所述连接夹具连接，且所述推拉滑块和所述拉动组件连接。

作为优选，所述限定组件包括：第一限定组件，所述第一限定组件和所述料座的上端侧面接触，所述第一限定组件对所述料座的侧向进行定位；第二限定组件，所述第二限定组件和所述料座的下端表面接触，所述第二限定组件接触的料座下端表面和所述第一限定组件接触的料座上端侧面相垂直，所述第二限定组件对所述料座的下端表面进行定位。

作为优选，所述拉动组件包括：绞盘，所述绞盘设置在所述连接板上；拉绳，所述拉绳的两端和所述推拉滑块连接，所述拉绳经过所述绞盘；滑轮，所述滑轮有若干个，所述拉绳经过所述滑轮，通过绞盘、拉绳以及滑轮相互配合，实现对料座的移动。

作为优选，自动上下料车还包括：调整机构，所述调整机构设置在所述升降机构上，所述调整机构可带动所述翻转机构移动，使得自动上下料车和外置的切割设备自动对中，所述调整机构包括：调整丝杠，所述调整丝杠设置在所述升降机构上；调整滑块，所述调整滑块和所述调整丝杠螺纹连接，所述调整滑块和所述安装座连接，所述调整滑块在所述调整丝杠上移动从而带动调整安装座的位置。

作为优选，升降机构包括：滑块；连接块，所述连接块的第一端面和所述滑块连接，所述连接块的第二端面和所述调整机构连接，所述连接块带动所述调整机构升降；以及丝杠，所述丝杠和所述连接块连接，使得丝杠带动连接块上下移动。

本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：

1、本申请实施例中，翻转机构设置在升降机构上，且推拉机构设置在翻转机构上，从而在升降机构的作用下带动翻转机构上下移动，然后配合翻转机构的翻动以及推拉机构在翻转机构上的移动，从而使得自动上下料车和外置的切割设备相对中，便于半导体晶棒的上下料，解决了现有技术中晶棒上下料不方便的技术问题；达到了晶棒上下料方便的技术效果。

2、本申请实施例中，翻转机构中包括定位块，定位块使得自动上下料车可以快速和外置的切割设备对中，从而有利于自动上下料车的使用，提高蓝宝石晶棒上下料的操作效率，降低工人的劳动强度，减少晶棒坠落的安全风险，有利于工厂整体的自动化程度。

附图说明

图1为本申请实施例中一种半导体自动上下料车的结构示意图；

图2为图1中推拉机构的俯视图；

图3为图1中部分结构示意图；

图4为料座和连接件之间的结构示意图；

图5为料座和导轮组之间的结构示意图。

附图标记：

100、连接架；110、控制柜；200、升降机构；210、升降电机；220、减速机；230、滑块；240、丝杠；250、连接块；251、第一连接块；252、第二连接块；300、翻转机构；310、翻转电机；320、安装座；330、连接板；340、定位块；400、推拉机构；410、连接件；411、连接夹具；412、推拉滑块；420、拉动组件；421、拉绳；422、滑轮；423、绞盘；430、限定组件；431、第一限定组件；432、第二限定组件；500、料座；600、调整机构；610、调整丝杠；620、调整滑块。

具体实施方式

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。

为了降低工人的劳动强度，同时减少晶棒坠落的安全风险，提高蓝宝石晶棒上下料的操作效率，使得晶棒上下料方便，提供一种半导体自动上下料车，作用于带晶棒的料座500，其中，本实施例中的自动上下料车对于其他半导体材料的自动上下料也是适用的。如附图1-5所示，一种半导体自动上下料车，自动上下料车包括连接架100、升降机构200、翻转机构300、调整机构600以及推拉机构400。其中，连接架100和升降机构200连接，连接架100用于支撑升降机构200，同时连接架100可以任意移动。升降机构200和翻转机构300连接，且升降机构200提供翻转机构300上下移动的动力。翻转机构300连接料座500。调整机构600设置在升降机构200上，调整机构600可带动翻转机构300移动，使得自动上下料车和外置的切割设备自动对中。推拉机构400设置在翻转机构300上，且推拉机构400带动晶棒移动，完成晶棒的自动上下料。

需要说明的是，连接架100连接有控制柜110，控制柜110用于控制整个自动上下料车中的动力开关。连接架100可以带动自动上下料车在地面随意移动，从而有利于自动上下料车输送晶棒到外置的切割设备中进行下一工序。升降机构200用于带动翻转机构300、调整机构600以及推拉机构400进行上下移动。翻转机构300用于带动料座500的翻转，有利于半导体晶棒顺利的从自动上下料车上和外置的切割设备对中，实现晶棒的自动上下料。调整机构600用于把翻转机构300翻转后的晶棒的位置进行微调，使得晶棒可以顺利和外置的切割设备对中。推拉机构400用于推动晶棒的移动，从而把翻转后以及微调位置后的晶棒送入到外置的切割设备中，进行下一工序。

升降机构200，如附图1、3所示，升降机构200用于带动翻转机构300、调整机构600以及推拉机构400进行上下移动。在一个实施例中，升降机构200包括升降电机210、减速机220、滑块230以及丝杠240。升降电机210连接减速机220，减速机220连接丝杠240。滑块230和连接架100可升降移动。连接块250的第一端面和滑块230连接，连接块250的第二端面和调整机构600连接，连接块250带动调整机构600升降。丝杠240和连接块250连接，使得丝杠240带动连接块250上下移动。进一步地，连接块250包括第一连接块251和第二连接块252。第一连接块251和第二连接块252连接，且第一连接块251的第一端面和滑块230连接，第一连接块251的第二端面和调整机构600连接。第二连接块252和丝杠240连接，使得在丝杠240的作用下，第二连接块252可升降。其中，第二连接块252和丝杠240的连接，可以是丝杠240贯穿第二连接块252，也可以是丝杠240不贯穿第二连接块252，通过丝杠240和第二连接块252的端面连接，即通过第二连接块252的端面和丝杠240、第一连接块252的第二端面均连接，实现丝杠240带动第二连接块252的升降。从而通过丝杠240和第二连接块252的连接，第一连接块251、第二连接块252的设置，丝杠240带动连接块250升降，连接块250带动调整机构600、翻转机构300以及推拉机构400升降。可以理解的是，滑块230和连接架100的连接，使得连接架100可以对滑块230升降过程进行导向。需要说明的是，升降机构200的结构不限于上述一种，升降机构200的结构还可以有很多种形式。在另一个实施例中，升降机构200的结构也可以是通过气缸实现上下升降的目的，在此不再进行一一举例。

翻转机构300，如附图1所示，翻转机构300用于带动料座500翻转，有利于半导体晶棒顺利的从自动上下料车上和外置的切割设备对中，实现晶棒的自动上下料。翻转机构300连接料座500。翻转机构300上下移动的动力由升降机构200提供。在一个实施例中，翻转机构300包括翻转电机310、安装座320、连接板330以及定位块340。其中，翻转电机310提供翻转机构300的动力，翻转电机310连接连接板330。连接板330和料座500连接，且连接板330和推拉机构400连接。安装座320和翻转电机310连接，且安装座320安装在升降机构200上。安装座320通过调整机构600和升降机构200连接。定位块340设置在连接板330上，定位块340使得自动上下料车便于和外置的切割设备连接。从而在丝杠240的作用下，连接块250带动安装座320升降，然后翻转机构300中的翻转电机310带动连接板330翻转180度，从而连接板330中的料座500也被翻转180度，然后在经过调整机构600和推拉机构400的作用，从而晶棒从自动上下料车上输送到外置的切割设备中进行下一工序。

需要说明的是，定位块340的形状和切割设备相对应，有利于在定位块340的作用下，使得自动上下料车可以快速和外置的切割设备对中，从而实现晶棒的自动上下料快速输送到外置的切割设备中进行下一工序。示例性的，在一个实施例中，定位块340的形状为楔形，类似倒三角形切去除顶角后的形状，而定位块340对接的切割设备如线切机上有一个对应的槽口，槽口比定位块340略大，可以在允许误差内自动对位，即楔形块的斜边自动滑入，两个斜边自动对中。需要注意的是，对于翻转机构300的结构也不限于上述一种。翻转机构300通过设置成电机、气动马达或者连杆机构等均可实现翻转功能也是可行的。

调整机构600，如附图1和附图3所示，调整机构600用于把翻转机构300翻转后的晶棒的位置进行微调，使得晶棒可以顺利和外置的切割设备对中。调整机构600设置在升降机构200上，调整机构600可带动翻转机构300移动，使得自动上下料车和外置的切割设备自动对中。在一个实施例中，调整机构600包括调整丝杠610和调整滑块620。调整丝杠610设置在升降机构200上，调整丝杠610的两端连接固定件，固定件设置在连接块250上，通过固定件使得调整丝杠610和升降机构200连接，有利于升降机构200带动调整机构600升降。调整滑块620和连接块250的第二端面连接。调整滑块620和调整丝杠610螺纹连接，调整滑块620和安装座320连接，调整滑块620在调整丝杠610上移动从而带动调整安装座320的位置。因此通过调整丝杠610的转动，使得调整滑块620在调整丝杠610上移动可微调安装座320的位置，有利于自动上下料车和外置的切割设备对中。同时，在调整滑块620和连接块250的连接作用下，连接块250的第二端面和调整滑块620接触，可以对调整滑块620进行限制，避免调整滑块620发生转动。

推拉机构400，如附图1、2、4所示，推拉机构400用于推动晶棒的移动，从而把翻转后以及微调位置后的晶棒送入到外置的切割设备中，进行下一工序。推拉机构400设置在翻转机构300上，且推拉机构400带动晶棒移动，完成晶棒的自动上下料。在一个实施例中，推拉机构400包括连接件410、限定组件430以及拉动组件420。连接件410可连接一料座500。限定组件430设置在连接板330上，且限定组件430具有一限定空间，通过限定空间可限定一料座500的运动轨迹。拉动组件420连接料座500，且拉动组件420可动，通过拉动组件420使得料座500沿限定空间向外运动。

需要说明的是，进一步地，连接件410包括连接夹具411和推拉滑块412。连接夹具411和料座500连接。推拉滑块412和连接夹具411连接，且推拉滑块412和拉动组件420连接，从而在拉动组件420作用下，通过连接件410和限定组件430的作用，实现对料座500的推拉，有利于料座500中的晶棒顺利被送入到外置的切割设备中完成下一工序。更进一步地，此外，拉动组件420包括拉绳421、滑轮422以及绞盘423。拉绳421的两端和推拉滑块412连接，拉绳421经过绞盘423。绞盘423设置在连接板330上。绞盘423可以正反转动。滑轮422有若干个，拉绳421经过滑轮422，通过绞盘423、拉绳421以及滑轮422相互配合，实现对料座500的移动。需要强调的是，对于推拉机构400的结构也可以有多种形式，例如，推拉机构400采用气缸、油缸或者丝杠240等驱动方式实现料座500的推入和拉出功能也是可以的。本实施例中优选推拉机构400采用绳驱动的方式实现推拉功能，相对于气缸和丝杠240对精度要求较高，一般需要直线导轨配合，而绳驱动精度要求较低，适应性强点。

需要注意的是，限定组件430的设置有利于推拉机构400带动晶棒移动到切割设备中更加顺利。如附图5所示，在一个实施例中，限定组件430包括第一限定组件431和第二限定组件432。第一限定组件431和料座500的上端侧面接触，第一限定组件431对料座500的侧向进行定位。第二限定组件432和料座500的下端表面接触，第二限定组件432接触的料座500下端表面和第一限定组件431接触的料座500上端侧面相垂直，第二限定组件432对料座500的下端表面进行定位。其中，第一限定组件431和第二限定组件432对料座500起到夹持和导向的双重作用。需要说明的是，第一限定组件431包含有若干个导轮，导轮的具体数量根据料座500的长度以及导轮间距决定。第二限定组件432包括上导轮以及下导轮，其中上导轮和下导轮一一相对应，通过上导轮和下导轮对料座500的下端表面进行定位。上导轮的数量和下导轮的数量均是包含若干个导轮，导轮的数量也是根据料座500的长度以及导轮间距决定的。需要说明的是，第一限定组件431和第二限定组件432以及第一限定组件431和第二限定组件432外部的框架，一起对料座500的表面进行限定，可以防止料座500的晃动，起到夹持料座500的作用。同时由于导轮可以滚动，因此第一限定组件431和第二限定组件432以及第一限定组件431和第二限定组件432外部的框架组合后可以类似于导轨的导向作用，在推拉料座500时可以起到导向的作用。需要说明的是，第一限定组件431和第二限定组件432直接设置为导轨形式也是可行的，对于第一限定组件431和第二限定组件432的形式在此不再一一举例。

工作原理：

如说明书附图1-5所示，升降机构200带动翻转机构300、调整机构600以及推拉机构400升降，翻转机构300带动推拉机构400以及料座500翻转，然后调整机构600对翻转后的料座500进行微调位置后，由推拉机构400拉动料座500移动到外置的切割设备中进行下一工序；

需要说明的是，翻转机构300包括定位块340，定位块340的形状和外置的切割设备中的槽口相对应，有利于自动上下料车可以快速的和外置的切割设备对中，便于晶棒的上下料方便。

技术效果：

1、本申请实施例中，翻转机构300设置在升降机构200上，且推拉机构设置400在翻转机构300上，从而在升降机构200的作用下带动翻转机构300上下移动，然后配合翻转机构300的翻动以及推拉机构400在翻转机构300上的移动，从而使得自动上下料车和外置的切割设备相对中，便于半导体晶棒的上下料，解决了现有技术中晶棒上下料不方便的技术问题；达到了晶棒上下料方便的技术效果。

2、本申请实施例中，翻转机构300中包括定位块340，定位块340使得自动上下料车可以快速和外置的切割设备对中，从而有利于自动上下料车的使用，提高蓝宝石晶棒上下料的操作效率，降低工人的劳动强度，减少晶棒坠落的安全风险，有利于工厂整体的自动化程度。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种半导体自动上下料车，作用于带晶棒的料座，其特征在于，自动上下料车包括：

翻转机构，所述翻转机构连接所述料座；

升降机构，所述升降机构和所述翻转机构连接，且所述升降机构提供所述翻转机构上下移动的动力；以及

推拉机构，所述推拉机构设置在所述翻转机构上，且所述推拉机构带动晶棒移动，完成晶棒的自动上下料。

2.如权利要求1所述的一种半导体自动上下料车，其特征在于，所述自动上下料车还包括：

连接架，所述连接架和所述升降机构连接，所述连接架用于支撑升降机构，同时连接架可以任意移动。

3.如权利要求1或2所述的一种半导体自动上下料车，其特征在于，所述翻转机构包括：

连接板，所述连接板和所述料座连接，且所述连接板和所述推拉机构连接；

翻转电机，所述翻转电机提供翻转机构的动力，所述翻转电机连接所述连接板；以及

安装座，所述安装座和所述翻转电机连接，且所述安装座安装在所述升降机构上。

4.如权利要求3所述的一种半导体自动上下料车，其特征在于，所述翻转机构还包括：

定位块，所述定位块设置在所述连接板上，所述定位块使得自动上下料车便于和外置的切割设备连接。

5.如权利要求4所述的一种半导体自动上下料车，其特征在于，所述推拉机构包括：

连接件，所述连接件可连接一料座；

限定组件，所述限定组件设置在所述连接板上，且所述限定组件具有一限定空间，通过所述限定空间可限定一料座的运动轨迹；以及

拉动组件，所述拉动组件连接所述料座，且所述拉动组件可动，通过所述拉动组件使得所述料座沿限定空间向外运动。

6.如权利要求5所述的一种半导体自动上下料车，其特征在于，所述连接件包括：

连接夹具，所述连接夹具和所述料座连接；

推拉滑块，所述推拉滑块和所述连接夹具连接，且所述推拉滑块和所述拉动组件连接。

7.如权利要求5所述的一种半导体自动上下料车，其特征在于，所述限定组件包括：

第一限定组件，所述第一限定组件和所述料座的上端侧面接触，所述第一限定组件对所述料座的侧向进行定位；

第二限定组件，所述第二限定组件和所述料座的下端表面接触，所述第二限定组件接触的料座下端表面和所述第一限定组件接触的料座上端侧面相垂直，所述第二限定组件对所述料座的下端表面进行定位。

8.如权利要求6所述的一种半导体自动上下料车，其特征在于，所述拉动组件包括：

绞盘，所述绞盘设置在所述连接板上；

拉绳，所述拉绳的两端和所述推拉滑块连接，所述拉绳经过所述绞盘；

滑轮，所述滑轮有若干个，所述拉绳经过所述滑轮，通过绞盘、拉绳以及滑轮相互配合，实现对料座的移动。

9.如权利要求3所述的一种半导体自动上下料车，其特征在于，自动上下料车还包括：

调整机构，所述调整机构设置在所述升降机构上，所述调整机构可带动所述翻转机构移动，使得自动上下料车和外置的切割设备自动对中，所述调整机构包括：

调整丝杠，所述调整丝杠设置在所述升降机构上；

调整滑块，所述调整滑块和所述调整丝杠螺纹连接，所述调整滑块和所述安装座连接，所述调整滑块在所述调整丝杠上移动从而带动调整安装座的位置。

10.如权利要求9所述的一种半导体自动上下料车，其特征在于，所述升降机构包括：

滑块；

连接块，所述连接块的第一端面和所述滑块连接，所述连接块的第二端面和所述调整机构连接，所述连接块带动所述调整机构升降；以及

丝杠，所述丝杠和所述连接块连接，使得丝杠带动连接块上下移动。

Images