CN219123188U - 硅圆酸洗工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅圆酸洗工装，包括框体和至少一组支撑组件，框体包括前侧壁、左侧壁、后侧壁和右侧壁，每一组支撑组件包括四个支撑件，每一个支撑件的一端设置在前侧壁上，每一个支撑件的另一端设置在后侧壁上，每两个支撑件位于同一高度，下层的两个支撑件之间的距离小于相邻上层的两个支撑件的距离，相邻两层的四个支撑件的端面中心点连线形成等腰梯形，每个支撑件上设置多个夹持槽。对不同规格的硅圆同时清洗时，尺寸较小的硅圆放置在下层的两个支撑件上；尺寸较大的硅圆放置在上层的两个支撑件上；尺寸适中的硅圆由四个夹持槽同时夹持固定，使不同规格的硅圆放置在硅圆酸洗工装内同时进行清洗，提高硅圆酸洗工装对不同规格硅圆的兼容性。

Description

硅圆酸洗工装

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种硅圆酸洗工装。

背景技术

半导体器件生产中硅圆须经严格清洗,避免微量污染导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅圆表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。

清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。在硅圆清洗过程中，硅圆承载装置是清洗的主要工装之一，但现有的硅圆承载装置在实际的使用过程中，还存在着一定的不足之处，如申请号为202221851589.2公开的“一种硅圆承载装置”，虽然能够承载不同规格的硅圆，但是随着硅圆尺寸的逐渐增大，这种结构的适用性会降低，具体原因在于：需要清洗的硅圆尺寸较大时，需要调整螺杆使相邻的两个支撑杆之间的距离增大以适应放置对应的硅圆，调整后也只能放置同一种规格的硅圆或规格相差较近的硅圆，尺寸较小的硅圆放置在调整间距增大后的两个支撑杆上，这种小尺寸的硅圆从两个支撑杆的下方漏出的比大尺寸的硅圆从两个支撑杆的下方漏出的多，将上述规格相差较大的硅圆放置在硅圆承载装置后，再将承载有不同规格硅圆的硅圆承载装置放入酸洗槽内，酸洗过程中需要将所有硅圆侵泡在酸洗液中，但是小尺寸的硅圆朝硅圆承载装置的下端面漏出的多，使得大尺寸的硅圆最上端和小尺寸硅圆的最下端之间的距离增大，此时需要增加酸洗槽内的酸洗液以使酸洗液的深度能够将所有硅圆侵泡，这样存在增大了酸洗液的使用，使得制造成本增加，还存在将硅圆承载装置放入酸洗槽后使硅圆承载装置的底部靠近酸洗槽的底部，使酸洗槽的底部碰触到小尺寸的硅圆使小尺寸的硅圆从承载槽内脱出，使酸洗的效率降低或达不到酸洗的目的，因此存在放置尺寸相差较大的硅圆同时进行酸洗时存在兼容性较低的问题。

实用新型内容

本实用新型主要目的在于提供一种硅圆酸洗工装，以解决现有技术对承载尺寸相差较大的硅圆同时进行酸洗时存在兼容性较低的问题。

一种硅圆酸洗工装，包括框体和至少一组支撑组件，框体的上端面和下端面均为敞口，框体包括前侧壁、左侧壁、后侧壁和右侧壁，前侧壁、左侧壁、后侧壁和右侧壁依次首尾连接，每一组支撑组件包括四个支撑件，每一个支撑件的一端设置在前侧壁上，每一个支撑件的另一端设置在后侧壁上，每两个支撑件位于同一高度，下层的两个支撑件之间的距离小于相邻上层的两个支撑件的距离，且相邻两层的四个支撑件的端面中心点连线形成等腰梯形，每个支撑件上设置多个夹持槽，夹持槽的开口方向和支撑件的长度方向相垂直。

优选的，前侧壁上设置至少一组第一固定孔组，第一固定孔组的数量和支撑组件的数量相一致，每一组第一固定孔组包括第一固定孔、第二固定孔、第三固定孔和第四固定孔，第一固定孔、第二固定孔、第三固定孔和第四固定孔靠近前侧壁的下端，第一固定孔的中心距前侧壁的下端距离和第二固定孔的中心距前侧壁的下端距离相等，第三固定孔的中心距前侧壁的下端距离和第四固定孔的中心距前侧壁的下端距离相等，第三固定孔和第四固定孔位于第一固定孔和第二固定孔的上方；后侧壁上设置至少一组第二固定孔组，第二固定孔组的数量和支撑组件的数量相一致，每一组第二固定孔组包括第五固定孔、第六固定孔、第七固定孔和第八固定孔，第五固定孔和第一固定孔相对应设置，第六固定孔和第二固定孔对应设置，第七固定孔和第三固定孔对应设置，第八固定孔和第四固定孔对应设置；第一固定孔和第五固定孔对应安装一个支撑件，第二固定孔和第六固定孔对应安装一个支撑件，第三固定孔和第七固定孔对应安装一个支撑件，第四固定孔和第八固定孔对应安装一个支撑件。

优选的，第一固定孔、第二固定孔、第三固定孔、第四固定孔、第五固定孔、第六固定孔、第七固定孔和第八固定孔均为方形孔，支撑件的两端均设置一个方形柱，每一个方形柱均可插入上述其中一个方形孔中。

优选的，第一固定孔的下边沿和前侧壁下端沿形成45°-55°的夹角，第二固定孔和第一固定孔以轴对称设置，对称轴为第一固定孔中心点和第二固定孔中心点的连线的中垂线；第三固定孔的下边沿和前侧壁下端沿形成45°-55°的夹角，第四固定孔和第三固定孔以轴对称设置，对称轴为第三固定孔中心点和第四固定孔中心点的连线的中垂线；安装在第一固定孔和第二固定孔的两个支撑件的端面呈八字形，安装在第三固定孔和第四固定孔的两个支撑件的端面呈八字形。

优选的，硅圆酸洗工装还包括盖体，左侧壁的上端沿和右侧壁的上端沿相平齐，前侧壁的上端沿和后侧壁的上端沿相平齐，左侧壁的上端沿高于前侧壁的上端沿使两者形成台阶状，盖体安装在左侧壁和右侧壁的上端沿上，盖体的顶端面和左侧壁的上端沿相持平，且盖体位于左侧壁和右侧壁之间，左侧壁的上端沿上至少设置一个第一转动扣合件，右侧壁的上端沿上至少设置一个第二转动扣合件，第一转动扣合件和第二转动扣合件转动后分别从盖体的左侧端和右侧端将盖体压紧固定。

优选的，盖体的上端面中间位置处设置把手，盖体上设置多个通孔。

优选的，左侧壁设置多个第一通过口，右侧壁设置多个第二通过口，前侧壁设置多个第三通过口，后侧壁设置多个第四通过口。

优选的，第一通过口的数量和第二通过口的数量相等，每一个第一通过口和每一个第二通过口相对应设置；第三通过口的数量和第四通过口的数量相等，每一个第三通过口和每一个第四通过口相对应设置。

优选的，左侧壁上设置至少一个挂耳，右侧壁上设置至少一个挂耳。

优选的，左侧壁的下端沿设置至少两个第一定位槽，右侧壁的下端沿设置至少两个第二定位槽。

由上述技术方案可知，需要清洗的不同规格的硅圆放入硅圆酸洗工装的过程中，尺寸较小的硅圆放置在下层的两个支撑件上，下层支撑件上的夹持槽将尺寸较小的硅圆夹持固定；尺寸较大的硅圆放置在上层的两个支撑件上，上层支撑件上的夹持槽将尺寸较大的硅圆夹持固定；尺寸适中的硅圆由四个夹持槽同时夹持固定，从而使不同规格的硅圆放置在硅圆酸洗工装内同时进行清洗，提高硅圆酸洗工装对不同规格硅圆的兼容性。

附图说明

图1是本实用新型的立体图。

图2是支撑件的立体图。

图3是前侧壁和后侧壁上组装了两组支撑组件的立体图。

图4是图3的俯视图。

图5是图4中A-A处的剖视图。

图6是本实用新型未安装盖体的立体图。

图7是左侧壁的立体图。

图中：框体10、前侧壁11、第一固定孔组110、第一固定孔111、第二固定孔112、第三固定孔113、第四固定孔114、第三通过口115、左侧壁12、第一转动扣合件121、第一通过口122、第一挂耳123、第一定位槽124、后侧壁13、第二固定孔组130、第五固定孔131、第六固定孔132、第七固定孔133、第八固定孔134、第四通过口135、右侧壁14、第二转动扣合件141、第二通过口142、第二挂耳143、第二定位槽144、支撑组件20、支撑件21、夹持槽211、盖体30、把手31、通孔32。

具体实施方式

以下结合本实用新型的附图，对实用新型实施例的技术方案及技术效果做进一步的详细阐述。

请参阅图1至图7，硅圆酸洗工装包括框体10和至少一组支撑组件20，框体10的上端面和下端面均为敞口，框体10包括前侧壁11、左侧壁12、后侧壁13和右侧壁14，前侧壁11、左侧壁12、后侧壁13和右侧壁14依次首尾连接，每一组支撑组件20包括四个支撑件21，每一个支撑件21的一端设置在前侧壁11上，每一个支撑件21的另一端设置在后侧壁13上，每两个支撑件21位于同一高度，下层的两个支撑件21之间的距离小于相邻上层的两个支撑件21的距离，且相邻两层的四个支撑件21的端面中心点连线形成等腰梯形，每个支撑件21上设置多个夹持槽211，夹持槽211的开口方向和支撑件21的长度方向相垂直。位于四个支撑件21上且位于同一排的四个夹持槽211中，位于下层的两个夹持槽211用于夹持固定尺寸较小的硅圆，位于上层的两个夹持槽211用于夹持固定尺寸较大的硅圆，四个夹持槽211同时夹持固定尺寸适中的硅圆。

进一步的，前侧壁11上设置至少一组第一固定孔组110，第一固定孔组110的数量和支撑组件20的数量相一致，每一组第一固定孔组110包括第一固定孔111、第二固定孔112、第三固定孔113和第四固定孔114，第一固定孔111、第二固定孔112、第三固定孔113和第四固定孔114靠近前侧壁11的下端，第一固定孔111的中心距前侧壁11的下端距离和第二固定孔112的中心距前侧壁11的下端距离相等，第三固定孔113的中心距前侧壁11的下端距离和第四固定孔114的中心距前侧壁11的下端距离相等，第三固定孔113和第四固定孔114位于第一固定孔111和第二固定孔112的上方；后侧壁13上设置至少一组第二固定孔组130，第二固定孔组130的数量和支撑组件20的数量相一致，每一组第二固定孔组130包括第五固定孔131、第六固定孔132、第七固定孔133和第八固定孔134，第五固定孔131和第一固定孔111相对应设置，第六固定孔132和第二固定孔112对应设置，第七固定孔133和第三固定孔113对应设置，第八固定孔134和第四固定孔114对应设置；第一固定孔111和第五固定孔131对应安装一个支撑件21，第二固定孔112和第六固定孔132对应安装一个支撑件21，第三固定孔113和第七固定孔133对应安装一个支撑件21，第四固定孔114和第八固定孔134对应安装一个支撑件21。

进一步的，第一固定孔111、第二固定孔112、第三固定孔113、第四固定孔114、第五固定孔131、第六固定孔132、第七固定孔133和第八固定孔134均为方形孔，支撑件21的两端均设置一个方形柱212，每一个方形柱212均可插入上述其中一个方形孔中。

进一步的，第一固定孔111的下边沿和前侧壁11下端沿形成45°-55°的夹角a，第二固定孔112和第一固定孔111以轴对称设置，对称轴为第一固定孔111中心点和第二固定孔112中心点的连线的中垂线；第三固定孔113的下边沿和前侧壁11下端沿形成45°-55°的夹角b，第四固定孔114和第三固定孔113以轴对称设置，对称轴为第三固定孔113中心点和第四固定孔114中心点的连线的中垂线；安装在第一固定孔111和第二固定孔112的两个支撑件21的端面呈八字形，安装在第三固定孔113和第四固定孔114的两个支撑件21的端面呈八字形。

进一步的，硅圆酸洗工装还包括盖体30，左侧壁12的上端沿和右侧壁14的上端沿相平齐，前侧壁11的上端沿和后侧壁13的上端沿相平齐，左侧壁12的上端沿高于前侧壁11的上端沿使两者形成台阶状，盖体30安装在左侧壁12和右侧壁14的上端沿上，盖体30的顶端面和左侧壁12的上端沿相持平，且盖体30位于左侧壁12和右侧壁14之间，左侧壁12的上端沿上至少设置一个第一转动扣合件121，右侧壁14的上端沿上至少设置一个第二转动扣合件141，第一转动扣合件121和第二转动扣合件141转动后分别从盖体30的左侧端和右侧端将盖体30压紧固定。盖体30能够防止硅圆从硅圆酸洗工装内因受外力而脱离夹持槽211。

进一步的，盖体30的上端面中间位置处设置把手31，通过把手31便于将盖体30取下或安装在框体10上；盖体30上设置多个通孔32，多个通孔32便于酸洗液的流通。

进一步的，左侧壁12设置多个第一通过口122，右侧壁14设置多个第二通过口142，前侧壁11设置多个第三通过口115，后侧壁13设置多个第四通过口135。通过第一通过口122、第二通过口142、第三通过口115和第四通过口135能够增加酸洗液的流动，提高硅圆清洗的效率。

进一步的，第一通过口122的数量和第二通过口142的数量相等，每一个第一通过口122和每一个第二通过口142相对应设置；第三通过口115的数量和第四通过口135的数量相等，每一个第三通过口115和每一个第四通过口135相对应设置。

进一步的，左侧壁12上设置至少一个第一挂耳123，右侧壁14上设置至少一个第二挂耳143。通过第一挂耳123和第二挂耳143便于机械手将硅圆酸洗工装抓起并吊运。

进一步的，左侧壁12的下端沿设置至少两个第一定位槽124，右侧壁14的下端沿设置至少两个第二定位槽144。多个硅圆酸洗工装放在传送机构上，通过第一定位槽124和第二定位槽144把硅圆酸洗工装定好位，接着传送机构逐个将每个硅圆酸洗工装运送到指定位置后，机械臂再勾起挂耳传送硅圆酸洗工装。

对不同规格的硅圆需要同时进行清洗具体使用过程为：尺寸较小的硅圆放置在下层的两个支撑件21上，下层支撑件21上的夹持槽211将尺寸较小的硅圆夹持固定；尺寸较大的硅圆放置在上层的两个支撑件21上，上层支撑件21上的夹持槽211将尺寸较大的硅圆夹持固定；尺寸适中的硅圆由四个夹持槽211同时夹持固定，从而使好几种不同规格的硅圆放置在硅圆酸洗工装内同时进行清洗，提高硅圆酸洗工装对不同规格硅圆的兼容性。

Claims (10)

1.一种硅圆酸洗工装，其特征在于：包括框体和至少一组支撑组件，框体的上端面和下端面均为敞口，框体包括前侧壁、左侧壁、后侧壁和右侧壁，前侧壁、左侧壁、后侧壁和右侧壁依次首尾连接，每一组支撑组件包括四个支撑件，每一个支撑件的一端设置在前侧壁上，每一个支撑件的另一端设置在后侧壁上，每两个支撑件位于同一高度，下层的两个支撑件之间的距离小于相邻上层的两个支撑件的距离，且相邻两层的四个支撑件的端面中心点连线形成等腰梯形，每个支撑件上设置多个夹持槽，夹持槽的开口方向和支撑件的长度方向相垂直。

2.如权利要求1所述的硅圆酸洗工装，其特征在于：前侧壁上设置至少一组第一固定孔组，第一固定孔组的数量和支撑组件的数量相一致，每一组第一固定孔组包括第一固定孔、第二固定孔、第三固定孔和第四固定孔，第一固定孔、第二固定孔、第三固定孔和第四固定孔靠近前侧壁的下端，第一固定孔的中心距前侧壁的下端距离和第二固定孔的中心距前侧壁的下端距离相等，第三固定孔的中心距前侧壁的下端距离和第四固定孔的中心距前侧壁的下端距离相等，第三固定孔和第四固定孔位于第一固定孔和第二固定孔的上方；后侧壁上设置至少一组第二固定孔组，第二固定孔组的数量和支撑组件的数量相一致，每一组第二固定孔组包括第五固定孔、第六固定孔、第七固定孔和第八固定孔，第五固定孔和第一固定孔相对应设置，第六固定孔和第二固定孔对应设置，第七固定孔和第三固定孔对应设置，第八固定孔和第四固定孔对应设置；第一固定孔和第五固定孔对应安装一个支撑件，第二固定孔和第六固定孔对应安装一个支撑件，第三固定孔和第七固定孔对应安装一个支撑件，第四固定孔和第八固定孔对应安装一个支撑件。

3.如权利要求2所述的硅圆酸洗工装，其特征在于：第一固定孔、第二固定孔、第三固定孔、第四固定孔、第五固定孔、第六固定孔、第七固定孔和第八固定孔均为方形孔，支撑件的两端均设置一个方形柱，每一个方形柱均可插入上述其中一个方形孔中。

4.如权利要求3所述的硅圆酸洗工装，其特征在于：第一固定孔的下边沿和前侧壁下端沿形成45°-55°的夹角，第二固定孔和第一固定孔以轴对称设置，对称轴为第一固定孔中心点和第二固定孔中心点的连线的中垂线；第三固定孔的下边沿和前侧壁下端沿形成45°-55°的夹角，第四固定孔和第三固定孔以轴对称设置，对称轴为第三固定孔中心点和第四固定孔中心点的连线的中垂线；安装在第一固定孔和第二固定孔的两个支撑件的端面呈八字形，安装在第三固定孔和第四固定孔的两个支撑件的端面呈八字形。

5.如权利要求1所述的硅圆酸洗工装，其特征在于：硅圆酸洗工装还包括盖体，左侧壁的上端沿和右侧壁的上端沿相平齐，前侧壁的上端沿和后侧壁的上端沿相平齐，左侧壁的上端沿高于前侧壁的上端沿使两者形成台阶状，盖体安装在左侧壁和右侧壁的上端沿上，盖体的顶端面和左侧壁的上端沿相持平，且盖体位于左侧壁和右侧壁之间，左侧壁的上端沿上至少设置一个第一转动扣合件，右侧壁的上端沿上至少设置一个第二转动扣合件，第一转动扣合件和第二转动扣合件转动后分别从盖体的左侧端和右侧端将盖体压紧固定。

6.如权利要求5所述的硅圆酸洗工装，其特征在于：盖体的上端面中间位置处设置把手，盖体上设置多个通孔。

7.如权利要求1所述的硅圆酸洗工装，其特征在于：左侧壁设置多个第一通过口，右侧壁设置多个第二通过口，前侧壁设置多个第三通过口，后侧壁设置多个第四通过口。

8.如权利要求7所述的硅圆酸洗工装，其特征在于：第一通过口的数量和第二通过口的数量相等，每一个第一通过口和每一个第二通过口相对应设置；第三通过口的数量和第四通过口的数量相等，每一个第三通过口和每一个第四通过口相对应设置。

9.如权利要求1所述的硅圆酸洗工装，其特征在于：左侧壁上设置至少一个挂耳，右侧壁上设置至少一个挂耳。

10.如权利要求1所述的硅圆酸洗工装，其特征在于：左侧壁的下端沿设置至少两个第一定位槽，右侧壁的下端沿设置至少两个第二定位槽。

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