CN219040426U

CN219040426U - 一种具有除尘结构的贴膜装置

Info

Publication number: CN219040426U
Application number: CN202320031043.0U
Authority: CN
Inventors: 郑文; 刘彦君; 王志冲
Original assignee: Taiyuan University of Technology
Current assignee: Taiyuan University of Technology
Priority date: 2023-01-06
Filing date: 2023-01-06
Publication date: 2023-05-16
Anticipated expiration: 2033-01-06

Abstract

本实用新型涉及芯片加工技术领域，且公开了一种具有除尘结构的贴膜装置，包括加工台，加工台的顶部固定安装有支撑箱板，且支撑箱板的内部为空心设置，加工台的顶部固定安装有保护框，送料机构设置于保护框的内部，送料机构，包括直线电机固定安装于保护框的内壁顶部，电动升降柱一，固定安装于直线电机的底部，气嘴固定安装于电动升降柱一的外壁，且数量为两组，吸盘固定安装于直线电机的底部，气缸，固定安装于保护框的内壁底部，电动升降柱一两侧安装有气嘴，电动升降柱一底部安装有吸盘将送料盘上的保护膜吸住送到底盘芯片上，在覆膜前通过气嘴将芯片上的灰尘吹落，使芯片表面干净贴膜后成品较好。

Description

一种具有除尘结构的贴膜装置

技术领域

本实用新型涉及芯片加工技术领域，具体为一种具有除尘结构的贴膜装置。

背景技术

芯片为集成电路、微电路、微芯片、晶片/芯片，在电子学中是一种把电路，主要包括半导体设备，也包括被动组件等小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，集成电路芯片封装生产过程中，需要对加工的芯片上贴覆一层薄膜，来提芯片封装的整洁以及清洁性能，在芯片覆膜之前需要对芯片待覆膜的表面进行擦拭，保障芯片待覆膜部位的干净整洁，来净化芯片；

根据中国专利：“一种芯片贴膜装置”，且公开号为：“CN209963030U”，该专利具有对保护膜进行扩张拉伸后通过磁性扩膜环固定，使保护膜保持拉伸状态，当保护膜覆盖在芯片表面进行贴合时，可以减小膜的形变程度；支撑座顶部采用圆弧形结构，加上可调移动距离的伸缩轴，既可以有效减少膜间气泡的产生和遗留，提高操作质量，又可以减少对人工娴熟的依赖程度，操作简便，节约了自动设备的成本等优点，但是在实际的使用过程中贴膜时还会具有灰尘等情况会影响贴膜后的成品情况，因此根据上述提出的问题做出了改进，推出了一种具有除尘结构的贴膜装置。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种具有除尘结构的贴膜装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有除尘结构的贴膜装置，包括加工台，所述加工台的顶部固定安装有支撑箱板，且支撑箱板的内部为空心设置，所述加工台的顶部固定安装有保护框；

送料机构，设置于所述保护框的内部；

送料机构，包括：

直线电机，固定安装于所述保护框的内壁顶部；

电动升降柱一，固定安装于所述直线电机的底部；

气嘴，固定安装于所述电动升降柱一的外壁，且数量为两组；

吸盘，固定安装于所述直线电机的底部；

气缸，固定安装于所述保护框的内壁底部；

压盘，固定安装于所述气缸的底部。

优选的，所述加工台的底部固定安装有底盘，所述底盘的顶部放置有芯片，压盘的底部为软垫设置。

优选的，所述加工台的外壁安装有电机，电机带动加工台内部的传送带运行，且保护框的外壁一侧固定安装有保护箱。

优选的，所述还包括往复机构设置于所述保护框的内部；

往复机构，包括：

电机，固定安装于保护箱的内部；

轴承，固定安装于所述保护框的内壁；

丝杆，一端通过联轴器固定连接于所述电机上，另一端固定安装于所述轴承的内壁；

送料盘，滑动连接于所述丝杆的外壁。

优选的，所述支撑箱板的外壁开设有滑槽，保护框的外壁固定安装有控制面板，通过控制面板对内部机构进行控制。

优选的，所述加工台的底部固定安装有支撑腿，且支撑腿的数量为四组，通过加工台的底部固定安装有支撑腿，使该装置具有更好的稳定效果。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种具有除尘结构的贴膜装置，具备以下有益效果：

一、该一种具有除尘结构的贴膜装置，通过加工台一侧固定安装有电机，电机带动传动带运行，加工台上安装有支撑箱板，通过支撑箱板外壁安装有保护箱，保护箱内安装有电机，电机带动丝杆转动从而带动丝杆上的送料盘进行送料，在送料盘上放置有薄膜。

二、该一种具有除尘结构的贴膜装置，通过加工台上安装有保护框，保护框内壁安装有直线电机，通过直线电机底部安装有电动升降柱一，电机升降柱一两侧安装有气嘴，电机升降柱一底部安装有吸嘴将送料盘上的保护膜吸住送到底盘芯片上，在覆膜前通过气嘴将芯片上的灰尘吹落，使芯片表面干净贴膜后成品较好，在保护框底部安装有气缸，通过气缸底部安装有软垫对覆膜后的芯片进行按压使保护膜更加贴合。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型主示意图；

图2为本实用新型侧视示意图；

图3为本实用新型往复机构示意图。

图中：1、加工台；2、支撑箱板；3、保护框；4、送料机构；41、直线电机；42、电动升降柱一；43、气嘴；44、吸盘；45、气缸；46、压盘；5、底盘；6、保护箱；7、往复机构；71、电机；72、轴承；73、丝杆；74、送料盘；8、支撑腿。

实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1

如图1-3所示，本实用新型提供了一种具有除尘结构的贴膜装置，包括加工台1，加工台1的顶部固定安装有支撑箱板2，且支撑箱板2的内部为空心设置，加工台1的顶部固定安装有保护框3，送料机构4，设置于保护框3的内部，送料机构4，包括：直线电机41，固定安装于保护框3的内壁顶部，电动升降柱一42，固定安装于直线电机41的底部，气嘴43，固定安装于电动升降柱一42的外壁，且数量为两组，吸盘44，固定安装于直线电机41的底部，气缸45，固定安装于保护框3的内壁底部，压盘46，固定安装于气缸45的底部，加工台1的底部固定安装有底盘5，底盘5的顶部放置有芯片，压盘46的底部为软垫设置，加工台1的外壁安装有电机，电机带动加工台1内部的传送带运行，且保护框3的外壁一侧固定安装有保护箱6，加工台1的底部固定安装有支撑腿8，且支撑腿8的数量为四组，通过加工台1的底部固定安装有支撑腿8，使该装置具有更好的稳定效果。

在本实施例中，通过直线电机41底部安装有电动升降柱一42，电动升降柱一42两侧安装有气嘴43，电动升降柱一42底部安装有吸盘44将送料盘74上的保护膜吸住送到底盘5芯片上，在覆膜前通过气嘴43将芯片上的灰尘吹落，使芯片表面干净贴膜后成品较好，在保护框3底部安装有气缸45，通过气缸45底部安装有软垫对覆膜后的芯片进行按压使保护膜更加贴合。

实施例2

如图1-3所示，在实施例1的基础上，本实用新型提供一种技术方案：还包括往复机构7设置于保护框3的内部，往复机构7，包括：电机71，固定安装于保护箱6的内部，轴承72，固定安装于保护框3的内壁，丝杆73，一端通过联轴器固定连接于电机71上，另一端固定安装于轴承72的内壁，送料盘74，滑动连接于丝杆73的外壁，支撑箱板2的外壁开设有滑槽，保护框3的外壁固定安装有控制面板，通过控制面板对内部机构进行控制。

在本实施例中，通过加工台1一侧固定安装有电机71，电机71带动传动带运行，加工台1上安装有支撑箱板2，通过支撑箱板2外壁安装有保护箱6，保护箱6内安装有电机71，电机71带动丝杆73转动从而带动丝杆73上的送料盘74进行送料。

下面具体说一下该一种具有除尘结构的贴膜装置的工作原理。

如图1-3所示，使用时，通过加工台1一侧固定安装有电机71，电机71带动传动带运行，加工台1上安装有支撑箱板2，通过支撑箱板2外壁安装有保护箱6，保护箱6内安装有电机71，电机71带动丝杆73转动从而带动丝杆73上的送料盘74进行送料，在送料盘74上放置有薄膜，加工台1上安装有保护框3，保护框3内壁安装有直线电机41，通过直线电机41底部安装有电动升降柱一42，电动升降柱一42两侧安装有气嘴43，电动升降柱一42底部安装有吸盘44将送料盘74上的保护膜吸住送到底盘5芯片上，在覆膜前通过气嘴43将芯片上的灰尘吹落，使芯片表面干净贴膜后成品较好，在保护框3底部安装有气缸45，通过气缸45底部安装有软垫对覆膜后的芯片进行按压使保护膜更加贴合，不会对芯片造成损伤。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个引用结构”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

Claims

1.一种具有除尘结构的贴膜装置，其特征在于，包括加工台（1），所述加工台（1）的顶部固定安装有支撑箱板（2），且支撑箱板（2）的内部为空心设置，所述加工台（1）的顶部固定安装有保护框（3）；

送料机构（4），设置于所述保护框（3）的内部；

送料机构（4），包括：

直线电机（41），固定安装于所述保护框（3）的内壁顶部；

电动升降柱一（42），固定安装于所述直线电机（41）的底部；

气嘴（43），固定安装于所述电动升降柱一（42）的外壁，且数量为两组；

吸盘（44），固定安装于所述直线电机（41）的底部；

气缸（45），固定安装于所述保护框（3）的内壁底部；

压盘（46），固定安装于所述气缸（45）的底部。

2.根据权利要求1所述的一种具有除尘结构的贴膜装置，其特征在于：所述加工台（1）的底部固定安装有底盘（5），所述底盘（5）的顶部放置有芯片，压盘（46）的底部为软垫设置。

3.根据权利要求1所述的一种具有除尘结构的贴膜装置，其特征在于：所述加工台（1）的外壁安装有电机，且保护框（3）的外壁一侧固定安装有保护箱（6）。

4.根据权利要求1所述的一种具有除尘结构的贴膜装置，其特征在于：还包括往复机构（7）设置于所述保护框（3）的内部；

往复机构（7），包括：

电机（71），固定安装于保护箱（6）的内部；

轴承（72），固定安装于所述保护框（3）的内壁；

丝杆（73），一端通过联轴器固定连接于所述电机（71）上，另一端固定安装于所述轴承（72）的内壁；

送料盘（74），滑动连接于所述丝杆（73）的外壁。

5.根据权利要求1所述的一种具有除尘结构的贴膜装置，其特征在于：所述支撑箱板（2）的外壁开设有滑槽，保护框（3）的外壁固定安装有控制面板。

6.根据权利要求1所述的一种具有除尘结构的贴膜装置，其特征在于：所述加工台（1）的底部固定安装有支撑腿（8），且支撑腿（8）的数量为四组。