CN219053392U - 一种储存腔体焊接夹紧装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种储存腔体焊接夹紧装置，包括底板(1)、2个可拆卸设置在所述底板(1)上的第一定位柱(2)、2个可拆卸设置在所述底板(1)上的第二定位柱(3)、至少1个可拆卸设置在所述底板(1)上的前定位块(4)，所述第一定位柱(2)和所述第二定位柱(3)上端分别可拆卸设有用于夹紧所述储存腔体(A)的夹紧组件(5)，所述前定位块(4)与所述储存腔体(A)前端相抵。本实用新型能够夹紧储存腔体，防止焊接过程中滑动，提高焊接效果和精度，提升良品率。

Description

一种储存腔体焊接夹紧装置

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，具体涉及一种储存腔体焊接夹紧装置。

背景技术

在半导体设备领域，需要储存腔体对晶圆进行储存或者作为工序之间的中转站，储存腔体的材质一般选择铝合金，通过将各个铝合金板焊接而成，且为了提高焊接的效率和精度，采用旋转台和焊接机器人进行焊接。为了焊接的稳定性和精度更好，需要使用夹紧装置将还未焊接的储存腔体进行夹紧固定，现有技术大多是采用定位销与定位孔配合，这样储存腔体能够在横向平面上旋转，但是无法在竖向平面内旋转，因此需要一个新的夹紧装置将储存腔体固定住，使得旋转台带动储存腔体进行横向和竖向旋转。

发明内容

本实用新型目的是提供一种储存腔体焊接夹紧装置，能够夹紧储存腔体，防止焊接过程中滑动，提高焊接效果和精度，提升良品率。

为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本实用新型所采用的技术方案是：一种密封腔体焊接夹紧装置，其特征在于，包括底板、2个可拆卸设置在所述底板上的第一定位柱、2个可拆卸设置在所述底板上的第二定位柱、至少1个可拆卸设置在所述底板上的前定位块，所述第一定位柱和所述第二定位柱上端分别可拆卸设有用于夹紧所述储存腔体的夹紧组件，所述前定位块与所述储存腔体前端相抵。

作为优选的技术方案，所述夹紧组件包括连接柱、固定设置在连接柱上的连接块、可拆卸设置在所述连接块底端的夹紧块。

作为优选的技术方案，所述夹紧块底端设有第一斜面。

作为优选的技术方案，所述前定位块的数量为2个，2个所述前定位块对称设置在所述底板上。

作为优选的技术方案，所述底板上可拆卸设有2个后定位块，所述后定位块与所述储存腔体后端相抵。

作为优选的技术方案，所述底板上可拆卸设置有2个侧定位块，所述侧定位块分别与所述储存腔体的2个侧面相抵。

作为优选的技术方案，所述前定位块后端设有第二斜面。

作为优选的技术方案，所述连接柱上设有沿其轴向贯穿的通孔，所述通孔轴向贯穿所述连接块。

作为优选的技术方案，所述第一定位柱上端设有第一安装槽，所述第一安装槽底面设有第一螺纹盲孔，所述第一定位柱下端设有第一安装孔，第二定位柱上端设有第二安装槽，所述第一安装槽底面设有第二螺纹盲孔，所述第二定位柱下端设有第二安装孔。

作为优选的技术方案，所述储存腔体包括1个主体板、2个侧板、2个上板，2个侧板分别固定设置在所述主体板的两侧，所述上板固定设置在所述主体板的上端。

本实用新型的有益效果是：

1)储存腔体位于夹紧组件和底板之间形成的夹紧空间内，实现对储存腔体的竖向夹紧，旋转台能够带动储存腔体进行竖向旋转，第一定位柱和第二定位柱对储存腔体进行定位以及限位，前定位块对储存腔体进行定位和限位，快速实现定位，提高生产效率；

2)优选的，夹紧块与储存腔体相抵形成夹紧，结构简单，易于安装和拆卸；

3)优选的，第一斜面与储存腔体的外形匹配，夹紧配合效果更好；

4)优选的，对称设置的前定位块提升定位效果；

5)优选的，后定位块和侧定位块进一步提高定位效果，快速定位，生产效率更高；

6)优选的，第二斜面与储存腔体的外形匹配，定位配合效果更好；

7)优选的，第一安装槽和第二安装槽用来容纳连接柱，第一安装孔和第二安装孔便于与底板连接，第一螺纹盲孔和第二螺纹盲孔中设置紧固螺栓，用于紧固连接柱，并使得夹紧块能够夹紧储存腔体。

附图说明

图1是本实用新型一个实施例的三维图；

图2是本实用新型一个实施例的部分结构图；

图3是本实用新型一个实施例的夹紧组件的结构图；

图4是本实用新型一个实施例的第一定位柱和第二定位柱的剖视图；

图5是本实用新型一个实施例的安装图；

在图1-5中，1、底板；2、第一定位柱；201、第一安装槽；202、第一螺纹盲孔；203、第一安装孔；3、第二定位柱；301、第二安装槽；302、第二螺纹盲孔；303、第二安装孔；4、前定位块；401、第二斜面；5、夹紧组件；501、连接柱；5011、通孔；502、连接块；503、夹紧块；5031、第一斜面；6、后定位块；7、侧定位块；A、储存腔体；A1、主体板；A2、侧板；A3、上板；B、连接板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步描述。

本实用新型实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若出现术语“头”、“尾”、“顶”、“底”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

请参阅图1-5，本实用新型的一个实施例提供一种储存腔体焊接夹紧装置，包括底板1、2个可拆卸设置在所述底板1上的第一定位柱2、2个可拆卸设置在底板1上的第二定位柱3、至少1个可拆卸设置在底板1上的前定位块4，第一定位柱2和第二定位柱3上端分别可拆卸设有用于夹紧储存腔体A的夹紧组件5，前定位块4与储存腔体A前端相抵。第一定位柱2的高度小于第二定位柱3的高度。

储存腔体A包括1个主体板A1、2个侧板A2、2个上板A3，2个侧板A2分别固定设置在主体板A1的两侧，上板A3固定设置在主体板A1的上端，主体板A1后端的下部为竖直面，侧板A2的外表面为竖直面，上板A3倾斜设置，主体板A1前端的下部为斜面，主体板A1、侧板A2和上板A3焊接后形成用于储存晶圆的储存腔体A。

储存腔体A位于夹紧组件5和底板1之间形成的夹紧空间内，实现对储存腔体A的竖向夹紧，旋转台能够带动储存腔体A进行竖向旋转，储存腔体A位于2个第一定位柱2之间，且位于2个第二定位柱3之间，第一定位柱2和第二定位柱3对储存腔体A进行定位以及限位，前定位块4对储存腔体A进行定位和限位，快速实现定位，提高生产效率如图1-5所示，在其中一些实施方式中，夹紧组件5包括连接柱501、固定设置在连接柱501上的连接块502、可拆卸设置在连接块502底端的夹紧块503。

如图1-5所示，在其中一些实施方式中，所述夹紧组件5包括连接柱501、固定设置在连接柱501上的连接块502、可拆卸设置在所述连接块502底端的夹紧块503，连接柱501，结构简单，易于安装和拆卸。

进一步的，夹紧块503底端设有第一斜面5031，第一斜面5031与上板A3的斜面相匹配，夹紧效果更好，并减轻对上板A3的损伤。

如图1-5所示，在其中一些实施方式中，前定位块4的数量为2个，2个前定位块4对称设置在底板1上，进一步的，前定位块4后端设有第二斜面401，第二斜面401与主体板A1前端的斜面相匹配，定位和限位的效果更好，减轻对主体板A1的损伤。

如图1-5所示，在其中一些实施方式中，底板1上可拆卸设有2个后定位块6，后定位块6与储存腔体A后端相抵，2个后定位块6为矩形，与前定位块4构成前后定位空间，实现了储存腔体A的快速定位，并具有很好的限位效果。

如图1-5所示，在其中一些实施方式中，底板1上可拆卸设置有2个侧定位块7，侧定位块7分别与储存腔体A的2个侧面相抵，进一步的提升定位效果，前定位块4、后定位块6和侧定位块7形成一个定位空间，进一步提高定位效率。

如图1-5所示，在其中一些实施方式中，所述连接柱501上设有沿其轴向贯穿的通孔5011，所述通孔5011轴向贯穿所述连接块502，进一步的，第一定位柱2上端设有第一安装槽201，第一安装槽201底面设有第一螺纹盲孔202，第一定位柱2下端设有第一安装孔203，第二定位柱3上端设有第二安装槽301，第一安装槽201底面设有第二螺纹盲孔302，第二定位柱3下端设有第二安装孔303，以第一定位柱2和其上的连接柱501为例，连接柱501插入第一安装槽201中，选用合适的紧固螺栓，将紧固螺栓穿过通孔5011，进入第一螺纹盲孔202中，拧紧紧固螺栓将连接柱501固定在第一定位柱2上，连接块502带动夹紧块503夹紧储存腔体A，通过拧紧或拧松紧固螺栓来调节夹紧块503的松紧。

如图1-5所示，在其中一些实施方式中，底板1与旋转台上的连接板B固定连接，旋转台带动夹紧装置竖向和横向旋转，以满足焊接的需求。

上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的描述，而并非对实施方式的限定，对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举，而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种储存腔体焊接夹紧装置，其特征在于，包括底板(1)、2个可拆卸设置在所述底板(1)上的第一定位柱(2)、2个可拆卸设置在所述底板(1)上的第二定位柱(3)、至少1个可拆卸设置在所述底板(1)上的前定位块(4)，所述第一定位柱(2)和所述第二定位柱(3)上端分别可拆卸设有用于夹紧所述储存腔体(A)的夹紧组件(5)，所述前定位块(4)与所述储存腔体(A)前端相抵。

2.根据权利要求1所述的一种储存腔体焊接夹紧装置，其特征在于，所述夹紧组件(5)包括连接柱(501)、固定设置在连接柱(501)上的连接块(502)、可拆卸设置在所述连接块(502)底端的夹紧块(503)。

3.根据权利要求2所述的一种储存腔体焊接夹紧装置，其特征在于，所述夹紧块(503)底端设有第一斜面(5031)。

4.根据权利要求1所述的一种储存腔体焊接夹紧装置，其特征在于，所述前定位块(4)的数量为2个，2个所述前定位块(4)对称设置在所述底板(1)上。

5.根据权利要求1所述的一种储存腔体焊接夹紧装置，其特征在于，所述底板(1)上可拆卸设有2个后定位块(6)，所述后定位块(6)与所述储存腔体(A)后端相抵。

6.根据权利要求1所述的一种储存腔体焊接夹紧装置，其特征在于，所述底板(1)上可拆卸设置有2个侧定位块(7)，所述侧定位块(7)分别与所述储存腔体(A)的2个侧面相抵。

7.根据权利要求1所述的一种储存腔体焊接夹紧装置，其特征在于，所述前定位块(4)后端设有第二斜面(401)。

8.根据权利要求2所述的一种储存腔体焊接夹紧装置，其特征在于，所述连接柱(501)上设有沿其轴向贯穿的通孔(5011)，所述通孔(5011)轴向贯穿所述连接块(502)。

9.根据权利要求8所述的一种储存腔体焊接夹紧装置，其特征在于，所述第一定位柱(2)上端设有第一安装槽(201)，所述第一安装槽(201)底面设有第一螺纹盲孔(202)，所述第一定位柱(2)下端设有第一安装孔(203)，第二定位柱(3)上端设有第二安装槽(301)，所述第一安装槽(201)底面设有第二螺纹盲孔(302)，所述第二定位柱(3)下端设有第二安装孔(303)。

10.根据权利要求1所述的一种储存腔体焊接夹紧装置，其特征在于，所述储存腔体(A)包括1个主体板(A1)、2个侧板(A2)、2个上板(A3)，2个侧板(A2)分别固定设置在所述主体板(A1)的两侧，所述上板(A3)固定设置在所述主体板(A1)的上端。

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