CN219123192U - 顶针高度校准治具和分离机构 - Google Patents

Abstract

本公开提供的一种顶针高度校准治具和分离机构，涉及芯片分离技术领域。该顶针高度校准治具包括测量仪、连接台和顶针帽，测量仪设于连接台上；顶针帽与连接台连接，顶针帽用于安装顶针；顶针帽上设有贯穿孔，贯穿孔用于供顶针穿过，以使顶针凸出连接台并抵持测量仪。可以测量出顶针与连接台之间的初始距离，便于对机台的初始位置进行调节，实现一套工艺参数适用于所有机台，实现分离机构的通用性。

Description

顶针高度校准治具和分离机构

技术领域

本实用新型涉及芯片分离技术领域，具体而言，涉及一种顶针高度校准治具和分离机构。

背景技术

经发明人研究发现，在利用顶针分离芯片和蓝膜时，顶针的初始高度是不确定的。实际操作中，在调整顶针初始高度时，是依靠操作人员手动触摸顶针来感知顶针的初始高度，存在较大的误差。并且由于机台设备的加工误差以及其他差异，顶针应用在不同机台设备中，其初始高度也是有差异的，无法实现顶针分离工艺中工艺参数的通用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种顶针高度校准治具和分离机构，其能够对顶针初始位置进行校准，依据精准的初始高度调整机台参数，便于统一工艺参数，对所有机台均适用。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型提供一种顶针高度校准治具，包括：

测量仪；

连接台，所述测量仪设于所述连接台上；

顶针帽，所述顶针帽与所述连接台连接，所述顶针帽用于安装顶针；所述顶针帽上设有贯穿孔，所述贯穿孔用于供所述顶针穿过，以使所述顶针凸出所述连接台并抵持所述测量仪。

在可选的实施方式中，所述连接台远离所述测量仪的一侧设有安装槽，所述顶针帽设于所述安装槽内。

在可选的实施方式中，所述连接台上设有锁止件，所述锁止件用于固定所述顶针帽。

在可选的实施方式中，所述连接台上设有锁紧孔，所述锁紧孔与所述安装槽连通，所述锁止件设于所述锁紧孔内。

在可选的实施方式中，所述锁止件采用螺栓。

在可选的实施方式中，所述顶针高度校准治具还包括连接片和连杆，所述连杆的一端与所述测量仪连接，另一端与所述连接片连接，所述连接片设于所述连接台上。

在可选的实施方式中，所述连接台远离所述顶针帽的一侧设有容置槽，所述连接片和所述连杆设于所述容置槽内，所述测量仪伸出所述容置槽。

在可选的实施方式中，所述连接片设有抵持部，所述抵持部用于与所述顶针接触，所述抵持部的表面与所述顶针帽的表面齐平。

在可选的实施方式中，所述测量仪采用千分表。

第二方面，本实用新型提供一种分离机构，包括机台、顶针和如前述实施方式中任一项所述的顶针高度校准治具，所述顶针连接于所述机台，所述顶针可移动地设于所述顶针帽上。

本实用新型实施例的有益效果包括：

本实用新型实施例提供的一种顶针高度校准治具，顶针可顶出连接台，测量仪可以准确测量出顶针凸出连接台的高度，进而可以计算出顶针的初始高度，根据初始高度调节机台的初始位置，以调整顶针的初始高度与工艺参数中对应的基准高度一致，从而针对不同的机台设备，都能适用同一套工艺参数，实现通用性，提高分离质量和分离效率。

本实用新型实施例提供的分离机构，可快速校准顶针的初始高度，使得顶针的初始高度与工艺参数中对应的基准高度一致，不受机台个体差异的影响，有利于同一工艺参数，精确控制顶针的移动距离，提高分离质量和分离效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的顶针高度校准治具的一种结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的顶针高度校准治具的一种拆分结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的顶针高度校准治具的一种顶出状态的结构示意图。

图标：100-顶针高度校准治具；110-测量仪；120-连接台；121-安装槽；123-锁止件；125-容置槽；130-顶针帽；131-贯穿孔；140-连接片；150-连杆；200-顶针。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在采用顶针分离芯片和蓝膜的工艺中，需要先确定顶针的初始高度。目前，行业内无专用测量顶针初始高度的治具，实际操作中，依靠操作人员手摸顶针是否与顶针帽平齐，存在较大的误差。并且，每个机台设备存在差异，会造成顶针的初始高度无法标准化，从而导致顶出过程的工艺参数没办法完全统一，通用性较低。

为了克服现有技术中的至少一个缺陷，本实施例提出了一种顶针高度校准治具，可以测量出顶针的初始高度，有利于调节顶针的初始高度为标准化的基准高度，这样可实现工艺参数的统一化，提高工艺参数在各个机台上的通用性。

请参照图1至图3，本实施例提供的一种顶针高度校准治具100，包括测量仪110、连接台120和顶针帽130，测量仪110设于连接台120上；顶针帽130与连接台120连接，顶针帽130用于安装顶针200；顶针帽130上设有贯穿孔131，贯穿孔131用于供顶针200穿过，以使顶针200凸出连接台120并抵持测量仪110。可以测量出顶针200与连接台120之间的初始距离，即顶针200的初始高度，便于对机台的初始位置进行调节，以将顶针200的初始高度调节至标准化的基准高度，实现一套工艺参数适用于所有机台，实现分离机构的通用性。这样，即可以实现工艺参数的通用化，适配性好，不受各个机台差异的影响，精确控制顶针200的移动距离，有利于提高分离质量和分离效率。

连接台120远离测量仪110的一侧设有安装槽121，顶针帽130设于安装槽121内。可以理解，安装槽121的截面形状尺寸与顶针帽130的尺寸形状相匹配。连接台120上设有锁止件123，锁止件123用于固定顶针帽130。可选地，连接台120上设有锁紧孔，锁紧孔与安装槽121连通，锁止件123设于锁紧孔内。锁止件123插入锁紧孔中，以抵持顶针帽130，实现对顶针帽130的锁紧，固定顶针帽130的位置。本实施例中，锁止件123采用螺栓。当然，并不仅限于此，顶针帽130与连接台120也可以采用焊接、粘接、卡接、铆接或其它连接方式，这里不作具体限定。

本实施例中，顶针高度校准治具100还包括连接片140和连杆150，连杆150的一端与测量仪110连接，另一端与连接片140连接，连接片140设于连接台120上。可选地，连接片140可采用铁片，或其它金属片，强度大，不易变形，可提高测量精度。

连接片140铺设在连接台120上。连接片140设有抵持部，抵持部用于与顶针200接触，抵持部的表面与顶针帽130的表面齐平。应当理解，顶针帽130放置于安装槽121后，顶针帽130的上表面，即顶针帽130靠近测量仪110的一侧表面与连接片140贴合。可选地，顶针帽130的上表面和连接片140的下表面贴合，且顶针帽130的上表面和连接片140的下表面均为平面，处于水平状态。由于顶针200的运动方向为竖直方向。这样设置，有利于提高测量仪110的测量精度。

需要说明的是，连接片140的形状和尺寸可以根据实际情况灵活设定，只要确保顶针200刚伸出贯穿孔131时即与连接片140抵持。这样可以保证连接片140的移动距离就是顶针200凸出顶针帽130的高度，从而使得测量仪110能够精确测量顶针200凸出顶针帽130的距离，即顶针200凸出连接台120的距离。

本实施例中，测量仪110采用千分表。连接台120远离顶针帽130的一侧设有容置槽125，连接片140和连杆150设于容置槽125内，测量仪110伸出容置槽125，便于对测量仪110进行读数。容置槽125对连接片140和连杆150起到保护作用，同时对连接片140移动过程中具有一定的导向作用，有利于连接片140和连杆150等顺畅移动，提高测量精度。

需要说明的是，顶针200伸出顶针帽130的贯穿孔131后，顶针200直接与连接片140抵接，随着顶针200继续上移，伸出贯穿孔131，顶针200将连接片140抬起，使得连接片140与连接台120分离。连接片140抬起后，由于连杆150连接于千分表，千分表可以测量出连接片140的抬起高度，即连接片140在顶针200作用下的移动距离。应当理解，连接片140的移动距离即顶针200凸出连接帽上表面的凸出高度，也是顶针200凸出连接台120的高度。

若该顶针200校准治具应用于某一机台，该机台的顶针200高度参数设置为500um，即机台带动顶针200向上移动的距离为500um。顶针200顶出连接片140后，千分表上的读数为470um，表明顶针200凸出顶针帽130的高度为470um。这就说明顶针200运动前顶针200位于顶针帽130的下方30um处，即顶针200的实际初始高度H为30um。由于各个机台存在差异，对于不同的机台而言，顶针200的实际初始高度H是不一样的，无法实现工艺参数的统一。

而本实施例中，可以精确测量顶针200的实际初始高度H。若工艺参数中，统一设定顶针200的初始高度为Z，即前文提到的工艺参数中的基准高度。则需要机台来调节补偿高度L，L＝H-Z。若L为正数，则机台向上调节补偿高度L。若L为负数，则机台向下调节补偿高度L。其中，Z的可选范围是20um至100um。对于某一确定的工艺参数而言，Z为固定值。这样，可以设置好所有设备统一的顶针200的初始高度Z，那么一套工艺参数可以通用，对所有机台均适用。其中，补偿高度数值不保存在工艺参数(程序)中，只留在该机台中作为设备参数。这样，无需每次去修改工艺参数，大大提高了操作效率。

本实用新型实施例还提供一种分离机构，包括机台、顶针200和如前述实施方式中任一项的顶针高度校准治具100，顶针200连接于机台，顶针200可移动地设于顶针帽130上。顶针200在机台的升降作用下移动，顶出连接片140，测量仪110测出顶针200凸出顶针帽130的凸出高度。根据机台参数和测量仪110读数，计算出顶针200的初始高度位置。再根据工艺参数中统一设定的顶针200的初始高度，通过机台调节补偿高度，使得所有机台均适用统一的一套工艺参数。无需每次去修改工艺参数，大大提高了操作效率。

综上所述，本实用新型实施例提供的顶针高度校准治具100和分离机构，具有以下几个方面的有益效果：

本实用新型实施例提供的一种顶针高度校准治具100，顶针200可顶出连接台120，测量仪110可以准确测量出顶针200凸出连接台120的高度，进而可以计算出顶针200的初始高度，根据初始高度调节机台的初始位置，以调整顶针200的初始高度与工艺参数中对应的基准高度一致，从而针对不同的机台设备，都能适用同一套工艺参数，实现通用性，提高分离质量和分离效率。

本实用新型实施例提供的分离机构，可快速校准顶针200的初始高度，使得顶针200的初始高度与工艺参数中对应的基准高度一致，不受机台个体差异的影响，有利于统一工艺参数，精确控制顶针200的移动距离，提高分离质量和分离效率。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种顶针高度校准治具，其特征在于，包括：

测量仪；

连接台，所述测量仪设于所述连接台上；

顶针帽，所述顶针帽与所述连接台连接，所述顶针帽用于安装顶针；所述顶针帽上设有贯穿孔，所述贯穿孔用于供所述顶针穿过，以使所述顶针凸出所述连接台并抵持所述测量仪。

2.根据权利要求1所述的顶针高度校准治具，其特征在于，所述连接台远离所述测量仪的一侧设有安装槽，所述顶针帽设于所述安装槽内。

3.根据权利要求2所述的顶针高度校准治具，其特征在于，所述连接台上设有锁止件，所述锁止件用于固定所述顶针帽。

4.根据权利要求3所述的顶针高度校准治具，其特征在于，所述连接台上设有锁紧孔，所述锁紧孔与所述安装槽连通，所述锁止件设于所述锁紧孔内。

5.根据权利要求3所述的顶针高度校准治具，其特征在于，所述锁止件采用螺栓。

6.根据权利要求1所述的顶针高度校准治具，其特征在于，所述顶针高度校准治具还包括连接片和连杆，所述连杆的一端与所述测量仪连接，另一端与所述连接片连接，所述连接片设于所述连接台上。

7.根据权利要求6所述的顶针高度校准治具，其特征在于，所述连接台远离所述顶针帽的一侧设有容置槽，所述连接片和所述连杆设于所述容置槽内，所述测量仪伸出所述容置槽。

8.根据权利要求6所述的顶针高度校准治具，其特征在于，所述连接片设有抵持部，所述抵持部用于与所述顶针接触，所述抵持部的表面与所述顶针帽的表面齐平。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的顶针高度校准治具，其特征在于，所述测量仪采用千分表。

10.一种分离机构，其特征在于，包括机台、顶针和如权利要求1至9中任一项所述的顶针高度校准治具，所述顶针连接于所述机台，所述顶针可移动地设于所述顶针帽上。

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