CN219928907U - 一种多孔盘高精密清洗治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及表面处理清洗技术领域，特别涉及一种多孔盘高精密清洗治具，包括共轴心连接的基板和支板，在基板和支板的外边缘对应位置铰接安装三组吊爪，用于抱紧和松开待清洗的多孔盘；支板连接挂钩，用于悬挂清洗；吊爪包括一体连接的连接柄和爪部，爪部带有弯折；连接柄和爪部交接处开设铰接孔A，连接柄上部开设铰接孔B；爪部的底部为卡接点A，弯折中部为外凸的卡接点B，卡接点A和卡接点B卡合多孔盘的边缘。本实用新型治具为通用型，可适用于不同规格的多孔盘，整体治具重量轻，而且选用特氟龙材质，既保证酸、碱环境中均不会发生反应，又可避免划伤多孔盘表面。

Description

一种多孔盘高精密清洗治具

技术领域

本实用新型涉及表面处理清洗技术领域，特别涉及一种多孔盘高精密清洗治具。

背景技术

多孔盘由多种机加工件和标准件组成，机加工件和标准件在组装前需要在洁净室对其进行化洗清洗，洁净度等级要高于普通零件要求的等级。清洗完成后进行组装，组成成品后再次进行清洗。

随着集成电路制程工艺节点越来越先进，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制成前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33％，需要投入工装提高清洗的效率。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型公开了一种多孔盘高精密清洗治具。

具体技术方案如下：

一种多孔盘高精密清洗治具，包括共轴心连接的基板和支板，在基板和支板的外边缘对应位置铰接安装三组吊爪，用于抱紧和松开待清洗的多孔盘；支板连接挂钩，用于悬挂清洗；吊爪包括一体连接的连接柄和爪部，爪部带有弯折；连接柄和爪部交接处开设铰接孔A，连接柄上部开设铰接孔B；爪部的底部为卡接点A，弯折中部为内凸的卡接点B，卡接点A和卡接点B卡合多孔盘的边缘。

所述基板为环形，圆周上均匀设置三个向外凸出的连接块，相邻两个连接块之间设置三个向外凸出的铰接块；连接块上开设安装孔，铰接块开设铰接槽A，铰接槽A上开通铰接孔C，铰接孔C与铰接孔A通过挂杆铰接。

所述支板为环形，圆周上均匀设置三个铰接座，相邻两个铰接座之间开设一个通孔，所述通孔与基板的安装孔通过螺杆对应连接。

所述铰链包括三个，铰链一端为铰接头，另一端开设铰接槽B；铰接头开设通孔，通过挂杆与支板的三个铰接座对应铰接安装；铰接槽B开设通孔，通过挂杆与吊爪的铰接孔B铰接安装。

所述挂钩为L形，挂钩的一端为钩部，用于悬挂，另一端开设连接孔，通过螺钉与支板的外缘固定连接。

所述吊爪、基板、支板、铰链、螺杆、挂杆和挂钩的材质均为特氟龙。

所述螺杆连接基板和支板，通过旋入量调节基板和支板之间的相对高度，适应不同规格的多孔盘。

所述挂钩包括两个，沿支板径向设置。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益技术效果：

本实用新型治具为通用型，可适用于不同规格的多孔盘，整体治具重量轻，而且选用特氟龙材质，既保证酸、碱环境中均不会发生反应，又可避免划伤多孔盘表面。本实用新型吊爪是铰接安装，可以实现一定自由度的张合，通过三组吊爪将多孔盘抱紧后吊装起来，放进清洗槽内，进行高精密清洗，使其外部、内部达到高洁净的要求。

附图说明

图1为本实用新型清洗治具结构示意图；

图2为本实用新型吊爪结构示意图；

图3为本实用新型基板立体结构示意图；

图4为本实用新型基板平面结构示意图；

图5为本实用新型铰链立体结构示意图；

图6为本实用新型挂钩立体结构示意图；

图中，1、吊爪；2、基板；3、支板；4、铰链；5、螺杆；6、挂杆；7、挂钩；8、多孔盘；9、连接柄；10、爪部；11、卡接点A；12、卡接点B；13、铰接孔A；14、铰接孔B；15、连接块；16、安装孔；17、铰接块；18、铰接槽A；19、铰接孔；20、铰接头；21、铰接槽B；22、连接点；23、钩部；24、铰接座。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行进一步说明，但本实用新型的保护范围不仅限于附图。

本实用新型多孔盘高精密清洗治具，包括共轴心连接的基板2和支板3，在基板2和支板3的外边缘对应位置铰接安装三组吊爪1，用于抱紧和松开待清洗的多孔盘8；支板3连接挂钩7，用于悬挂清洗；吊爪1包括一体连接的连接柄9和爪部10，爪部10带有弯折；连接柄9和爪部10交接处开设铰接孔A13，连接柄9上部开设铰接孔B14；爪部10的底部为卡接点A11，弯折中部为外凸的卡接点B12，卡接点A11和卡接点B12卡合多孔盘8的边缘。

基板2为环形，圆周上均匀设置三个向外凸出的连接块15，相邻两个连接块15之间设置三个向外凸出的铰接块17；连接块15上开设安装孔16，铰接块17开设铰接槽A18，铰接槽A18上开通铰接孔C19，铰接孔C19与铰接孔A13通过挂杆6铰接。

支板3为环形，圆周上均匀设置三个铰接座24，相邻两个铰接座24之间开设一个通孔，所述通孔与基板2的安装孔16通过螺杆5对应连接。螺杆5连接基板2和支板3，通过旋入量调节基板2和支板3之间的相对高度，适应不同规格的多孔盘8。

铰链4包括三个，铰链4一端为铰接头20，另一端开设铰接槽B21；铰接头20开设通孔，通过挂杆6与支板3的三个铰接座24对应铰接安装；铰接槽B21开设通孔，通过挂杆6与吊爪1的铰接孔B14铰接安装。

挂钩7为L形，挂钩7的一端为钩部23，用于悬挂，另一端开设连接孔22，通过螺钉与支板3的外缘固定连接。挂钩7包括两个，沿支板3径向设置。

吊爪1、基板2、支板3、铰链4、螺杆5、挂杆6和挂钩7的材质均为特氟龙。

使用时，先根据不同规格的多孔盘8，通过螺杆5的旋入量调节基板2和支板3之间的相对高度。然后张开三组吊爪1，并将多孔盘8放置在三组吊爪1之间，调整多孔盘8边缘的位置，使得吊爪1的卡接点A11和卡接点B12卡合多孔盘8的边缘。再提起挂钩7，在多孔盘8的自重和吊爪1的卡合共同作用下，三组吊爪1向内抱紧多孔盘8。最后将整体通过挂钩7挂在清洗槽内正常清洗即可。

拆卸时，先从清洗设备上卸下挂钩7，整体向下放在平台上，吊爪1张开松开多孔盘8即可。

Claims (8)

1.一种多孔盘(8)高精密清洗治具，其特征在于：包括共轴心连接的基板(2)和支板(3)，在基板(2)和支板(3)的外边缘对应位置铰接安装三组吊爪(1)，用于抱紧和松开待清洗的多孔盘(8)；支板(3)连接挂钩(7)，用于悬挂清洗；吊爪(1)包括一体连接的连接柄(9)和爪部(10)，爪部(10)带有弯折；连接柄(9)和爪部(10)交接处开设铰接孔A(13)，连接柄(9)上部开设铰接孔B(14)；爪部(10)的底部为卡接点A(11)，弯折中部为外凸的卡接点B(12)，卡接点A(11)和卡接点B(12)卡合多孔盘(8)的边缘。

2.根据权利要求1所述的多孔盘(8)高精密清洗治具，其特征在于：所述基板(2)为环形，圆周上均匀设置三个向外凸出的连接块(15)，相邻两个连接块(15)之间设置三个向外凸出的铰接块(17)；连接块(15)上开设安装孔(16)，铰接块(17)开设铰接槽A(18)，铰接槽A(18)上开通铰接孔C(19)，铰接孔C(19)与铰接孔A(13)通过挂杆(6)铰接。

3.根据权利要求2所述的多孔盘(8)高精密清洗治具，其特征在于：所述支板(3)为环形，圆周上均匀设置三个铰接座(24)，相邻两个铰接座(24)之间开设一个通孔，所述通孔与基板(2)的安装孔(16)通过螺杆(5)对应连接。

4.根据权利要求3所述的多孔盘(8)高精密清洗治具，其特征在于：所述铰链(4)包括三个，铰链(4)一端为铰接头(20)，另一端开设铰接槽B(21)；铰接头(20)开设通孔，通过挂杆(6)与支板(3)的三个铰接座(24)对应铰接安装；铰接槽B(21)开设通孔，通过挂杆(6)与吊爪(1)的铰接孔B(14)铰接安装。

5.根据权利要求1所述的多孔盘(8)高精密清洗治具，其特征在于：所述挂钩(7)为L形，挂钩(7)的一端为钩部(23)，用于悬挂，另一端开设连接孔(22)，通过螺钉与支板(3)的外缘固定连接。

6.根据权利要求1所述的多孔盘(8)高精密清洗治具，其特征在于：所述吊爪(1)、基板(2)、支板(3)、铰链(4)、螺杆(5)、挂杆(6)和挂钩(7)的材质均为特氟龙。

7.根据权利要求3所述的多孔盘(8)高精密清洗治具，其特征在于：所述螺杆(5)连接基板(2)和支板(3)，通过旋入量调节基板(2)和支板(3)之间的相对高度，适应不同规格的多孔盘(8)。

8.根据权利要求5所述的多孔盘(8)高精密清洗治具，其特征在于：所述挂钩(7)包括两个，沿支板(3)径向设置。