CN219123207U - 一种晶圆载台装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆载台装置，包括吸附结构、升降结构、驱动结构和晶圆载台，所述晶圆载台的下方与所述驱动结构固定连接，所述晶圆载台通过所述驱动结构进行旋转，所述升降结构的固定端与所述晶圆载台装置的底部相连接；所述升降结构的升降端与所述吸附结构相连接；所述吸附结构和所述升降结构均设置于所述晶圆载台的下方；所述吸附结构通过所述升降结构进行升降，所述吸附结构包括多个吸附件，所述吸附件通过所述升降结构在第一位置与第二位置之间进行升降。其中，通过升降结构带动吸附结构进行升降，可以实现对晶圆的准确吸附，避免晶圆掉落导致的晶圆损坏的问题，提高了对晶圆搬运的准确性和安全性，且避免晶圆被损坏的问题。

Description

一种晶圆载台装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆监测技术领域，特别是涉及一种晶圆载台装置。

背景技术

目前，在晶圆检测领域，通常是将切割好的晶圆放置在一个载台上，然后利用载台对晶圆进行承托和吸附，以便实现对晶圆的固定和旋转。

在现有技术中，一般通过机械手将待检测的晶圆搬运至载台上，然后载台上的吸嘴升起来承接晶圆，但是，机械手和载台之间存在一定的高度差，且是在机械手搬运到预设位置之后由载台上的吸嘴进行吸附，若机械手搬运的预设位置不恰当，可能会导致载台上的吸嘴无法对晶圆进行吸附，进一步可能会导致晶圆掉落在载台上，使得晶圆损坏，造成一定损失。

基于此，如何实现将晶圆准确的放置在载台上，并且避免晶圆掉落导致晶圆损坏，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

基于上述问题，本实用新型提供了一种晶圆载台装置，以实现将晶圆准确的放置在载台上，并且避免晶圆掉落导致晶圆损坏。

本实用新型实施例公开了如下技术方案：

本实用新型提供一种晶圆载台装置，所述装置包括：吸附结构、升降结构、驱动结构和晶圆载台；其中，所述晶圆载台设置有预设数量的通孔；

所述晶圆载台的下方与所述驱动结构固定连接，所述晶圆载台通过所述驱动结构进行旋转；

所述升降结构的固定端与所述晶圆载台装置的底部相连接；所述升降结构的升降端与所述吸附结构相连接；所述吸附结构和所述升降结构均设置于所述晶圆载台的下方；所述吸附结构通过所述升降结构进行升降；

所述吸附结构包括多个吸附件；所述吸附件通过所述升降结构在第一位置与第二位置之间进行升降；

其中，当所述多个吸附件位于第一位置时，每一个吸附件穿过与所述吸附件对应的所述晶圆载台上的通孔，且所述吸附件的吸附端位于所述晶圆载台的上方；

其中，当所述多个吸附件位于第二位置时，所述吸附结构包括多个吸附件位于所述晶圆载台的下方。

可选地，所述升降结构还包括置于所述吸附件下方的升降板，所述吸附件的固定端与所述升降板固定连接。

可选地，所述升降结构还包括与所述升降板连接的驱动器。

可选地，所述升降板的一侧设置有与所述升降板垂直的竖板；所述竖板与所述升降板之间设置有导轨和滑块；所述竖板与所述导轨或所述滑块固定连接；所述升降板与所述竖板未进行固定连接的所述导轨或所述滑块固定连接。

可选地，所述升降板两侧分别设有与所述升降板垂直的竖板。

可选地，当所述多个吸附件为三个时，三个吸附件呈等边三角形排列。

可选地，所述多个吸附件的吸附端为吸嘴。

可选地，所述吸附件的吸嘴与所述吸附件的固定端之间为支撑管。

可选地，所述支撑管的第一端与所述吸嘴连通；所述支撑管的第二端与抽气结构连通。

相较于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供一种晶圆载台装置，包括吸附结构、升降结构、驱动结构和晶圆载台，所述晶圆载台的下方与所述驱动结构固定连接，所述晶圆载台通过所述驱动结构进行旋转，所述升降结构的固定端与所述晶圆载台装置的底部相连接；所述升降结构的升降端与所述吸附结构相连接；所述吸附结构和所述升降结构均设置于所述晶圆载台的下方；所述吸附结构通过所述升降结构进行升降，所述吸附结构包括多个吸附件，所述吸附件通过所述升降结构在第一位置与第二位置之间进行升降。其中，通过升降结构带动吸附结构进行升降，吸附结构所包括的多个吸附件可以对机械手上的晶圆进行吸附，当吸附成功后，会进行下降，并置于晶圆载台上，可以实现对晶圆的准确吸附，避免因为机械手与载台之间的高度差所导致的晶圆吸附不成功的问题，进一步避免晶圆掉落导致的晶圆损坏的问题，提高了对晶圆搬运的准确性和安全性，且避免晶圆被损坏的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的一种晶圆载台装置的侧视图；

图2为本实用新型提供的一种晶圆载台40的俯视图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

正如前文描述，在现有技术中，一般通过机械手将待检测的晶圆搬运至载台上，然后载台上的吸嘴升起来承接晶圆，但是，机械手和载台之间存在一定的高度差，且是在机械手搬运到预设位置之后由载台上的吸嘴进行吸附，若机械手搬运的预设位置不恰当，可能会导致载台上的吸嘴无法对晶圆进行吸附，进一步可能会导致晶圆掉落在载台上，使得晶圆损坏，造成一定损失。

基于上述问题，本实用新型提供了一种晶圆载台装置。下面分别结合实施例和附图，详细说明本实用新型的各种非限制性实施方式。

图1是本实用新型提供的一种晶圆载台装置的侧视图。

结合图1所示，本实用新型提供的晶圆载台装置100，可以包括：吸附结构10、升降结构20、驱动结构30和晶圆载台40；其中，所述晶圆载台40设置有预设数量的通孔。

所述晶圆载台40的下方与所述驱动结构30固定连接，所述晶圆载台40通过所述驱动结构30进行旋转。

所述升降结构20的固定端与所述晶圆载台装置的底部相连接；所述升降结构20的升降端与所述吸附结构10相连接；所述吸附结构10和所述升降结构20均设置于所述晶圆载台40的下方；所述吸附结构10通过所述升降结构20进行升降。

所述吸附结构10包括多个吸附件；所述吸附件通过所述升降结构在第一位置与第二位置之间进行升降。

其中，当所述多个吸附件位于第一位置时，每一个吸附件穿过与所述吸附件对应的所述晶圆载台40上的通孔，且所述吸附件的吸附端位于所述晶圆载台的上方。

其中，当所述多个吸附件位于第二位置时，所述吸附结构包括多个吸附件位于所述晶圆载台40的下方。

其中，晶圆载台40可选用陶瓷吸盘，但不限于使用陶瓷吸盘，比如还可以使用硅胶吸盘、平板吸盘等，在此并不做具体限定。

需要说明的是，在本实施例中，吸附结构10的作用是吸附机械手上所抓取的晶圆；升降结构20的作用是带动所述吸附结构10进行升降，以实现所述吸附结构10可以通过升降结构20进行上升对机械手上的晶圆进行吸附，以及所述吸附结构10可以通过升降结构20进行下降并将所吸附的晶圆放置于所述晶圆载台40上；驱动结构30具体用于使得所述升降结构可以实现升降；晶圆载台40用于承托晶圆。

需要说明的是，所述吸附结构10包括的多个吸附件，与所述晶圆载台40上的通孔数量是相同的，且存在对应关系，即每一个吸附件都可穿过与其对应的通孔。其中，当所述多个吸附件为三个时，三个吸附件呈等边三角形排列。

需要说明的是，在本实用新型实施例中，所述吸附件可以包括：吸嘴和支撑管，所述吸附件的吸附端为吸嘴，所述吸附件的吸嘴与所述吸附件的固定端之间为支撑管。其中，所述吸附件的固定端意指与升降结构中的升降板固定连接的位置。所述吸嘴具体用于对机械手上的晶圆进行吸附，支撑管的作用是对吸附件上端的吸嘴进行支撑，同时也可以支撑经由吸嘴吸附的晶圆。

需要说明的是，在本实施例中，当吸附件的数量为三个时，所述三个吸附件对应的三个支撑管呈等边三角形排列，且在向上移动时可以穿过与其对应的晶圆载台上的三个通孔。其中，所述支撑管呈竖直的、空心的圆柱状，所述支撑管的下端与抽气结构相连通，以便对所述支撑管内抽成负压，以便支撑管上端固定连接的吸嘴可以对晶圆进行吸附。即，所述支撑管的第一端与所述吸嘴连通；所述支撑管的第二端与抽气结构连通。所述第一端意指与所述吸嘴相连接的一端，所述第二端意指与所述抽气结构连通的一端。

其中，所述升降结构20还包括置于所述吸附件下方的升降板201，所述吸附件的固定端与所述升降板201固定连接。所述升降板201的形状可根据实际情况而确定在此并不作具体限定。

其中，所述升降结构20还包括与所述升降板连接的驱动器202。

作为一种可实现的实施方式，所述升降板的一侧设置有与所述升降板垂直的竖板；所述竖板与所述升降板之间设置有导轨和滑块；所述竖板与所述导轨或所述滑块固定连接；所述升降板与所述竖板未进行固定连接的所述导轨或所述滑块固定连接。

需要说明的是，在本实施例中，在所述升降板与竖板之间可以设置交叉滚子导轨，其中，所述交叉滚子导轨是由两根v型滚道的导轨、滚子保持架和圆柱滚子等组成，相互交叉排列的圆柱滚子在经过精密磨削的v型滚道面上往复运动，可承受各个方向的载荷，实现高精度、平稳的直线运动，也可用微型直线导轨替代，但微型直线导轨结构会比交叉滚子导轨体积大。

其中，作为一种可实现的实施方式，所述升降板两侧可以分别设有与所述升降板垂直的竖板。

其中，在本实用新型实施例中所述的预设数量的通孔意指按照实际要求数量所设置的通孔，对于所述通孔的具体数量并不做具体限定，最少设置两个通孔，优选为设置三个通孔，也可根据实际情况设置其他数量的通孔。

其中，在本实用新型实施例中，上述晶圆载台装置在使用时，首先载台以中心轴为中心进行旋转，旋转至预设位置，其中载台上的三个通孔与三个吸嘴相对设置；然后驱动器驱动升降板向上移动，三个吸嘴向上移动且穿过三个通孔，并且移动至升降板的上方，然后与载台上方的晶圆接触，并且可以吸附晶圆，然后升降板带动三个吸嘴向下移动，进而带动晶圆向下移动，直至晶圆移动至载台上方，然后吸嘴继续向下移动，直至移动至晶圆的下方，从而完成将机械手上的晶圆放置在晶圆载台上。

本实用新型所提供晶圆载台装置，通过升降结构带动吸附结构进行升降，吸附结构所包括的多个吸附件可以对机械手上的晶圆进行吸附，当吸附成功后，会进行下降，并置于晶圆载台上，可以实现对晶圆的准确吸附，避免因为机械手与载台之间的高度差所导致的晶圆吸附不成功的问题，进一步避免晶圆掉落导致的晶圆损坏的问题，提高了对晶圆搬运的准确性和安全性，且避免晶圆被损坏的问题。

参见图2，该图为本实用新型提供的一种晶圆载台40的俯视图，结合图2所示，本实用新型中的晶圆载台40可以包括：外环平台401，内环平台402、隔离环403和通孔404。

所述晶圆载台40一般为圆形载台，内环平台402为一个圆形平台，外环平台401为一个外设于所述内环平台402的圆环状平台，外环平台401与内环平台402之间设置有一圆环为隔离环403。在本实施例中仅以圆形载台为例，也可以为其它形状的载台，在此并不做具体限定，且内环平台和外环平台的形状可根据晶圆载台的实际形状而确定，在此也不做具体限定。

在所述内环平台上设置预设数量的通孔404，在本实施例中，仅展示当通孔数量为3个时的布局，呈等边三角形。

其中，所述隔离环403的作用是为了区分不同规格的晶圆。内环平台402一般可以承载小于或等于其直径的晶圆，当晶圆的直径大于所述内环平台402的直径时，可通过内环平台402和外环平台401形成一个新的平台，用于承托比所述内环平台402的直径大的晶圆。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (9)

1.一种晶圆载台装置，其特征在于，所述装置包括：吸附结构、升降结构、驱动结构和晶圆载台；其中，所述晶圆载台设置有预设数量的通孔；

所述晶圆载台的下方与所述驱动结构固定连接，所述晶圆载台通过所述驱动结构进行旋转；

所述升降结构的固定端与所述晶圆载台装置的底部相连接；所述升降结构的升降端与所述吸附结构相连接；所述吸附结构和所述升降结构均设置于所述晶圆载台的下方；所述吸附结构通过所述升降结构进行升降；

所述吸附结构包括多个吸附件；所述吸附件通过所述升降结构在第一位置与第二位置之间进行升降；

其中，当所述多个吸附件位于第一位置时，每一个吸附件穿过与所述吸附件对应的所述晶圆载台上的通孔，且所述吸附件的吸附端位于所述晶圆载台的上方；

其中，当所述多个吸附件位于第二位置时，所述吸附结构包括多个吸附件位于所述晶圆载台的下方。

2.根据权利要求1所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述升降结构还包括置于所述吸附件下方的升降板，所述吸附件的固定端与所述升降板固定连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述升降结构还包括与所述升降板连接的驱动器。

4.根据权利要求2所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述升降板的一侧设置有与所述升降板垂直的竖板；所述竖板与所述升降板之间设置有导轨和滑块；所述竖板与所述导轨或所述滑块固定连接；所述升降板与所述竖板未进行固定连接的所述导轨或所述滑块固定连接。

5.根据权利要求2所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述升降板两侧分别设有与所述升降板垂直的竖板。

6.根据权利要求1所述的晶圆载台装置，其特征在于，当所述多个吸附件为三个时，三个吸附件呈等边三角形排列。

7.根据权利要求1所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述多个吸附件的吸附端为吸嘴。

8.根据权利要求7所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述吸附件的吸嘴与所述吸附件的固定端之间为支撑管。

9.根据权利要求8所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述支撑管的第一端与所述吸嘴连通；所述支撑管的第二端与抽气结构连通。

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